JPH01120081A - レーザ発振器 - Google Patents
レーザ発振器Info
- Publication number
- JPH01120081A JPH01120081A JP62277325A JP27732587A JPH01120081A JP H01120081 A JPH01120081 A JP H01120081A JP 62277325 A JP62277325 A JP 62277325A JP 27732587 A JP27732587 A JP 27732587A JP H01120081 A JPH01120081 A JP H01120081A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- light
- oscillator
- alignment
- extraction device
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims abstract description 15
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 10
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims abstract description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はレーザ発振器の改良に関するものである。
［従来の技術］
第３図は従来のレーザ発振器のａは側面図、ｂは一部平
面図で、図中１は発振器ケーシング、２は電極、３は全
反射鏡、４は部分反射鏡、５はレーザ光、６はアライメ
ント用レーザ光（Ｈｅ−Ｎｅレーザ光）、７はＨｅ−Ｎ
ｅ光取り出し装置、８はｆｆｉ畳されたレーザ光である
。
面図で、図中１は発振器ケーシング、２は電極、３は全
反射鏡、４は部分反射鏡、５はレーザ光、６はアライメ
ント用レーザ光（Ｈｅ−Ｎｅレーザ光）、７はＨｅ−Ｎ
ｅ光取り出し装置、８はｆｆｉ畳されたレーザ光である
。
図において、真空圧に保持された発振器ケーシング１内
で電極２により放電励起された媒質は、全反射鏡３と部
分反射鏡４との間で誘導放出され、レーザ光５が発振す
る。発振したレーザ光５が不可視光の場合ば、危険防止
のためレーザ光５のガイド光として可視光の例えばＨｅ
−Ｎｅレーザ光６が重畳されている。このＨｅ−Ｎｅ光
６は、取り出し装置７で反射され発振レーザ光５と同じ
光軸方向へ進み、発振レーザ光５に重畳され重畳レーザ
光８となる。
で電極２により放電励起された媒質は、全反射鏡３と部
分反射鏡４との間で誘導放出され、レーザ光５が発振す
る。発振したレーザ光５が不可視光の場合ば、危険防止
のためレーザ光５のガイド光として可視光の例えばＨｅ
−Ｎｅレーザ光６が重畳されている。このＨｅ−Ｎｅ光
６は、取り出し装置７で反射され発振レーザ光５と同じ
光軸方向へ進み、発振レーザ光５に重畳され重畳レーザ
光８となる。
取り出し装置７は第３図すに示すようにＰ位置とＱ位置
間をスライドする構造となっており、レーザ光を発振す
る際はＰ位置に、発振しない時はＱ位置に位置させるよ
うに配置されている。
間をスライドする構造となっており、レーザ光を発振す
る際はＰ位置に、発振しない時はＱ位置に位置させるよ
うに配置されている。
従来のレーザ発振器は以上のように構成されている。
［発明が解決しようとする問題点コ
ところで上記従来のレーザ発振器においては、Ｈｅ−Ｎ
ｅレーザ光６は発振レーザ光５のガイドの機能を有する
のみで、発振器内のミラー３．４の光軸調整その他ミラ
ー３．４の正対性を求めるためには、別途Ｈ”ｅ−Ｎｅ
光を準備する必要がある。したがってミラー３．４が外
的影響を受けてずれるようなことがあると、その調整に
時間を要し、これが従来のレーザ発振器の欠点となって
いた。
ｅレーザ光６は発振レーザ光５のガイドの機能を有する
のみで、発振器内のミラー３．４の光軸調整その他ミラ
ー３．４の正対性を求めるためには、別途Ｈ”ｅ−Ｎｅ
光を準備する必要がある。したがってミラー３．４が外
的影響を受けてずれるようなことがあると、その調整に
時間を要し、これが従来のレーザ発振器の欠点となって
いた。
本発明は従来装置の上記問題点を解消するためになされ
たもので、発振レーザのガイド機能とともに発振器内の
ミラーの正対性調整機能をも備えたレーザー発振器を提
供しようとするものである。
たもので、発振レーザのガイド機能とともに発振器内の
ミラーの正対性調整機能をも備えたレーザー発振器を提
供しようとするものである。
［問題点を解決するための手段〕
上記目的を達成するため、本発明に係るレーザ発振器に
おいては、Ｈｅ−Ｎｅ光取り出し装置にＨｅ−Ｎｅ光の
分岐手段を備えた。
おいては、Ｈｅ−Ｎｅ光取り出し装置にＨｅ−Ｎｅ光の
分岐手段を備えた。
［作用コ
本発明に係るレーザ発振器は上記のように構成したので
、Ｈｅ−Ｎｅ光の一部は、取り出し装置の分岐手段によ
り分岐されて発振器内に進む。したがってこの分岐され
たＨｅ−Ｎｅ光を利用して発振器内のミラーの調整を行
えば、該ミラーの正対性の調整を容易に行うことが出来
るとともに、発振レーザに重畳せしめてそのガイド機能
をも行なわしめ得るのである。
、Ｈｅ−Ｎｅ光の一部は、取り出し装置の分岐手段によ
り分岐されて発振器内に進む。したがってこの分岐され
たＨｅ−Ｎｅ光を利用して発振器内のミラーの調整を行
えば、該ミラーの正対性の調整を容易に行うことが出来
るとともに、発振レーザに重畳せしめてそのガイド機能
をも行なわしめ得るのである。
［発明の実施例コ
第１図は本発明の一実施例を示すレーザ発振器の断面図
、第２図はそのＨｅ−Ｎｅ光取り出し装置の拡大断面図
で、図中１〜８は従来装置と同一部品、１０はＨｅ−Ｎ
ｅ光取り出し装置、１０ａはビームスプリッタ、１０ｂ
は全反射鏡、１０ｃは小孔、１１は通過光、１２は反射
光、１３は重畳光である。
、第２図はそのＨｅ−Ｎｅ光取り出し装置の拡大断面図
で、図中１〜８は従来装置と同一部品、１０はＨｅ−Ｎ
ｅ光取り出し装置、１０ａはビームスプリッタ、１０ｂ
は全反射鏡、１０ｃは小孔、１１は通過光、１２は反射
光、１３は重畳光である。
第２図にみるように、Ｈｅ−Ｎｅ光取り出し装置は、ビ
ームスプリツタ１０ａ１全反射鏡１０ｂ及び小孔１０ｃ
を備えている。したがってＨｅ−Ｎｅ光６は、ビームス
プリッタ１０ａを通過する光１１と、同スプリッタ１０
ａで反射して発振器内へ進む光１２とに分岐する。この
反射光１２は発振器内でミラー３．４間を往復するので
、反射光１２を利用してミラー３．４の光軸調整を行な
えば、ミラー３．４の正対性を求めることが出来、その
結果発振器内を往復する反射光１３は同一光軸を通るこ
ととなる。ミラー３で反射した光１３の一部は、発振レ
ーザ光５に重畳してミラー４、スプリッタ１０ａを通過
し小孔１０ｃを抜けて重畳光１３となり、加工箇所へ導
かれる。
ームスプリツタ１０ａ１全反射鏡１０ｂ及び小孔１０ｃ
を備えている。したがってＨｅ−Ｎｅ光６は、ビームス
プリッタ１０ａを通過する光１１と、同スプリッタ１０
ａで反射して発振器内へ進む光１２とに分岐する。この
反射光１２は発振器内でミラー３．４間を往復するので
、反射光１２を利用してミラー３．４の光軸調整を行な
えば、ミラー３．４の正対性を求めることが出来、その
結果発振器内を往復する反射光１３は同一光軸を通るこ
ととなる。ミラー３で反射した光１３の一部は、発振レ
ーザ光５に重畳してミラー４、スプリッタ１０ａを通過
し小孔１０ｃを抜けて重畳光１３となり、加工箇所へ導
かれる。
ビームスプリッタ１０ａは、その中心を発振器の光軸と
合致させるための調整機構を有しており、表裏面の反射
光が一致するように薄く構成されている。
合致させるための調整機構を有しており、表裏面の反射
光が一致するように薄く構成されている。
なお全反射鏡１０ｂで反射した通過光１１は、さらにス
プリッタ１０ａで反射して発振レーザ光５の光軸方向へ
進み、発振光５に重畳して重畳光１３となる。その結果
上記反射光１２と一致する場合は重畳光１３の光強度を
増加させるので、全反射鏡１０ｂの存在意味が無いわけ
ではないが、特に必要なものでもない 本実施例においてはＨｅ−Ｎｅ光の分岐手段にビームス
プリッタを使用したが、ビームスプリッタに限定するも
のではなく、他の部品を用いてもよい。
プリッタ１０ａで反射して発振レーザ光５の光軸方向へ
進み、発振光５に重畳して重畳光１３となる。その結果
上記反射光１２と一致する場合は重畳光１３の光強度を
増加させるので、全反射鏡１０ｂの存在意味が無いわけ
ではないが、特に必要なものでもない 本実施例においてはＨｅ−Ｎｅ光の分岐手段にビームス
プリッタを使用したが、ビームスプリッタに限定するも
のではなく、他の部品を用いてもよい。
またアライメント用レーザ光もＨｅ−Ｎｅレーザ光に限
るものではない。
るものではない。
［発明の効果］
本発明はレーザ発振器のＨｅ−Ｎｅ光取り出し装置にお
いて、ビームスプリッタと全反射鏡とを備えたので、Ｈ
ｅ−Ｎｅ光を利用して発振器のミラーの光軸調整を行な
うことが可能となり、その正対性を容易に求めることが
出来るようになった。
いて、ビームスプリッタと全反射鏡とを備えたので、Ｈ
ｅ−Ｎｅ光を利用して発振器のミラーの光軸調整を行な
うことが可能となり、その正対性を容易に求めることが
出来るようになった。
第１図は本発明の一実施例を示すレーザ発振器の断面図
、第２図はそのＨｅ−Ｎｅ光取り出し装置の拡大断面図
、第３図は従来装置の断面図である。 図中１０はＨｅ−Ｎｅ光取り出し装置、１０ａはビーム
スプリッタ、１０ｂは全反射鏡、１０ｃは小孔、１１は
通過光、１２は反射光、１３は重畳光である。 なお図中同一符号は同一または相当部品を示すものであ
る。 代理人 弁理士 佐々木 宗治 第３図
、第２図はそのＨｅ−Ｎｅ光取り出し装置の拡大断面図
、第３図は従来装置の断面図である。 図中１０はＨｅ−Ｎｅ光取り出し装置、１０ａはビーム
スプリッタ、１０ｂは全反射鏡、１０ｃは小孔、１１は
通過光、１２は反射光、１３は重畳光である。 なお図中同一符号は同一または相当部品を示すものであ
る。 代理人 弁理士 佐々木 宗治 第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 真空圧に保持されたレーザ媒質を封入したケーシング
内に一対の電極と一対の反射鏡とを具備するとともに、
光軸調整用のアライメント光取り出し装置を具備して、
レーザ発振光とそれに重畳させるアライメント用レーザ
光とを発振させるレーザ発振器において、 上記アライメント光取り出し装置に、該アライメント光
の分岐手段を備え、 上記レーザ発振器の反射鏡の光軸調整をも行ない得るよ
うに構成した ことを特徴とするレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62277325A JPH01120081A (ja) | 1987-11-04 | 1987-11-04 | レーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62277325A JPH01120081A (ja) | 1987-11-04 | 1987-11-04 | レーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01120081A true JPH01120081A (ja) | 1989-05-12 |
Family
ID=17581956
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62277325A Pending JPH01120081A (ja) | 1987-11-04 | 1987-11-04 | レーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01120081A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001284684A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-10-12 | Komatsu Ltd | ガイドレーザ装置 |
-
1987
- 1987-11-04 JP JP62277325A patent/JPH01120081A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001284684A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-10-12 | Komatsu Ltd | ガイドレーザ装置 |
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