JPH01203777A - Automatic opening/closing valve - Google Patents

Automatic opening/closing valve

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Publication number
JPH01203777A
JPH01203777A JP2616788A JP2616788A JPH01203777A JP H01203777 A JPH01203777 A JP H01203777A JP 2616788 A JP2616788 A JP 2616788A JP 2616788 A JP2616788 A JP 2616788A JP H01203777 A JPH01203777 A JP H01203777A
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JP
Japan
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plunger
actuator
valve body
piezoelectric
flow path
Prior art date
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Application number
JP2616788A
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Japanese (ja)
Inventor
Osamu Tsutsui
修 筒井
Kinya Arita
欽也 有田
Atsuo Makita
牧田 厚雄
Ryoichi Tsukada
良一 塚田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toto Ltd
Original Assignee
Toto Ltd
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Publication date
Application filed by Toto Ltd filed Critical Toto Ltd
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  • Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)

Abstract

PURPOSE:To correctly drive the plunger of a continuous drive type actuator for minute distance by forming a contracted diameter top edge part at the top edge of the plunger. CONSTITUTION:Onto one side wall 12b of a casing 10, a piezoelectric actuator A as a form of a continuous drive type actuator for minute distance is installed coaxially with a valve body 16, and the valve body 16 is opened and closed by driving said actuator A. A plunger (d) has a contracted diameter top edge part (q) at the top edge, and the edge surface area of said top edge part (q) is made markedly less than the sectional area of the plunger (d). Therefore, a thrust force which the plunger (d) receives can be minimized, and the piezoelectric actuator A can be correctly driven.

Description

【発明の詳細な説明】 (イ)産業上の利用分野 本発明は、流体の流れを制御する自動開閉弁に関する。[Detailed description of the invention] (b) Industrial application field The present invention relates to an automatic on-off valve that controls fluid flow.

(ロ)従来の技術 従来、かかる自動開閉弁としては各種形態ものが知られ
ており、例えば、ソレノイドを用いた電磁開閉弁や、モ
ータ駆動の電動弁等がある。
(B) Prior Art Conventionally, various types of automatic on-off valves are known, such as electromagnetic on-off valves using solenoids, electric valves driven by motors, and the like.

そして、かかる自動開閉弁は、センサや各種スイッチを
用いて、自動的に作動させることができる。
Such automatic opening/closing valves can be automatically operated using sensors and various switches.

(ハ)発明が解決しようとする問題点 しかし、かかる従来の自動開閉弁は、駆動源がソレノイ
ドやモータであるため、高精度の位置決めを行うことが
できず、流量制御を精密に行うことができなかった。
(c) Problems to be solved by the invention However, since the drive source of such conventional automatic on-off valves is a solenoid or motor, it is not possible to perform highly accurate positioning, and it is difficult to precisely control the flow rate. could not.

本発明は、上記問題点を解決することができる自動開閉
弁を提供することを目的とする。
An object of the present invention is to provide an automatic on-off valve that can solve the above problems.

(ニ)問題点を解決するための手段 本発明は、ケーシングの一側に一側流路を設けるととも
に、他側に他側流路を設け、一側流路を他側流路と連通
し、同連通部に弁体を開閉自在に取付け、同弁体を微小
距離無段階駆動式アクチュエータによって駆動可能とし
、かつ同アクチュエータのプランジャーの先端に、受圧
面積を小さくした縮径先端部を形成したことを特徴とす
る自動開閉弁に係るものである。
(d) Means for solving the problem The present invention provides one side flow path on one side of the casing, and provides the other side flow path on the other side, and communicates the one side flow path with the other side flow path. , the valve body is attached to the communication part so that it can be opened and closed freely, and the valve body can be driven by a minute distance stepless drive type actuator, and the plunger of the actuator has a reduced diameter tip with a reduced pressure receiving area at the tip. This invention relates to an automatic on-off valve characterized by the following features.

なお、ここで、微小距離無段階駆動式アクチュエータと
は、積層式圧電アクチュエータ、圧電バイモルフアクチ
ュエータ、ステンピングリニャモータ、圧電リニヤモー
タ、超音波モータ(回転式)と回転ねじの組み合わせ、
ステッピングモータ(回転式)と回転ねじとの組み合わ
せ等をいう。
In this case, the micro-distance stepless drive actuator refers to a stacked piezoelectric actuator, a piezoelectric bimorph actuator, a stamping linear motor, a piezoelectric linear motor, a combination of an ultrasonic motor (rotary type) and a rotating screw,
A combination of a stepping motor (rotary type) and a rotating screw.

(ホ)作用及び効果 以上述べてきた構成により、本発明は、以下の作用及び
効果を奏する。
(e) Actions and Effects With the configuration described above, the present invention has the following actions and effects.

■微小距離無段階駆動式アクチュエータによって弁体を
駆動可能に構成したので、例えば、μmオーダ或いはサ
ブμmのオーダによって弁体を進退することができ、精
密な流量調整を行うことができる。
(2) Since the valve body is configured to be able to be driven by a micro-distance stepless drive type actuator, the valve body can be moved forward and backward, for example, on the μm order or sub-μm order, and precise flow rate adjustment can be performed.

■微小距離無段階駆動式アクチュエータによって弁体を
駆動可能に構成したので、アクチュエータと弁体との間
に減速機構を介在させなくてもよく、自動開閉弁の全体
構造を著しくコンパクトにすることができる。
■Since the valve body is configured so that it can be driven by a micro-distance stepless drive type actuator, there is no need to interpose a speed reduction mechanism between the actuator and the valve body, and the overall structure of the automatic opening/closing valve can be made significantly more compact. can.

■プランジャの先端に受圧面積を小さくした縮径先端部
を形成したので、プランジャにかかるスラスト力を可及
的に小さくすることができ、プランジャを正確に駆動す
ることができる。従って、自動制御弁の駆動をより正確
かつ精密に行うことができる。
(2) Since a reduced diameter tip with a reduced pressure receiving area is formed at the tip of the plunger, the thrust force applied to the plunger can be made as small as possible, and the plunger can be driven accurately. Therefore, the automatic control valve can be driven more accurately and precisely.

(へ)実施例 以下、添付図に示す実施例に基づいて、本発明を詳説す
る。
(f) Examples The present invention will now be explained in detail based on examples shown in the accompanying drawings.

第1図において、lOは自動開閉弁Cの本体を構成する
5字筒形状のケーシングであり、同ケーシング10は、
内部に一側流路11を形成する流入側管12と、内部に
他側流路13を形成する流出側管14とから構成されて
いる。
In FIG. 1, lO is a 5-shaped cylindrical casing that constitutes the main body of the automatic on-off valve C, and the casing 10 is
It is comprised of an inflow side pipe 12 that forms one side flow path 11 inside, and an outflow side pipe 14 that forms the other side flow path 13 inside.

そして、流入側管12はその上端を端壁12aによって
閉塞するとともに、その一側止部側壁12bに開口15
を設けており、また、同開口15には、ダイヤフラム弁
からなる弁体16が取付けられている。
The upper end of the inflow side pipe 12 is closed by an end wall 12a, and an opening 15 is formed in the one end side wall 12b.
A valve body 16 made of a diaphragm valve is attached to the opening 15.

一方、流出側管14は、その基端側筒状部14aを貫通
して、上記開口15まで伸延しており、その先端を弁体
16に接離自在に当接している。
On the other hand, the outflow side pipe 14 extends through the proximal cylindrical portion 14a to the opening 15, and its distal end abuts the valve body 16 so as to be movable toward and away from the valve body 16.

かかる構成によって、後述する圧電アクチュエータAを
駆動して弁体16を開閉することによって、流入側管1
2内に形成した一側流路11と流出側管14内に形成し
た他側流路13とを連通連結したり遮断することができ
る。
With this configuration, the inflow side pipe 1 is opened and closed by driving the piezoelectric actuator A, which will be described later, to open and close the valve body 16.
One side flow path 11 formed in the outflow side pipe 14 and the other side flow path 13 formed in the outflow side pipe 14 can be connected or disconnected from each other.

なお、一側流路11は、その外側開口端を給水配管17
と連通しており、他側流路13は送水管18と連通して
いる。
Note that the one side flow path 11 has its outer open end connected to the water supply pipe 17.
The other side channel 13 is in communication with the water pipe 18.

また、ケーシング10の一側側壁12bには、弁体16
と同軸的に、微小距離無段階式アクチュエータの一つで
ある圧電アクチュエータAが取付られており、同アクチ
ュエータAを駆動することによって、弁体16を開閉す
ることができる。
Further, a valve body 16 is provided on one side wall 12b of the casing 10.
A piezoelectric actuator A, which is one of the micro-distance stepless actuators, is installed coaxially with the actuator A, and by driving the actuator A, the valve body 16 can be opened and closed.

そして、各圧電アクチュエータAは、本実施例では、第
1図に示すように、前後壁a、bを具備する筒状のアク
チュエータケーシングC内に、同心円的にかつ軸線に沿
って進退自在にプランジャdを取付け、同プランジャd
の先端を弁体16の後部と当接自在となし、さらに、プ
ランジャdの外周面上に、同心円的に、4つの圧電素子
e+Lg+hからなる圧電素子組立体Bを配設すること
によって構成している。
In this embodiment, as shown in FIG. 1, each piezoelectric actuator A has a plunger movable in a cylindrical actuator casing C having front and rear walls a and b, so that it can move back and forth concentrically and along its axis. d and the same plunger d.
The tip of the plunger d can freely come into contact with the rear part of the valve body 16, and a piezoelectric element assembly B consisting of four piezoelectric elements e+Lg+h is arranged concentrically on the outer peripheral surface of the plunger d. There is.

また、図示の実施例において、圧電素子g、hは、アク
チュエータケーシングCの中央部に配設されており、ア
クチュエータケーシングCに基端を固定した保持具Hの
先端に固着されている。
Furthermore, in the illustrated embodiment, the piezoelectric elements g and h are arranged in the center of the actuator casing C, and are fixed to the tip of a holder H whose base end is fixed to the actuator casing C.

また、i、j はその基端を圧電素子g、hに固着する
とともにその先端を前後壁a、bに向けて伸延する片持
ち梁状の弾性ブリッジである。
Further, i and j are cantilever-like elastic bridges whose base ends are fixed to the piezoelectric elements g and h, and whose tips extend toward the front and rear walls a and b.

そして、同弾性ブリッジi、j の先端は、その外周面
に圧電アクチュエータe、fを取付けるとともに、その
内周面に、ブレーキシューに、lを固着している。
Piezoelectric actuators e and f are attached to the outer peripheral surfaces of the tips of the elastic bridges i and j, and l is fixed to the brake shoes on the inner peripheral surfaces thereof.

そして、この圧電素子e、f、g、hは、電源をオフし
た際に縮むように構成されている。
The piezoelectric elements e, f, g, and h are configured to contract when the power is turned off.

即ち、圧電素子elfは、通電状態では伸びてその内径
を拡径してプランジャdのクランプを解除するとともに
、通電していない状態では縮んで内径を縮径してプラン
ジャdをクランプする。
That is, when the piezoelectric element elf is energized, it expands and expands its inner diameter to unclamp the plunger d, and when it is not energized, it contracts and reduces its inner diameter to clamp the plunger d.

一方、圧電素子g、hは、通電状態ではプランジャd上
を軸線方向に伸びた状態にあり、通電していない状態で
は、プランジャd上を軸線方向に縮み、その軸線方向の
全長を短くすることになる。
On the other hand, the piezoelectric elements g and h extend in the axial direction on the plunger d when energized, and when not energized, they contract in the axial direction on the plunger d, shortening the total length in the axial direction. become.

そして、プランジャdは、かかる4つの圧電素子e+f
+gJへの電圧印加手順を後述する制御装置Cによって
制御することにより、軸線方向に移動することができる
Then, the plunger d connects these four piezoelectric elements e+f
It is possible to move in the axial direction by controlling the voltage application procedure to +gJ by a control device C, which will be described later.

圧電素子e、f、g、hは、第1図及び第2図に示すよ
うに、多数の圧電素子片をプランジャdの軸芯方向に積
層して形成した円筒状の素子で、円筒の両端に電極が設
けられており、この両端に電圧を印加することにより、
伸びるように構成されている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the piezoelectric elements e, f, g, and h are cylindrical elements formed by laminating a large number of piezoelectric element pieces in the axial direction of the plunger d. electrodes are provided at the , and by applying a voltage to both ends,
It is configured to stretch.

なお、圧電素子片は、例えば、圧電セラミックスを用い
ることができ、かかる圧電セラミックスとしては、AB
O3ペロブスカイト形の結晶構造をもつ強誘電材料であ
ってPZT (Pb (Zr。
Note that the piezoelectric element piece can be made of, for example, piezoelectric ceramics, and examples of such piezoelectric ceramics include AB
PZT (Pb (Zr.

Tt)03)系、やPLZT (Pb (Zr、Ti)
03 )、PT (PbTiO3)系、あるいはPZT
を基にした3成分系のものを用いることができる。
Tt)03) system, or PLZT (Pb (Zr, Ti)
03), PT (PbTiO3) system, or PZT
A three-component system based on can be used.

また、圧電素子e+ f t L hは、第3図に示す
ように、多数の薄肉リング状の圧電素子片をプランジャ
dの軸芯廻りに軸線方向に積層して形成することもでき
る。この場合、電圧の印加方向を90度変えることにな
る。
The piezoelectric element e+f t L h can also be formed by laminating a large number of thin ring-shaped piezoelectric element pieces in the axial direction around the axis of the plunger d, as shown in FIG. In this case, the direction of voltage application is changed by 90 degrees.

また、第1図において、mはアクチュエータAの水密性
を高めるために設けた摺動抵抗の小さいUパツキンであ
る。
Further, in FIG. 1, m is a U seal with low sliding resistance, which is provided to improve the watertightness of the actuator A.

なお、上記構成において、圧電素子”+LgJは、円形
断面のみでなく、例えば、矩形断面等とすることもでき
、また、第4図及び第5図に示す如く、分割片から形成
することもできる。
In the above configuration, the piezoelectric element "+LgJ" does not have only a circular cross section, but can also have a rectangular cross section, for example, and can also be formed from divided pieces as shown in FIGS. 4 and 5. .

また、プランジャdは、ブレーキシューに、lによって
多数回クランプされるものであるため、線膨張係数が小
さく、硬度、強度、耐クリープ性及び耐摩耗性が大きく
、さらに、加工精度が高いものが望ましく、例えば、セ
ラミック素材としたものが考えられる。
In addition, since the plunger d is clamped to the brake shoe many times by l, it has a small linear expansion coefficient, high hardness, strength, creep resistance, and wear resistance, and has high processing accuracy. Desirably, for example, a ceramic material may be considered.

さらに、本実施例では、圧電アクチュエータAは、その
後壁すの中央であって、プランジャdと対向する個所に
、手動復帰ボタンpを取付けている。そして、同手動復
帰ボタンpは、押圧することによってその前面が前方に
突出してプランジャdの後端に当接し、プランジャdを
圧電素子e、fのクランプ力に抗して前方向に押圧移動
することができる。
Furthermore, in this embodiment, the piezoelectric actuator A has a manual return button p attached to the center of the rear wall at a location facing the plunger d. When the manual return button p is pressed, its front surface projects forward and comes into contact with the rear end of the plunger d, pushing the plunger d forward against the clamping force of the piezoelectric elements e and f. be able to.

従って、停電時等において、プランジャdが自動開閉弁
Bの弁部を開けた状態で停止した場合には、速やかに手
動復帰ボタンpを押して完全に自動開閉弁Cを閉じるこ
とができる。
Therefore, when the plunger d stops with the valve part of the automatic on-off valve B open during a power outage, etc., the automatic on-off valve C can be completely closed by pressing the manual return button p immediately.

また、本実施例では、プランジャdは、その先端に縮径
先端部qを形成しており、同先端部qは、その端面面積
(受圧面積)を、プランジャdの断面積より著しく小さ
いものとしている。
Furthermore, in this embodiment, the plunger d has a diameter-reduced tip q formed at its tip, and the tip q has an end surface area (pressure-receiving area) that is significantly smaller than the cross-sectional area of the plunger d. There is.

なお、縮径先端部qの先端には、弾性体が取付けられて
いる。
Note that an elastic body is attached to the tip of the diameter-reduced tip q.

従って、後述するように弁等に用いた場合、受圧面積を
著しく小さくできるので、プランジャdが受けるスラス
ト力を最小にすることができ、プランジャdの駆動への
スラスト力の影響を最小にすることができ、圧電アクチ
ュエータAの正確な駆動が可能となる。
Therefore, when used in a valve, etc., as described later, the pressure receiving area can be significantly reduced, so the thrust force applied to the plunger d can be minimized, and the influence of the thrust force on the drive of the plunger d can be minimized. This makes it possible to drive the piezoelectric actuator A accurately.

また、プランジャdの段部を、プランジャdが一定距離
前方向に移動した状態(例えば、全閉1或いはそれより
僅かに進んだ位置)で前壁aの後面と当接するようにし
ておけば、プランジャdのそれ以上の前進を規制でき、
過度の前進に起因する開閉弁のダイヤフラム等の損傷を
確実に防止することができる。
Furthermore, if the stepped portion of the plunger d is brought into contact with the rear surface of the front wall a when the plunger d has moved forward a certain distance (for example, at a fully closed position 1 or a position slightly further advanced than that), Further advancement of the plunger d can be restricted,
Damage to the diaphragm, etc. of the on-off valve due to excessive forward movement can be reliably prevented.

また、第6図に、上記圧電アクチュエータAを制御する
ための制御装置Cの構成を示している。
Further, FIG. 6 shows the configuration of a control device C for controlling the piezoelectric actuator A.

図示するように、制御装置Cは、マイクロプロセッサr
と、入出力インターフェースs、tと、上記圧電素子e
1f+Lhの駆動順序プログラムを記憶したメモリUと
から構成される。
As shown, the control device C includes a microprocessor r
, input/output interfaces s and t, and the piezoelectric element e
It is composed of a memory U that stores a drive order program of 1f+Lh.

ついで、かかる構成を有する圧電アクチュエータAによ
るプランジャdの移動について、第7図〜第9図を参照
して説明する。
Next, the movement of the plunger d by the piezoelectric actuator A having such a configuration will be explained with reference to FIGS. 7 to 9.

第6図に示すように、アクチュエータ駆動ボタンVを押
すと、制御装置Cが、メモリUから読み出した駆動順序
プログラムに従って、第7図に示すように、圧電素子e
の電圧の印加を解除してその内径を縮径してプランジャ
dをクランプさせるとともに、圧電素子fに電圧を印加
してその内径を拡径してプランジャdのクランプを解除
する。
As shown in FIG. 6, when the actuator drive button V is pressed, the control device C controls the piezoelectric element e according to the drive order program read out from the memory U, as shown in FIG.
The voltage applied to the piezoelectric element f is removed to reduce its inner diameter to clamp the plunger d, and a voltage is applied to the piezoelectric element f to enlarge its inner diameter to release the clamp on the plunger d.

次に、第8図に示すように、圧電素子g、hに電圧を印
加して伸ばすと、圧電素子e、fが矢印方向に移動し、
これに伴って圧電素子eがクランプするプランジャdも
矢印方向に移動する。
Next, as shown in FIG. 8, when a voltage is applied to the piezoelectric elements g and h to extend them, the piezoelectric elements e and f move in the direction of the arrow.
Along with this, the plunger d clamped by the piezoelectric element e also moves in the direction of the arrow.

その後、第9図に示すように、圧電素子eに電圧を印加
してその内径を拡径してプランジャdのクランプを解除
するととともに、圧電素子g+FlO印加電圧を解除す
ると、圧電素子g+11は矢印方向に縮み、プランジャ
dはさらに矢印方向に伸びる。
Thereafter, as shown in FIG. 9, when a voltage is applied to the piezoelectric element e to expand its inner diameter and the clamp of the plunger d is released, and when the voltage applied to the piezoelectric element g+FLO is released, the piezoelectric element g+11 moves in the direction of the arrow. , and the plunger d further extends in the direction of the arrow.

その後、上記動作を繰り返すことにより、プランジャd
を、μmオーダ或いはサブμmオーダのストロークで尺
とり生状に移動することができ、各種装置や機械等の精
密に動作させることができる。
After that, by repeating the above operation, plunger d
can be moved in a linear manner with a stroke on the μm order or sub-μm order, and various devices and machines can be operated precisely.

しかして、本実施例では、上述したように、圧電アクチ
ュエータAのプランジャdは、その先端に縮径先端部q
を形成しているので、プランジャdが受けるスラスト力
を最小にすることができ、プランジャdの駆動へのスラ
スト力の影響を最小にすることができ、圧電アクチュエ
ータAの正確な駆動が可能となる。
In this embodiment, as described above, the plunger d of the piezoelectric actuator A has a reduced diameter tip q at its tip.
, the thrust force applied to the plunger d can be minimized, and the influence of the thrust force on the drive of the plunger d can be minimized, making it possible to accurately drive the piezoelectric actuator A. .

ついで、上記構成を有する自動開閉弁りの作動を、第1
図を参照して説明する。
Next, the automatic opening/closing valve having the above configuration is operated by the first
This will be explained with reference to the figures.

即ち、所望の制御部または操作部を作動して、自動開閉
弁の圧電アクチュエータAを作動させると、弁体16が
設定開度で開閉して、一側流路11から他側流路13へ
設定流量の流体を流すことになる。
That is, when a desired control section or operation section is activated to operate the piezoelectric actuator A of the automatic opening/closing valve, the valve body 16 opens and closes at the set opening degree, and the flow from one side flow path 11 to the other side flow path 13 is performed. Fluid will flow at the set flow rate.

そして、かかる作用において、本実施例においては、弁
体16は圧電アクチュエータAによって作動するように
しているので、流量制御を確実かつ精密に行うことがで
きる。
In this embodiment, since the valve body 16 is operated by the piezoelectric actuator A, the flow rate can be controlled reliably and precisely.

さらに、本実施例では、上述したように、圧電アクチュ
エータAのプランジャdは、その先端に縮径先端部qを
形成しているので、圧電アクチュエータAの正確な駆動
が可能となり、流量制御をさらに確実かつ精密に行うこ
とができる。
Furthermore, in this embodiment, as described above, the plunger d of the piezoelectric actuator A has the diameter-reduced tip q formed at its tip, so that the piezoelectric actuator A can be driven accurately and the flow rate can be further controlled. It can be done reliably and precisely.

以上述べてきた如く、本実施例は、以下の作用及び効果
を奏する。
As described above, this embodiment has the following functions and effects.

■圧電アクチュエータAによって弁体20を駆動可能に
構成したので、電圧の印加回数に応じて、μmオーダ或
いはサブμmのオーダによって弁体20を進退すること
ができ、精密な流量調整を行うことができる。
■Since the valve body 20 is configured to be driven by the piezoelectric actuator A, the valve body 20 can be moved forward or backward on the μm order or sub-μm order depending on the number of voltage applications, making it possible to perform precise flow rate adjustment. can.

■圧電アクチュエータAによって弁体20を駆動可能に
構成したので、アクチュエータAと弁体20との間に減
速機構を介在させなくてもよ(、自動開閉弁の全体構造
を著しくゴンパクトにすることができる。
■Since the valve body 20 is configured to be driven by the piezoelectric actuator A, there is no need to interpose a speed reduction mechanism between the actuator A and the valve body 20 (and the overall structure of the automatic opening/closing valve can be made extremely compact). can.

■圧電アクチュエータAのプランジャdは、その先端に
縮径先端部pを形成しているので、水圧等を受ける受圧
面積を小さくでき、圧電アクチュエータAの正確な駆動
が可能となり、流量制御をさらに確実かつ精密に行うこ
とができる。
■Plunger d of piezoelectric actuator A has a diameter-reduced tip p at its tip, so the pressure-receiving area that receives water pressure etc. can be reduced, enabling accurate drive of piezoelectric actuator A, and more reliable flow control. And it can be done precisely.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明に係る自動開閉弁の内部構造を示す断面
側面図、第2図は第1図II線による横断面図、第3図
〜第5図は他の実施例に係る圧電素子の横断面図、第6
図は制御装置の構成説明図、第7図〜第9図は圧電アク
チュエータの作動状!:、説明図である。 図中、 A:圧電アクチュエータ B:圧電素子組立体 C:自動開閉弁 10:ケーシング    11ニー側流路13:他側流
路     16:弁体 dニブランジャ q:縮径先端部 特許出願人   東陶機器株式会社
FIG. 1 is a cross-sectional side view showing the internal structure of an automatic on-off valve according to the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line II in FIG. 1, and FIGS. 3 to 5 are piezoelectric elements according to other embodiments. Cross-sectional view of, No. 6
The figure is an explanatory diagram of the configuration of the control device, and Figures 7 to 9 are the operating states of the piezoelectric actuator! :, is an explanatory diagram. In the figure, A: Piezoelectric actuator B: Piezoelectric element assembly C: Automatic opening/closing valve 10: Casing 11 Knee side flow path 13: Other side flow path 16: Valve body d Ni plunger q: Diameter reducing tip Patent applicant Toto Kiki Co., Ltd.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1、ケーシング(10)の一側に一側流路(11)を設
けるとともに他側に他側流路(13)を設け、一側流路
(11)を他側流路(13)と連通し、同連通部に弁体
(16)を開閉自在に取付け、同弁体(16)を微小距
離無段階駆動式アクチュエータによって駆動可能とし、
かつ同アクチュエータのプランジャー(d)の先端に、
受圧面積を小さくした縮径先端部(q)を形成したこと
を特徴とする自動開閉弁。
1. One side flow path (11) is provided on one side of the casing (10), and the other side flow path (13) is provided on the other side, and the one side flow path (11) is communicated with the other side flow path (13). A valve body (16) is attached to the communication portion so as to be openable and closable, and the valve body (16) can be driven by a minute distance stepless drive type actuator.
And at the tip of the plunger (d) of the actuator,
An automatic on-off valve characterized by having a reduced diameter tip (q) with a reduced pressure receiving area.
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