JPH01187423A - 低温用温度計 - Google Patents

低温用温度計

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JPH01187423A
JPH01187423A JP1298888A JP1298888A JPH01187423A JP H01187423 A JPH01187423 A JP H01187423A JP 1298888 A JP1298888 A JP 1298888A JP 1298888 A JP1298888 A JP 1298888A JP H01187423 A JPH01187423 A JP H01187423A
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JP
Japan
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temperature
superconducting materials
superconducting
lead wires
thermometer
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Application number
JP1298888A
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English (en)
Inventor
Hisashi Nakatsui
久 中津井
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Canon Inc
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Canon Inc
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、低温或いは極低温を測定するための低温用温
度計に関するものである。
[従来の技術] 従来、−膜内に低温或いは極低温の温度を広範囲に正確
に測定し得る温度計は殆ど知られていない、−100℃
程度の低温用温度計には、SiC結晶、5nSe薄膜か
ら成るサーミスタが用いられているが、この低温度用温
度計は時定数が30〜60秒と長く、正確な温度測定が
難しいという欠点がある。
また、極低温用の温度計としては、Ge半導体素子を使
用した抵抗式温度計がある。この抵抗式温度計はその電
気抵抗を四端子法で測定することにより、温度を間接的
に検出するものである。しかし、このGe半導体素子は
カプセル内にヘリウムガスを封入しているため、熱伝導
率が小さく正確な温度測定が難しい、更に、カプセル内
の配線には熱の侵入を抑えるために、極めて細いリード
線が使用されているので、過大電流が僅かでも流れると
断線してしまう虞れがある。
常温から高温測定が可能な温度計が従来までに種々製造
されているのに対して、このように低温から極低温まで
の広範囲の温度測定を正確になし得る温度計は、現在の
ところ皆無と云ってよい。
[発明の目的] 本発明の目的は、上述の欠点を解消し、低温度の温度検
知部分に超伝導材を用いて、低温から極低温までの広範
囲の温度が測定できる低温用温度計を提供することにあ
る。
[発明の概要] 上述の目的を達成するための本発明の要旨は、低温にお
ける超伝導臨界温度が互いに異なる複数個の超伝導材を
離隔的に配設し、これらの各超伝導材の両側にそれぞれ
電極を設け、これらの電極にリード線を接続し、これら
の各リード線を流れる電流値を基に低温測定を行うこと
を特徴とする低温用温度計である。
[発明の実施例] 本発明を図示の実施例に基づいて詳細に説明する。
第1図は低温用温度計1の平面図、第2図は断面図であ
る。図面において、例えば金属製の基板2上に薄膜状の
超伝導材3〜6がコーティングされ、これらの超伝導材
3〜6は互いに超伝導臨界温度が異なり、間隔をおいて
同じ向きに配列されている。超伝導材3〜6には、例え
ば23にで臨界温度に達するNb3Geから成る超伝導
材3.30にで臨界温度に達するLa−Ba−Cu−0
系のセラミック、或いはY:0.4、Ba:0.6、C
uO:2.22のような組成比の超伝導材4、更に98
にで臨界温度に達するY−Ba−Cu−0系の四元合金
から成る超伝導材5.123にで臨界温度に達するY−
Ba−Cu−0系の同様に四元合金から成る超伝導材6
が用いられている。これらの各超伝導材3.4.5.6
の幅方向の両側にはそれぞれ電極3a、3b、4a、4
b、5a、5b、6a、6bが接続され、更に各電極3
a〜6bにはそれぞれリード線7.8が接続され、超伝
導材3〜6と電極3a〜6bを保護する目的でエポキシ
樹脂等に代表される合成樹脂被覆部材9がオーバーコー
テイングされている。この合成樹脂被覆部材9は電極3
a〜6bとリード線7.8を固着する目的を併せ持つ材
料が選択されている。また、基板2には熱伝導性の良い
Au、Ag、Cu、或いはステンレス等の熱伝導性の良
好な合金を用いることが好適である。
また、98に〜123にの間の任意の臨界温度を得る場
合には、Y−Ba−Cu−0系の組成比を種々選択する
ことによって、目的とする温度の検出を可能とする超伝
導材を得ることができる。
更に、前記以外の超伝導材においても、合金の組成比を
変更することによって所望の臨界温度とすることが可能
である。従って、低温領域での温度を測定するためには
、種々の組成と組成比を持ったセラミック又は結晶から
成る超伝導材を用いればよいことになる。
第3図は低温用温度計1を被測定物Sの表面に接着して
温度測定を行う場合を示し、各超伝導材3〜6がそれぞ
れ定められた臨界温度に達すると、該当する超伝導材3
〜6の抵抗が零になる。
従って、リード線7.8に流れる電流値を測定すること
によって温度計測が可能となり、この場合の印加電圧は
各種電池等による微小電流で充分である。更に、リード
線7.8も超伝導材とすると電流損失が無くなるので、
使用する電池の寿命は著しく延長され、温度計としても
延命され経済的なメリットが大きい。
本実施例によって得られる低温用温度計1の温度測定範
囲は、第1表の通りである。
第1表 超伝導材         温度K Nb3Ge             23L a :
0.4、B a :0.8、Cu O:2.22 30
Y、Ba2 、Cu207      98Y :0.
4、B a :0.8、Cu O:2.22 123即
ち、第1表に示すように、この低温用温度計1は23に
という液体水素温度(20K)近くまでの低温から、1
23K(−150℃)までの低温に至るまでの温度を測
定することができる。
先の実施例では、超伝導材を4種類選定して、測定温度
を4点とした場合の実施例を示したが、例えばLa−B
a−Cu−0系、Y−Ba−Cu−〇系の超伝導材の組
成比を変化させることにより、超伝導材の臨界温度が著
しく変化することを利用して、測定温度範囲内における
測定点を増加し、測定精度を向上させることができる。
例えば、Y−Ba−Cu−0系の超伝導材の場合には、
98に〜123にとの広範囲の温度測定を可能にしてい
るので、組成比を変化させることによって例えば5に毎
の臨界温度を有する超伝導材を造れば、先の実施例の4
種類の超伝導材を更に4種類増やし、8ステツプの温度
測定が可能となる。
上述の実施例のように、特定の臨界温度温度を有する多
数点の超伝導材を任意に配設することにより、多点温度
計測が可能になる。また、各超伝導材の幅は数gm程度
のものが使用でき、小型の低温用温度計を造ることがで
きる。
[発明の効果] 以上説明したように本発明に係る低温用温度計は、超伝
導材の種類、組成比を任意に選択することによって、−
100℃以下の極低温度までを測定することが可能にな
る。また、測定温度ステップは超伝導材の種類と組成比
を変えることにより任意に多数ステップの温度測定を可
能とし、殆ど連続して低温度から極低温までの温度を測
定することができる。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明に係る低温用温度計の実施例を示し、第1
図は平面図、第2図は第1図のm−n線に沿った断面図
、第3図は測温状態の斜視図である。 符号lは温度計、2は基板、3〜6は超伝導材、3a、
3b、4a、4b、5a、5b、6a、6bは電極、7
.8はリード線、9は合成樹脂被覆部材である。 特許出願人   キャノン株式会社

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、低温における超伝導臨界温度が互いに異なる複数個
    の超伝導材を離隔的に配設し、これらの各超伝導材の両
    側にそれぞれ電極を設け、これらの電極にリード線を接
    続し、これらの各リード線を流れる電流値を基に低温測
    定を行うことを特徴とする低温用温度計。
JP1298888A 1988-01-22 1988-01-22 低温用温度計 Pending JPH01187423A (ja)

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JP1298888A JPH01187423A (ja) 1988-01-22 1988-01-22 低温用温度計

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008016554A (ja) * 2006-07-04 2008-01-24 Toshiba Corp 高温超電導コイル装置
DE102012112574A1 (de) * 2012-12-18 2014-06-18 Endress + Hauser Wetzer Gmbh + Co. Kg Sensorelement, Thermometer sowie Verfahren zur Bestimmung einer Temperatur

Cited By (3)

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US9995639B2 (en) 2012-12-18 2018-06-12 Endress + Hauser Wetzer Gmbh + Co. Kg Sensor element, thermometer as well as method for determining a temperature

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