JPH01120937U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01120937U JPH01120937U JP1683188U JP1683188U JPH01120937U JP H01120937 U JPH01120937 U JP H01120937U JP 1683188 U JP1683188 U JP 1683188U JP 1683188 U JP1683188 U JP 1683188U JP H01120937 U JPH01120937 U JP H01120937U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum processing
- bottom wall
- pair
- side walls
- processed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
Description
第１図および第２図は本考案に係る連続式真空
処理装置の一実施例を示す側断面図、第３図およ
び第４図はそれぞれ液体貯槽の平面図、第５図は
本考案に係る連続式真空処理装置の他の実施例を
示す側断面図、第６図は本考案に係る連続式真空
処理装置のさらに他の実施例を示す側断面図であ
る。 ２……真空処理室、３……底面壁、４……蓋体
、４ａ，４ｂ，４ｄ……側壁、５……シール液体
、６……液体貯槽、８……被処理材、１３……案
内ロール、１５……液体貯槽、１６……案内ロー
ル。
処理装置の一実施例を示す側断面図、第３図およ
び第４図はそれぞれ液体貯槽の平面図、第５図は
本考案に係る連続式真空処理装置の他の実施例を
示す側断面図、第６図は本考案に係る連続式真空
処理装置のさらに他の実施例を示す側断面図であ
る。 ２……真空処理室、３……底面壁、４……蓋体
、４ａ，４ｂ，４ｄ……側壁、５……シール液体
、６……液体貯槽、８……被処理材、１３……案
内ロール、１５……液体貯槽、１６……案内ロー
ル。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 長尺シート状の被処理材を真空処理室内を連続
的に通過させることにより真空処理する装置であ
つて、 前記真空処理室は底面壁及び該底面壁に被蓋し
た蓋体により画成され、該蓋体の少なくとも相対
向する一対の側壁の下端は底面壁に凹設された液
封用の溝内に装入されており、該一対の側壁の下
端には前記被処理材を案内する案内部材が設けら
れている連続式真空処理装置において、 少なくとも該一対の側壁を上下動可能とし、前
記案内部材を溝内の非減圧時の液面レベルよりも
上方へ引き上げ可能としたことを特徴とする連続
式真空処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1683188U JPH01120937U (ja) | 1988-02-10 | 1988-02-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1683188U JPH01120937U (ja) | 1988-02-10 | 1988-02-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01120937U true JPH01120937U (ja) | 1989-08-16 |
Family
ID=31230099
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1683188U Pending JPH01120937U (ja) | 1988-02-10 | 1988-02-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01120937U (ja) |
-
1988
- 1988-02-10 JP JP1683188U patent/JPH01120937U/ja active Pending
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