JPH01129672U - - Google Patents

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JPH01129672U
JPH01129672U JP2065788U JP2065788U JPH01129672U JP H01129672 U JPH01129672 U JP H01129672U JP 2065788 U JP2065788 U JP 2065788U JP 2065788 U JP2065788 U JP 2065788U JP H01129672 U JPH01129672 U JP H01129672U
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probe
plate
probe plate
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movement mechanism
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  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図、第2図はそれぞれ、本考案によるプロ
ーブピンを有するパターンチエツカーの実施例を
示す互いに異なる作動状態の正面図である。 11……基台、12……支柱、13……回動軸
、14……カムプレート、14a……円弧面、1
4b……切欠部、14c……昇降ガイド面、14
d……ストツパ面、15……プローブプレート、
16……プローブピン、17……判定回路、19
……引張ばね、20……昇降台、21……昇降軸
、22……ガイド孔、23……圧縮ばね、24…
…規制端面、25……被検回路基板。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) プローブピンを有し回動軸を中心に回動可
    能なプローブプレートと;上記プローブピンと接
    触する被検回路基板を載置し、上記プローブプレ
    ートの下方において昇降可能な載置台と;プロー
    ブプレートと載置台とが平行になつた後、この載
    置台とプローブプレートとを接近させる平行移動
    機構とを有することを特徴とするプローブピンを
    有するパターンチエツカー。 (2) 平行移動機構は、プローブプレートの回動
    軸部に一体に設けられ、昇降台と係合してその昇
    降位置を規制するカムプレートを有している請求
    項1記載のパターンチエツカー。
JP1988020657U 1988-02-19 1988-02-19 Expired - Lifetime JPH0512776Y2 (ja)

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JPH01129672U true JPH01129672U (ja) 1989-09-04
JPH0512776Y2 JPH0512776Y2 (ja) 1993-04-02

Family

ID=31237211

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006147245A (ja) * 2004-11-17 2006-06-08 Jeol Ltd プローブ装置及びそれを備えた試料検査装置

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JPS6053067B2 (ja) * 1977-03-30 1985-11-22 大日本インキ化学工業株式会社 着色されたポリエステル組成物

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JP4583890B2 (ja) * 2004-11-17 2010-11-17 日本電子株式会社 プローブ装置及びそれを備えた試料検査装置

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Publication number Publication date
JPH0512776Y2 (ja) 1993-04-02

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