JPH0282665A - Piezoelectric actuator - Google Patents

Piezoelectric actuator

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JPH0282665A
JPH0282665A JP63235705A JP23570588A JPH0282665A JP H0282665 A JPH0282665 A JP H0282665A JP 63235705 A JP63235705 A JP 63235705A JP 23570588 A JP23570588 A JP 23570588A JP H0282665 A JPH0282665 A JP H0282665A
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JP
Japan
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piezoelectric
plunger
clamping
piezoelectric element
actuator
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Application number
JP63235705A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Osamu Tsutsui
修 筒井
Takao Yoshida
孝雄 吉田
Kinya Arita
欽也 有田
Ryoichi Tsukada
良一 塚田
Hidehiko Kuwabara
桑原 英彦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toto Ltd
Original Assignee
Toto Ltd
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Publication date
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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

PURPOSE:To perform clamping operation reliably for a long term by forming flat and annular insulating faces at the inner circumferential edges of the opposite side faces of the piezoelectric board in a clamping piezoelectric element thereby enlarging the area for gripping a plunger through a clamp. CONSTITUTION:In an actuator A, a piezoelectric element assembly B comprising three piezoelectric elements (e)-(g) is arranged concentrically on the outer circumferential face of a plunger (d). Clamps (k), (l) for clamping the plunger (d) are located at the inner diameter sections of the piezoelectric elements (e), (f). The piezoelectric board (y) of the clamping piezoelectric elements (e), (f) is not bevelled but formed, at the inner circumferential edges (z) of the opposite side faces, with flat and annular insulating faces (r). Since the clamps (k), (l) are enlarged or shrinked by means of the entire width L of the piezoelectric board (y), the width L and the area for clamping the plunger (d) are increased thus stabilizing the clamping force.

Description

【発明の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 本発明は、各種装置を作動させるために用いる圧電アク
チュエータに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (a) Field of Industrial Application The present invention relates to a piezoelectric actuator used for operating various devices.

(ロ) 従来の技術 従来、軸方向に移動可能なグランジャとプランジャをつ
かむクランプと、クランプを作動させる圧電素子と、ス
トローク用圧電素子とにより構成されて6クランプ用圧
電素子を拡縮することにより、クランプを介して1ラン
ジヤをつかみ、ストローク用圧電素子を伸縮することに
よりプランジャを前後方向に駆動する圧電アクチュエー
タが存在している。
(b) Conventional technology Conventionally, the 6-clamp piezoelectric element is expanded and contracted, and is composed of an axially movable granger, a clamp that grips the plunger, a piezoelectric element that operates the clamp, and a stroke piezoelectric element. There is a piezoelectric actuator that grips one plunger via a clamp and drives the plunger in the front-rear direction by expanding and contracting a piezoelectric element for stroke.

(ハ) 発明が解決しようとする課題 しかし、クランプ用圧電素子を構成する圧電板(y)の
内径部は、絶縁性をよくするために、第11図及び第1
2図に示す如く大きく面取り(Co)をしていたために
プランジャを、クランプする幅(ビ)及び面積が少なく
なって、クランプ力が低下するなどの問題が生じていた
(c) Problems to be Solved by the Invention However, in order to improve insulation, the inner diameter portion of the piezoelectric plate (y) constituting the piezoelectric element for clamping is
As shown in Fig. 2, since the plunger was largely chamfered (Co), the width (Bi) and area for clamping the plunger were reduced, resulting in problems such as a decrease in clamping force.

(ニ) 課題を解決するための手段 本発明では、クランプ用圧電素子にて1ランジャをクラ
ンプし、かつ、同圧電素子を多数のリング状圧電板を導
電ペーストで接着して形成した圧電アクチュエータにお
いて、同クランプ用圧電素子の圧電板の両側面の内周縁
に、平坦、かつ、環状の絶縁面を形成したことを特徴と
する圧電アクチュエータを提供せんとするものである6
(ホ) 作用・効果 以上述べてきた構成により本発明は以下の作用効果を奏
する。
(d) Means for Solving the Problems The present invention provides a piezoelectric actuator in which one plunger is clamped by a clamping piezoelectric element, and the same piezoelectric element is formed by bonding a large number of ring-shaped piezoelectric plates with conductive paste. , it is an object of the present invention to provide a piezoelectric actuator characterized in that flat and annular insulating surfaces are formed on the inner peripheral edges of both sides of the piezoelectric plate of the piezoelectric element for clamping.
(E) Functions and Effects With the configuration described above, the present invention provides the following functions and effects.

■クランプ用圧電素子の圧電板の両側面に導電ペースト
を塗布すると共に、その内周縁の平坦面に、環状の導電
ペースト不塗布部を設けて若干の環状絶縁面を形成した
ものであるから、圧電板の内周部、即ち、クランプを介
してプランジャをつかむ面積が広く構成されており、し
たがって、プランジャを繰返しクランプしても、内周部
がへなることがなく、長期間に亘って、確実なりラング
作動が行えるものである。
■A conductive paste is applied to both sides of the piezoelectric plate of the piezoelectric element for clamping, and an annular conductive paste-unapplied area is provided on the flat surface of the inner peripheral edge to form a slight annular insulating surface. The inner periphery of the piezoelectric plate, that is, the area where the plunger is gripped via the clamp, is configured to have a large area. Therefore, even if the plunger is repeatedly clamped, the inner periphery will not wear out, and will last for a long period of time. This allows for reliable rung operation.

■また、圧電板の両側面の内周縁に、平坦、かつ、環状
の絶縁距離を設けたので、プランジャ側との絶縁性は確
実に保たれるものである。
(2) Also, since flat and annular insulation distances are provided on the inner peripheral edges of both sides of the piezoelectric plate, insulation from the plunger side is reliably maintained.

(へ) 実施例 以下、添付図に示す実施例に基づいて、本発明を具体的
に説明する。
(F) Examples The present invention will be specifically described below based on examples shown in the attached drawings.

第1図に本実施例に係る圧電アクチュエータ(八)の構
成を示す。
FIG. 1 shows the configuration of the piezoelectric actuator (8) according to this embodiment.

図示するように、アクチュエータ(A)は、前後壁(a
Hb)を具備する筒状のアクチュエータゲージング(C
)内に同心円的に、かつ、軸線に沿って進退自在にグラ
ンジャ(d)を取付け、さらに、1ランジヤ(d)の外
周面上に、同心円的に、3つの圧電素子(e)(f)(
q)からなる圧電素子組立木(B)を配設することによ
って構成している。
As shown, the actuator (A) is connected to the front and rear walls (a
Cylindrical actuator gauging (C
), and three piezoelectric elements (e) and (f) are mounted concentrically on the outer peripheral surface of one langier (d). (
It is constructed by arranging a piezoelectric element assembly tree (B) consisting of q).

また、図示の実施例において、圧電素子(e)(f)(
(1)は保持具(H)に支持されており、同保持具(旧
は外周部を前壁(a)の端面にボルト(11°)にて固
着されている。
In addition, in the illustrated embodiment, piezoelectric elements (e) (f) (
(1) is supported by a holder (H), the outer peripheral part of which was previously fixed to the end face of the front wall (a) with bolts (11°).

そして、保持具(H)に支持された圧電素子(e)(f
)は内径部に1ランジヤ(d)をクランプするクランプ
(k)(II )を位置させているとともに、中央の圧
電素子((J)の内径部には取付カラー(j)を位置さ
せて、同取付カラーには前記クランプ(k)(J )の
基部(II)(n)を連結している。そして、クランプ
(k)(,1! )の先端部はスリットを設けて適宜数
に分割されている。(p)は圧電素子((])と(f)
との間に設けるクランプ板である。
Then, the piezoelectric elements (e) (f) supported by the holder (H)
) has a clamp (k) (II) for clamping the 1-langeer (d) located on the inner diameter part, and a mounting collar (j) is located on the inner diameter part of the central piezoelectric element ((J). The bases (II) and (n) of the clamps (k) (J) are connected to the mounting collar.The tip of the clamp (k) (,1!) is divided into an appropriate number of parts by providing a slit. (p) is a piezoelectric element ((]) and (f)
This is a clamp plate installed between the

(q)は、圧電素子(e)の基板で、リードワイヤー 
(S)により圧電素子(e)の電極(s−1)と接続し
ている6 (1)は圧電素子((II)の基板で、リードワイヤー
((J)により圧電素子((7)の電極(u−1)と接
続している。
(q) is the substrate of the piezoelectric element (e), and the lead wire
(S) connects it to the electrode (s-1) of the piezoelectric element (e) 6 (1) is the substrate of the piezoelectric element ((II)), and the lead wire ((J) connects it to the piezoelectric element ((7)). It is connected to the electrode (u-1).

mは圧電素子(g)の右端に設ける絶縁リング、(W)
は、圧電素子(f)の基板で、リードワイヤー(×)に
より圧電素子け)の電極(X−1)と接続している。
m is an insulating ring provided at the right end of the piezoelectric element (g), (W)
is the substrate of the piezoelectric element (f), which is connected to the electrode (X-1) of the piezoelectric element by a lead wire (x).

そして、上記各基板(q)(t)(v)には外部リード
線が接続されている。
External lead wires are connected to each of the substrates (q), (t), and (v).

また、クランプ用圧電素子(e)(f)の圧電板(y)
は第3図から第5図に示す如く、両側面の内周縁(7)
に、平坦で、環状の絶縁面(「)を形成して、面取りが
されていない構造となっており、したがって、クランプ
(k)(j )を圧電板の幅員全体(L)で拡縮するも
のである。
In addition, piezoelectric plates (y) of piezoelectric elements (e) and (f) for clamping
As shown in Figures 3 to 5, the inner peripheral edges (7) on both sides
It has a structure in which a flat, annular insulating surface (") is formed on the top of the piezoelectric plate without chamfering, so that the clamp (k) (j) can be expanded or contracted over the entire width (L) of the piezoelectric plate. It is.

次に、各圧電素子(a)(f)(g)の作用及び具体的
構成について説明すると、以下のようになる。
Next, the operation and specific configuration of each piezoelectric element (a), (f), and (g) will be explained as follows.

即ち、圧電素子(elf)は、非通電状態では一定のク
ランプ力Fで1ランジヤ(d)をクランプしており、正
の電圧を印加することによってクランプ力F十αでクラ
ンプすることになり、負の電圧を印加することによりク
ランプ力F−αの力でクランプすることになる。なお、
クランプ力は、F−α≧0とする。即ち、負の電圧が印
加されている場合であってても、圧電素子(e)(f)
は、一定のクランプ力でプランジャ(d)をクランプす
ることになる。
That is, the piezoelectric element (elf) clamps one lange (d) with a constant clamping force F in the non-energized state, and by applying a positive voltage, it clamps with a clamping force F + α, By applying a negative voltage, clamping is performed with a clamping force F-α. In addition,
The clamping force is F-α≧0. That is, even when a negative voltage is applied, the piezoelectric elements (e) (f)
will clamp the plunger (d) with a constant clamping force.

一方、圧電素子(g)は通電状態ではプランジャ(d)
上を軸線方向に伸びた状態にあり、非通電状態では、プ
ランジャ(d)上を縮み、その軸線方向の全長を短くす
ることになる。
On the other hand, when the piezoelectric element (g) is energized, the plunger (d)
The top of the plunger (d) extends in the axial direction, and in a non-energized state, the top of the plunger (d) contracts, shortening its total length in the axial direction.

そして、プランジャ(d)は、かかる3つの圧電素子(
e)ff)(g)への抑圧印加手順を後述する制御装f
 (C)によって制御することにより、軸線方向に移動
することができる。
The plunger (d) then connects these three piezoelectric elements (
e) ff) A control device f whose suppression application procedure to (g) will be described later.
By controlling according to (C), it is possible to move in the axial direction.

圧電素子(e)(f)((1)は、多数の圧電板(y)
をプランジャ(d)の軸芯方向に積層して形成した円筒
状の素子で、円筒の両端に電極が設けられており、この
両端に電圧を印加することにより、伸びるように構成さ
れている。
Piezoelectric elements (e) (f) ((1) is a large number of piezoelectric plates (y)
It is a cylindrical element formed by laminating in the axial direction of the plunger (d). Electrodes are provided at both ends of the cylinder, and it is configured to expand by applying a voltage to both ends.

また、第1図において、(Ill’)はアクチュエータ
(^)の水密性を高めるために設けた摺動抵抗の小さい
U字状又はY字状パツキンである。
Further, in FIG. 1, (Ill') is a U-shaped or Y-shaped packing with low sliding resistance, which is provided to improve the watertightness of the actuator (^).

また、第6図に上記構成を有する圧電アクチュエータ(
^)を制御するための制御装置(C)の構成を示してい
る。図示するように、制御装置(C)は、マイクロプロ
セッサ(R)と、A/D 、 D/^変換器等よりなる
入出力インターフェース(S)(T)と、上記圧電素子
(e)(f)(g)の駆動順序プログラムを記憶したメ
モリ((1)とから構成され、入力インターフェース(
S)を介して制御装置に入力されたアクチュエータ駆動
ボタン(31)からの入力信号に基づき、前記したプロ
グラムにしたがって制御信号を発生し、出力インターフ
ェース(T)を介して、各圧電素子(e)(f)(g)
と接続するように構成している。
In addition, FIG. 6 shows a piezoelectric actuator (
^) shows the configuration of a control device (C) for controlling it. As shown in the figure, the control device (C) includes a microprocessor (R), an input/output interface (S) (T) consisting of an A/D, D/^ converter, etc., and the piezoelectric elements (e) (f). )(g) A memory ((1)) storing the driving order program, and an input interface ((1)).
Based on the input signal from the actuator drive button (31) that is input to the control device via the control device (S), a control signal is generated according to the program described above, and the control signal is transmitted to each piezoelectric element (e) via the output interface (T). (f) (g)
It is configured to connect with.

なお、圧電素子片は、例えば、圧電セラミックスを用い
ることができ、かかる圧電セラミックスとしては、AB
O3ペロブスカイト形の結晶j14 mをもつ強誘電材
料であってPZT(Pb(Zr。
Note that the piezoelectric element piece can be made of, for example, piezoelectric ceramics, and examples of such piezoelectric ceramics include AB
PZT(Pb(Zr.

’I’ i ) 03)系、やPLZT (Pb、La
 (Zr。
'I' i) 03) series, and PLZT (Pb, La
(Zr.

’T”1)Oa)、P’r(Pb’riOa)系、ある
いはPZTを基にした3成分系のものを用いることがで
きる。
'T''1) Oa), P'r (Pb'riOa) type, or a three-component type based on PZT can be used.

また、圧電素子(e)(f)(g)は、多数の薄肉リン
グ状の圧電素子片をプランジャ(d)の軸芯廻りに軸線
方向に積層して形成することもできる。
Moreover, the piezoelectric elements (e), (f), and (g) can also be formed by laminating a large number of thin ring-shaped piezoelectric element pieces in the axial direction around the axis of the plunger (d).

なお、」二記構成において、圧電素子(e)(f)(q
)は、円形断面のみでなく、例えば、矩形断面等とする
こともでき、分割片から形成することもできる。
In addition, in the configuration described in "2", the piezoelectric elements (e) (f) (q
) can have not only a circular cross section but also a rectangular cross section, for example, and can also be formed from divided pieces.

また、プランジャ(d)は、クランプ(kHJ )によ
って多数クランプされるものであるため、線膨張係数が
小さく、硬度、強度、耐クリープ性及び耐掌耗性か大き
く、さらに、加工精度が高いものが望ましく、例えば、
セラミック素材としたものが考えられる。
In addition, since the plunger (d) is clamped in large numbers by clamps (kHJ), it has a small linear expansion coefficient, high hardness, strength, creep resistance, and palm abrasion resistance, and has high processing accuracy. is desirable, for example,
A ceramic material may be considered.

ついで、かかる構成を有する圧電アクチュエータ(八)
によるプランジャ(d)の作動について、第7図〜第9
図を参照して説明する。
Next, a piezoelectric actuator (8) having such a configuration
Regarding the operation of plunger (d) according to Figs. 7 to 9
This will be explained with reference to the figures.

第6図に示すアクチュエータ駆動ボタン(31)を作動
させると、制御装置(C)がメモリ(11)から読み出
した駆動順序プログラムに従って、第7図に示すように
圧電素子(e)に負のパルス状駆動電圧を印加してプラ
ンジャ(d)へのクランプ力をF−αに低減するととも
に、圧電素子(f)に正のパルス状駆動電圧を印加して
クランプ力をF+αに増加して1ランジヤ(d)をクラ
ンプさせる。
When the actuator drive button (31) shown in FIG. 6 is actuated, the control device (C) applies a negative pulse to the piezoelectric element (e) as shown in FIG. 7 according to the drive sequence program read from the memory (11). Applying a pulse-like driving voltage to reduce the clamping force to the plunger (d) to F-α, and applying a positive pulse-like driving voltage to the piezoelectric element (f) to increase the clamping force to F+α to reduce the clamping force to the plunger (d) for one plunger. (d) Clamp.

次に、第8図に示すように、圧電素子((+)へ負のパ
ルス状駆動電圧を印加して縮めると圧電素子((1)は
矢印の方向に移動し、これに件って圧電素子(f)がク
ランプカF十αでクランプするプランジャ(d)も矢印
方向に移動する。
Next, as shown in Fig. 8, when a negative pulse-like driving voltage is applied to the piezoelectric element ((+) and it is contracted, the piezoelectric element ((1)) moves in the direction of the arrow; The plunger (d), which the element (f) clamps with the clamper F1α, also moves in the direction of the arrow.

その後、第9図に示すように、圧電素子(f)に負のパ
ルス状駆動電圧を印加してクランプ力をFαに低減する
とともに、圧電素子(e)に正のパルス状駆動電圧を印
加してクランプ力をF+αに増加してプランジャ(d)
をクランプさせる。そして、圧電素子(g)に正のパル
ス状駆動電圧を印加して伸ばすと圧電素子((J)は矢
印方向に移動する。
Thereafter, as shown in FIG. 9, a negative pulsed drive voltage is applied to the piezoelectric element (f) to reduce the clamping force to Fα, and a positive pulsed drive voltage is applied to the piezoelectric element (e). Increase the clamping force to F+α and press the plunger (d).
to be clamped. Then, when a positive pulse-like driving voltage is applied to the piezoelectric element (g) and the piezoelectric element (J) is stretched, the piezoelectric element (J) moves in the direction of the arrow.

ついで、上記動作を繰り返すことにより、1ランジヤ(
d)を、μlオーダ或いはサブμlオーダのストローク
で尺とり生状に移動することができる。
Next, by repeating the above operation, 1 lunge (
d) can be moved in a linear manner with strokes on the μl order or subμl order.

従って、かかる圧電アクチ、1エータ(^)を後述する
湯水混合装置(0)等にに装着した場合、混合弁を、そ
の開度を微調整しながら開閉することができ、適温制御
を行わせることができる。
Therefore, when such a piezoelectric actuator, 1 eta (^), is attached to a hot water mixing device (0), etc., which will be described later, the mixing valve can be opened and closed while finely adjusting its opening degree, and the temperature can be controlled appropriately. be able to.

また、第10図に本実施例にかかるアクチュエータ(A
)の適用例を示しており、湯水混合栓として機能する自
動開閉弁(D)にかかる圧電アクチュエータ(^)を応
用した例である。
In addition, Fig. 10 shows an actuator (A
) is an example in which a piezoelectric actuator (^) is applied to an automatic on-off valve (D) that functions as a hot water mixing faucet.

第10図において、(10)は円筒状の箱体をなすゲー
ジングであり、同ゲージング(10)は、その−開側壁
に、二つの一側流路(13014)を形成している。
In FIG. 10, (10) is a gauging in the form of a cylindrical box, and the gauging (10) has two one-side channels (13014) formed on its open side wall.

そして、−側流路(13) (14)は湯水混合栓の給
水流路及び給湯流路として機能するものであり、その外
側開口端は、それぞれ給水配管(15)と給湯配管(1
6)と連通している。
The - side flow paths (13) and (14) function as the water supply flow path and the hot water supply flow path for the hot and cold mixer faucet, and their outer open ends are connected to the water supply pipe (15) and the hot water supply pipe (14), respectively.
6).

一方、−側流路(13)(14)の内側開口端は、それ
ぞれケーシング(10)の両端に形成した隔壁(17)
(18)と連通している。
On the other hand, the inner open ends of the − side channels (13) and (14) are connected to partition walls (17) formed at both ends of the casing (10), respectively.
It communicates with (18).

また、ゲージング(10)の他側側壁には、両端開口の
T字状の他側流路(z0)が形成されている。
Further, a T-shaped other side flow path (z0) with openings at both ends is formed on the other side wall of the gauging (10).

そして、かかる他lPl流路(z0)は、湯水混合栓の
混合水流路として機能するものであり、その外側間[1
端は、混合水配管(z1)と連通しており、一方、その
内側二股状開口端は隔壁(17)(18)と連通してい
る。
The other lPl flow path (z0) functions as a mixed water flow path of the hot and cold water mixer faucet, and the outer side [1
The end communicates with the mixing water pipe (z1), while the inner bifurcated open end communicates with the partition walls (17) and (18).

さらに、T字状筒体(19)の内側二股状開口部には、
それぞれ弁W、 (z2)(z3)が設けられており、
同弁座(z2N23)には、ゲージング(10)内を軸
線方向に進退して弁座(z2)(z3)と接離し、内側
二股状開口端を開閉するダイアフラム弁からなる弁体(
z4)(z5)が配設されている。
Furthermore, in the inner bifurcated opening of the T-shaped cylinder (19),
Valves W, (z2) (z3) are provided respectively,
The valve seat (z2N23) has a valve body (made of a diaphragm valve) that moves back and forth in the axial direction within the gauging (10) to come into contact with and separate from the valve seats (z2) and (z3) to open and close the inner bifurcated opening end.
z4) (z5) are provided.

さらに、ケーシング(10)の両端には、それぞれ圧電
アクチュエータ(^)が取付けられている。
Furthermore, piezoelectric actuators (^) are attached to both ends of the casing (10), respectively.

そして、各圧電アクチュエータ(^)は、そのプランジ
ャ(d)の先端を弁体(z4)(z5)の後部と当接自
在となし、弁体(z4)(z5)を開閉自在としている
In each piezoelectric actuator (^), the tip of the plunger (d) can freely come into contact with the rear part of the valve body (z4) (z5), so that the valve body (z4) (z5) can be opened and closed.

なお、第10図において、(30)は他側流路(z0)
内に設けた温度センサであり、混合水の温度を検出し、
検出値を第6図に示すような制御部にフィードバックし
て、検出値に基づいて自動開閉弁の両アクチュエータ(
^)をPID制御等によって作動させ、適温制御を行う
ものである。
In addition, in FIG. 10, (30) is the other side flow path (z0)
This is a temperature sensor installed inside the tank, which detects the temperature of the mixed water.
The detected value is fed back to the control unit as shown in Figure 6, and both actuators of the automatic opening/closing valve are controlled based on the detected value.
^) is operated by PID control etc. to perform appropriate temperature control.

そして、かかる構成を有する自動開閉弁fD)の作動を
、簡単に説明すると、以下の如くなる。
The operation of the automatic on-off valve fD) having such a configuration will be briefly explained as follows.

即ち、温度センサ(30)からの検出値を制御部にフィ
ードバックして、検出値に基づいて自動開閉弁(D)の
両圧電アクチュエータ(^)をそれぞれ別個に作動させ
ると、弁体(z4)(z5)が設定開度で開閉して、−
側流路(13)(14)から他側流路(z0)に流れる
給水量と給湯量を一定の混合割合で混合することができ
る。
That is, when the detected value from the temperature sensor (30) is fed back to the control section and both piezoelectric actuators (^) of the automatic opening/closing valve (D) are actuated separately based on the detected value, the valve body (z4) (z5) opens and closes at the set opening degree, -
The amount of water supplied and the amount of hot water flowing from the side channels (13) and (14) to the other side channel (z0) can be mixed at a constant mixing ratio.

そして、かかる作用において、弁体(z4)(z5)は
圧電アクチュエータ(A)によって作動するようにして
いるので、流量制御をより確実に行うことができ、適温
制御をより確実に行うことができる。
In this action, since the valve bodies (z4) and (z5) are actuated by the piezoelectric actuator (A), flow rate control can be performed more reliably, and appropriate temperature control can be performed more reliably. .

また、上記したようにクランプ用圧電素子の圧電板の両
側面の内周縁に、平坦、かつ、環状の絶縁面を形成した
圧電アクチュエータにより、自動開閉弁の作動が確実で
あるから、弁体による流量制御及び湿度制御が確実に行
われるものである。
In addition, as mentioned above, the piezoelectric actuator has flat and annular insulating surfaces formed on the inner periphery of both sides of the piezoelectric plate of the piezoelectric element for clamping, so that the automatic opening/closing valve can operate reliably. Flow rate control and humidity control are performed reliably.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、本発明に係る圧電アクチュエータの断面側面
図。 第2図、及び第3図は本発明要部の断面側面図。 第4図は、同斜視図。 第5図は、要部拡大断面図。 第6図は、制御装置の構成説明図。 第7図〜第9図はアクチュエータの作動状態説明図。 第10図は上記のアクチュエータを具備した自動開閉弁
の断面側面図。 第11図は、従来型の斜視図。 第12図は、同拡大断面図である。 (八 二アクチュエータ (B :圧電素子組立体 (C:制御装置 (ロ :自動開閉弁 (a :前壁 b :後壁 C:アクチュエータケーシング d ニブランジャ e :圧電素子 f):圧電素子 g):圧電素子 :クランプ ):クランプ :絶縁面 :導電ペースト :圧電板 :内周縁
FIG. 1 is a cross-sectional side view of a piezoelectric actuator according to the present invention. 2 and 3 are cross-sectional side views of essential parts of the present invention. FIG. 4 is a perspective view of the same. FIG. 5 is an enlarged sectional view of main parts. FIG. 6 is an explanatory diagram of the configuration of the control device. FIGS. 7 to 9 are explanatory views of the operating state of the actuator. FIG. 10 is a cross-sectional side view of an automatic on-off valve equipped with the above-mentioned actuator. FIG. 11 is a perspective view of a conventional type. FIG. 12 is an enlarged sectional view of the same. (82 Actuator (B: Piezoelectric element assembly (C: Control device (B): Automatic opening/closing valve (A: Front wall b: Rear wall C: Actuator casing d Nib plunger e: Piezoelectric element f): Piezoelectric element g): Piezoelectric Element: Clamp): Clamp: Insulating surface: Conductive paste: Piezoelectric plate: Inner periphery

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1)クランプ用圧電素子(e)(f)にてプランジャ(
d)をクランプし、かつ、同圧電素子(e)(f)を多
数のリング状圧電板(y)を導電ペースト(P)で接着
して形成した圧電アクチュエータにおいて、 同クランプ用圧電素子(e)(f)の圧電板(y)の両
側面の内周縁(z)に、平坦、かつ、環状の絶縁面(r
)を形成したことを特徴とする圧電アクチュエータ。
[Claims] 1) A plunger (
In a piezoelectric actuator formed by clamping the same piezoelectric elements (e) and (f) and bonding a large number of ring-shaped piezoelectric plates (y) with conductive paste (P), the piezoelectric element for clamping (e ) (f) A flat and annular insulating surface (r
) is formed.
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6115382A (en) * 1984-07-02 1986-01-23 Nec Corp Clamp element

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6115382A (en) * 1984-07-02 1986-01-23 Nec Corp Clamp element

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