JPH01183367A - ドライブラストによるモールドのダムバリ除去方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分ｔ？】

本発明はドライブラストによるモールドのダムバリ除去
方法に関する。

【従来技術】

例えばリードフレーム上にＩＣチップを固着し合成樹脂
でパッケージしたＩＣモールドにおいては、第２図及び
第３図に示す如く、次のようなダムバリが発生する。す
なわちリードフレーム１２のリード１３と、後に切断さ
れるタイバー１４とに囲まれた空間は、パッケージ１１
の合成樹脂のダムバリ１６で完全に塞がれてしまう。さ
らに、リード１３上に合成樹脂のダムバリすなわちフラ
ッシュバリ１７が生じる。しかも、前記空間はチップ形
状によって異なるが、リード１３間の距離が３００μ〜
１１程度のものにおいては、前記ダムバリ１５を除去す
るには非常に精密な加工方法が要求される。 従来、この種の合成樹脂のダムバリ除去方法を含めＩＣ
モールドの製造は第８図に示すようにレジンカットの超
硬刃でダムバリ１りの合成樹脂を前記タイバー１４と共
に除去し多数のリードを形成しこの時完全に除去されな
かったリード間に残留する合成樹脂（３！Ｊ留ダムバリ
）をさらに除去し、且つ次工程のメツキ加工の前処理と
してリード表面に付着しているフラッシュバリを除去し
てメツキを良くするために、例えばメツシュサイズ＃１
２０〜＃２００程度のガラスピーズ系砥粒を湿式投射す
る液体ホーニングを行い、次いでメツキ工程後、前記リ
ード１３を前記リードフレーム１２からカット（トリミ
ング）して切り離すと同時にリードフレーム１２の曲げ
加工（７オーミング）を行っていた。

【発明が解決しようとする課ｉＷ］ 上述した従来方法においては、前記タイバー１４をレジ
ンカットの超硬刃で打ち抜（時、リード１３間の幅より
若干狭くカットすることに加えて、パッケージ１１がリ
ードフレーム１２をペースにして上下に厚みがあるため
にダムバリ１５のパッケージ１１の端縁側の部分を打抜
き型ではカットすることができず、リード１３間とエツ
チング１１の外縁に残留ダムバ！ＪＩＳｍ、１５ｂが残
留してしまう。しかも、前記パッケージ１１の一般的な
材質であるシリカを６０〜７０％混入したエポキシ樹脂
のような硬い樹脂ではリードフレーム１２の材質より硬
いため、レジンカットの超硬刃の寿命が非常に短く、例
えば６個のパッケージ１１を設けたリードフレーム１２
のタイバー切断を１フレーム６秒で行い、１日に２４時
開運続加工した場合、３〜７日程度の耐久性しかな（、
レジンカットの超硬刃は高価であるため、非常なコスト
高となっていた。 さらに前記リードフレーム１２には、成形方法の違いに
よって異なった種類のフレームがある。 すなわち、前記リード１３間の距離が小さい場合にエツ
チングにより成形されたエツチングフレームと、前記リ
ード１３間の距離が大きい場合に打ち抜き加工によって
行われるスタンピングフレームがある。前記リード１３
の端面に残留した残留ダムバリ１６ａ、１５ｂの断面を
第７図にそれぞれエツチングフレームを同Ｓ　（Ａ）に
、スタンピングフレームを同図（Ｂ）に示しているが、
エツチングフレームの端縁断面は凹凸状になっており、
スタンピングフレームのｆｌＩＩｉ断面は三角形状にな
っており、どちらの場合も残留ダムバリ１５ａ。 １６ｂがリード１３の端面に強力に固着している。 そこで、前記ダムバリ１６＠、１６ｂを取り除くために
、タイバー及びレジンカット工程後に、前述のように従
来から液体ホーニングが行われ、この液体ホーニングに
よってリード１３上の前記フラッジ、バリ１７などは除
去できるが、上述のリード１３の端面に固着している残
留ダムバリ１６ｍ、１６ｂを完全には除去することがで
きなかった。この液体ホーニング加工の圧力を、例えば
１０ｋｇ／ｄの高圧力として水を噴射しても前記残留ダ
ムバリ１６ｓ、１５ｂを除去することはできず、むしろ
リード１３の強度を低下させ、曲げ加工時に破損してし
まう等の欠点を有していｔこ。 この残留ダムバリ１５ｍ、１５ｂを残した状態で次工程
のメツキを行うため、言うまでもなく残留ダムバリ１５
ｍ、１６ｂの部分はメツキが着かないことになる。 またメツキ後、プレス加工によって前記リード１３を前
記リードフレーム１２から切断して切り離し、次いで、
あるいはこの切り離しと同時にリード１３の曲げ加工を
行っているが、この時この曲げ加工のために、前記残留
ダムバリ１５ｍ、１６ｂは前記リード１３の端面より剥
離してゴミとなってプレス金型に付着することになる。 この剥離した樹脂のゴミのためにプレス金型の曲率が変
化してしまい、後の製品の曲げ加工の均一性がなくなる
ため、リード１３が変形し、さらＣζプレス金型に付着
した樹脂はゴミとなってリード１３の表面に密着してし
まい、このゴミがＩＣ＋−ルドのリード１３と基板との
ハンダ付不良やＩＣ制御の動作不良の原因となるという
弊害を生ずる原因となっていｔこ。さらに前記プレス金
型に付着したゴミはプレス金型の寿命をも著しく低下さ
せるものであった。 そこで本発明は、以上の問題点を解決するために、フレ
ームに樹脂でパッケージしたモールドの前記パッケージ
外縁でフレーム上およびフレーム間に発生したダムバリ
に対して、リード間距離以下のプラスチック系又は植物
系の研磨材を用いてドライブラスト加工を行い、ダムバ
リを完全に除去し、タイバー切断をリードのリードフレ
ームからの切断およびリードビンの曲げ加工と同時に行
うなど、加工工程の削減をはかり、製品の品質向上及び
プレス金型の寿命の増大をはかることを目的とするもの
である。 【課題を解決するための手段】 上記目的を達成するため、本発明はフレーム１２に樹脂
でパッケージ１１したモールド１ｏの前記バクケージ１
１外ｌｉでフレーム１２上およびフレーム１２間に発生
したダムバリに対して、前記フレーム１２のリード１３
間距離以下の粒径のナイロンなどプラスチック系ＦｉＦ
！ｒｓ材又はクルミ等の穀粉から成る植物系ＴｉＦＭＩ
材を噴射することを特徴とする。 そして、この手段は上記モールド１ｏがリードフレーム
１２上にＩＣチップを合成樹脂でパッケージ１１したＩ
Ｃモールドに対して非常に効果的である。

【作用】

本発明によれば、前記フレーム１２のリード１３間距離
以下の粒径のナイロンなどプラスチック系研心材又はク
ルミ等の穀粉から成る植物系研磨材が前記ダムバリ１５
を除去し、リー・ド１３の端面に従来固着していた残留
ダムバリ１５會、１ｓｂは残らない。 そして、この手段は、非常に精密な加工が要求されろＩ
Ｃモールドすなわち前記モールド１０がリードフレーム
１２上にＩＣチップを合成樹脂でパッケージ１１したＩ
Ｃモールドにおいては特に効果的に作用する。

【＊絶倒】

以下、本発明の実施例を第１図〜第７図に基づき説明す
る。 本ｓ見明の方法を適用する被加工物としてＩＣモールド
１０を取り上げて説明すると、該被加工物はリードフレ
ーム１２上にＩＣチップを固着し合成樹脂でパッケージ
したもので、１つのリードフレーム１２上には６個のパ
ッケージ１１が運なっており、第２図および第３図に示
す如く、次のようなダムバリが発生する。すなわち、リ
ードフレーム１２とリード１３と、後に切断されるタイ
バー１４とで囲まれた空間はパッケージ１１の樹脂のダ
ムバリＩＳで完全に塞がれている。この空間のリード１
３間の距離は前記パッケージ１１に対するリード１３の
数によって異なるが、３００μ〜１ｗｍ程度という非常
に狭いものである。さらに、リード１３上にフラッシュ
バリ１７が生じる。 このような被加工物の前記リードフレーム１２の左右端
部を、後述する本願発明の方法を実施するための装置に
おけるマガジンローダ４１’ｔ”把持し、チェーンコン
ペア等の搬送装置によゆ送られ、ドライブラスト加工さ
れる。 第１図（Ａ）において、２０は被加工物をブラスト加工
するブラスト室であや、３Ｇは＃！塵装置で研磨材の噴
射材が被加工物に衝突して処理する際に発生した微粉、
粉塵を処理する。前記プラスト室２０に隣接したコンベ
ア駆動室４０は被加工物を搬送するチェーンコンベアの
コンベア！ａｌｌ室であり、このコンベア駆動室４０に
隣接して洗浄室５０及び乾燥室５５が設置されている。 同図（Ｃ）に示すように、前記ブラスト室２０は前記被
加工物のｔＣモールド１０をドライブラスト加工する領
域２１と、次いでこの被加工物に付着している研磨材及
び樹脂のゴミを圧縮空気に、Ｌっで吹き飛ばして清掃す
るエアーブローの領域２２と、次いで前記領域２１で除
去できなかった前記パッケージ１１のフラッシュバリ１
７があるときはこれを除去するためのブラスト加工をす
る領域２３とその後のエアブロ−室２４との各領域から
成っている。 前記領域２１では、研磨材が図示せざるタンクから供給
され、圧縮空気を別途導入し、この圧縮空気の噴流によ
り前記研磨材を被加工物表面に噴射する８〜１２本のノ
ズルを内部に備え、これらのノズルをノズル振動モータ
２５により往復揺動運動させながら、後述するチェーン
４２に設けられたマガジンローダ４１により把持されて
搬送されてくる前記被加工物に対して前記研磨材を噴射
させて、被加工物のダムバリ１５の除去を行う。 研磨材としては、いわゆるソフトグリッドと呼ばれるナ
イロン、ポリカーボネート等のプラスチック系又は、ク
ルミ、コーン等の植物系のものをパッケージの材質、リ
ード間距離により適宜選択する。アランダム、スチール
等のハンドグリッドは適さない。さらに被加工物の下面
には被加工物から剥離したダムバリ１５と研磨材とを分
級するメツシュ２９７μのバイブロスクリーン２７を傾
斜させて設け、このバイブロスクリーン２７の下端部に
は分級された前記バリをｓ塵する箱が備えられている。 エアーブロー領域２２では図示せざる圧縮空気の供給タ
ンクとチューブを介して連通ずるノズルが被加工物に吹
き付けるべく備えられている。 領域２３のフラッシュバリを除去するブラスト加工の領
域では、前記ダムバリ除去領域２１と同様、研磨材が図
示せざるタンクから供給され、圧縮空気を別途導入し、
この圧縮空気の噴流により前記研−材を被加工物表面に
噴射する４〜８本のノズルを内部に備え、これらのノズ
ルをノズル振動モータ２５によ秒往復揺動運動させなが
ら、後述するチェーン４２に設けられｌこマガジンロー
ダ４１によ吟把持されて搬送されてくる被加工物に対し
て前記研ｎ材を噴射させて、被加工物のフラッシュバリ
１７の除去を行う。 エアーブロー領域２４では工１−ブロー領域２２と同様
、図示せざる圧縮空気の供給タンクとチューブを介して
連通ずるノズルが被加工物に吹き付けるべく備えられて
いる。 ここで上述のダムバリ除去領域２１、工１−ブ四−領域
２２で行われる工程を本工程、フラッシュバリ除去領域
２３、エアーブロー領域２４で行われる工程を付属工程
として以下説明する。 第１図（Ａ）に示すように、ブラスト室２０の最下部に
はＳ積ダスト２Ｂがブラスト室２０の全体に渡って設け
られている。ａｍダスト２８はダクトによって−の集塵
装置３０及びダムバリ除去領域２１に連通する研磨材の
図示せざる回収タンクと、前記１ｓｌＩ装置３０及びフ
ラッシュバリ除去領域２３に連通するＴｉｆＩＩｉ材の
図示せざる回収タンクに連通されており、集積された研
磨材はダクト内を空気流に吸引され、摩滅あるいは破砕
した研磨材と、再使用可能な研ｌ材を分離回収する。す
なわちダストコレクタ３１に装着された排風機３２によ
り、このダストコレクタ３１に連通する前記各回収タン
ク内には除Ｗ１気流により遠心力が作用し、研磨材が被
加工材に衝突して処理する際に発生した微粉、粉塵がダ
ストコレクタ３１に集められ、再使用できる研磨材は、
前記各回収タンクの下部に留まる。 上述の実施例においては、本工程及び付属工程を−のブ
ラスト室にて行うようにしたものについて説明したが上
記各工程を異なる別個のブラスト室を設けて行ってもよ
い。 ここで被加工物を搬送する装置について説明すると、こ
の搬送装置は被加工物を把持して前記ブラスト室室２０
及び洗浄室！５０、乾燥室ｓＩ）内中央を一連に搬送す
るチェーンフンペアである。先ず、前記ブラスト室２０
側のチェーンコンペ１について説明すると、このブラス
ト室２０の両外側に水平方向に回転する歯車を設けるが
、ブラスト室２０の第１図（Ｃ）紙面左側には、被加工
物が搬送されるラインを中心として、前後に略対称とな
るようライン中心側に可動歯車４５を設け、ライン外側
Ｚζ固定歯車４４を設け、さらに前記ブラスト室２０の
第１図（Ａ）紙面右側すなわちコンベア駆動室４０内に
、被加工物搬送ラインを中心とする前後に略対称となる
ようライン中心側に可動歯車４５、ライン外側に駆動歯
車４３を設け、チェーン４２を被加工物搬送ラインを中
心として前後対称となるよう駆動歯車４３、固定歯車４
４、可動歯車４５、可動歯車４５に一周して掛けている
。 このチェーン４２に前記被加工物搬送ラインを中心とす
る対称位置に被加工物を把持するマガジンローダ４１が
それぞれ全周に渡って取付られている。 前記駆動歯１１１４３，４３は、コンベア駆動室４０内
に設置しｔこコンベア駆動モータ４６の回転駆動力が図
示せざる伝達手段を介して回転駆動され、この歯車４３
．４３がチェーン４２を回転駆動し、マガジンローダ４
】を移動させる。そして、ブラスト室２０の前後左右４
個の可動歯車４５はワークガイドｍｖａ用ハンドル４７
を回転するとマガジン四−ダ４１が前記被加工物搬送ラ
インを中心として前後に平行して移動可能に、しかもチ
ェーン４２がたるみを生じさせないように作動する。こ
のようにして、被加工物の大きさに応じて前後にマガジ
ンローダ４１１Ｑｌの幅を自在にｗＩ！Ｊ１できるよう
にしている。 前記洗Ｐ′ｐ室５０、乾燥室５５の搬送装置も前記ブラ
スト室２０のチェーンコンベアと同様であり、コンベア
駆動室４０内に設けｌこ駆動歯車４３．４３に図示せざ
る伝達手段を介して前記コンベア駆動モータ４６の回転
駆動力が伝達される。そして、ブラスト室２０側のチェ
ーンコンベアラインより搬送された被加工物が自動的に
洗浄室５０側のチェーンコンベアラインに乗り移れるよ
うにするためそれぞれのチェーンコンベアラインの中間
に、図示せざるモータにより常時回転する乗り移り用駆
動ローラ４８と該乗り移り用ｉＩ！１ｌｂＣＩ−ラ４８
に対峙する駆動ローラ４９を設け、被加工物を挟み込ん
で洗浄室５０側のチェーンコンベアに送ケ込む。 洗浄室５０６１のチェーンコンベアの右端の下面には洗
浄乾燥された被加工物を集積する案内枠５８を設置し、
被加工物は案内枠５８を通過して案内枠６Ｂの下に置い
た製品収納箱に収納される。 前記洗浄室５０内には、図示せざる湿度制御装置により
制御される温水上−夕を備えた１水タンクＳ１を設けこ
の渇水タンク５１内の温水を循環させるポンプに連通す
るノズルｒｅ　ｍえ、このノズルは噴射される渇水を被
加工物に吹き付けるように設置している。使用された温
水は、搬送装置の下面に設けた受は皿６２に落下し、次
いでフィルターを介して温水タンク６１に流れ込み、温
水は循環している。 さらに、前記乾燥室５１５内には七−夕を備えた熱風Ｎ
５６に連通ずる吹き出し口を備え、この吹き出し口から
の熱風を被加工物に吹き付けるよう設置している。 上述した装置のチェーンコンベアラインのマガジンロー
ダ４１に把持された被加工物、すなわち、ＩＣモールド
１０は第２図及び第３図に示すように、リードフレーム
１２のリード１３とタイバー１４とに囲まれた空間はパ
ッケージ１１の樹脂のダムバリ１６で完全に塞がれてい
るが、本願の研掃方法において、先ず、前記被加工物が
前記ブラスト室２０のダムバリ除去領域２１に搬送され
ると、エアノズル直径３．２−１研磨材ノズル直径７ｗ
＋のノズル８本が研掃効果を高めるよう前記リードフレ
ーム１２のリード１３間距離以下である２９７μ以下の
粒径のナイロン系研磨材から成る研磨材を空気圧力４〜
５ｋｇ／ｃＩＩ、噴射距離１０ｇ＋＋＋＋にてノズルを
揺動させながら前記被加工物のダムバリ１５に対して噴
射し、ダムバリ１５を除去する。詳しくは前記ナイロン
系研磨材は打ち抜く力が強く、シ１ットのスピードのみ
でバリを除去する。エツチングあるいはスタンピングさ
れたリードフレーム１２における、リード１３の端縁断
面の凹凸状あるいは三角形状に強力に固着した残留ダム
バリ１６−を除去する。研自材を前記２９７μ以下の粒
径のクルミの穀粉とした場合は、この研磨材が被加工物
に衝突すると、クルミの殻自体が破砕し、そのエネルギ
ーによって前記リード１３の端縁面に強力に固着してい
る残留ダムバリ１５−を除去する。 このブラスト加工だけではダムバリのリード１３上に発
生したフラッシュバリ１７を除去することはできない場
合には、付属工程が必要となってくる。すなわちダムバ
リを除去した被加工物を前記エアーブリー領域２２へ移
動し、空気流が吹き付けられ、付着している研磨材やダ
ムバリ１５のゴミを吹き飛ばされ付属工程のフラッシュ
バリ除去領域２３へ搬送される。 前記被加工物が前記チェーンコンベアによって前記フラ
ッシュバリ１７除去領域２３へ搬送されろと、前記被加
工物に対して、直径７ｆｉのノズル４本が＃６０　（２
９７μ以下）の粒径のポリ１セタールを７５％、同粒径
のガラスピーズを２５％混合した研磨材をノズルを揺動
させながら噴射し、パッケージ表面を切削することなく
前記フラッジ−バリ１７を除去することができる。 この後、被加工物は前記エアーブリー領域２４へ移動し
、前記エアーブロー領域２２と同様に空気流に吹き付け
られ、付着した研磨材やフラッシュバリ１７のゴミが吹
き飛ばされる。 次いで、被加工物は前記チェーンコンベアによってコン
ベア！ｇＩ！動室４０に搬送され、前記乗り移り用駆動
ローラ・４８と従動リーラ４９とで軽く挟持移動され、
洗浄室５０側の搬送装置のマガジンローダ４１に把持さ
れ、洗浄室６０に搬送される。 この洗浄室ｒｈＯ内では、前記温水タンクｓ１内の温水
が図示せざるノズルを介して運転中常時噴射しているが
、被加工物はこの温水噴射面を通過しながら、洗浄され
、次の乾燥室５６内に搬送される。この乾燥室６５内で
は被加工物は熱風を受けながらチェーンコンベアによっ
て移動し、乾燥され、チェーンコンベアの右端にまで搬
送されると前記案内枠５８を通過して製品収納箱に落下
する。 このように前記ダムバリが完全に除去されたＩＣモール
ド１０は次のメツキ工程でメツキされた後、プレス加工
においてタイバー１４の切断、リード１３のリードフレ
ーム１２からの切断およびリード１３がリードフレーム
１２がら分離されて生じたリードピン１６の曲げ加工を
行い、製品が完成するわけである。 タイバー１４を切断し、リード１３をリードフレーム１
２から切断してパッケージ１１とリードピン１６がリー
ドフレーム１２から分離された状態を第５図に示し、前
記リードピン１６の曲げ加工後の状態の一例を第６図に
示しているが、これら一連の切断及び曲げ加工は一つの
プレス金型で同時に行って工程を短縮することができる
。このプレス加工が可能となった理由は、以上の説明か
られかるように本発明の方法により前記ＩＣモールド１
０に発生したダムバリを完全に除去することがてきｔ二
から：こ外ならない。

【発明の効果】

上述のように本発明は、フレームに樹脂でパッケージし
たモールド、特に、非常に精密な加工が要求されろＩＣ
モールドにおける前記パッケージ外縁でフレーム上及び
フレーム間に発生したダムバリに対して、前記フレーム
のリード間距離以下のＣ１のナイロンなどプラスチック
系又はクルミなど植物系の研出材を噴射することにより
、ダムバリの完全除去を達成することができ、その結果
、次工程のメツキ工程では残留ダムバリによるメツキネ
良ｒよなくなり、さらにその後のプレス加工（ζおいて
、タイバーの切断、リードのリードフレームからの切断
およびリードピンの曲げ加工を同時に行うことができる
ので、作業能率を向上させろこととなった。さらに前記
残留ダムバリが曲げ加工によりリードの端面より剥離し
てプレス金型に付着し、これが原因となって曲げ曲率の
バラツキを大きくさせるという問題を解消すると同時に
プレス金型及びタイバーカットの打抜き刃の寿命を大幅
に増加させることができ、さらに前記曲げ加工により剥
離した樹脂のゴミによるリードのハンダ付不良やＩＣ制
御の動作不良をなくすことができた。 以上のように、本発明の方法によ＃）Ｍ品の品質向上と
作業工程の削減、プレス金型の寿命増大という非常に多
くの効果をあげることができた。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の方法を実施するための装置の全体を示
すもので、第１図（Ａ）は装置の正面図、第１図（Ｂ）
は装置の側面図と装置内のブラスト加工装置部分の構造
略図、第１図（Ｃ）は装置のチλ−ンコンベアライン上
から見た平面図、第２図は本発明の方法の実施例として
のダムバリが発生したＩＣモールドの斜視図、第３図は
ＩＣモールドに発生したダムバリ説明図、第４図はダム
バリが完全に除去され／：ＩＣモールドの斜視図、第５
図はフレームからトリミングされたＩＣモールドの斜視
図、第６図はリードピンが曲げ加工されたＩＣモールド
の正面図、第７図は残留ダムバリが密着したリード端面
の断面図で同図（Ａ）はエツチングフレームにおける断
面図、同図（Ｂ）はスタンピングフレームにおける断面
図、第８図は従来の方法によりＩＣモールドに発生した
ダムバリとフレームのタイバーを切断した状態図である
。 １０・・・モールド　　１１・・・パッケージ　１２・
・・リードフレーム　１３・・・リード　１４・・・タ
イバー１６・・・ダムバリ　１５ｍ、１５ｂ・・・残留
ダムバリ１６・・・リードピン　１７・・・フラッシュ
バリ　２０・・・ブラスト！！　２１・・・ダムバリ除
去領域　２２・・・エアーブロー境域　２３・・・フラ
ッシュバリ除去領域２３・・・エアーブロー領域　２５
・・・ノズル振動モータ　２７・・・バイブロスクリー
ン　２８・・・ｊＩ積ダクト　３０・・・築盛装置　３
１・・・ダクトコレクタ　３２・・・排風機　４０・・
・コンベア駆ｔＩＪ″１　４１・・・マガジンローダ−
４２・・・チェーン　４３・・・ｇｅｍｓ４４・・・固
定歯車　４５・・・可動歯車　４６・・・コンベアｙＩ
Ａａモータ　４７・・・ワークガイドｖｌ整用ハンドル
　４Ｂ・・・乗り移り用駆動ローラ　４９・・・従動ロ
ーラ　５０・・・洗浄室　５１・・・温水タンク　６２
・・・受は皿　６Ｇ・・・乾燥室　ｔｓ６・・・熱風１
１　６８・・・案内枠 特許出願人　株式会社不二製作所

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）フレームに樹脂でパッケージしたモールドの前記
   パッケージ外縁でフレーム上およびフレーム間に発生し
   たダムバリに対して、前記フレームのリード間距離以下
   のプラスチック系又は植物系の研磨材を噴射することを
   特徴とするドライブラストによるモールドのダムバリ除
   去方法。
2. （２）前記モールドがリードフレーム上にＩＣチップを
   合成樹脂でパッケージしたＩＣモールドである請求項１
   記載のドライブラストによるモールドのダムバリ除去方
   法。
3. （３）前記研磨材が２９７μ以下の粒径のナイロン系研
   磨材又はクルミ殻粉とから成る請求項２記載のドライブ
   ラストによるモールドのダムバリ除去方法。