JPH01137532U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01137532U JPH01137532U JP3264988U JP3264988U JPH01137532U JP H01137532 U JPH01137532 U JP H01137532U JP 3264988 U JP3264988 U JP 3264988U JP 3264988 U JP3264988 U JP 3264988U JP H01137532 U JPH01137532 U JP H01137532U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellet
- sheet
- suction
- pellets
- suction table
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims description 13
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
Description
第1図aは本考案の吸着台の平面図、第1図b
は第1図aのA−A′断面図、第2図は本考案の
ペレツト採取装置主要部の断面図、第3図aは従
来の吸着台の平面図、第3図bは第3図aのA−
A′断面図、第4図は従来のペレツト採取装置主
要部の断面図、第5図はペレツト採取を説明する
ための平面図。 図中、1……吸着台、1a……プレート上部、
1b……プレート下部、2a……大吸着孔、2b
……小吸着孔、3……開口部、4……コレツト、
5……突き上げピン、6……ペレツト、6a……
不良ペレツト、7……シート、7a……ピンホー
ル、20a……V溝、20b……吸気孔。
は第1図aのA−A′断面図、第2図は本考案の
ペレツト採取装置主要部の断面図、第3図aは従
来の吸着台の平面図、第3図bは第3図aのA−
A′断面図、第4図は従来のペレツト採取装置主
要部の断面図、第5図はペレツト採取を説明する
ための平面図。 図中、1……吸着台、1a……プレート上部、
1b……プレート下部、2a……大吸着孔、2b
……小吸着孔、3……開口部、4……コレツト、
5……突き上げピン、6……ペレツト、6a……
不良ペレツト、7……シート、7a……ピンホー
ル、20a……V溝、20b……吸気孔。
Claims (1)
- シート面上に保持されたペレツトと、シートを
吸着する吸着台と、ペレツトを突き上げる突き上
げピンと、ペレツトを採取するコレツトとを有す
るペレツト採取装置において、前記吸着台が、一
方の半円部にペレツトの一辺より大なる径の吸着
孔を有し、他方の半円部にはペレツトの一辺より
小なる径の吸着孔を有する吸着台からなり、前記
ペレツトの載置されたシートの部位に小なる吸着
孔が、ペレツト採取終了したシートの部位に大な
る吸着孔が対応するようにしてなるペレツト採取
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3264988U JPH01137532U (ja) | 1988-03-14 | 1988-03-14 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3264988U JPH01137532U (ja) | 1988-03-14 | 1988-03-14 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01137532U true JPH01137532U (ja) | 1989-09-20 |
Family
ID=31259202
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3264988U Pending JPH01137532U (ja) | 1988-03-14 | 1988-03-14 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01137532U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011187665A (ja) * | 2010-03-08 | 2011-09-22 | Denso Corp | 半導体チップのピックアップ装置 |
-
1988
- 1988-03-14 JP JP3264988U patent/JPH01137532U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011187665A (ja) * | 2010-03-08 | 2011-09-22 | Denso Corp | 半導体チップのピックアップ装置 |