JPH01116945A - Magneto-optical recording medium - Google Patents

Magneto-optical recording medium

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Publication number
JPH01116945A
JPH01116945A JP62274767A JP27476787A JPH01116945A JP H01116945 A JPH01116945 A JP H01116945A JP 62274767 A JP62274767 A JP 62274767A JP 27476787 A JP27476787 A JP 27476787A JP H01116945 A JPH01116945 A JP H01116945A
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JP
Japan
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amorphous alloy
films
magneto
recording medium
optical recording
Prior art date
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Pending
Application number
JP62274767A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Nobuo Saito
信雄 斎藤
Tadataka Morishita
忠隆 森下
Kunihiko Mizumoto
邦彦 水本
Yuji Togami
戸上 雄司
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsui Petrochemical Industries Ltd
Japan Broadcasting Corp
Original Assignee
Mitsui Petrochemical Industries Ltd
Nippon Hoso Kyokai NHK
Japan Broadcasting Corp
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Filing date
Publication date
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Priority to KR1019880014054A priority patent/KR910006659B1/en
Priority to EP88310207A priority patent/EP0314518A3/en
Publication of JPH01116945A publication Critical patent/JPH01116945A/en
Priority to CN 91108465 priority patent/CN1019703B/en
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Abstract

PURPOSE:To lower only the Curie point of thin amorphous alloy films without changing the magneto-optical characteristics thereof by alternately laminating >=2 layers of the thin amorphous alloy films and metallic films and specifying the film thicknesses thereof to the small thicknesses within a specific dimensional range. CONSTITUTION:This magneto-optical recording medium 10 is constituted by alternately laminating at least >=2 layers of the thin amorphous alloy films 2 contg. a rare earth metal and transition metal and the metallic films 4. Protective films 6 for preventing the oxidation of the thin amorphous alloy films 2 and a substrate 8 for imparting adequate rigidity to the recording medium 10 are provided. The thicknesses of the respective thin amorphous alloy films and the thicknesses of the respective metallic films are specified to 5-200Angstrom . Only the Curie point of the thin amorphous alloy films is thereby lowered without changing the magneto-optical characteristics possessed by said films.

Description

【発明の詳細な説明】 l町立五■分1 本発明は、多層の非晶質合金薄膜を有する光記録媒体に
係り、ざらに詳しくは、非晶質合金薄膜のカー回転角を
低くさせずに、そのキュリー点を低くさせた光磁気記録
媒体に関する。
[Detailed Description of the Invention] 1. The present invention relates to an optical recording medium having a multilayer amorphous alloy thin film, and more specifically, the present invention relates to an optical recording medium having a multilayer amorphous alloy thin film, and more specifically, the present invention relates to an optical recording medium having a multilayer amorphous alloy thin film. The present invention relates to a magneto-optical recording medium whose Curie point is lowered.

発明の技術的背景ならびにその問題点 鉄、コバルトなどの遷移金属と、テルビウム(Tb)、
ガドリニウム(Gd)などの希土類元素との合金からな
る非晶質合金薄膜は、膜面と垂直な方向に磁化容易軸を
有し、一方向に仝面磁化された膜面の一部に光を集束さ
せて照射させることにより、この全面磁化方向とは逆向
きの小さな反転。
Technical background of the invention and its problems Transition metals such as iron and cobalt, terbium (Tb),
Amorphous alloy thin films made of alloys with rare earth elements such as gadolinium (Gd) have an axis of easy magnetization perpendicular to the film surface, and light is applied to a part of the film surface that is magnetized in one direction. By focusing the irradiation, a small reversal occurs in the direction opposite to this overall magnetization direction.

磁区を形成することができることが知られている。It is known that magnetic domains can be formed.

この反転磁区の有無を「1」、「0」に対応させること
によって、上記のような非晶質合金薄膜にデジタル信号
を記録させる、いわゆる光磁気記録が可能となる。
By associating the presence or absence of this inverted magnetic domain with "1" and "0", it becomes possible to record digital signals on the amorphous alloy thin film as described above, so-called magneto-optical recording.

このような光磁気記録が可能な非晶質合金薄膜を記録層
として用いる光記録媒体にあっては、記録層に記録され
た情報を読み取るには、一般に、この記録層にレーザ光
等の光を集束させ、カー効果によって回転された光のカ
ー回転角を読み取ることにより行う。カー回転角は、記
録層を構成する非晶質合金薄膜の材質によって定まる角
度であり、このカー回転角が大ぎい程、情報を明確に区
別することが可能になり、情報の読み取り時の誤差が減
小する。したがって、記録層として用いられる非晶質合
金薄膜の特性としては、カー回転角の大きいことが要求
される。
In an optical recording medium that uses an amorphous alloy thin film capable of magneto-optical recording as a recording layer, in order to read information recorded in the recording layer, it is generally necessary to inject light such as a laser beam into the recording layer. This is done by focusing the light and reading the Kerr rotation angle of the light rotated by the Kerr effect. The Kerr rotation angle is an angle determined by the material of the amorphous alloy thin film that makes up the recording layer.The larger the Kerr rotation angle, the more clearly it becomes possible to distinguish information, and the more errors occur when reading information. decreases. Therefore, the amorphous alloy thin film used as the recording layer is required to have a large Kerr rotation angle.

ところが、一般にカー回転角の大きい非晶質合金膜は、
高いキュリー点(300〜450℃)を有することが知
られている(第42回日本応用磁気学会研究会資料、 
42−1.1985.第1〜9頁)。記録層として用い
られる非晶質合金側のキュリー点は低い方が好ましく、
一般に100〜200℃が最適とされている。これは、
このような記録層に情報を記録する際に、記録層が高キ
ュリー点であると、記録用レーザ出力を大きくしなけれ
ばならず、現実的には200″C以上のキュリー点を有
する記録層に高速で情報を記録、浦去することはできな
かったからである。
However, in general, amorphous alloy films with a large Kerr rotation angle,
It is known to have a high Curie point (300-450°C) (Materials from the 42nd Japan Society of Applied Magnetics Research Meeting,
42-1.1985. (pages 1-9). It is preferable that the Curie point of the amorphous alloy used as the recording layer is lower.
Generally, 100 to 200°C is considered optimal. this is,
When recording information on such a recording layer, if the recording layer has a high Curie point, the recording laser output must be increased, and in reality, a recording layer with a Curie point of 200"C or higher is required. This is because it was not possible to record and erase information at high speed.

したがって、光磁気記録媒体の記録層としては、カー回
転角を下げずに、かつ低キユリー点を有するものが求め
られていた。
Therefore, there has been a demand for a recording layer of a magneto-optical recording medium that does not lower the Kerr rotation angle and has a low Curie point.

ところで、記録層の保磁力を向上させるために、PtM
nSb等から成る非晶質磁性膜と、Tb1”e等から成
る磁性膜とを、交互に積層させた光磁気記録媒体や(日
本応用磁気学会誌11(2)、 173゜1987> 
、磁気特性を改善するために、Ni3Fe等から成る磁
性膜と、γ−FeMn等から成る磁性膜とを、交互に積
層した記録媒体(第10回日本応用磁気学会学術講演概
要集p、409.1986>等が開発されている。しか
しなから、このような記録媒体にあっては、カー回転角
を下げずに、キュリー点を低くさせるという効果は期待
できなかった。
By the way, in order to improve the coercive force of the recording layer, PtM
Magneto-optical recording media in which amorphous magnetic films made of nSb etc. and magnetic films made of Tb1''e etc. are alternately laminated (Journal of the Japan Society of Applied Magnetics 11(2), 173゜1987)
, a recording medium in which magnetic films made of Ni3Fe or the like and magnetic films made of γ-FeMn or the like are alternately laminated in order to improve magnetic properties (10th Japanese Society of Applied Magnetics Academic Lecture Abstracts, p. 409. 1986> etc. However, with such a recording medium, it was not possible to expect the effect of lowering the Curie point without lowering the Kerr rotation angle.

及EIJI(7) a刀 本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり
、記録層におけるカー回転角を向上させるにもかかわら
ず、記録層を構成する材質のキュリー点を低下させ、情
報の書き込みないし読み取りが容易な光磁気記録媒体を
提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and although the Kerr rotation angle in the recording layer is improved, the Curie point of the material constituting the recording layer is lowered. An object of the present invention is to provide a magneto-optical recording medium on which information can be easily written or read.

及肌り遼I かかる目的を達成するために、本発明に係る光磁気記録
媒体は、希土類金属および遷移金属を含む非晶質合金薄
膜と金属膜とが交互に少なくとも2層以上積層してあり
、 前記各非晶質合金薄膜の膜厚が5〜200人であり、 前記各金属膜の膜厚が5〜200人であることを特徴と
している。
In order to achieve this object, the magneto-optical recording medium according to the present invention has at least two or more layers of an amorphous alloy thin film containing a rare earth metal and a transition metal and a metal film alternately laminated. , each of the amorphous alloy thin films has a thickness of 5 to 200 layers, and each of the metal films has a thickness of 5 to 200 layers.

このような本発明に係る光磁気記録媒体によれば、非晶
質合金薄膜と金属膜とを交互に2層以上積層し、これら
の膜厚を5〜200人程度の程度とすることにより、非
晶質合金薄膜の有する光磁気特性を変化させずに、その
キュリー点だけを低下させることが可能になる。このた
め、元来、高キュリー点である非晶質合金薄膜も、大き
なカー回転角のまま低キユリー点とすることが可能とな
る。よって、今まではレーデ−出力との関係で使用でき
なかったキュリー点TCが200’C以上の材質の非晶
質合金薄膜を上記構成とすることにより、光磁気、記録
媒体中の記録層として使用可能となる。
According to such a magneto-optical recording medium according to the present invention, two or more layers of amorphous alloy thin films and metal films are alternately laminated, and the thickness of these films is about 5 to 200. It becomes possible to lower only the Curie point of the amorphous alloy thin film without changing its magneto-optical properties. Therefore, even an amorphous alloy thin film that originally has a high Curie point can be made to have a low Curie point while maintaining a large Kerr rotation angle. Therefore, by making an amorphous alloy thin film made of a material with a Curie point TC of 200'C or more, which could not be used until now due to the relationship with the radar output, with the above structure, it can be used as a recording layer in a magneto-optical recording medium. It becomes available for use.

1更L1隻煎遺」 以下、本発明の構成をより具体的に説明する。1st row L1 ship relic” Hereinafter, the configuration of the present invention will be explained in more detail.

本発明では、たとえば第1図に示1ように、希土類金属
および遷移金属を含む非晶質合金薄膜2と金属膜4とを
交互に少なくとも2層以上積層して、光磁気記録媒体1
0を構成しである。なお、第1図中、符号「6」は非晶
質合金薄膜2の酸化を防止するための保護膜であり、符
号「8」は、光磁気記録媒体10に適度な剛性を付与す
るための基板である。
In the present invention, for example, as shown in FIG. 1, at least two or more amorphous alloy thin films 2 containing rare earth metals and transition metals and metal films 4 are laminated alternately to form a magneto-optical recording medium.
It consists of 0. In FIG. 1, the symbol "6" is a protective film for preventing oxidation of the amorphous alloy thin film 2, and the symbol "8" is a protective film for imparting appropriate rigidity to the magneto-optical recording medium 10. It is a board.

本発明は、第1図に示す構成に限定されるものではなく
、種々に改変できる。たとえば、本発明に係る非晶質合
金薄膜2と金属膜4との積層体を、比較的厚い金属膜(
非磁性層)に積層することもできる。
The present invention is not limited to the configuration shown in FIG. 1, but can be modified in various ways. For example, a relatively thick metal film (
It can also be laminated on a non-magnetic layer).

[基 板] 基板8は、透明であることが好ましく、具体的にはガラ
スやアルミニウム等の無機材料の他に、ポリメチルメタ
クリレート、ポリカーボネート、ポリカーボネートとポ
リスチレンのポリマーアロイ、USP461477Bで
示されるような非晶質ポリオレフィン、ポリ4−メチル
−1−ペンテン、エポキシ樹脂、ポリエーテルサルホフ
オン、ポリサル7オン、ポリエーテルイミド等の有機材
料の使用ができる。
[Substrate] The substrate 8 is preferably transparent, and specifically, in addition to inorganic materials such as glass and aluminum, it is made of polymethyl methacrylate, polycarbonate, a polymer alloy of polycarbonate and polystyrene, and a non-transparent material as shown in US Pat. No. 4,614,77B. Organic materials such as crystalline polyolefins, poly4-methyl-1-pentene, epoxy resins, polyethersulfofones, polysal7ones, polyetherimides, etc. can be used.

[保護膜] 保護膜6は、最外層側の非晶質合金薄膜2を保護するた
めのものであり、その材質として、記録光を透過させ得
る透明性と、非晶質合金H膜2に磁気的影響を与えない
非磁性とが要求される。
[Protective film] The protective film 6 is for protecting the amorphous alloy thin film 2 on the outermost layer side, and is made of a material that is transparent enough to allow recording light to pass through, and that is transparent to the amorphous alloy H film 2. It is required to be non-magnetic so that it does not have any magnetic influence.

上記条件を満足させ得る保護膜6の材質としては、二酸
化珪素(Sin2)等の無機材料等が好ましく用いられ
るが、その他の材料を用いても良い。
As the material for the protective film 6 that can satisfy the above conditions, an inorganic material such as silicon dioxide (Sin2) is preferably used, but other materials may also be used.

[非晶質合金a膜] 非晶質合金薄膜2は、光を集束させて照射することによ
り所定の信号を記録及び再生づることのできる光記録膜
である。本発明では、情報を記録ないし再生するための
記録層を非晶質合金11S12から成る多層構造として
いる。
[Amorphous Alloy A Film] The amorphous alloy thin film 2 is an optical recording film that can record and reproduce predetermined signals by converging and irradiating light. In the present invention, the recording layer for recording or reproducing information has a multilayer structure made of amorphous alloy 11S12.

非晶質合金薄膜2は、鉄、コバルトなどの遷移金属と、
テルビウム(Tb)、ガドリニウム(Gd)などの希土
類元素との合金、もしくはその他の材質(たとえばガー
ネットなどの酸化物磁性体)を含む合金等からなる非晶
質薄膜であり、膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有づる
。本発明では、非晶質合金薄膜2は、特に限定されない
が、たとえば下記に示す成分から成っている。
The amorphous alloy thin film 2 contains transition metals such as iron and cobalt,
It is an amorphous thin film made of an alloy with rare earth elements such as terbium (Tb) and gadolinium (Gd), or an alloy containing other materials (for example, oxide magnetic materials such as garnet), and the direction perpendicular to the film surface. It has an axis of easy magnetization. In the present invention, the amorphous alloy thin film 2 is made of, for example, the following components, although not particularly limited.

本発明に係る非晶質合金薄膜2は、(i)3d遷移金属
から選ばれる少なくとも1種と、(ii >希土類から
選ばれる少なくとも1種の元素と、(i)その他の元素
とからなっている。
The amorphous alloy thin film 2 according to the present invention consists of (i) at least one element selected from 3D transition metals, (ii) at least one element selected from >rare earths, and (i) other elements. There is.

(i>3dl移金属としては、Fe、Qo、Ti、V、
Cr 、Mn 、Ni 、Cu 、Znなどが用いられ
るが、このうちFeまたはGoあるいはこの両者である
ことが好ましい。
(i>3dl transfer metals include Fe, Qo, Ti, V,
Cr, Mn, Ni, Cu, Zn, etc. are used, and among these, Fe, Go, or both are preferable.

この3d遷移金属は、非晶質合金薄膜2中に、好ましく
は5〜80原千%より好ましくは5〜75原子%とくに
好ましくは5〜70原子%の量で存在している。
The 3d transition metal is present in the amorphous alloy thin film 2 in an amount of preferably 5 to 80,000 atomic %, more preferably 5 to 75 atomic %, particularly preferably 5 to 70 atomic %.

非晶質合金簿膜2は、上記(i)に加えて、(i)下記
の群から選ばれる少なくとも1種の希土類元素を含んで
構成されている。
In addition to the above (i), the amorphous alloy film 2 includes (i) at least one rare earth element selected from the following group.

Gd 、Tb 、Dy 、Ho 、Er 、Tm 1Y
b 。
Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm 1Y
b.

l u 、 La 、 Ce 、 Pr SNd 1P
m 、 5llI。
lu, La, Ce, Pr SNd 1P
m, 5llI.

l このうちGd 1Tb−DV 1HOs Nd −Sm
l Of these, Gd 1Tb-DV 1HOs Nd -Sm
.

prが好ましく用いられる。pr is preferably used.

上記のような群から選ばれる少なくとも1種の希土類元
素は、非晶質合金′7a膜2中に、好ましくは5〜50
原子%さらに好ましくは8〜45原子%とくに好ましく
は10〜40原子%の量で存在している。
At least one rare earth element selected from the above group is preferably present in the amorphous alloy '7a film 2 in an amount of 5 to 50
It is present in an amount of atomic %, more preferably 8 to 45 atomic %, particularly preferably 10 to 40 atomic %.

本発明では、上記(i)、(ii >に加えて、(if
)その伯の元素として、Nr 、 T; 、pt 。
In the present invention, in addition to the above (i) and (ii), (if
) as its fractional elements, Nr, T;, pt.

Pd 、Nb 、Ta 、Qr等を非晶質合金薄膜2に
含ませ、耐食性を改善(るようにしても良い。
Pd, Nb, Ta, Qr, etc. may be included in the amorphous alloy thin film 2 to improve corrosion resistance.

上記のような組成を有する非晶質合金薄膜2は、膜面に
垂直な磁化容易軸を有し、多くはカー・ヒステリシスが
良好な角形ループを示す垂直磁気および光磁気記録可能
な非晶質薄膜となることが、広角X線回折などにより確
かめられる。
The amorphous alloy thin film 2 having the above-mentioned composition has an axis of easy magnetization perpendicular to the film surface, and most exhibit a rectangular loop with good Kerr hysteresis and are capable of perpendicular magnetic and magneto-optical recording. It is confirmed by wide-angle X-ray diffraction that it becomes a thin film.

なお、カー・ヒステリシスが良好な角形ループを示すと
は、最大外部磁場におけるカー回転角である飽和カー回
転角(θに1)と外部磁場ゼロにおけるカー回転角であ
る残留カー回転角(ム、)との比θに2/θに1がたと
えば0.8以上であることを意味している。
Note that a rectangular loop with good Kerr hysteresis means that the saturated Kerr rotation angle (1 for θ), which is the Kerr rotation angle at the maximum external magnetic field, and the residual Kerr rotation angle (mu, 1), which is the Kerr rotation angle at zero external magnetic field. ) means that the ratio θ to 2/θ to 1 is, for example, 0.8 or more.

特に好ましくは、非晶質合金膜2は、Tb FeC0も
しくはGd−Tb Fe coであることが好ましい。
Particularly preferably, the amorphous alloy film 2 is Tb FeC0 or Gd-Tb Fe co.

非晶質合金膜2がTb Fe Coであるときは、Co
 / (Fe 十Go >の原子%は2o〜8o −が
好ましく、Gd Tb Fe Goであるときは、Go
 / (Fe +GO>の原子%は10〜60であるこ
とが好ましい。
When the amorphous alloy film 2 is TbFeCo, Co
The atomic % of / (Fe 10 Go > is preferably 2o to 8o −, and when it is Gd Tb Fe Go, Go
The atomic % of / (Fe + GO> is preferably 10 to 60.

[金属膜] 金属膜4を構成する材質は、Fe、co、Ni、Cr、
Ti等の3d遷移金属もしくはそれらの合金等が好まし
い。なお、金属膜4を構成する材質は、上記以外に、Z
r 、 Ta 、 Nb 、 Pd 、 Pt 。
[Metal film] The materials constituting the metal film 4 include Fe, co, Ni, Cr,
3d transition metals such as Ti or alloys thereof are preferred. In addition to the above-mentioned materials, the material constituting the metal film 4 is Z
r, Ta, Nb, Pd, Pt.

CIJ 、 A(1、AU 、 Zn等その他を含む合
金であっても良い。
An alloy containing CIJ, A(1, AU, Zn, etc.) may also be used.

[膜 厚] 本発明に係る光磁気記録媒体の@層の膜厚は、非晶質合
金薄膜2では5〜200人、好ましくは20〜200人
であり、金属l1i4では5〜200人、好ましくは5
〜100人、特に好ましくは5〜50人である。これら
の膜厚が5Å以下であると、双方の膜が混ざりあい積層
構造とはならないことから好ましくない。また、これら
の膜厚が200Å以上であると、非晶質合金1pj42
のキュリー点を200℃以下程度まで下げられず、記録
用として大出力のレーザ装置を必要とし、実用的でない
ので好ましくない。
[Film Thickness] The film thickness of the @ layer of the magneto-optical recording medium according to the present invention is 5 to 200 layers, preferably 20 to 200 layers for the amorphous alloy thin film 2, and 5 to 200 layers, preferably 20 to 200 layers for the metal l1i4. is 5
~100 people, particularly preferably 5 to 50 people. If the thickness of these films is less than 5 Å, both films are mixed together and a laminated structure is not formed, which is not preferable. In addition, if the thickness of these films is 200 Å or more, the amorphous alloy 1pj42
It is not preferable because it cannot lower the Curie point of 200° C. or lower and requires a high-output laser device for recording, which is not practical.

保護膜6の膜厚としては、特に限定されないが、650
人程程度良い。
The thickness of the protective film 6 is not particularly limited, but may be 650 mm.
As good as a human being.

光磁気記録媒体10としての全体の膜厚は50〜500
0人、好ましくは50〜2000人が良い。
The total film thickness of the magneto-optical recording medium 10 is 50 to 500 mm.
0 people, preferably 50 to 2000 people.

[積層方法] 非晶質合金薄膜2と金属膜4とを交互に2層以上積層す
るための方法としては、真空蒸谷法やスパッタリング法
等を用い、ターゲット切換による交互成膜法や、基板回
転法等が考えられる。
[Lamination method] As a method for alternately laminating two or more layers of the amorphous alloy thin film 2 and the metal film 4, a vacuum steaming method, a sputtering method, etc. are used, an alternate film deposition method by target switching, a substrate A rotation method etc. can be considered.

発明の詳細 な説明してぎたように、本発明に係る光磁気記録媒体に
よれば、非晶質合金N膜と金属膜とを交互に2層以上積
層し、これらの膜厚を5〜200人程度の程度としたた
め、非晶質合金薄膜の有する光磁気特性を変化させずに
、そのキュリー点だけを低下させることが可能になる。
As described above in detail, according to the magneto-optical recording medium of the present invention, two or more amorphous alloy N films and metal films are alternately laminated, and the thickness of these films is 5 to 200 mm. Since the temperature is about the same as that of a human, it becomes possible to lower only the Curie point of the amorphous alloy thin film without changing its magneto-optical properties.

このため、元来、高キュリー点である非晶質合金薄膜も
、大きなカー回転角のまま低キユリー点とすることが可
能となる。よって、今まではレーザー出力との関係で使
用できなかったキュリー点TCが2゛00°C以上の材
質の非晶質合金薄膜を上記構成とすることにより、光磁
気記録媒体中の記録層として使用可能となる。
Therefore, even an amorphous alloy thin film that originally has a high Curie point can be made to have a low Curie point while maintaining a large Kerr rotation angle. Therefore, by making an amorphous alloy thin film made of a material with a Curie point TC of 200°C or higher, which could not be used until now due to the relationship with laser output, with the above structure, it can be used as a recording layer in a magneto-optical recording medium. It becomes available for use.

したがって、本発明によれば、記録層におけるカー回転
角を向上させるにもかかわらず、記録層を構成する材質
のキュリー点を低ネさせ、情報の書き込みないし読み取
りが従来に比して大幅に容易となるという優れた効果を
呈する。
Therefore, according to the present invention, although the Kerr rotation angle in the recording layer is improved, the Curie point of the material constituting the recording layer is lowered, making it much easier to write or read information than in the past. It exhibits an excellent effect.

X塵画 以下、本発明をざらに具体的な実施例に基づき説明する
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Below, the present invention will be roughly explained based on specific examples.

実施例1〜4およびt◆(1 本実施例は、Tb3gFe61を非晶質合金薄膜(Fe
を金属薄膜とした)場合の第1図に示すような光磁気記
録媒体に関する。
Examples 1 to 4 and t◆(1) In this example, Tb3gFe61 was used as
The present invention relates to a magneto-optical recording medium as shown in FIG. 1 in which a metal thin film is used.

ターゲットとして、Feターゲット上にTbのチップを
所定割合で配置した(1)複合ターゲットと、(2)F
eターゲットとを用いて、ガラス基板上に、基板を水冷
により20〜30℃の常温付近にコントロールしなから
、RFマグネトロンスパッタリングにより、成膜時に交
互にターゲット切換することにより、(1)と(2)と
の積層膜を成膜した。
As targets, (1) a composite target in which Tb chips are arranged on a Fe target at a predetermined ratio, and (2) F
(1) and (1) were deposited on a glass substrate using an e-target, the substrate was controlled to a room temperature of 20 to 30°C by water cooling, and the target was alternately switched during film formation by RF magnetron sputtering. A laminated film with 2) was formed.

各層の厚みは、Tb Fe非晶質磁性層は、30人、F
e層は5〜30人とした。そして、積層の周期数は、全
体の積層厚が約2000人となるように設定した。なお
、カー回転角、反射率はガラス基板側から測定した(λ
=633nm)。
The thickness of each layer is 30 for the Tb Fe amorphous magnetic layer, and 30 for the Tb Fe amorphous magnetic layer.
The e-tier consisted of 5 to 30 people. The number of lamination cycles was set so that the total lamination thickness was about 2000 layers. The Kerr rotation angle and reflectance were measured from the glass substrate side (λ
=633nm).

結果を表1に示す。The results are shown in Table 1.

表1中、θにはカー回転角、Rは反射率、Hcは保磁力
、TCはキュリー点、である。
In Table 1, θ is the Kerr rotation angle, R is the reflectance, Hc is the coercive force, and TC is the Curie point.

実 例5〜8および比較例2 次に、TI)28Fe50co 24を非晶質合金薄膜
として用いた以外は実施例1〜4と同様にして光磁気記
録媒体を形成した場合の例を表2に示す。
Examples 5 to 8 and Comparative Example 2 Next, Table 2 shows examples in which magneto-optical recording media were formed in the same manner as Examples 1 to 4 except that TI)28Fe50co24 was used as the amorphous alloy thin film. show.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例に係る光磁気記録媒体の要部
断面図である。 2・・・非晶質合金薄膜   4・・・金属膜6・・・
保護膜      10・・・光磁気記録膜代理人  
弁理士  鈴 木 俊一部
FIG. 1 is a sectional view of a main part of a magneto-optical recording medium according to an embodiment of the present invention. 2... Amorphous alloy thin film 4... Metal film 6...
Protective film 10...Magneto-optical recording film agent
Patent Attorney Shunichi Suzuki

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1)希土類金属および遷移金属を含む非晶質合金薄膜と
金属膜とが交互に少なくとも2層以上積層してあり、 前記各非晶質合金薄膜の膜厚が5〜200Åであり、 前記各金属膜の膜厚が5〜200Åであることを特徴と
する光磁気記録媒体。 2)前記希土類金属がSm、Nd、Pr、Eu、Gd、
Tb、Dy、Hoから選ばれた少なくとも一種であり、
前記遷移金属がFe、Co、Niから選ばれた少なくと
も一種であることを特徴とする特許請求の範囲第1項に
記載の光磁気記録媒体。 3)前記金属膜がFe、Co、Ni、Pd、Pt、Ti
から選ばれた少なくとも一種であることを特徴とする特
許請求の範囲第1項に記載の光磁気記録媒体。
[Scope of Claims] 1) At least two or more layers of amorphous alloy thin films containing rare earth metals and transition metals and metal films are alternately laminated, and each of the amorphous alloy thin films has a thickness of 5 to 200 Å. A magneto-optical recording medium, wherein each of the metal films has a thickness of 5 to 200 Å. 2) The rare earth metal is Sm, Nd, Pr, Eu, Gd,
At least one selected from Tb, Dy, and Ho,
2. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the transition metal is at least one selected from Fe, Co, and Ni. 3) The metal film is Fe, Co, Ni, Pd, Pt, Ti
2. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the magneto-optical recording medium is at least one selected from the following.
JP62274767A 1987-10-29 1987-10-29 Magneto-optical recording medium Pending JPH01116945A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01128243A (en) * 1987-11-12 1989-05-19 Sony Corp Artificial lattice magneto-optical recording medium
JPH01162257A (en) * 1987-12-18 1989-06-26 Sony Corp Magneto-optical recording medium

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