JPH01139105U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01139105U JPH01139105U JP3364588U JP3364588U JPH01139105U JP H01139105 U JPH01139105 U JP H01139105U JP 3364588 U JP3364588 U JP 3364588U JP 3364588 U JP3364588 U JP 3364588U JP H01139105 U JPH01139105 U JP H01139105U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- case
- azimuth
- nipple
- stage vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 210000002445 nipple Anatomy 0.000 claims description 8
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Actuator (AREA)
Description
第１図は本考案を示した断面図、第２図は本考
案の第二実施例を示した断面図、第３図は本考案
の第三実施例を示した断面図、第４図はアジヤス
トニツプル本体の他の構成を示した断面図、第５
図は、第２図に示したアジヤストニツプル本体の
変形例を示したた断面図、第６図はアジヤストニ
ツプル本体の別の実施例を示した断面図、第７図
はアジヤストニツプル本体の更に他の実施例を示
した要部断面図、第８図は従来の多段作動バキユ
ームアクチユエータを示した断面図である。 １…ケース、２…ダイヤフラム、３…弁体、４
…アジヤストニツプル部、５…ポート、６…作動
ロツド、４１…アジヤストニツプル本体、４２…
パイプ。
案の第二実施例を示した断面図、第３図は本考案
の第三実施例を示した断面図、第４図はアジヤス
トニツプル本体の他の構成を示した断面図、第５
図は、第２図に示したアジヤストニツプル本体の
変形例を示したた断面図、第６図はアジヤストニ
ツプル本体の別の実施例を示した断面図、第７図
はアジヤストニツプル本体の更に他の実施例を示
した要部断面図、第８図は従来の多段作動バキユ
ームアクチユエータを示した断面図である。 １…ケース、２…ダイヤフラム、３…弁体、４
…アジヤストニツプル部、５…ポート、６…作動
ロツド、４１…アジヤストニツプル本体、４２…
パイプ。
Claims (1)
- ケース内にダイヤフラムを取り付け、該ケース
内に負圧室を形成し、該負圧室の圧力と前記ダイ
ヤフラムを境とする大気室側の対向圧との差圧に
より、前記ダイヤフラムと該ダイヤフラムに固着
した作動ロツドを移動せしめる多段作動バキユー
ムアクチユエータにおいて、前記ケースに取り付
けられたアジヤストニツプル部のアジヤストニツ
プル本体内部に摺動可能なパイプを配設すると共
に、前記ダイヤフラムに前記パイプの先端に対向
した弁体を固定したことを特徴とする多段作動バ
キユームアクチユエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3364588U JPH01139105U (ja) | 1988-03-16 | 1988-03-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3364588U JPH01139105U (ja) | 1988-03-16 | 1988-03-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01139105U true JPH01139105U (ja) | 1989-09-22 |
Family
ID=31260335
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3364588U Pending JPH01139105U (ja) | 1988-03-16 | 1988-03-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01139105U (ja) |
-
1988
- 1988-03-16 JP JP3364588U patent/JPH01139105U/ja active Pending