JPH01128023A - ミラーサポート用アクチユエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野Ｊ この発明は光学用薄形反射鏡を裏面側から支持するアク
チュエータに関するものである。

〔従来の技術〕

第８図は従来のミラーサポート用アクチュエータを示Ｔ
断面図であり、ｌはミラー、２はミラー１の裏面に設け
た穴３内に嵌合された筒体、４は上記筒体２内において
スライドベアリング５を介して直進案内される自在継手
受、６は例えば球面軸受のような自在継手７により上記
自在継手受に回転自在に結合された支持棒、８は上記筒
体２に取付けられた例えばひすみゲージ貼付型のロード
セルであり、連結材９をもって上記自在継手受に結合し
ている。

従来のアクチュエータは上記のように勧成され、ミラー
ｌには支持棒６により、ミラーｌの鏡軸に垂直な方向（
以下Ａ方向という）及びミラーｌの鏡軸方向（以ＦＢ方
向という）に支持荷重が負荷される。ところでミラー１
は鏡軸の仰角が鉛直ないし水平方向の間で支持され、各
仰角に対して適正な支持荷？ｋが負荷される。仰角が水
平になったどきＡ方向の支持荷重は最大になり、−万Ｂ
方向の支持荷重は最小になる。仰角が鉛直になったとき
Ａ方向の支持荷重は最小となり、−万Ｂ方向の支持荷重
は最大になる。ミラー１の形状を適正に保つための支持
荷重の精度は、Ａ方向については（最大荷重Ｘ５Ｘ１０
”）程度、Ｂ方向については（最大荷１ＸＩＸ１０”）
以下である。最大荷重を５９ｋｇｆ　としたと８Ａ方向
の支持荷重精度は、５０×５　Ｘ　１０−”＝　２５０
　（ｇｆ）程度、Ｂ方向の支持荷重精度は５０　Ｘ　Ｉ
　Ｘ　ｔｏ−Ｌ：５０（ｇｆ）以下である。

Ａ方向には自在継手７、自在継手受４、スライドベアリ
ング５、筒体２を介して支持力が負荷される。−万Ｂ方
向には、一つには自在継手７、自在継手受４、スライド
ベアリング５、筒体２を介して同時に自在畦手７、自在
継手受４、連結材９、ロードセル８、筒体２を介してミ
ラーｌに支持力が負荷される。ロードセル８を介して負
荷される支持力の大きさはロードセル８にて検出され、
もし支持力の大きさが適止でないときは支持棒６に加え
る力を加減してミラーｌに適正な荷重が加わるようにな
る。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のような従来のアクチュエータでは、Ｂ方向の支持
荷重精度は最大支持荷重を５０（ｋｇｆ）としたとき５
０　（ｇｆ）以下であり、ミラー１の厚さが更に薄く、
ミラー１の厚さと外径の比が８％程度のとき２０　（ｇ
ｆ）程度になる。Ｂ方向についてはロードセル８には荷
重の大きさを検出しながら支持棒６で適正な荷重を加え
るが、ひずみゲージ貼付型のロードセル８では力の検出
精度がせいぜい５Ｘ１０’程度であり、最大支持荷重を
５０（ｋｇｆ）とすると５０Ｘ５Ｘ１０　　’＝２５　
（ｇｆ）の検出誤差を有するため薄いミラーに対するア
クチュエータとしては適用できない。

ｔｚスライドベアリング５は摺動部を有するため摩擦力
が発生し、ミラーｌを支持棒６で押子ときと引くときで
摩擦力の方向が変り、これはロードセル８では検出でき
ないため、支持荷重の誤差になる。ミラー１が仰角が水
平方向の角度で保持されているとき上記摩擦力の大きさ
は、スライドベアリング５のＩＩ！擦係微係数程度なの
で５０（ｋｇｆ）×ｊ−：　５０　（ｇｆ）になり、薄
いミラーに対する了クチユエータとして適用できないと
いう問題点がある。

この発明は、上記のような問題点を解消する２めになさ
れたもので、摺動部に生じる摩擦力による支持荷重誤差
をなく丁ための機構を組込み、更に荷重検出精度のＴぐ
れたロードセルを用いて、厚さの薄いミラーに対しても
適用できるアクチュエータを得ることを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係るミラーサポート用アクチュエータは、筒
体内における自在継手受の直進案内要素として弾性平行
リンクを設け、また高精度の力検出能力を有する音叉振
動型ロードセルを用いたものである。

〔作用〕

この発明においては、弾性平何リンクが摩擦力を生じる
ごとなく筒体内で自任継手受を直進案内し、また音叉振
動型ロードセルは荷重検出精度が１０　’程度であり、
高精度に支持荷重の大きざを検出する。

〔実施例〕

第１（２）はこの発明の一実施例を一部分解して示した
斜視図であり、第２図は他の実施例を示す断面崗であっ
て、図に示Ｔ１．２．４．６．７．９は上記第８園に示
Ｔ従来のものと同一のものである。ｌＯは弾性平行リン
クであり、これは筒体２に結合され、自在継手受４を直
進案内する要素である。ま７ｊ　１１は高精度の力検出
能力を有する音叉撮動型ロードセルである。なお、第２
図において認はダイアプラムであり、これは筒体２と自
在継手受４を弾性的に結合するものである。

上記のように構成されたアクチュエータのまず第１寵に
示Ｔ実施例において、Ａ方向（ミラーｌの鏡軸に垂直な
方向）については支ｒＩ俸６により自在継手７、弾性平
行リンク１０、筒体２を介してミラーｌに支持荷重が負
荷される。まｚＩ３方向（ミラーｌの鏡軸方向）につい
ては、一つには自（Ｅ継手７、自（Ｅ継手受４、連結材
９、音叉撮動型ロードセル１１、筒体２を介し、同時に
自任継手７、自在継手受４、弾性平行リンク１０、筒体
２を弁してミラーｌに支持荷重が負荷される。この時支
持荷重のうち連結材９、音叉撮動型ロードセル１１を介
して伝わる分については、その大きさは音叉振動型ロー
ドセルＵにて検出精度１０−の精度で検出される。最大
支持荷重を５０　（ｋｇｆ）としたとき、検出誤差はｓ
ｏ（ｋｇｆ）ＸｌＧ　’５（ｇｆ）となる〇一方支狩荷
重のうち弾性平行リンク１０．筒体２を介して伝わる分
については、摩擦力による支持荷重の哄差がなく、音叉
撮動型ロードセル１１で検出される力の大きさを定数倍
することにより、Ｂ方向の支持荷重を算出することがで
きる。

今、音叉振動型ロードセル１１と、弾性平行リンク１０
のＢ方向のばね定数比を９：ｌとすると、音叉振動型ロ
ードセル１１により検出される力の大きさを）倍するこ
とによりＢ方向の支持荷重の大きざを算出することがで
きる０ 次に第２図に示す他の実施例において、Ｂ方向の支持荷
重は一つには自在継手７、自在継手受４、連結材９、音
叉撮動型ロードセル１１、筒体２を弁してミラー１に伝
わり、同時に自在継手７、自社継手受４、ダイヤフラム
化、筒体２を介してミラー１に伝わる。そして後者につ
いては摺動によって生じる摩擦力による支持荷重の誤差
がなく、音叉振動型ロードセル１１で検出される力の大
きさを定数倍にすることにより、Ｂ方向の支持荷重を検
出することができる。

〔発明の効果〕

この発明は以上説明したように、筒体内における自在継
手受の直進案内要素として摺動による摩擦力を発生する
ことのない弾性平行リンクまたはダイヤフラムを設け、
更に高精度の力検出能力を有する音叉振切型ロードセル
を用いたことによってミラーの鏡軸方向の支持荷重の大
きざを検出精度１０−゛程度で検出できるため、薄いミ
ラーに対するアクチュエータとして適用できる効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

Ｍ１図はこの発明の一実施例によるミラーサポート用ア
クチュエータの一部を分解して示した斜視図、第２図は
他の実施例を示す断面図、第８図は従来のアクチュエー
タを示す断面図である。 脚において、ｌはミラー、２は筒体、４は自在継手受、
６は支持棒、７は自在継手、９は連結材、１０は弾性平
行リンク、１１は音叉振動型ロードセル、戊はダイヤフ
ラムである。 尚、図中同一符号は同一または相当部分を示τ。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）ミラーの裏面において鏡軸に平行にあけられた穴
   内に嵌合する筒体、ミラー下方のミラーセルに取付けら
   れミラーを支える支持棒、この支持棒の端部に取付けら
   れた自在継手、この自在継手を介して上記支持棒と回転
   結合された自在継手受、この自在継手受を上記筒体内で
   直進案内する弾性平行リンク、上記筒体に取付けられ、
   かつ連結材にて上記自在継手受に結合された音叉振動型
   ロードセルを備えたことを特徴とするミラーサポート用
   アクチュエータ。
2. （２）自在継手受を筒体内で直進案内する機構としてダ
   イヤフラムを用いたことを特徴とする特許請求の範囲第
   １項記載のミラーサポート用アクチュエータ。