JPH01180411U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01180411U JPH01180411U JP7656188U JP7656188U JPH01180411U JP H01180411 U JPH01180411 U JP H01180411U JP 7656188 U JP7656188 U JP 7656188U JP 7656188 U JP7656188 U JP 7656188U JP H01180411 U JPH01180411 U JP H01180411U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- belt
- heat treatment
- type heat
- treatment furnace
- meandering
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Structure Of Belt Conveyors (AREA)
- Control Of Conveyors (AREA)
- Tunnel Furnaces (AREA)
Description
第1図は本考案にかゝるベルト式熱処理炉の蛇
行調整装置の要部構造を示す斜視図、第2図はベ
ルトが巻回されるドラムの形状の一例を示す正面
図、第3図は本蛇行調整装置の全体構造を示す模
式図である。 1……ベルト、2……ドラム、10……蛇行検
出装置、14……検知ローラ、20……押圧装置
、24……モータ、26……押付けローラ。
行調整装置の要部構造を示す斜視図、第2図はベ
ルトが巻回されるドラムの形状の一例を示す正面
図、第3図は本蛇行調整装置の全体構造を示す模
式図である。 1……ベルト、2……ドラム、10……蛇行検
出装置、14……検知ローラ、20……押圧装置
、24……モータ、26……押付けローラ。
Claims (1)
- ベルトの移動ラインに沿つて配設され該ベルト
の側面に検知ローラを当接させてその蛇行を検出
する手段と、前記ベルトの送り側とリターン側と
の間にベルトの幅方向に離間して配設され前記検
出手段からの信号にもとづいて各独立に上下動し
て前記ベルトのリターン側を下方へたわませる一
対の押付けローラとを備えたことを特徴とするベ
ルト式熱処理炉の蛇行調整装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1988076561U JPH0738248Y2 (ja) | 1988-06-09 | 1988-06-09 | ベルト式熱処理炉の蛇行調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1988076561U JPH0738248Y2 (ja) | 1988-06-09 | 1988-06-09 | ベルト式熱処理炉の蛇行調整装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01180411U true JPH01180411U (ja) | 1989-12-26 |
JPH0738248Y2 JPH0738248Y2 (ja) | 1995-08-30 |
Family
ID=31301581
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1988076561U Expired - Lifetime JPH0738248Y2 (ja) | 1988-06-09 | 1988-06-09 | ベルト式熱処理炉の蛇行調整装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0738248Y2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100977740B1 (ko) * | 2008-05-30 | 2010-08-24 | 세메스 주식회사 | 기판 이송 장치 및 이를 기판 처리 장치 |
JP4718048B2 (ja) * | 2000-07-31 | 2011-07-06 | 三ツ星ベルト株式会社 | 環状ベルト体の移送方法及び移送装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS49108775A (ja) * | 1973-02-20 | 1974-10-16 |
-
1988
- 1988-06-09 JP JP1988076561U patent/JPH0738248Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS49108775A (ja) * | 1973-02-20 | 1974-10-16 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4718048B2 (ja) * | 2000-07-31 | 2011-07-06 | 三ツ星ベルト株式会社 | 環状ベルト体の移送方法及び移送装置 |
KR100977740B1 (ko) * | 2008-05-30 | 2010-08-24 | 세메스 주식회사 | 기판 이송 장치 및 이를 기판 처리 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0738248Y2 (ja) | 1995-08-30 |