JPH01155049U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01155049U JPH01155049U JP4780688U JP4780688U JPH01155049U JP H01155049 U JPH01155049 U JP H01155049U JP 4780688 U JP4780688 U JP 4780688U JP 4780688 U JP4780688 U JP 4780688U JP H01155049 U JPH01155049 U JP H01155049U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal pattern
- hard mask
- glass substrate
- rounded
- corners
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
Description
第1図は、本考案に係るハードマスク(レチク
ルマスク)の部分平面図であり、第2図は、従来
のハードマスクの部分平面図であり、第3図は、
放電発生後のハードマスクの部分平面図である。 1……ガラス基板、2,3……金属パターン、
4A〜4D,5A〜5D……角部、6……線状の
傷、8A〜8D,9A〜9D……丸みのある角部
。
ルマスク)の部分平面図であり、第2図は、従来
のハードマスクの部分平面図であり、第3図は、
放電発生後のハードマスクの部分平面図である。 1……ガラス基板、2,3……金属パターン、
4A〜4D,5A〜5D……角部、6……線状の
傷、8A〜8D,9A〜9D……丸みのある角部
。
Claims (1)
- ガラス基板上に所定形状の金属パターンが形成
されているハードマスクにおいて、前記金属パタ
ーンの角部に丸みがつけられていることを特徴と
するハードマスク。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4780688U JPH01155049U (ja) | 1988-04-11 | 1988-04-11 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4780688U JPH01155049U (ja) | 1988-04-11 | 1988-04-11 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01155049U true JPH01155049U (ja) | 1989-10-25 |
Family
ID=31273991
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4780688U Pending JPH01155049U (ja) | 1988-04-11 | 1988-04-11 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01155049U (ja) |
-
1988
- 1988-04-11 JP JP4780688U patent/JPH01155049U/ja active Pending