JPH01133067U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01133067U JPH01133067U JP2746888U JP2746888U JPH01133067U JP H01133067 U JPH01133067 U JP H01133067U JP 2746888 U JP2746888 U JP 2746888U JP 2746888 U JP2746888 U JP 2746888U JP H01133067 U JPH01133067 U JP H01133067U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean
- storage space
- side wall
- cargo storage
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す一部切欠き正
面図、第２図は従来例を示す一部切欠き正面図で
ある。 １……クリーン台車、２……本体、４……開口
部、５……側壁体、６……荷収納空間、７……ク
リーンユニツト、９……フイルタ、１０……軸流
フアン、１１……荷受け渡し装置、１３……保持
具、１４……荷、２０……クリーンエア集合具、
２１……上部受入口、２２……下部吐出口、２３
……分散板、２４……一方クリーンエア、２４ａ
……クリーンエアカーテン、２５……他方クリー
ンエア。
面図、第２図は従来例を示す一部切欠き正面図で
ある。 １……クリーン台車、２……本体、４……開口
部、５……側壁体、６……荷収納空間、７……ク
リーンユニツト、９……フイルタ、１０……軸流
フアン、１１……荷受け渡し装置、１３……保持
具、１４……荷、２０……クリーンエア集合具、
２１……上部受入口、２２……下部吐出口、２３
……分散板、２４……一方クリーンエア、２４ａ
……クリーンエアカーテン、２５……他方クリー
ンエア。
Claims (1)
- 本体上に、一側面を開口部とした側壁体を設け
て、この側壁体内に荷収納空間を形成するととも
に、この荷収納空間内に荷受け渡し装置を設け、
前記側壁体上に下吹きのクリーンユニツトを設け
、前記荷収納空間の上部に、前記クリーンユニツ
トからのクリーンエアを二分割し、その一方を集
めて前記開口部で下吹きさせるクリーンエア集合
具を設けたことを特徴とするクリーン台車。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2746888U JPH01133067U (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2746888U JPH01133067U (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01133067U true JPH01133067U (ja) | 1989-09-11 |
Family
ID=31249987
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2746888U Pending JPH01133067U (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01133067U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11345859A (ja) * | 1998-04-04 | 1999-12-14 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置及び処理方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4729285U (ja) * | 1971-04-23 | 1972-12-02 |
-
1988
- 1988-02-29 JP JP2746888U patent/JPH01133067U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4729285U (ja) * | 1971-04-23 | 1972-12-02 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11345859A (ja) * | 1998-04-04 | 1999-12-14 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置及び処理方法 |