JPH01147180A - スクロール形流体機械 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は回転圧縮機等の技術分野で利用され、特に、ス
クロール形流体機械に関するものである。

（従来の技術） 従来のスクロール形流体機械は、たとえば特開昭６１−
１７５２９２号公報にも開示されており、これを真空ポ
ンプとして適用することが多い。

（発明が解決しようとする問題点） ところが、このスクロール形流体機械が接続された真空
槽内で半導体を活性ガスで処理する場合には、真空槽か
らの抽出ガスがスクロール形流体機械のガス入口からガ
ス出口に送られる間に温度が低下してたとえば７０℃に
なると、抽出ガス中の含有物質が析出してガス出口の内
壁にいわゆる霜つき現象をおこし、これが時間の経過と
ともに堆積して真空ポンプとしての性能が低下するとい
う不都合がある。

そこで、抽出ガス中の析出しやすい含有物質を事前に除
去する手段としてスクロール形流体機械もしくはその配
管系に油を循環させてこの油に吸収させることもできる
が、この油は高価であるばかりでなく、１週間ないし２
週間で劣化するので頻繁に取替る必要があり、運転コス
トがかさむという問題がある。

本発明はかかる従来の上記問題点にかんがみ、ガス出口
を流体の含有物質が析出しない温度に維持してスクロー
ル形流体機械の性能低下を防止することを目的とする。

（問題点を解決するための手段） 本発明の上記問題点を解決するための手段は、ケーシン
グに固定スクロールが設けられ、該固定スクロールに旋
回スクロールが噛合され、該旋回スクロールは、クラン
ク軸付回転軸のクランク軸により固定スクロールに対し
て旋回可能に設けられるとともに、周縁部に配設したク
ランクピンにより自転動作が規制されてなるものにおい
て、前記固定スクロールと旋回スクロールとで形成され
る流体通路の吐出口に、流体加熱手段が設けられている
ことを特徴とするものである。

（作用） 上記の手段による作用は、ケーシングの吸入口に吸引さ
れた流体が旋回スクロールの旋回動作によって吐出口に
送られるとき、その温度が次第に低下しても、吐出口の
内部は流体加熱手段により流体中の含有物質が析出しな
い温度まで加熱されるので、スクロール形流体機械の性
能は正常な状態に維持される。

（実施例） 以下１本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。

第１図に示すスクロール形流体機械１はドライ形真空ポ
ンプとして適用されるものであって、ケーシング２、固
定スクロール３、旋回スクロール４、クランク軸付回転
軸５、クランクピン６および流体加熱手段７を主要部と
して構成されている。

すなわち、前記ケーシング２の上面には、該ケーシング
の蓋体を兼ねる前記固定スクロール３が適宜の手段で密
に連結され、該固定スクロールは下向きの固定ラップ４
ａが突設されており、固定スクロール３と旋回スクロー
ル４との相対移動で形成される流体通路８の両端部には
、吸入口Ｓおよび吐出口Ｅが機外に向って開口している
。

前記クランク軸付回転軸５は回転用ラジアル軸受９，１
０．１１を介してケーシング２の下端部に枢支され、か
つケーシング２から下方に突出させた入力端に、モータ
等の駆動手段（図示省略）が連結されている。一方、ク
ランク軸付回転軸５のクランク軸５ａは、旋回用ラジア
ル軸受１２を介して旋回用分割ボス１３に嵌装されてお
り、該旋回用分割ボスの上面には、前記固定スクロール
３の固定ラップ３ａに噛合させるために、上向きの旋回
ラップ４ａを突設した前記旋回スクロール４の本体４ｂ
が複数個のボルト１４で固定されている。

前記本体４ｂの周縁部の複数個所には、それぞれ上側摺
接部材１５および下側摺接部材１６が設けられ、該各摺
接部材を前記固定スクロール３の周縁部の複数個所に設
けた上側スラスト受部材１７と、ケーシング２の内側周
縁部の複数個所に設けた下側スラスト受部材１８とにそ
れぞれ摺接せしめることにより、旋回スクロール４およ
びクランク軸付回転軸５の軸方向の移動が規制されてい
る。１９．２０は軸受保持具、２１．２２はシール、２
３は０リング、２４はバランスウェイトである。

前記クランクピン６は旋回スクロール４の自転動作を規
制するためのもので、前記本体４ｂの周縁部下面の円周
方向に等間隔で配置された旋回側ラジアル軸受２５と、
ケーシング２の内側周縁部の円周方向に等間隔で配置さ
れた固定側ラジアル軸受２６とに枢支されている。

前記流体加熱手段７は前記吐出口Ｅに進入する流体を適
温に保つために設けられるもので、第２図に示すように
、筒体２７゛と該筒体の大筒部２７ａの外周に巻回され
たニクロム線等の発熱体２８とからなり、該発熱体には
電源が適宜の手段で接続される。前記筒体２７は非電導
性の高伝熱材料で形成され、その下端の小筒部２７ｂが
吐出口Ｅの開口部に密嵌されている６２９は０リング、
Ｐは排出管である。

前記発熱体２８はスクロール形流体機械１の運転時に吐
出口Ｅの温度をたとえば１３０℃ないし１４０℃に維持
できるように、巻数等が決定される。

なお、前記流体加熱手段７はニクロム線による発熱体２
８の本例に代えて、円筒体内部に他の発熱体を埋設した
り、円筒体にジャケットを設けて熱媒等を循環させたり
してもよく、また、設定温度は上記のほか、取り扱われ
る流体の特性が異なるごとに選択される。

次に、本実施例の作用について説明する。

クランク軸付回転軸５に入力されると、旋回スクロール
４はクランクピン６によって自転動作が規制されながら
旋回する。この旋回動作で吸入口Ｓに取り込まれた流体
（たとえば真空槽からの抽出ガス）は、固定スクロール
３および旋回スクロール４の相対的な圧縮作用によって
流体通路８を移動したのち、吐出口Ｅから流体加熱手段
７を経て機外に排出される。

上述の流体移送時に該流体の温度が吐出口Ｅで低下して
も、吐出口Ｅは流体加熱手段７によって常時１３０℃な
いし１４０℃に維持されているので、流体中の含有物質
は吐出口Ｅで析出することがない。

（効果） 本発明は上記の構成により、スクロール形流体機械によ
って抽出される流体は、スクロール形流体機械の吐出口
でその温度が低下しようとするときに、吐出口が流体加
熱手段で常時、適温に維持されているので、流体中の含
有物質は析出するおそれがなく、したがって、スクロー
ル形流体機械は析出物の堆積による性能低下が未然に防
止されるという利点がある。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の実施態様を例示し、第１図はスクロール
形流体機械の中央縦断面図、第２図は流体加熱手段の中
央縦断面の拡大図である。 １・・・・・・スクロール形流体機械、２・・・・・・
ケーシング、３・・・・・・固定スクロール、４・・・
・・・旋回スクロール、５・・・・・・クランク軸付回
転軸、５ａ・・・・・・クランク軸、６・・・・・・ク
ランクピン、７・・・・・・流体加熱手段、８・・・・
・・流体通路、Ｅ・・・・・・吐出口。 ま り 第　１　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）ケーシングに固定スクロールが設けられ、該固定
   スクロールに旋回スクロールが噛合され、該旋回スクロ
   ールは、クランク軸付回転軸のクランク軸により固定ス
   クロールに対して旋回可能に設けられるとともに、周縁
   部に配設したクランクピンにより自転動作が規制されて
   なるものにおいて、前記固定スクロールと旋回スクロー
   ルとで形成される流体通路の吐出口に、流体加熱手段が
   設けられていることを特徴とするスクロール形流体機械
   。