JPH01139105U - - Google Patents

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JPH01139105U
JPH01139105U JP3364588U JP3364588U JPH01139105U JP H01139105 U JPH01139105 U JP H01139105U JP 3364588 U JP3364588 U JP 3364588U JP 3364588 U JP3364588 U JP 3364588U JP H01139105 U JPH01139105 U JP H01139105U
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JP
Japan
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diaphragm
case
azimuth
nipple
stage vacuum
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JP3364588U
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Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案を示した断面図、第2図は本考
案の第二実施例を示した断面図、第3図は本考案
の第三実施例を示した断面図、第4図はアジヤス
トニツプル本体の他の構成を示した断面図、第5
図は、第2図に示したアジヤストニツプル本体の
変形例を示したた断面図、第6図はアジヤストニ
ツプル本体の別の実施例を示した断面図、第7図
はアジヤストニツプル本体の更に他の実施例を示
した要部断面図、第8図は従来の多段作動バキユ
ームアクチユエータを示した断面図である。 1…ケース、2…ダイヤフラム、3…弁体、4
…アジヤストニツプル部、5…ポート、6…作動
ロツド、41…アジヤストニツプル本体、42…
パイプ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ケース内にダイヤフラムを取り付け、該ケース
    内に負圧室を形成し、該負圧室の圧力と前記ダイ
    ヤフラムを境とする大気室側の対向圧との差圧に
    より、前記ダイヤフラムと該ダイヤフラムに固着
    した作動ロツドを移動せしめる多段作動バキユー
    ムアクチユエータにおいて、前記ケースに取り付
    けられたアジヤストニツプル部のアジヤストニツ
    プル本体内部に摺動可能なパイプを配設すると共
    に、前記ダイヤフラムに前記パイプの先端に対向
    した弁体を固定したことを特徴とする多段作動バ
    キユームアクチユエータ。
JP3364588U 1988-03-16 1988-03-16 Pending JPH01139105U (ja)

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JP3364588U JPH01139105U (ja) 1988-03-16 1988-03-16

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JPH01139105U true JPH01139105U (ja) 1989-09-22

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JP3364588U Pending JPH01139105U (ja) 1988-03-16 1988-03-16

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