JPH01202180A - Fine distance stepless drive type actuator - Google Patents

Fine distance stepless drive type actuator

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JPH01202180A
JPH01202180A JP63026166A JP2616688A JPH01202180A JP H01202180 A JPH01202180 A JP H01202180A JP 63026166 A JP63026166 A JP 63026166A JP 2616688 A JP2616688 A JP 2616688A JP H01202180 A JPH01202180 A JP H01202180A
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JP
Japan
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plunger
actuator
reduced
piezoelectric
drive type
Prior art date
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Pending
Application number
JP63026166A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Osamu Tsutsui
修 筒井
Kinya Arita
欽也 有田
Atsuo Makita
牧田 厚雄
Ryoichi Tsukada
良一 塚田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toto Ltd
Original Assignee
Toto Ltd
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Filing date
Publication date
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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

PURPOSE:To reduce a thrust force to be applied to a plunger by forming a reduced-diameter end reduced in a pressure bearing area at the end of the plunger. CONSTITUTION:A fine distance stepless drive type actuator A is composed by telescopically attaching a plunger (d) along an axis concentrically within a cylindrical actuator casing (c) having front and rear walls (a), (b), and arranging a piezoelectric element assembly B made of 4 piezoelectric elements (e)...(h) concentrically on the outer periphery. The plunger (d) can be moved in an axial direction by controlling the sequence of applying a voltage to the elements (e)...(h). A manual reset button (p) is attached to the center of the wall (b). In this case, the plunger (d) is formed at its end in a diameter-reduced end (q) in such a manner that the end face area (pressure receiving area) is remarkably reduced from that of the plunger (d). Accordingly, when it is used as a valve or the like, the actuator A can be accurately driven.

Description

【発明の詳細な説明】 (イ)産業上の利用分野 本発明は、各種装置を作動するために用いる微小距離無
段階駆動式アクチュエータに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (a) Field of Industrial Application The present invention relates to a minute distance stepless drive type actuator used for operating various devices.

(ロ)従来の技術 従来、高精度の位置決めを行い、各種装置や機械等の動
作を精密に制御することができる手段として、圧電アク
チュエータやステソピングリニャモーク等の微小距離無
段階駆動式アクチュエータが知られている。
(B) Conventional technology Conventionally, micro-distance stepless drive actuators such as piezoelectric actuators and stethoping grips have been used as a means to perform high-precision positioning and precisely control the operations of various devices and machines. It has been known.

(ハ)発明が解決しようとする問題点 しかし、かかるアクチュエータは、その適用に際して、
クランプ時における摩擦力の確保や製造 −技術上の観
点からプランジャの直径を一定以上としなければならな
い。従って、プランジャの先端の受圧面積が相当大きく
なり、そのため、プランジャが軸線方向にうけるスラス
ト力を無視できず、弁制御等を正確に行うことができな
かった。
(c) Problems to be solved by the invention However, when this actuator is applied,
Ensuring frictional force during clamping and manufacturing - From a technical standpoint, the diameter of the plunger must be greater than a certain level. Therefore, the pressure-receiving area at the tip of the plunger becomes considerably large, and as a result, the thrust force applied to the plunger in the axial direction cannot be ignored, making it impossible to accurately control the valve.

(ニ)問題点を解決するための手段 本発明は、アクチュエータケーシング内に、軸線に沿っ
て微小距離ずつ無段階で進退自在にプランジャを取付け
た微小距離無段階駆動式アクチュエータにおいて、同プ
ランジャの先端に受圧面積を小さくした縮径先端部を形
成したことを特徴とする微小距離無段階駆動式アクチュ
エータに係るものである。
(d) Means for Solving the Problems The present invention provides a micro-distance stepless drive type actuator in which a plunger is installed in the actuator casing so that it can steplessly move back and forth in small steps along the axis. The present invention relates to a micro-distance stepless drive type actuator, which is characterized in that a diameter-reduced tip portion with a reduced pressure-receiving area is formed at the tip.

なお、ここで、微小距離無段階駆動式アクチュエータと
は、積層式圧電アクチュエータ、圧電バイモルファクチ
ュエータ、ステッピングリニヤモータ、圧電リニヤモー
タ、超音波モータ (回転式)と回転ねじの組み合わせ
、ステッピングモータ(回転式)と回転ねしの組み合わ
せ等をいう。
In this case, micro-distance stepless drive actuators include laminated piezoelectric actuators, piezoelectric bimorph actuators, stepping linear motors, piezoelectric linear motors, combinations of ultrasonic motors (rotary type) and rotating screws, and stepping motors (rotary type). ) and a rotating screw, etc.

(ホ)作用及び効果 以上述べてきた構成により、本発明は、以下の作用及び
効果を奏する。
(e) Actions and Effects With the configuration described above, the present invention has the following actions and effects.

本発明では、プランジャの先端に受圧面積を小さくした
縮径先端部を形成したので、プランジャにかかるスラス
ト力を可及的に小さくすることができ、プランジャを正
確に駆動することができる。
In the present invention, since a reduced diameter tip with a reduced pressure receiving area is formed at the tip of the plunger, the thrust force applied to the plunger can be made as small as possible, and the plunger can be driven accurately.

従って、各種制御弁や装置等の駆動を精密かつ正確に制
御することができる。
Therefore, the driving of various control valves, devices, etc. can be precisely and precisely controlled.

(へ)実施例 以下、添付図に示す実施例に基づいて、本発明を具体的
に説明する。
(f) Examples The present invention will be specifically described below based on examples shown in the attached drawings.

第1図に本実施例に係る微小距離無段階駆動式アクチュ
エータの一形態をなす圧電アクチュエータAの構成を示
す。
FIG. 1 shows the configuration of a piezoelectric actuator A, which is one form of a minute distance stepless drive type actuator according to this embodiment.

図示するように、アクチュエータAは、前後壁a、bを
具備する筒状のアクチュエータケーシングC内に、同心
円的にかつ軸線に沿って進退自在にプランジャdを取付
け、さらに、プランジャdの外周面上に、同心円的に、
4つの圧電素子e、f。
As shown in the figure, the actuator A has a plunger d installed in a cylindrical actuator casing C having front and rear walls a and b so as to be movable back and forth concentrically and along the axis. Concentrically,
Four piezoelectric elements e, f.

g、hからなる圧電素子組立体Bを配設することによっ
て構成している。
It is constructed by arranging a piezoelectric element assembly B consisting of g and h.

また、図示の実施例において、圧電素子g、hは、アク
チュエータケーシングaの中央部に配設されており、前
壁aに基端を固定した保持具Hの先端に固着されている
Furthermore, in the illustrated embodiment, the piezoelectric elements g and h are arranged in the center of the actuator casing a, and are fixed to the tip of a holder H whose base end is fixed to the front wall a.

また、t+J はその基端を圧電素子g、hに固着する
とともにその先端を前後壁a、bに向けて伸延する片持
ち梁状の弾性ブリッジである。
Further, t+J is a cantilever-shaped elastic bridge whose base ends are fixed to the piezoelectric elements g and h and whose tips extend toward the front and rear walls a and b.

そして、同弾性ブリッジi、j の先端は、その外周面
に圧電アクチュエータe、fを取付けるとともに、その
内周面に、ブレーキシューに、Iを固着している。
Piezoelectric actuators e and f are attached to the outer peripheral surfaces of the ends of the elastic bridges i and j, and I is fixed to the brake shoes on the inner peripheral surfaces thereof.

そして、この圧電素子e + f + g + hは、
電源をオフした際に縮むように構成されている。
And this piezoelectric element e + f + g + h is
It is configured to retract when the power is turned off.

即ち、圧電素子e、fは、通電状態では伸びて、その内
径を砿径してプランジャdのクランプを解除するととも
に、通電していない状態では縮んで内径を縮径してプラ
ンジャdをクランプする。
That is, when the piezoelectric elements e and f are energized, they extend and sharpen their inner diameters to release the clamp on the plunger d, and when they are not energized, they contract to reduce their inner diameters and clamp the plunger d. .

一方、圧電素子g+11は、通電状態ではプランジャd
上を軸線方向に伸びた状態にあり、非通電状態では、プ
ランジャd上を縮み、その軸線方向の全長を短くするこ
とになる。
On the other hand, when the piezoelectric element g+11 is energized, the plunger d
The top of the plunger d extends in the axial direction, and in a non-energized state, the top of the plunger d contracts, shortening its total length in the axial direction.

そして、プランジャdは、かかる4つの圧電素子e+f
+g+hへの電圧印加手順を後述する制御装置Cによっ
て制御することにより、軸線方向に移動することができ
る。
Then, the plunger d connects these four piezoelectric elements e+f
By controlling the voltage application procedure to +g+h by a control device C described later, it is possible to move in the axial direction.

圧電素子e、f、g、hは、第1図及び第2図に示すよ
うに、多数の圧電素子片をプランジャdの軸芯方向に積
層して形成した円筒状の素子で、円筒の両端に電極が設
けられており、この両端に電圧を印加することにより、
伸びるように構成されている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the piezoelectric elements e, f, g, and h are cylindrical elements formed by laminating a large number of piezoelectric element pieces in the axial direction of the plunger d. electrodes are provided at the , and by applying a voltage to both ends,
It is configured to stretch.

なお、圧電素子片は、例えば、圧電セラミックスを用い
ることができ、かかる圧電セラミ・ノクストシテは、A
BO3ペロブスカイト形の結晶構造をもつ強誘電材料で
あってP ZT (P b (Z r。
In addition, piezoelectric ceramics can be used for the piezoelectric element piece, for example, and such piezoelectric ceramic Noxtsite is
BO3 is a ferroelectric material with a perovskite crystal structure, and P ZT (P b (Z r.

Ti)03)系、やPLZT (Pb (Zr、Ti)
03 )、PT (PbTi03 )系、あるいはPZ
Tを基にした3成分系のものを用いることができる。
Ti)03) system, or PLZT (Pb (Zr, Ti)
03), PT (PbTi03) system, or PZ
A three-component system based on T can be used.

また、圧電素子e + f + g + hは、第3図
に示すように、多数の薄肉リング状の圧電素子片をプラ
ンジャdの軸芯廻りに軸線方向に積層して形成すること
もできる。この場合、電圧の印加力向を90度変えるこ
とになる。
The piezoelectric element e + f + g + h can also be formed by laminating a large number of thin ring-shaped piezoelectric element pieces in the axial direction around the axis of the plunger d, as shown in FIG. In this case, the direction of the applied voltage is changed by 90 degrees.

また、第1図において、mはアクチュエータAの水密性
を高めるために設けた摺動抵抗の小さいU字状又はY字
状パツキンである。
Further, in FIG. 1, m is a U-shaped or Y-shaped packing provided to improve the watertightness of the actuator A and has low sliding resistance.

なお、上記構成において、圧電素子e、f、g、hは、
円形断面のみでなく、例えば、矩形断面等とすることも
でき、また、第4図及び第5図に示す如く、分割片から
形成することもできる。
In addition, in the above configuration, piezoelectric elements e, f, g, h are as follows:
It can have not only a circular cross section but also a rectangular cross section, for example, and can also be formed from divided pieces as shown in FIGS. 4 and 5.

また、プランジャdは、ブレーキシューに、lによって
多数回クランプされるものであるため、線膨張係数が小
さ(、硬度、強度、耐クリープ性及び耐摩耗性が大きく
、さらに、加工精度が高いものが望ましく、例えば、セ
ラミック素材としたものが考えられる。
In addition, since plunger d is clamped to the brake shoe many times by l, it has a small coefficient of linear expansion (high hardness, strength, creep resistance, and wear resistance, and has high processing accuracy). It is desirable to use a ceramic material, for example.

さらに、本実施例では、圧電アクチュエータAは、第1
図に示すように、その後壁すの中央であって、プランジ
ャdと対向する個所に、弾性ゴム等からなる手動復帰ボ
タンpを取付けている。そして、同手動復帰ボタンpは
、押圧することによってその前面が前方に突出してプラ
ンジャdの後端に当接し、プランジャdを圧電素子e、
fのクランプ力に抗して、前方向に押圧移動することが
できる。
Furthermore, in this embodiment, the piezoelectric actuator A is
As shown in the figure, a manual return button p made of elastic rubber or the like is attached to the center of the rear wall, facing the plunger d. When the manual return button p is pressed, its front surface projects forward and comes into contact with the rear end of the plunger d, and the plunger d is connected to the piezoelectric element e,
It can be pushed forward and moved against the clamping force of f.

従って、停電時等において、プランジャdが弁等を開け
た状態で停止した場合には、速やかに手動復帰ボタンp
を押して完全に閉弁して、未然に流出事故等を防止する
ことができる。
Therefore, if the plunger d stops with the valve etc. open during a power outage, etc., the manual return button p is immediately activated.
Press to close the valve completely to prevent spills, etc.

また、本実施例において、プランジャdは、その先端に
縮径先端部qを形成しており、同先端部qは、その端面
面積(受圧面積)を、プランジャdの断面積より著しく
小さいものとしている。
In addition, in this embodiment, the plunger d has a diameter-reduced tip q formed at its tip, and the tip q has an end surface area (pressure receiving area) that is significantly smaller than the cross-sectional area of the plunger d. There is.

なお、縮径先端部qの先端には、弾性体が取付けられて
いる。
Note that an elastic body is attached to the tip of the diameter-reduced tip q.

従って、後述するように弁等に用いた場合、受圧面積を
著しく小さくできるので、プランジャdが受けるスラス
ト力を最小にして、プランジャdの駆動へのスラスト力
の15を最小にすることができ、アクチュエータAの正
確な駆動が可能となる。
Therefore, when used in a valve or the like as described later, the pressure receiving area can be significantly reduced, so the thrust force applied to the plunger d can be minimized, and the thrust force applied to drive the plunger d can be minimized. Actuator A can be driven accurately.

また、プランジャdの段部を、プランジャdが一定距離
前方向に移動した状態(例えば、全閉位置或いはそれよ
り僅かに進んだ位置)で前壁すの後面と当接するように
しておけば、プランジャdのそれ以上の前進を規制でき
、過度の前進に起因する開閉弁のダイヤフラム等のFB
 (’Isを確実に防止することができる。
Furthermore, if the stepped portion of the plunger d is brought into contact with the rear surface of the front wall when the plunger d has moved a certain distance forward (for example, at the fully closed position or a position slightly further advanced than that), FB such as a diaphragm of an on-off valve that can restrict further advancement of the plunger d and prevents the plunger from moving forward too much.
('Is can be reliably prevented.

また、第6図に、上記圧電アクチュエータAを制御する
ための制御装置Cの構成を示している。
Further, FIG. 6 shows the configuration of a control device C for controlling the piezoelectric actuator A.

図示するように、制御装置Cは、マイクロプロセッサr
と、入出力インターフェースs、tと、上記圧電素子e
+ f + g+ hの駆動順序プログラムを記憶した
メモリUとから構成される。
As shown, the control device C includes a microprocessor r
, input/output interfaces s and t, and the piezoelectric element e
+ f + g + memory U that stores the drive sequence program of h.

ついで、かかる構成を有するアクチュエータAによるプ
ランジャdの移動について、第7図〜第9図を参照して
説明する。
Next, the movement of the plunger d by the actuator A having such a configuration will be explained with reference to FIGS. 7 to 9.

第6図に示すアクチュエータ駆動ボタンVを押すと、制
御装置Cが、メモリUから読み出した駆動順序プログラ
ムに従って、第7図に示すように、圧電素子eの電圧の
印加を解除して縮めプランジャdをクランプさせるとと
もに、圧電素子fに電圧を印加して拡径しプランジャd
のクランプを解除する。
When the actuator drive button V shown in FIG. 6 is pressed, the control device C releases the voltage application to the piezoelectric element e and retracts the plunger d, as shown in FIG. 7, according to the drive order program read from the memory U. At the same time, a voltage is applied to the piezoelectric element f to expand the diameter of the plunger d.
Release the clamp.

次に、第8図に示すように、圧電素子g+11に電圧を
印加して伸ばすと、圧電素子e、fが矢印方向に移動し
、これに伴って圧電素子eがクランプするプランジャd
も矢印方向に移動する。
Next, as shown in FIG. 8, when a voltage is applied to piezoelectric element g+11 to extend it, piezoelectric elements e and f move in the direction of the arrow, and along with this, plunger d, which piezoelectric element e clamps,
also moves in the direction of the arrow.

その後、第9図に示すように、圧電素子eに電圧を印加
して伸ばしプランジャdのクランプを解除するとととも
に、圧電素子g、hの印加電圧を解除すると、圧電素子
g+Flは矢印方向に縮み、プランジャdはさらに矢印
方向に移動する。
Thereafter, as shown in FIG. 9, when a voltage is applied to the piezoelectric element e to release the clamp of the stretching plunger d, and at the same time, the applied voltages to the piezoelectric elements g and h are released, the piezoelectric element g+Fl contracts in the direction of the arrow. Plunger d further moves in the direction of the arrow.

その後、上記動作を繰り返すことにより、プランジャd
を、μmオーダ或いはサブμmオーダのストロークで尺
とり生状に移動することができ、各種装置や機械等の精
密に動作させることができる。
After that, by repeating the above operation, plunger d
can be moved in a linear manner with a stroke on the μm order or sub-μm order, and various devices and machines can be operated precisely.

しかして、本実施例では、上述したように、圧電アクチ
ュエータAのプランジャdは、その先端に縮径先端部q
を形成しているので受圧面積を著しく小さくでき、プラ
ンジャdが受けるスラスト力を最小にして、プランジャ
dの駆動へのスラスト力の影響を最小にすることができ
、アクチュエータAの正確な駆動が可能となる。
In this embodiment, as described above, the plunger d of the piezoelectric actuator A has a reduced diameter tip q at its tip.
Since the pressure receiving area can be significantly reduced, the thrust force applied to the plunger d can be minimized, and the influence of the thrust force on the drive of the plunger d can be minimized, allowing accurate driving of the actuator A. becomes.

また、第10図に本実施例にかかるアクチュエータへの
適用例を示しており、湯水混合栓として機能する自動開
閉弁りにかかる圧電アクチュエータAを応用した例であ
る。
Moreover, FIG. 10 shows an example of application to the actuator according to this embodiment, and is an example in which the piezoelectric actuator A is applied to an automatic opening/closing valve that functions as a hot water mixing faucet.

第10図において、10は円筒状の箱体をなすケーシン
グであり、同ケーシング10は、その−側側壁に、二つ
の一例流路13.14を形成している。
In FIG. 10, 10 is a casing in the form of a cylindrical box, and the casing 10 has two flow passages 13 and 14 formed on its negative side wall.

そして、−側流路13.14は湯水混合栓の給水流路及
び給湯流路として機能するものであり、その外側開口端
は、それぞれ給水配管15と給湯配管16と連通してい
る。
The − side flow paths 13 and 14 function as a water supply flow path and a hot water supply flow path for the hot and cold mixer faucet, and their outer open ends communicate with the water supply pipe 15 and the hot water supply pipe 16, respectively.

一方、−側流路13.14の内側開口端は、それぞれ、
ケーシングlOの両端に形成した隔室17.18と連通
している。
On the other hand, the inner opening ends of the − side flow paths 13 and 14 are, respectively,
It communicates with compartments 17.18 formed at both ends of the casing lO.

また、ケーシング10の他側側壁には、両端開口のT字
状の他側流路20が形成されている。
Further, a T-shaped other side flow path 20 having both ends open is formed in the other side wall of the casing 10 .

そして、かかる他側流路20は、湯水混合栓の混合水流
路として機能するものであり、その外側開口端は、混合
水配管21と連通しており、一方、その内側二股状開口
端は隔室17.18と連通している。
The other side flow path 20 functions as a mixing water flow path of a hot and cold water mixing faucet, and its outer open end communicates with the mixing water pipe 21, while its inner bifurcated open end is separated. It communicates with rooms 17 and 18.

さらに、T字状筒体19の内側二股状開口部には、それ
ぞれ弁座22 、23が設けられており、同弁座22゜
23には、ケーシングlO内を軸線方向に進退して弁座
22,23と接離し、内側二股状開口端を開閉するダイ
アフラム弁からなる弁体24 、25が配設されている
Furthermore, valve seats 22 and 23 are provided in the inner bifurcated opening of the T-shaped cylinder 19, respectively, and the valve seats 22 and 23 are provided with valve seats 22 and 23 that move back and forth in the axial direction inside the casing lO. Valve bodies 24 and 25, which are diaphragm valves that come into contact with and separate from 22 and 23 and open and close inner bifurcated opening ends, are provided.

さらに、ケーシング10の両端には、それぞれ圧電アク
チュエータAが取付られている。
Furthermore, piezoelectric actuators A are attached to both ends of the casing 10, respectively.

そして、各圧電アクチュエータAは、そのプランジャd
の先端を弁体24.25の後部と当接自在となし、弁体
24,25を開閉自在としている。
And each piezoelectric actuator A has its plunger d
The tips of the valve bodies 24 and 25 can freely come into contact with the rear parts of the valve bodies 24 and 25, so that the valve bodies 24 and 25 can be opened and closed.

なお、第10図において、30は他側流路20内に設け
た温度センサであり、混合水の温度を検出し、検出値を
第6図に示すような制御部にフィードバックして、制御
部に検出値に基づいて自動開閉弁の両アクチュエータA
をPTD制御等によって作動させ、適温制御を行うもの
である。
In addition, in FIG. 10, 30 is a temperature sensor provided in the other side flow path 20, which detects the temperature of the mixed water, feeds back the detected value to the control section as shown in FIG. Both actuators A of the automatic opening/closing valve based on the detected value
The system is operated by PTD control or the like to control the appropriate temperature.

そして、かかる構成を有する自動開閉弁りの作動を、簡
単に説明すると、以下の如くなる。
The operation of the automatic on-off valve having such a configuration will be briefly explained as follows.

即ち、温度センサ30からの検出値を制御部にフィード
バックして、制御部に検出値に基づいて自動開閉弁りの
両圧電アクチュエータAをそれぞれ別個に作動させると
、弁体24 、25が設定開度で開閉して、−側流路1
3.14から他側流路20に流れる給水量と給湯量を一
定の混合割合で混合することができる。
That is, when the detected value from the temperature sensor 30 is fed back to the control section and the control section separately operates both piezoelectric actuators A of the automatic opening/closing valve based on the detected value, the valve bodies 24 and 25 are set to open. - side flow path 1
The amount of water supplied and the amount of hot water flowing from 3.14 to the other side flow path 20 can be mixed at a constant mixing ratio.

そして、かかる作用において、弁体24,25は圧電ア
クチュエータAによって作動するようにしているので、
流量制御をより確実に行うことができ、適温制御をより
確実に行うことができる。
In this action, since the valve bodies 24 and 25 are operated by the piezoelectric actuator A,
Flow rate control can be performed more reliably, and appropriate temperature control can be performed more reliably.

また、かかる制御において、上記したように、圧電アク
チュエータAのプランジャdは、その先端に縮径先端部
qを形成しているので、プランジャdの駆動へのスラス
ト力の影響を最小にすることができ、自動開閉弁りの制
御をより正確かつ確実に行うことができる。
In addition, in such control, as described above, since the plunger d of the piezoelectric actuator A has a diameter-reduced tip q at its tip, it is possible to minimize the influence of thrust force on the drive of the plunger d. This makes it possible to control the automatic opening/closing valve more accurately and reliably.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明に係る微小距離無段階駆動式アクチュエ
ータの一形態である圧電アクチュエータの断面側面図、
第2図は第1図1−1線による横断面図、第3図〜第5
図は他の実施例にかかる圧電素子の横断面図、第6図は
制御装置の構成説明図、第7図〜第9図はアクチュエー
タの作動状態説明図、第10図は上記アクチュエータを
具備した自動開閉弁の断面側面図である。 図中、 A:アクチュエータ B:圧電素子組立体 C:制御装置 D=自動開閉弁 a:前壁        b;後壁 C:アクチュエータケーシング dニブランジャ     e:圧電素子f:圧電素子 
     g:圧電素子h:圧電素子 q:縮径先端部 特許出願人   東陶機器株式会社
FIG. 1 is a cross-sectional side view of a piezoelectric actuator which is one form of a minute distance stepless drive type actuator according to the present invention;
Figure 2 is a cross-sectional view taken along line 1-1 in Figure 1, Figures 3 to 5.
The figure is a cross-sectional view of a piezoelectric element according to another embodiment, FIG. 6 is a configuration explanatory diagram of a control device, FIGS. 7 to 9 are explanatory diagrams of operating states of an actuator, and FIG. It is a sectional side view of an automatic opening-and-closing valve. In the figure, A: Actuator B: Piezoelectric element assembly C: Control device D = Automatic opening/closing valve a: Front wall b; Rear wall C: Actuator casing d Ni plunger e: Piezoelectric element f: Piezoelectric element
g: Piezoelectric element h: Piezoelectric element q: Reduced diameter tip Patent applicant: Totoki Co., Ltd.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、アクチュエータケーシング(c)内に、軸線に沿っ
て微小距離ずつ無段階で進退自在にプランジャ(d)を
取付けた微小距離無段階駆動式アクチュエータにおいて
、 同プランジャ(d)の先端に受圧面積を小さくした縮径
先端部(q)を形成したことを特徴とする微小距離無段
階駆動式アクチュエータ。
[Claims] 1. In a micro-distance stepless drive type actuator in which a plunger (d) is installed in the actuator casing (c) so as to be able to steplessly move forward and backward in small steps along the axis, the plunger (d) A micro-distance stepless drive type actuator characterized by forming a reduced-diameter tip (q) with a reduced pressure receiving area at the tip.
JP63026166A 1988-02-06 1988-02-06 Fine distance stepless drive type actuator Pending JPH01202180A (en)

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