JPH01133017A - 赤外線撮像装置 - Google Patents

赤外線撮像装置

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JPH01133017A
JPH01133017A JP62292964A JP29296487A JPH01133017A JP H01133017 A JPH01133017 A JP H01133017A JP 62292964 A JP62292964 A JP 62292964A JP 29296487 A JP29296487 A JP 29296487A JP H01133017 A JPH01133017 A JP H01133017A
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JP
Japan
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mirror
scanning
imparted
inclination angles
plane mirror
Prior art date
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Pending
Application number
JP62292964A
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English (en)
Inventor
Sho Yasuda
升 安田
Kiyoshi Iida
潔 飯田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH01133017A publication Critical patent/JPH01133017A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本txは赤外線撮像装置に関し、%に水平方向く回転多
面鏡、垂直方向に振動する平面鏡を利用して二次元のラ
スク走査を行なう機械走査方式の赤外線撮像装置に関す
る。
〔従来の技術〕
第2図は従来のこの種の赤外線撮像装置の走査機構を示
す斜視図である。水平方向の走査を行なう回転多面鏡1
は、たとえば円筒形状の回転台11に固定されて高速回
転し、また振動平面鏡2は垂直方向に振動軸21を中心
として振動して往復運動することにより2次元のラスク
走査が行なわれ、撮像対象が撮像管等のセンサを利用す
る検知器3によって検知され画像入力となる。
この場合、回転多面鏡1は高速走査が可能であ夛、ラス
ク走査の水平1走査線が鏡面12の一面に相当する。1
フイールドの画像を得る為に振動平面鏡2は 1 秒で
1往復する間に、回転多面鏡2は(1フイールド走査線
)/(回転多面鏡の面数)だけ回転する事になる。
〔盛期が解決しようとする問題点〕
上述した従来のこの種の赤外線撮像装置の走査機構は、
しかしながら次のような問題点がある。
すなわち、この走査方式は、振動平面鏡を多面鏡と同等
の走査角度まで振ろうとすると平面鏡の大きさが非常に
犬きくなシ、かつその角度まで鋸歯状に線形に振動させ
る事が困難になることである。
上述した問題点く対して、従来は次の手段で解決を図っ
ている。
第3図は従来の赤外線撮像装置の他の走査機構を示す斜
視図である。第3図に示す走査方式では、回転多面鏡(
5)の各鏡面12CA)に対し回転軸方向に対して順次
規則的に異なる傾斜角度を付与し、回転多面鏡1(A)
のみで二次元走査を行わせている。
しかしながら、この方式にも問題点があシ、回転多面体
の鏡面数がたかだか10面ぐらいしかとれないため、十
分な走査線従って分解能を得る為には、検知器3(A)
を20〜50素子程度の多素子化アレイにしなければな
らない−という欠点がある。
本f羽の目的は上述した欠点を除去し、検知器の素子数
を増大することなく十分な分解能を得ることができる小
型の走査機構を利用する赤外線撮像装置を提供すること
にある。
〔問題点を解決するだめの手段〕
本発明の装置は、機械的光学走査方式により水平および
垂直方向を含む二次元走査を行なう赤外線撮像装置にお
いて、水平走査には回転多面鏡また垂直走査には振動す
る平面鏡を用いるとともに前記回転多面鏡の有する複数
の鏡面のそれぞれには回転軸方向に対して順次規則的に
異る傾斜角を付与しまた前記振動する平面鏡に対しては
前記回転多面鏡の複数の鏡面のそれぞれ異る傾斜角度差
分に対応した微小振動もしくは微動を付与しつつ二次元
走査を行なう手段を備えて構成される。
〔実施例〕
次に図面を参照して本f凹を説明する。
第1図は本水烟の赤外線撮像装置における走査機構の一
実施例の斜視図であシ、第3図の場合と同じ回転多面鏡
1(7!と振動平面鏡2のほか、検知器3四を備えて構
成される。
本実施例では、水平走査用に回転多面鏡1囚を従来例で
ある第2図と同じものを用い、一方、垂直走査用には、
垂直方向に微動、もしくは微小振動する振動平面鏡2を
第2図の従来例と同様に配置し、かつこの振動平面鏡2
に回転多面鏡1(5)の6異なる傾斜角度差分のみに対
応した微小振動を与える事により、二次元走査させるも
のである。
つまシ、回転多面鏡1(7!を垂直方向の全走査角度を
カバーできる角度まで傾斜させ、各傾斜面の間のよシ細
かい走査を振動平面鏡2で行わせるものである。この結
果、振動平面鏡の必要とする大きさも大幅に低減でき、
かつ必要とする振動角度も大幅に小さくできる。さらに
、PZT等を利用する微動平面鏡の適用も可能となる。
〔考案の効果〕
以上説明し九如く本業明によれば、水平および垂直方向
の二次元走査を機械的光学走査方式で行なう赤外線撮像
装置において、水平走査には鏡面のそれぞれに順次規則
的に異っていく傾斜角を付与した回転多面鏡、また垂直
走査には前記傾斜角度の差分のみに対応した微小振動も
しくは微動を付与した振動する平面鏡を利用することに
より、検知器の素子数を大幅に抑圧した状態で十分な分
解能が得られる小型、軽量な走査機構による赤外線撮像
装置が実現できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本tβRの赤外線撮像装置における走査機構の
一実施例を示す斜視図、第2図は従来の赤外線撮像装置
における走査機構を示す斜視図、第3図は従来の赤外線
撮像装flKおける他の走査機構を示す斜視図である。 1.1囚・・・・・・回転多面鏡、2・・・・・・振動
平面鏡、3.3囚・・・・・・検知器、11・・・・・
・回転台、12 、(12A)・・・・・・鏡面、21
・・・・・・振動軸。 代理人 弁理士  内 原   晋

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 機械的光学走査方式により水平および垂直方向を含む二
    次元走査を行なう赤外線撮像装置において、水平走査に
    は回転多面鏡また垂直走査には振動する平面鏡を用いる
    とともに前記回転多面鏡の有する複数の鏡面のそれぞれ
    には回転軸方向に対して順次規則的に異る傾斜角を付与
    しまた前記振動する平面鏡に対しては前記回転多面鏡の
    複数の鏡面のそれぞれ異る傾斜角度差分に対応した微小
    振動もしくは微動を付与しつつ二次元走査を行なう手段
    を備えて成ることを特徴とする赤外線撮像装置。
JP62292964A 1987-11-18 1987-11-18 赤外線撮像装置 Pending JPH01133017A (ja)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007085850A (ja) * 2005-09-21 2007-04-05 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd コンクリート劣化因子検出方法及び検出装置
KR101966971B1 (ko) * 2018-05-14 2019-04-08 주식회사 에스오에스랩 라이다 장치
US10557924B1 (en) 2018-05-14 2020-02-11 SOS Lab co., Ltd Lidar device
US10591598B2 (en) 2018-01-08 2020-03-17 SOS Lab co., Ltd Lidar device
US11808889B2 (en) 2018-01-08 2023-11-07 Sos Lab Co., Ltd. LiDAR device

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007085850A (ja) * 2005-09-21 2007-04-05 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd コンクリート劣化因子検出方法及び検出装置
JP4672498B2 (ja) * 2005-09-21 2011-04-20 株式会社Ihiインフラシステム コンクリート劣化因子検出方法及び検出装置
US11493630B2 (en) 2018-01-08 2022-11-08 SOS Lab co., Ltd LiDAR device
US10591598B2 (en) 2018-01-08 2020-03-17 SOS Lab co., Ltd Lidar device
US10613224B2 (en) 2018-01-08 2020-04-07 SOS Lab co., Ltd LiDAR device
US11808889B2 (en) 2018-01-08 2023-11-07 Sos Lab Co., Ltd. LiDAR device
US11953626B2 (en) 2018-01-08 2024-04-09 SOS Lab co., Ltd LiDAR device
US11953596B2 (en) 2018-01-08 2024-04-09 Sos Lab Co., Ltd. LiDAR device
KR102009025B1 (ko) * 2018-05-14 2019-08-08 주식회사 에스오에스랩 라이다 장치 및 라이다 장치에 이용되는 노딩미러
US10557924B1 (en) 2018-05-14 2020-02-11 SOS Lab co., Ltd Lidar device
US10578721B2 (en) 2018-05-14 2020-03-03 SOS Lab co., Ltd LiDAR device
US10705190B2 (en) 2018-05-14 2020-07-07 SOS Lab co., Ltd LiDAR device
KR101966971B1 (ko) * 2018-05-14 2019-04-08 주식회사 에스오에스랩 라이다 장치

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