JPH01195414A - Mirror vibrator - Google Patents
Mirror vibratorInfo
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- 210000003041 ligament Anatomy 0.000 claims abstract description 41
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 239000011034 rock crystal Substances 0.000 abstract 2
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 6
- 108091008695 photoreceptors Proteins 0.000 description 5
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Laser Beam Printer (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
- Fax Reproducing Arrangements (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（１）産業上の利用分野
本発明は、ファクシミｌハ複写機、プリンター等の画像
形成装置に適した画像形成装置に関し、特に光ビーム偏
向器で偏向されたレーザービームによって感光体への書
込みを行う画像形成装置に最適な画像形成装置に関する
。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (1) Industrial Application Field The present invention relates to an image forming apparatus suitable for image forming apparatuses such as facsimile copiers and printers, and particularly relates to an image forming apparatus that uses a laser beam deflected by a light beam deflector. The present invention relates to an image forming apparatus that is most suitable for an image forming apparatus that performs writing on a photoreceptor.
（２）従来の技術
フックシミ１ハ複写機、プリンター等の画像形成装置と
して、レーザービームによる感光体への書込みが行われ
るようになってきている。このような画像形成装置にお
いて、レーザービームを偏向する光偏向器には、従来よ
り、回転多面鏡やミラー振動子等が用いられている。近
時においては、小型化、低騒音化、低価格化
等の要請から、幾多のｆｆ題を解決しながらミラー振動
子が多用されるようになってきている。このミラー振動
子には、水晶等を素材とする０、１〜０．５ｍｍ程度の
薄い絶縁基板が用いられるのが一般的である。(2) Prior Art Hook Stain 1C In image forming apparatuses such as copiers and printers, writing on photoreceptors using laser beams has come to be performed. In such an image forming apparatus, a rotating polygon mirror, a mirror oscillator, or the like has conventionally been used as an optical deflector for deflecting a laser beam. In recent years, mirror resonators have come into widespread use while solving numerous FF problems due to demands for smaller size, lower noise, lower cost, and the like. This mirror resonator generally uses a thin insulating substrate made of crystal or the like and having a thickness of about 0.1 to 0.5 mm.
（３）発明が解決しようとする課題
上述のごとく、ミラー振動子には０． １〜０゜５ｍｍ
程度の薄い水晶基板が用いられていることが原因となっ
て、ミラー振動子は外部からの振動に非常に弱いという
問題がある。特に、感光体を回転駆動するモニターや、
原稿を読み取る走査光学系を駆動するモーター等を有す
る複写機にミラー振動子を用いた場合には、これらのモ
ーター等からの振動がミラー振動子に伝わることによっ
て、感光体に書込む位置がずれたり、ビーム径が変動し
てボケの原因になったりする。そのため、解像度やコン
トラストが低下して、画像品質を劣化させるという問題
点がある。(3) Problems to be Solved by the Invention As mentioned above, the mirror oscillator has 0. 1~0゜5mm
The mirror resonator has a problem in that it is extremely susceptible to external vibrations due to the use of a relatively thin crystal substrate. In particular, monitors that rotate photoreceptors,
When a mirror oscillator is used in a copying machine that has a motor etc. that drives the scanning optical system that reads the original, the vibrations from these motors etc. are transmitted to the mirror oscillator, causing the writing position on the photoreceptor to shift. Or the beam diameter may fluctuate, causing blur. Therefore, there is a problem that the resolution and contrast are lowered and the image quality is deteriorated.
耐震性を考慮して、ミラー振動子にある程度厚い水晶基
板を用いた場合には、耐震性が良くなったとしても、ミ
ラー振動子の固有振動数が上がってしまい、所定の固有
振動数が得られなくなる不都合がある。If a somewhat thick crystal substrate is used for the mirror resonator in consideration of earthquake resistance, even if the earthquake resistance is improved, the natural frequency of the mirror resonator will increase, making it difficult to obtain the specified natural frequency. There is an inconvenience that you will not be able to do it.
（４）課題を解決するための手段
本発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、充分に渾
い水晶基板等の基板を用いながら耐震性を向上させるこ
とを目的とし、この目的を達成するために、光ビームを
偏向する反射ミラーと、反射ミラーを回転振動させる駆
動コイルと、反射ミラーの回転振動を支持する第１のリ
ガメントと、駆動コイルの回転振動を支持する第２のリ
ガメントとを設け、第１のリガメントと第２のリガメン
トは、その幅が異なるように構成されている。(4) Means for Solving the Problems The present invention has been made in view of the above points, and aims to improve seismic resistance while using a substrate such as a sufficiently rounded crystal substrate. To achieve this, a reflecting mirror for deflecting a light beam, a driving coil for rotationally oscillating the reflecting mirror, a first ligament for supporting the rotational oscillation of the reflecting mirror, and a second ligament for supporting the rotational oscillation for the driving coil are used. The first ligament and the second ligament are configured to have different widths.
（５）実施例 以下、本発明を図面に基づいて説明する。(5) Examples Hereinafter, the present invention will be explained based on the drawings.
第１図は、本発明によるミラー振動子の一実施例を示す
図である。FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of a mirror oscillator according to the present invention.
このようなミラー振動子には、第１図に示すようなミラ
ー振動子３１０が使用される。A mirror oscillator 310 as shown in FIG. 1 is used as such a mirror oscillator.
第１図において、ミラー振動子１は、はぼ長方形状をな
す縦長のフレーム７を有し、そのほぼ中央部に駆動コイ
ル５が設けられる。そして、その上方部に反射ミラー４
が形成され、この反射ミラー４の上方と、フレーム７と
の間には、回転支持棒として機能するリガメント６ａが
フレーム７と一体に形成されている。駆動コイル５の下
方にも、リガメント６ｂがフレーム３１５と一体に形成
されている。In FIG. 1, a mirror vibrator 1 has a vertically elongated frame 7 having a substantially rectangular shape, and a drive coil 5 is provided approximately at the center thereof. And a reflection mirror 4 is placed above it.
A ligament 6a functioning as a rotation support rod is formed integrally with the frame 7 between the upper part of the reflecting mirror 4 and the frame 7. Also below the drive coil 5, a ligament 6b is formed integrally with the frame 315.
リガメント６ａおよび・６ｂは、後述するようにミラー
振動子１を製造する際に、リガメント６ａがリガメント
６ｂよりも幅が細くなるように形成される。反射ミラー
４と駆動コイル５は、その重量や回転モーメントのほと
んどがリガメン）６ｂによって支えられ、リガメント６
ａはミラー振動子ｌに外部から伝わる振動から反射ミラ
ー４と駆動コイル５を支えるだけなので、リガメント６
ｂよりは幅が細く作成されている。The ligaments 6a and 6b are formed so that the width of the ligament 6a is narrower than that of the ligament 6b when manufacturing the mirror resonator 1 as described later. Most of the weight and rotational moment of the reflecting mirror 4 and drive coil 5 are supported by the ligament 6b.
Since a only supports the reflecting mirror 4 and the drive coil 5 from vibrations transmitted to the mirror oscillator l from the outside, the ligament 6
The width is narrower than b.
このようにミラー振動子ｌは、駆動コイル５、反射ミラ
ー４、回転支持用のリガメン）６ａおよび６ｂが一体と
して構成されたものである。In this way, the mirror oscillator 1 is constructed by integrating the driving coil 5, the reflecting mirror 4, and the rotating supporting members 6a and 6b.
ミラー振動子ｌの材料としては、異方性エツチングが可
能な水晶やシリコン等が使用される。水晶板を加工して
ミラー振動子１を形成する場合、その加工手段は通常、
フォトリゾグラフィーとエツチング技術が応用され、こ
れによって微細加工が可能になる。このエツチング加工
等におけるマスクは、リガメント６ａが、リガメント６
ｂよりも幅が細くなるように描かれ、これによってリガ
メント６ａがリガメント６ｂよりも幅が細くなるように
形成される。エツチング加工されたミラー振動子１０表
面は、電気的な抵抗を下げるために、通常銀メツキが施
される。As the material of the mirror oscillator 1, quartz, silicon, or the like, which can be anisotropically etched, is used. When forming the mirror resonator 1 by processing a crystal plate, the processing means is usually
Photolithography and etching techniques are applied, which enable microfabrication. In the mask used in this etching process, the ligament 6a is
The ligament 6a is drawn to have a narrower width than the ligament 6b. The etched surface of the mirror resonator 10 is usually silver plated to reduce electrical resistance.
また、特に光源として半導体レーザーを使用する場合、
反射ミラー４にはその反射率を上げるために、金、銅、
又はアルミ等のメツキ処理が施される。さらに、反射ミ
ラー４０表面の傷や、酸化を防ぐため、メツキ処理後の
表面にＳｉＯ又は５ｉ０２等の保護膜をコーティングす
ることもてきる。Also, especially when using a semiconductor laser as a light source,
In order to increase the reflectance of the reflective mirror 4, gold, copper,
Or plated with aluminum etc. Furthermore, in order to prevent scratches and oxidation on the surface of the reflective mirror 40, the surface after plating may be coated with a protective film such as SiO or 5i02.
ミラー振動子１は、第２図に示すようにして光ビーム偏
向器１３を構成する。The mirror oscillator 1 constitutes a light beam deflector 13 as shown in FIG.
第２図において、ミラー振動子１は、断面がほぼ馬蹄形
の固定部材２の中央部において、Ｌ字状部材３に載置さ
れている。馬蹄形の固定部材２は、図外の円筒状ケーシ
ングによって覆われ、トナー等の塵埃や周辺の空気流の
乱れによって、ミラー振動子ｌが悪影雷を受けないよう
にしている。In FIG. 2, the mirror vibrator 1 is placed on an L-shaped member 3 at the center of a fixing member 2 whose cross section is substantially horseshoe-shaped. The horseshoe-shaped fixing member 2 is covered by a cylindrical casing (not shown) to prevent the mirror vibrator l from being exposed to negative lightning due to dust such as toner or disturbances in the surrounding air flow.
ミラー振動子ｌは、上述したように反射ミラー４、駆動
コイル５、リガメント６、フレーム７によって構成され
、反射ミラー４および駆動コイル５がリガメント６によ
ってフレーム７に固定されている。フレーム７は、その
下側水平部がＬ字状部材３に載置されると共に、左側垂
直部がブロック部材８に貼着され、ブロック部材８が更
にＬ字状部材３の垂直部に貼着されることによってＬ字
状部材３に固定されている。なお、ブロック部材８とＬ
字状部材３は、一体に形成することもできる。As described above, the mirror vibrator 1 is composed of the reflecting mirror 4, the driving coil 5, the ligament 6, and the frame 7, and the reflecting mirror 4 and the driving coil 5 are fixed to the frame 7 by the ligament 6. The lower horizontal part of the frame 7 is placed on the L-shaped member 3, and the left vertical part is attached to the block member 8, and the block member 8 is further attached to the vertical part of the L-shaped member 3. It is fixed to the L-shaped member 3 by being fixed to the L-shaped member 3. In addition, block member 8 and L
The character-shaped member 3 can also be formed in one piece.
ミラー振動子１は、固定部材２の内周面に設けられた励
磁用永久磁石１０および励磁用永久磁石１１によって形
成される直流磁界中に置かれる。The mirror vibrator 1 is placed in a DC magnetic field formed by an excitation permanent magnet 10 and an excitation permanent magnet 11 provided on the inner peripheral surface of the fixed member 2.
駆動コイル５に外部から駆動電流が供給されると、駆動
コイル５にリガメント６を中心とするねじりトルクが発
生し、連結されている反射ミラー４が往復回動する。こ
の反射ミラー４の往復回動の周期は、駆動コイル５に供
給される駆動電流の周波数によって定まり、また撮れ角
は駆動電流の振幅によって定まる。そこでレーザービー
ムな第２図の右下方向からから反射ミラー４に照射する
ことで、第３図で後述するようにしてレーザービームの
偏向が行われる。When a drive current is supplied to the drive coil 5 from the outside, a torsion torque is generated in the drive coil 5 around the ligament 6, and the connected reflecting mirror 4 rotates back and forth. The period of the reciprocating rotation of the reflecting mirror 4 is determined by the frequency of the drive current supplied to the drive coil 5, and the photographing angle is determined by the amplitude of the drive current. Therefore, by irradiating the reflection mirror 4 with a laser beam from the lower right direction in FIG. 2, the laser beam is deflected as will be described later with reference to FIG.
ミラー振動子１を固定するＬ字状部材３は、その水平部
が固定部材２に接着されると共に、垂直部がブロック部
材９を介して固定部材２に接着されいる。The L-shaped member 3 for fixing the mirror vibrator 1 has its horizontal portion bonded to the fixing member 2 and its vertical portion bonded to the fixing member 2 via the block member 9.
第２図で説明した光ビーム偏向器１３は、第３図に示す
ようにして他の光学部品と配列される。The light beam deflector 13 described in FIG. 2 is arranged with other optical components as shown in FIG.
第３図は、第２図に示す光ビーム偏向器１３を複写機に
用いた場合の光学部品の配列を示す平面図である。FIG. 3 is a plan view showing the arrangement of optical components when the light beam deflector 13 shown in FIG. 2 is used in a copying machine.
第３図において、半導体レーザー１４から出射されたレ
ーザービームは、コリメーターレンズ１５てビーム形状
の補正が行われた後に、シリンドリカルレンズ１６およ
び反射ミラー１７を介して光ビーム偏向器１３の反射ミ
ラー４に照射される。In FIG. 3, the laser beam emitted from the semiconductor laser 14 is corrected in beam shape by the collimator lens 15, and then passes through the cylindrical lens 16 and the reflection mirror 17 to the reflection mirror 4 of the light beam deflector 13. is irradiated.
反射ミラー４は、第２図で説明したようにしてレーザー
ビームの偏向を行う。反射ミラー４で偏向されたレーザ
ービームは、走査用レンズ１８およびシリンドリカルレ
ンズ１９を介して感光体ドラム２０に照射される。Reflection mirror 4 deflects the laser beam as explained in FIG. The laser beam deflected by the reflection mirror 4 is irradiated onto the photosensitive drum 20 via the scanning lens 18 and the cylindrical lens 19 .
シリンドリカルレンズ１６およびシリンドリカルレンズ
１９は、反射ミラー４に上下方向のあおりがある場合に
、そのあおりを補正するために使用されているが、あお
りが小さいときには省略することかできる。また、走査
用レンズ１８は、レーザービームを等速走査して感光体
ドラム２０の表面の正しい位置に結像させる目的で使用
されている。この走査用レンズ１８の代わりに、第２図
に示した駆動コイル５に供給する駆動電流の波形を制御
するようにして、走査用レンズ１８を省略することもで
きる。The cylindrical lens 16 and the cylindrical lens 19 are used to correct vertical tilting of the reflecting mirror 4, but can be omitted when the tilting is small. Further, the scanning lens 18 is used for the purpose of scanning the laser beam at a constant speed to form an image at a correct position on the surface of the photoreceptor drum 20. Instead of this scanning lens 18, the scanning lens 18 can be omitted by controlling the waveform of the drive current supplied to the drive coil 5 shown in FIG.
なお、第３図におけるインデックスセンサー２１および
反射ミラー２２は、反射ミラー４で偏向されたレーザー
ビームが反射ミラー２２で反射されてインデックスセン
サー２１に照射されたことを検出して、走査開始や走査
終了のタイミングを検出するようにしている。Note that the index sensor 21 and the reflecting mirror 22 in FIG. 3 detect that the laser beam deflected by the reflecting mirror 4 is reflected by the reflecting mirror 22 and irradiated to the index sensor 21, and start or end scanning. I am trying to detect the timing of this.
以上、本発明を実施例により説明したが、本発明の技術
的思想によれば、種々の変形が可能である。例えば、実
施例では反射ミラー４の上側にあるリガメント６ａがリ
ガメント６ｂよりも幅が細いものとして説明したが、逆
に、駆動コイル５の下側にあるリガメント６ｂの幅がリ
ガメント６ａより細くなるようにもできる。この場合に
は、反射ミラー４と駆動コイル５は、その重量や回転モ
ーメントのほとんどがリガメント６ａによって支えられ
、リガメント６ｂはミラー振動子ｌに外部から伝わる撮
動から反射ミラー４と駆動コイル５を支えるだけの役割
を果たす。Although the present invention has been described above using examples, various modifications are possible according to the technical idea of the present invention. For example, in the embodiment, the width of the ligament 6a above the reflecting mirror 4 is narrower than that of the ligament 6b, but conversely, the width of the ligament 6b below the drive coil 5 is narrower than that of the ligament 6a. It can also be done. In this case, most of the weight and rotational moment of the reflecting mirror 4 and the driving coil 5 are supported by the ligament 6a, and the ligament 6b supports the reflecting mirror 4 and the driving coil 5 from the imaging transmitted from the outside to the mirror oscillator l. It plays a supporting role.
（６）発明の効果
以上で説明したように、本発明は、光ビームを偏向する
反射ミラーと、反射ミラーを回転振動させる駆動コイル
と、反射ミラーの回転振動を支持する第１のリガメント
と、駆動コイルの回転振動を支持する第２のリガメント
とを設け、第１のリガメントと第２のリガメントは、そ
の幅が異なるように構成したので、充分に薄い水晶基板
等の基板を用いながら耐震性を向上させることが可能と
なる。(6) Effects of the Invention As explained above, the present invention includes a reflecting mirror that deflects a light beam, a drive coil that rotationally oscillates the reflecting mirror, a first ligament that supports the rotational oscillation of the reflecting mirror, A second ligament is provided to support the rotational vibration of the drive coil, and the first ligament and the second ligament are configured to have different widths, so that earthquake resistance can be achieved while using a sufficiently thin substrate such as a crystal substrate. It becomes possible to improve the
第１図は、本発明によるミラー振動子の一実施例を示す
正面図、
第２図は、第１図に示すミラー振動子を光ビーム偏向器
に用いた実施例を示す斜視図、第３図は、第２図に示す
光ビーム偏向器を複写機に用いた場合の光学部品の配列
を示す平面図である。
ｌ ・・・・ミラー振動子
２・・・・固定部材
３・・・・Ｌ字状部材。
４ ・・・・反射ミラー
５・・・◆駆動コイル
６ａ・・・リガメント
６ｂ・φ・リガメント
７ 命命・会フレーム
８ ・・・・ブロック部材
９ ・・・・ブロック部材
１０・・・・励磁用永久磁石
１１ ・・・・励磁用永久磁石FIG. 1 is a front view showing an embodiment of a mirror oscillator according to the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing an embodiment in which the mirror oscillator shown in FIG. 1 is used as a light beam deflector, and FIG. This figure is a plan view showing the arrangement of optical components when the light beam deflector shown in FIG. 2 is used in a copying machine. l...Mirror vibrator 2...Fixing member 3...L-shaped member. 4...Reflection mirror 5...◆Drive coil 6a...Ligament 6b, φ, Ligament 7 Life frame 8...Block member 9...Block member 10...Excitation Permanent magnet 11: Permanent magnet for excitation
Claims (1)
振動させる駆動コイルと、前記反射ミラーの回転振動を
支持する第１のリガメントと、前記駆動コイルの回転振
動を支持する第２のリガメントとを有し、前記第１のリ
ガメントと前記第２のリガメントは、その幅が異なるこ
とを特徴とするミラー振動子。A reflecting mirror that deflects a light beam, a driving coil that rotationally vibrates the reflecting mirror, a first ligament that supports the rotational vibration of the reflecting mirror, and a second ligament that supports the rotational vibration of the driving coil. A mirror vibrator comprising: the first ligament and the second ligament having different widths.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63019815A JPH01195414A (en) | 1988-01-30 | 1988-01-30 | Mirror vibrator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63019815A JPH01195414A (en) | 1988-01-30 | 1988-01-30 | Mirror vibrator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01195414A true JPH01195414A (en) | 1989-08-07 |
Family
ID=12009820
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63019815A Pending JPH01195414A (en) | 1988-01-30 | 1988-01-30 | Mirror vibrator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01195414A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6122089A (en) * | 1997-12-09 | 2000-09-19 | Olympus Optical Co., Ltd. | Optical deflector comprising a movable member having a high rigidity and a reduced moment of inertia and a method for producing the same |
| EP1207416A1 (en) * | 2000-11-20 | 2002-05-22 | Olympus Optical Co., Ltd. | Optical deflector |
| JP2010002926A (en) * | 1997-12-09 | 2010-01-07 | Olympus Corp | Method for producing optical deflector |
| WO2013005527A1 (en) * | 2011-07-06 | 2013-01-10 | 日本電気株式会社 | Optical scanning apparatus, image display apparatus, and optical scanning method |
-
1988
- 1988-01-30 JP JP63019815A patent/JPH01195414A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6122089A (en) * | 1997-12-09 | 2000-09-19 | Olympus Optical Co., Ltd. | Optical deflector comprising a movable member having a high rigidity and a reduced moment of inertia and a method for producing the same |
| JP2010002926A (en) * | 1997-12-09 | 2010-01-07 | Olympus Corp | Method for producing optical deflector |
| EP1207416A1 (en) * | 2000-11-20 | 2002-05-22 | Olympus Optical Co., Ltd. | Optical deflector |
| WO2013005527A1 (en) * | 2011-07-06 | 2013-01-10 | 日本電気株式会社 | Optical scanning apparatus, image display apparatus, and optical scanning method |
| CN103582840A (en) * | 2011-07-06 | 2014-02-12 | 日本电气株式会社 | Optical scanning apparatus, image display apparatus, and optical scanning method |
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