JPH01131116U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01131116U JPH01131116U JP2696588U JP2696588U JPH01131116U JP H01131116 U JPH01131116 U JP H01131116U JP 2696588 U JP2696588 U JP 2696588U JP 2696588 U JP2696588 U JP 2696588U JP H01131116 U JPH01131116 U JP H01131116U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface side
- glass substrate
- optical waveguide
- optical
- arch
- Prior art date
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- Pending
Links
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- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 3
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Transform (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例の斜視図、第２図
、第３図及び第４図は各々製造工程を示すもので
、第２図はガラス基板の平面図、第３図はシリコ
ン基板の側面図、第４図はアセンブル後の平面図
である。 １……ガラス基板、２，２１，２２……光導波
路、３……シリコン基板、３１……溝部、４……
ガラスパイプ。
、第３図及び第４図は各々製造工程を示すもので
、第２図はガラス基板の平面図、第３図はシリコ
ン基板の側面図、第４図はアセンブル後の平面図
である。 １……ガラス基板、２，２１，２２……光導波
路、３……シリコン基板、３１……溝部、４……
ガラスパイプ。
Claims (1)
- 表面側に形成された光導波路を有するガラス基
板と、該ガラス基板の表面側において上記光導波
路上に固定されたアーチ状のシリコン基板とを備
える光学式変位検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2696588U JPH01131116U (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2696588U JPH01131116U (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01131116U true JPH01131116U (ja) | 1989-09-06 |
Family
ID=31249062
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2696588U Pending JPH01131116U (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01131116U (ja) |
-
1988
- 1988-02-29 JP JP2696588U patent/JPH01131116U/ja active Pending