JPH01118714A - Optical position detection sensor - Google Patents
Optical position detection sensorInfo
- Publication number
- JPH01118714A JPH01118714A JP27666287A JP27666287A JPH01118714A JP H01118714 A JPH01118714 A JP H01118714A JP 27666287 A JP27666287 A JP 27666287A JP 27666287 A JP27666287 A JP 27666287A JP H01118714 A JPH01118714 A JP H01118714A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- photodetection
- photodiodes
- output
- light source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 13
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 17
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の分野〕
本発明は遮蔽板の位置変化に対応した出力を得るように
した光学式位置検出センサに関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of the Invention] The present invention relates to an optical position detection sensor that obtains an output corresponding to a change in the position of a shielding plate.
(従来技術)
従来、光を用いて物体の変位を検出するための素子とし
て特公昭39−21006号等に示されているように、
対称な受光領域を有するCdSを用いた回路が知られて
いる。これは第5図に概略図を示すように、長方形状の
受光領域の光導電物質(CdS)を対角線に対して対称
な対の三角形状の受光部1a、lbとして構成し、図中
X軸方向に移動するスリット2aを有するスリット板2
を設け、図示しない光源より光を投光することによって
夫々の受光部の受光面積を変化させるようにしたものが
知られている。この変位検出素子は第6図に示すように
、夫々の受光部をその一辺とするブリッジ回路に接続し
、該ブリッジ回路に電R3より一定の電圧を与えること
によってブリッジの両端の電圧がスリシト2aの位置、
即ち2つの受光部la、lbの受光面積の変化に対応し
て変化することとなる。従ってブリッジ回路の両端の電
圧によってスリット板2の変位を知ることができる。(Prior Art) Conventionally, as shown in Japanese Patent Publication No. 39-21006, etc., as an element for detecting the displacement of an object using light,
A circuit using CdS having a symmetrical light receiving area is known. As shown schematically in FIG. 5, the photoconductive material (CdS) in the rectangular light-receiving area is configured as a pair of triangular light-receiving parts 1a and 1b symmetrical with respect to the diagonal, and the X-axis in the figure A slit plate 2 having a slit 2a that moves in the direction
There is a known device in which the light receiving area of each light receiving portion is changed by projecting light from a light source (not shown). As shown in FIG. 6, this displacement detecting element is connected to a bridge circuit having each light receiving part as one side, and by applying a constant voltage to the bridge circuit from the electric current R3, the voltage at both ends of the bridge is adjusted to Position of,
That is, it changes in response to a change in the light receiving area of the two light receiving sections la and lb. Therefore, the displacement of the slit plate 2 can be determined by the voltage across the bridge circuit.
(発明が解決しようとする問題点)
しかしながらこのような従来の光電式変位検出素子によ
れば、受光部にCdSを用いているため応答速度が極め
て遅く、スリット板が高速で変化する場合にはそれに追
従した位置信号を得ることができなかった。又CdSは
耐温度性が悪く、温度が大きく変化する環境下で使用す
ることができないという欠点があった。更にCdSは第
5図に示すように受光部分が線状に構成されているため
、スリット板の微小な変位に対して出力が不連続に変化
することがあるという問題点もあった。(Problems to be Solved by the Invention) However, according to such a conventional photoelectric displacement detection element, the response speed is extremely slow because CdS is used in the light receiving part, and when the slit plate changes at high speed, It was not possible to obtain a position signal that followed this. Furthermore, CdS has poor temperature resistance and cannot be used in an environment where the temperature changes significantly. Furthermore, since the CdS has a linear light-receiving portion as shown in FIG. 5, there is a problem in that the output may change discontinuously in response to minute displacements of the slit plate.
本発明はこのような従来の光学式変位検出素子の問題点
に鑑みてなされたものであって、応答性が速く温度変化
の激しい環境下でも使用することができ、直線性を向上
させた光電式位置検出センサを得ることを技術的課題と
する。The present invention has been made in view of the problems of conventional optical displacement detection elements, and is a photoelectric sensor that has a fast response, can be used even in environments with severe temperature changes, and has improved linearity. The technical challenge is to obtain a type position detection sensor.
(問題点を解決するための手段)
本発明は遮蔽板の位置変化に対応した出力を得るように
した光学式位置検出センサであって、第1図に示すよう
に、線対称の所定形状の受光領域を対角線によって二分
割して構成した互いに対称な受光領域を有する一対のフ
ォトダイオードと、一対のフォトダイオードの全ての受
光領域に光を照射する光源と、光源と前記一対のフォト
ダイオード間に一定方向に移動自在に配置され、光を透
過させるスリットを有する遮蔽板と、一対のフォトダイ
オードより得られる受光出力を加算する加算回路と、加
算回路の出力が一定値となるように光源を駆動する駆動
手段と、を具備し、遮蔽板の変位を前記一方のフォトダ
イオード出力によって検出するようにしたことを特徴と
するものである。(Means for Solving the Problems) The present invention is an optical position detection sensor that obtains an output corresponding to a change in the position of a shielding plate, and as shown in FIG. a pair of photodiodes having mutually symmetrical light-receiving areas configured by dividing the light-receiving area into two along a diagonal; a light source that irradiates light to all the light-receiving areas of the pair of photodiodes; and a space between the light source and the pair of photodiodes. A shielding plate that is movable in a fixed direction and has a slit that allows light to pass through, an adder circuit that adds the received light outputs obtained from a pair of photodiodes, and a light source that drives the light source so that the output of the adder circuit is a constant value. The present invention is characterized in that the displacement of the shielding plate is detected by the output of the one photodiode.
(作用)
このような特徴を有する本発明によれば、互いに対称な
受光領域を有する一対のフォトダイオードを受光素子と
°して用いており、光源とフォトダイオード間にその変
位によって受光領域が変化する遮蔽板を設けている。従
って遮蔽板の変位に対して一対のフォトダイオードの受
光量が対称的に変化することとなる。しかしこれらのフ
ォトダイオードに得られる受光量の受光出力を加算回路
によって加算し、加算出力が常に一定値となるように駆
動手段を介して光源を駆動している。そうすればいずれ
か一方のフォトダイオードの受光出力から遮蔽板の変位
信号を得ることができる。そして光源の出力が低下した
り温度変化等によって受光レベルが変化してもその受光
量が常に一定値となるように駆動しているため、このよ
うな変化を自動的に補償するようにしている。(Function) According to the present invention having such characteristics, a pair of photodiodes having mutually symmetrical light-receiving areas are used as light-receiving elements, and the light-receiving area changes depending on the displacement between the light source and the photodiode. A shielding plate is installed. Therefore, the amount of light received by the pair of photodiodes changes symmetrically with respect to the displacement of the shielding plate. However, the light receiving outputs of the amounts of light received by these photodiodes are added together by an adding circuit, and the light source is driven via a driving means so that the added output is always a constant value. In this way, a displacement signal of the shielding plate can be obtained from the light reception output of either one of the photodiodes. Even if the received light level changes due to a drop in the output of the light source or changes in temperature, etc., the amount of received light is always driven to a constant value, so such changes are automatically compensated for. .
(発明の効果)
このように本発明によれば、フォトタイオードの応答速
度はCdSに対して極めて速いため、従来の変位検出素
子に比べて極めて速い応答性を有する位置検出センサを
得ることができる。又受光出力が常に一定となるように
制御しているため、耐環境性に優れた位置検出センサと
することができる。更に一対のフォトダイオードの受光
領域はCdSと異なって均一に構成されているため遮蔽
板の微小な変位に対しても出力が正確に追従することと
なり、直線性を向上させることができるという効果が得
られる。(Effects of the Invention) As described above, according to the present invention, since the response speed of the photodiode is extremely fast compared to CdS, it is possible to obtain a position detection sensor having extremely fast response compared to conventional displacement detection elements. can. Further, since the light receiving output is controlled to be always constant, the position detection sensor can have excellent environmental resistance. Furthermore, unlike CdS, the light-receiving areas of the pair of photodiodes are uniformly structured, so the output can accurately follow even minute displacements of the shielding plate, which has the effect of improving linearity. can get.
第1図は本発明の一実施例による光学式位置検出センサ
の全体構成を示す回路図、第2図はそのフォトダイオー
ドの構成を示す図である。本実施例では第2図に示すよ
うにフォトダイオードは長方形状に構成され、対角線で
分離された互いに対称な受光領域を持つ一対のフォトダ
イオード11a、11bから成り立っている。そして第
1図に示すようにこのフォトダイオード11a、11b
に対向する位置に2つのフォトダイオードの前面に光を
照射することができる光源、例えば発光ダイオード12
を配置する0発光ダイオード12はフォトダイオードl
la、llbと共に一定位置に固定されており、全ての
受光領域に光を照射するために複数の受光ダイオードで
構成するようにしてもよい。そしてこの発光ダイオード
12とフォトダイオードlla、llb間に遮蔽板13
を設ける。遮蔽板13は第2図に示すようにX軸方向に
移動自在に構成されており、移動方向と垂直な軸、即ち
Y軸に平行なスリット13aが設けられるものとする。FIG. 1 is a circuit diagram showing the overall configuration of an optical position detection sensor according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a diagram showing the configuration of a photodiode thereof. In this embodiment, as shown in FIG. 2, the photodiode is constructed in a rectangular shape and consists of a pair of photodiodes 11a and 11b having mutually symmetrical light receiving areas separated by diagonal lines. As shown in FIG. 1, these photodiodes 11a and 11b
A light source, for example, a light emitting diode 12, which can irradiate light onto the front surface of the two photodiodes at a position facing each other.
0 light emitting diode 12 is a photodiode l
It is fixed at a fixed position along with la and llb, and may be composed of a plurality of light receiving diodes in order to irradiate all light receiving areas with light. A shielding plate 13 is placed between the light emitting diode 12 and the photodiodes lla and llb.
will be established. As shown in FIG. 2, the shielding plate 13 is configured to be movable in the X-axis direction, and is provided with a slit 13a parallel to an axis perpendicular to the moving direction, that is, the Y-axis.
そしてこの遮蔽板13のX方向の変位によって2つのフ
ォトダイオード11a。The displacement of this shielding plate 13 in the X direction causes two photodiodes 11a.
11bに照射される受光面積が変化し、その受光出力が
変化する。ここでフォトダイオード11はY軸に平行な
中心線に沿って対称な形状を有するものとする。これら
のフォトダイオード11a。The light-receiving area irradiated to 11b changes, and the light-receiving output changes. Here, it is assumed that the photodiode 11 has a symmetrical shape along a center line parallel to the Y-axis. These photodiodes 11a.
11bはその出力を変換するための演算増幅器14.1
5に接続されている。演算増幅器14の出力Va、演算
増幅器15の出力vbは加算回路16に与えられる。こ
こでは単一電源を用いて加算回路を構成するために2つ
の演算増幅器17.18を用いて加算回路を実現してい
る。即ち演算増幅器14.15の出力端は夫々同一の抵
抗値を有する抵抗R1,R2に接続され、これらの抵抗
の他端が共通接続されて演算増幅器17の反転入力端に
接続される。演算増幅器17の非反転入力端には基準電
圧源Vrより抵抗R3,R4によって分圧された電圧が
与えられる。そして演算増幅器17の出力と反転入力端
間には帰還抵抗R5が接続されている。ここで抵抗R1
,R2,R4,R5は同一の抵抗値Raを有するものと
し、抵抗R3はそのAの抵抗値Ra/2を有するものと
する。11b is an operational amplifier 14.1 for converting its output.
5. The output Va of the operational amplifier 14 and the output Vb of the operational amplifier 15 are provided to an adder circuit 16. Here, in order to configure the adder circuit using a single power supply, the adder circuit is realized using two operational amplifiers 17 and 18. That is, the output terminals of the operational amplifiers 14 and 15 are connected to resistors R1 and R2 having the same resistance value, respectively, and the other ends of these resistors are commonly connected and connected to the inverting input terminal of the operational amplifier 17. A voltage divided from a reference voltage source Vr by resistors R3 and R4 is applied to the non-inverting input terminal of the operational amplifier 17. A feedback resistor R5 is connected between the output of the operational amplifier 17 and the inverting input terminal. Here resistance R1
, R2, R4, and R5 have the same resistance value Ra, and the resistor R3 has the resistance value Ra/2 of A.
こうすれば演算増幅器17の出力には2Vr−(Va+
Vb)の電圧が得られ、この電圧が抵抗R6を介して演
算増幅器18の反転入力端に与えられる。演算増幅器1
8の非反転入力端には電圧Vrの基準電圧源が接続され
、その出力と反転入力端間には抵抗R7が接続される。In this way, the output of the operational amplifier 17 will have 2Vr-(Va+
Vb) is obtained, and this voltage is applied to the inverting input of the operational amplifier 18 via the resistor R6. Operational amplifier 1
A reference voltage source of voltage Vr is connected to the non-inverting input terminal of 8, and a resistor R7 is connected between its output and the inverting input terminal.
ここで抵抗R6゜R7の抵抗値は同一のものとする。そ
うすれば演算増幅器18の出力より演算増幅器14.1
5の出力を加算した電圧出力Va+Vbが得られること
となる。この電圧出力が抵抗R8を介して演算増幅器1
9の反転入力端に与えられる。演算増幅器19の非反転
入力端には電圧Vrが基準電圧源より与えられており、
その出力と反転入力端間には発振防止用のコンデンサC
1が接続されている。Here, it is assumed that the resistance values of resistors R6 and R7 are the same. Then, from the output of the operational amplifier 18, the operational amplifier 14.1
A voltage output Va+Vb is obtained by adding the outputs of 5. This voltage output is applied to the operational amplifier 1 via the resistor R8.
It is applied to the inverting input terminal of 9. A voltage Vr is applied to the non-inverting input terminal of the operational amplifier 19 from a reference voltage source,
A capacitor C to prevent oscillation is connected between the output and the inverting input terminal.
1 is connected.
そしてこの出力は演算増幅器20の非反転入力端に与え
られる。演算増幅器20の出力はトランジスタTriの
ベースに与えられる。トランジスタTr1は発光ダイオ
ード12及び抵抗R9が直列に接続され、抵抗R9の一
端が演算増幅器20の反転入力端に接続される。演算増
幅器20はトランジスタTriを介して発光ダイオード
12の電流値を与えられた電圧レベルとなるように制御
するものである。ここで演算増幅器19.20及びトラ
ンジスタTriは加算回路16の出力を基準電圧Vrに
等しくなるように(Vr =Va +Vb )発光ダイ
オード12の発光強度を制御する駆動手段21を構成し
ている。This output is then applied to the non-inverting input terminal of operational amplifier 20. The output of operational amplifier 20 is applied to the base of transistor Tri. The transistor Tr1 has a light emitting diode 12 and a resistor R9 connected in series, and one end of the resistor R9 is connected to the inverting input terminal of the operational amplifier 20. The operational amplifier 20 controls the current value of the light emitting diode 12 to a given voltage level via the transistor Tri. Here, the operational amplifiers 19 and 20 and the transistor Tri constitute a driving means 21 that controls the light emission intensity of the light emitting diode 12 so that the output of the adder circuit 16 becomes equal to the reference voltage Vr (Vr = Va + Vb).
次に本実施例の位置検出の原理について説明する。第3
図において2つのフォトダイオード11a、llbの出
力は受光面積に比例しているものと考えることができる
。従って第3図に示すように遮蔽板13のスリット13
aの中心位置をX。Next, the principle of position detection in this embodiment will be explained. Third
In the figure, the outputs of the two photodiodes 11a and llb can be considered to be proportional to the light receiving area. Therefore, as shown in FIG.
The center position of a is X.
2つのフォトダイオードの縦方向及び横方向の長さを夫
々A、Bとすると、2つのフォトダイオードlla、l
lbの受光面積al+ t)Iは夫々次式で与えられる
。If the lengths of the two photodiodes in the vertical and horizontal directions are A and B, respectively, the two photodiodes lla and l
The light receiving area al+t)I of lb is given by the following equations.
(k+は定数)
そして2つのフォトダイオードlla、llbの受光信
号を電圧に変換した演算増幅器14.15の出力Va、
Vbは夫々次式で与えられる。(k+ is a constant) And the output Va of the operational amplifier 14.15 which converted the light reception signals of the two photodiodes lla and llb into voltage,
Vb is given by the following equations.
Va =Ma、 Vb =Mb。Va = Ma, Vb = Mb.
(Mは定数)
ここで電圧Va+Vbとvbの比を算出すれば、Vb
b、 x
Va +Vb a++blB
従って演算増幅器14.15の出力電圧の和Va+vb
を一定に保っておくことにより一方の演算増幅器、例え
ば演算増幅器15の出力vbは遮蔽vi13の変位Xに
比例しており、この電圧によって遮蔽板13の位置を検
出することができる。(M is a constant) Here, if we calculate the ratio of voltage Va+Vb and vb, Vb
b, x Va +Vb a++blB Therefore, the sum of the output voltages of operational amplifiers 14.15 Va+vb
By keeping the voltage constant, the output vb of one operational amplifier, for example, the operational amplifier 15, is proportional to the displacement X of the shield vi13, and the position of the shield plate 13 can be detected based on this voltage.
尚上述した第1実施例は長方形状のフォトダイオードの
対角線を分割して2つの受光領域を有するフォトダイオ
ードとして構成しているが、遮蔽板が回転する場合には
フォトダイオードの受光領域を中心線に対して線対称の
扇形にして構成することもできる。第4図はこのような
フォトダイオードの構成を示す図であって、扇形のフォ
トダイオード31を分割して2つの受光領域を有するフ
ォトダイオード31a、31bとしている。このとき遮
蔽板32はフォトダイオード31と同一の中心を有して
回動自在とし、半径方向に長方形のスリット32aを有
するものとする。さてフォトダイオード31の分割曲線
Ldの中心までの距離f(θ)は内側及び外側の円の半
径を夫々rl+ rt、遮蔽板32が回動したときの夫
々のフォトダイオード31a、31bに対する受光面積
を夫々a Z +b2とすると、スリットが十分細い場
合a!+ b2は次式で表される。In the first embodiment described above, the diagonal of the rectangular photodiode is divided to form a photodiode having two light-receiving areas. However, when the shielding plate rotates, the light-receiving area of the photodiode is separated from the center line. It can also be configured in a fan shape that is symmetrical with respect to the line. FIG. 4 is a diagram showing the configuration of such a photodiode, in which a sector-shaped photodiode 31 is divided into photodiodes 31a and 31b having two light-receiving areas. At this time, the shielding plate 32 has the same center as the photodiode 31, is rotatable, and has a rectangular slit 32a in the radial direction. Now, the distance f(θ) to the center of the division curve Ld of the photodiode 31 is determined by using the radius of the inner and outer circles as rl+rt, respectively, and the light receiving area for each of the photodiodes 31a and 31b when the shielding plate 32 rotates. Assuming that a Z + b2 respectively, if the slit is sufficiently thin, a! + b2 is expressed by the following formula.
a2=ka(f(θ) −r、)
bg=に3(rz−f(θ))
aり
めに、
とおく。ここでr(θ) =rt、 f(δ)=r2を
代入すれば、k4を1/δとしてf(θ)が次式で与え
られる。Set a2=ka(f(θ)-r,) bg=to 3(rz-f(θ)) arimeni. Here, by substituting r(θ) = rt and f(δ) = r2, f(θ) is given by the following equation, where k4 is 1/δ.
θ
f(θ) ” (rt r+) +rtδ
その他の構成については前述の実施例と同様とする。こ
うすれば極座標の式f(θ)で表された分割曲線Ldで
フォトダイオード31の2つの受光領域を分割すること
によって回転角度に比例した電圧出力を得ることができ
る。θ f(θ) ” (rt r+) +rtδ The other configurations are the same as those in the previous embodiment. In this way, the two light receiving portions of the photodiode 31 are divided by the division curve Ld expressed by the polar coordinate equation f(θ). By dividing the area, a voltage output proportional to the rotation angle can be obtained.
尚前述した第1実施例では加算回路16を2つの演算増
幅器を用いて構成しているが、正負の対称な電源を用い
る場合には演算増幅器14.15の出力をそのまま加算
して駆動手段21に与えるようにすることができること
はいうまでもない。In the first embodiment described above, the adder circuit 16 is constructed using two operational amplifiers, but when using symmetrical positive and negative power supplies, the outputs of the operational amplifiers 14 and 15 are directly added to the driving means 21. Needless to say, it is possible to make it so that it is given to
又本発明によるフォトダイオードは長方形及び扇形に限
らず中心線に対して線対称となる種々の形状のフォトダ
イオードに適用することが可能である。Further, the photodiode according to the present invention is not limited to rectangular or sector-shaped photodiodes, but can be applied to photodiodes of various shapes that are symmetrical about a center line.
第1図は本発明の一実施例による光学式位置検出センサ
の構成を示すブロック図、第2図はそのフォトダイオー
ドの構成を示す図、第3図はフォトダイオードの受光面
積を示す図、第4図は第2の実施例によるフォトダイオ
ードの受光面積を示す図、第5図は従来の光電式変位セ
ンサの構成を示す概略図、第6図はその駆動回路を示す
図である。
11a、Ilb、31a、31b−−−フォトダイオー
ド 12−・−発光ダイオード 13.32−・・
−・遮蔽板 14,15.1?、、18,19゜20
・−・・・−演算増幅器 16−・−加算回路 2
i −−−−−−一駆動手段
特許出願人 立石電機株式会社
代理人 弁理士 岡本宜喜(他1名)
X
第3図
第5図
第6図FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of an optical position detection sensor according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a diagram showing the configuration of the photodiode, FIG. 3 is a diagram showing the light-receiving area of the photodiode, and FIG. FIG. 4 is a diagram showing the light-receiving area of the photodiode according to the second embodiment, FIG. 5 is a schematic diagram showing the configuration of a conventional photoelectric displacement sensor, and FIG. 6 is a diagram showing its driving circuit. 11a, Ilb, 31a, 31b --- Photodiode 12--Light emitting diode 13.32--
-・Shielding plate 14, 15.1? ,,18,19゜20
・−・−Operation amplifier 16−・−Adder circuit 2
i ---------One drive means patent applicant Tateishi Electric Co., Ltd. agent Patent attorney Yoshiki Okamoto (and one other person) X Figure 3 Figure 5 Figure 6
Claims (1)
分割して構成した互いに対称な受光領域を有する一対の
フォトダイオードと、 前記一対のフォトダイオードの全ての受光領域に光を照
射する光源と、 前記光源と前記一対のフォトダイオード間に一定方向に
移動自在に配置され、光を透過させるスリットを有する
遮蔽板と、 前記一対のフォトダイオードより得られる受光出力を加
算する加算回路と、 前記加算回路の出力が一定値となるように前記光源を駆
動する駆動手段と、を具備し、 前記遮蔽板の変位を前記一方のフォトダイオード出力に
よって検出するようにしたことを特徴とする光学式位置
検出センサ。(1) a pair of photodiodes each having a mutually symmetrical light-receiving area formed by dividing a line-symmetric predetermined shape light-receiving area into two along a diagonal line; and a light source that irradiates light to all the light-receiving areas of the pair of photodiodes. , a shielding plate that is movably arranged in a fixed direction between the light source and the pair of photodiodes and has a slit that transmits light; an adding circuit that adds the received light outputs obtained from the pair of photodiodes; and the adding circuit. An optical position detection device comprising: driving means for driving the light source so that the output of the circuit becomes a constant value, and displacement of the shielding plate is detected by the output of the one photodiode. sensor.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27666287A JPH01118714A (en) | 1987-10-30 | 1987-10-30 | Optical position detection sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27666287A JPH01118714A (en) | 1987-10-30 | 1987-10-30 | Optical position detection sensor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01118714A true JPH01118714A (en) | 1989-05-11 |
Family
ID=17572570
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27666287A Pending JPH01118714A (en) | 1987-10-30 | 1987-10-30 | Optical position detection sensor |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01118714A (en) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003287418A (en) * | 2002-03-28 | 2003-10-10 | Alps Electric Co Ltd | Steering angle-detecting apparatus |
JP2004170302A (en) * | 2002-11-21 | 2004-06-17 | Alps Electric Co Ltd | Position detecting sensor |
JP2012058671A (en) * | 2010-09-13 | 2012-03-22 | Ricoh Co Ltd | Belt meandering prevention device and image forming apparatus having the same |
CN113167641A (en) * | 2018-12-12 | 2021-07-23 | 浜松光子学株式会社 | Optical detection device |
US12080822B2 (en) | 2018-12-12 | 2024-09-03 | Hamamatsu Photonics K.K. | Photodetector and method for manufacturing photodetector |
US12113088B2 (en) | 2018-12-12 | 2024-10-08 | Hamamatsu Photonics K.K. | Light detection device |
-
1987
- 1987-10-30 JP JP27666287A patent/JPH01118714A/en active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003287418A (en) * | 2002-03-28 | 2003-10-10 | Alps Electric Co Ltd | Steering angle-detecting apparatus |
JP2004170302A (en) * | 2002-11-21 | 2004-06-17 | Alps Electric Co Ltd | Position detecting sensor |
JP2012058671A (en) * | 2010-09-13 | 2012-03-22 | Ricoh Co Ltd | Belt meandering prevention device and image forming apparatus having the same |
CN113167641A (en) * | 2018-12-12 | 2021-07-23 | 浜松光子学株式会社 | Optical detection device |
US11927478B2 (en) | 2018-12-12 | 2024-03-12 | Hamamatsu Photonics K.K. | Light detection device |
CN113167641B (en) * | 2018-12-12 | 2024-03-19 | 浜松光子学株式会社 | Light detection device |
US12080822B2 (en) | 2018-12-12 | 2024-09-03 | Hamamatsu Photonics K.K. | Photodetector and method for manufacturing photodetector |
US12113088B2 (en) | 2018-12-12 | 2024-10-08 | Hamamatsu Photonics K.K. | Light detection device |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4857721A (en) | Optical direction sensor having gray code mask spaced from a plurality of interdigitated detectors | |
US4650332A (en) | Optical position detecting apparatus for positioning an actuator | |
JPS589022A (en) | Optical transducer | |
JPH0376428B2 (en) | ||
JPH01118714A (en) | Optical position detection sensor | |
EP0067706B1 (en) | Optical transducer | |
US3001081A (en) | Photoelectric gage | |
JPH0868667A (en) | Optical encoder | |
JPH01170811A (en) | Optical position and speed detector | |
SU868341A1 (en) | Device for contact-free measuring of distances | |
JPS60247171A (en) | Semiconductive flow speed detector | |
JPS62130309A (en) | Tilt angle sensor device | |
JPH01170812A (en) | Optical position and speed detector | |
JPS6026445B2 (en) | Photo sensor circuit | |
JPH0422261Y2 (en) | ||
JPH0638069B2 (en) | Differential refractometer | |
SU1296836A1 (en) | Method of measuring displacements of light spot | |
JPH0298630A (en) | Photoelectric encoder | |
JPS61274205A (en) | Optical displacement measuring device | |
JP3256109B2 (en) | Photoelectric encoder | |
SU387412A1 (en) | PHOTOELECTRIC CONVERTER OF LINEAR DISPLACEMENTS | |
JPH0246057Y2 (en) | ||
RU2167394C2 (en) | Optoelectronic displacement transducer | |
JPS6156912A (en) | Optoelectric rotary encoder | |
SU1446472A1 (en) | Apparatus for measuring small gaps between two surfaces of which one in translucent |