JPH01187455A - 金属の有孔度検出方法 - Google Patents
金属の有孔度検出方法Info
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- JPH01187455A JPH01187455A JP63013226A JP1322688A JPH01187455A JP H01187455 A JPH01187455 A JP H01187455A JP 63013226 A JP63013226 A JP 63013226A JP 1322688 A JP1322688 A JP 1322688A JP H01187455 A JPH01187455 A JP H01187455A
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- Image Analysis (AREA)
- Investigating And Analyzing Materials By Characteristic Methods (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明は超硬合金等の金属における巣、ピンホール等
の光学的な検出方法に関するものである。
の光学的な検出方法に関するものである。
〈従来の技術とその課題〉
超硬合金例えばＷＣ−Ｃｏはプリント配線板に孔をあけ
る超硬ドリルの素材として使用されている。
る超硬ドリルの素材として使用されている。
近年、電子機器の普及とともにプリント配線板の需要が
急増し、さらに電子機器の小型化のニーズに対応してプ
リント配線板の高密度化、多層化が急速に進んでいる。
急増し、さらに電子機器の小型化のニーズに対応してプ
リント配線板の高密度化、多層化が急速に進んでいる。
この高密度化を達成するために回路の細線化と同時に孔
の小径化も進み、従って孔あけ工具である超硬ドリルは
細く長く、低剛性工具化の傾向が著しい。
の小径化も進み、従って孔あけ工具である超硬ドリルは
細く長く、低剛性工具化の傾向が著しい。
しかしながら、この超硬ドリルの素材である超硬合金に
は組織上の欠陥としてピンホールや巣が存在しており、
このピンホールや巣に応力が集中して働いて破壊してし
まうという欠点がある。
は組織上の欠陥としてピンホールや巣が存在しており、
このピンホールや巣に応力が集中して働いて破壊してし
まうという欠点がある。
しかして従来、この神業やピンホール等の欠陥の探索と
しては顕微鏡による観察が最も一般的な方法として実施
されている。
しては顕微鏡による観察が最も一般的な方法として実施
されている。
しかしながら、このような微視的な顕微鏡観察で全容を
推定するには視野数を充分多くすることが必要であるが
、微少巣の検出の信頼性が低いこと、観察する人によっ
て差が太き１こと、能率が悪いこと、などの多くの問題
が指摘されている。
推定するには視野数を充分多くすることが必要であるが
、微少巣の検出の信頼性が低いこと、観察する人によっ
て差が太き１こと、能率が悪いこと、などの多くの問題
が指摘されている。
〈課題を解決づるための手段〉
本発明者らは上記の問題点に鑑みて検討の結果、超硬■
具協会規格ＣＩ ３００６Ｂ−１９８３による超硬合金
の有孔度分類標準に規定されているＡ形およびＢ形の巣
の検出については高速画像処理にて実施しうろことを提
案した。
具協会規格ＣＩ ３００６Ｂ−１９８３による超硬合金
の有孔度分類標準に規定されているＡ形およびＢ形の巣
の検出については高速画像処理にて実施しうろことを提
案した。
本発明者らはさらにこの検討を進め、Ｃｌ８００６Ｂ
−１９８３のＣ形の巣、即ち遊離炭素に起因する巣をＡ
形およびＢ形の巣と分離して検出する方法について検討
した結果、従来高熟練者の光学顕微鏡観察に頼っていた
冶金組織情報を画像処理によりデジタル情報として得る
ことに成功したものである。 即ち、この発明は超硬合
金等の金属の有孔度を検出するに当り、該金属試料を顕
微鏡にて観察してこれを該顕微鏡と連接するテレビカメ
ラにて画像として捉え、該画像を画像解析装置に入力し
て特性値を解析し、得られた結果をデータ処理して金属
の有孔度を検出する方法である。
−１９８３のＣ形の巣、即ち遊離炭素に起因する巣をＡ
形およびＢ形の巣と分離して検出する方法について検討
した結果、従来高熟練者の光学顕微鏡観察に頼っていた
冶金組織情報を画像処理によりデジタル情報として得る
ことに成功したものである。 即ち、この発明は超硬合
金等の金属の有孔度を検出するに当り、該金属試料を顕
微鏡にて観察してこれを該顕微鏡と連接するテレビカメ
ラにて画像として捉え、該画像を画像解析装置に入力し
て特性値を解析し、得られた結果をデータ処理して金属
の有孔度を検出する方法である。
（実施例〉
この発明の検出方法をそれを実施するに使用する装置の
フローシートを示す図面により説明する。
フローシートを示す図面により説明する。
図において１は必要なプログラムや情報を入力しである
画像解析装置であって、多くの情報を持つ画像の中から
必要なものだけを選択し、解析する部位であり、この装
置１内にモニターが組込まれている。
画像解析装置であって、多くの情報を持つ画像の中から
必要なものだけを選択し、解析する部位であり、この装
置１内にモニターが組込まれている。
２は光学顕微鏡であって、この顕微鏡２による画像は連
動するテレビカメラ３に写され、１の画像解析装置に送
られる。ざらに該装＠１からパーソナルコンピュータ４
に送られて解析処理される。
動するテレビカメラ３に写され、１の画像解析装置に送
られる。ざらに該装＠１からパーソナルコンピュータ４
に送られて解析処理される。
そして解析処理された結果はプリンタ５にて印刷記録さ
れる。なお図において、６はオートフォーカスコントロ
ーラであり、空気流束を用いた自動焦点合わせ装置であ
り、試料の移動に伴ない焦点位置を直流モータで制御す
る装置であり、ステージコントローラ７は光学顕微鏡２
のステージをパーソナルコンピュータ４の指令によりＸ
軸、Ｙ軸方向にパルスモータで駆動制御するものである
。
れる。なお図において、６はオートフォーカスコントロ
ーラであり、空気流束を用いた自動焦点合わせ装置であ
り、試料の移動に伴ない焦点位置を直流モータで制御す
る装置であり、ステージコントローラ７は光学顕微鏡２
のステージをパーソナルコンピュータ４の指令によりＸ
軸、Ｙ軸方向にパルスモータで駆動制御するものである
。
また８は定電圧電源装置である。
しかしてこのような装置にて金属の有孔度を解析するに
は例えばφ３．４間、長さ３９．０ｒＲａのテスト材を
長さ方向１／２の半円状に切断し、この切断面を研摩し
、鏡面にラッピングしたものを試料とし、５倍の対物レ
ンズで試料全視野を、および２０倍の対物レンズで長さ
方向に中央部全視野を測定した。
は例えばφ３．４間、長さ３９．０ｒＲａのテスト材を
長さ方向１／２の半円状に切断し、この切断面を研摩し
、鏡面にラッピングしたものを試料とし、５倍の対物レ
ンズで試料全視野を、および２０倍の対物レンズで長さ
方向に中央部全視野を測定した。
この結果、この発明の方法はＣＩＳ規格００６Ｂ−１９
８３による超硬合金のピンホールＡ形、Ｂ形、Ｃ形の検
出測定に非常にすぐれていることがわかった。
８３による超硬合金のピンホールＡ形、Ｂ形、Ｃ形の検
出測定に非常にすぐれていることがわかった。
また、この発明の方法と従来法の測定においては下記第
１表に示すようにこの発明の方法が短時間にて正確に再
現よく巣の測定をしうろことが認められた。
１表に示すようにこの発明の方法が短時間にて正確に再
現よく巣の測定をしうろことが認められた。
第 １ 表
次に、本発明の検出方法にて行なった２０倍の対物レン
ズによる巣の良否判定基準値および分級基準値面積％を
示すと第２表および第３表の通りである。
ズによる巣の良否判定基準値および分級基準値面積％を
示すと第２表および第３表の通りである。
一一 仄 □□
第 ２ 表
（×２０ 栄の良否判定基準価）
Ｃ
（注）＊
測定視野 サンプル中央全視野
測定ＭＡＳＫ ５００μ（Ｈ）Ｘ４８０μ（Ｖ）視
野数 ｎ＋ａｘ（３７，５−３）１０．５＝
６９視野／サンプル 判定基準 上表に欠陥のタイプ毎の許容％を示す。
野数 ｎ＋ａｘ（３７，５−３）１０．５＝
６９視野／サンプル 判定基準 上表に欠陥のタイプ毎の許容％を示す。
判定モード １は非ＨＩＰ品
２はＨＩＰ処理品を示す。
第 ３ 表
上表はＪＩＳ規格を本発明の検出方法で測定開発分析し
た結果であり、Ｃタイプの画像処理化は本発明にてはじ
めてなされたものである。
た結果であり、Ｃタイプの画像処理化は本発明にてはじ
めてなされたものである。
〈発明の効果〉
以上説明したように、本発明の検出方法は人手に頼るこ
となく正確に金属の巣の状態を検出することができ、特
にＣタイプの巣についてＡタイプおよびＢタイプのそれ
と分離して検出することをはじめて可能としたものであ
る。
となく正確に金属の巣の状態を検出することができ、特
にＣタイプの巣についてＡタイプおよびＢタイプのそれ
と分離して検出することをはじめて可能としたものであ
る。
図面はこの発明で使用する検出装置の一例を示すフロー
シートである。 １・・・画像解析装置 ２・・・顕微鏡３
・・・テレビカメラ ４・・・パーソナルコンピュータ ５・・・プリンタ
６・・・オートフォーカスコントローラ７・・・ステー
ジコントローラ ８・・・定電圧電源装置
シートである。 １・・・画像解析装置 ２・・・顕微鏡３
・・・テレビカメラ ４・・・パーソナルコンピュータ ５・・・プリンタ
６・・・オートフォーカスコントローラ７・・・ステー
ジコントローラ ８・・・定電圧電源装置
Claims (1)
- 超硬合金等の金属の有孔度を検出するに当り、該金属
試料を顕微鏡にて観察してこれを該顕微鏡と連接するテ
レビカメラにて画像として捉え、該画像を画像解析装置
に入力して特性値を解析し、得られた結果をデータ処理
して金属の有孔度を検出することを特徴とする金属の有
孔度検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63013226A JPH01187455A (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 金属の有孔度検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63013226A JPH01187455A (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 金属の有孔度検出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01187455A true JPH01187455A (ja) | 1989-07-26 |
Family
ID=11827266
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63013226A Pending JPH01187455A (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 金属の有孔度検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01187455A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2494372C2 (ru) * | 2008-06-06 | 2013-09-27 | Сименс Фаи Металз Текнолоджиз Гмбх | Способ управления процессом превращения |
| RU2593525C1 (ru) * | 2015-06-26 | 2016-08-10 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС" | Способ определения пористости металлоизделий |
| CN109297878A (zh) * | 2018-08-10 | 2019-02-01 | 中国地质大学（武汉） | 一种准确计算白云岩孔洞面孔率的方法 |
-
1988
- 1988-01-22 JP JP63013226A patent/JPH01187455A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2494372C2 (ru) * | 2008-06-06 | 2013-09-27 | Сименс Фаи Металз Текнолоджиз Гмбх | Способ управления процессом превращения |
| RU2593525C1 (ru) * | 2015-06-26 | 2016-08-10 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС" | Способ определения пористости металлоизделий |
| CN109297878A (zh) * | 2018-08-10 | 2019-02-01 | 中国地质大学（武汉） | 一种准确计算白云岩孔洞面孔率的方法 |
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