JPH01112468U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01112468U JPH01112468U JP1988006652U JP665288U JPH01112468U JP H01112468 U JPH01112468 U JP H01112468U JP 1988006652 U JP1988006652 U JP 1988006652U JP 665288 U JP665288 U JP 665288U JP H01112468 U JPH01112468 U JP H01112468U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode surfaces
- piezoelectric ceramic
- direction perpendicular
- polarized
- surfaces facing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 6
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 5
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例による加速度センサ
の構造を示す斜視図、第２図はｚ軸方向の加速度
成分を検知する圧電セラミツク素子の構成を示す
斜視図、第３図はＸ軸方向の加速度成分を検知す
る圧電セラミツク素子の構成を示す斜視図、第４
図は圧電セラミツク素子に発生する各応力成分の
方向を模式的に示す図である。 １Ｘ，１Ｙ，１Ｚ……圧電セラミツク素子、２
……荷重、３……分極の方向、４……電極、５…
…剛体。
の構造を示す斜視図、第２図はｚ軸方向の加速度
成分を検知する圧電セラミツク素子の構成を示す
斜視図、第３図はＸ軸方向の加速度成分を検知す
る圧電セラミツク素子の構成を示す斜視図、第４
図は圧電セラミツク素子に発生する各応力成分の
方向を模式的に示す図である。 １Ｘ，１Ｙ，１Ｚ……圧電セラミツク素子、２
……荷重、３……分極の方向、４……電極、５…
…剛体。
Claims (1)
- 互いに対向する電極面に垂直な方向に分極した
第１の圧電セラミツク素子と、互いに対向する電
極面に平行な方向に分極した第２及び第３の圧電
セラミツク素子とを、分極の方向が互いに直交す
るようにして、間に電極を挟んだ状態で、電極面
と垂直な方向に重ね合せ、重ね合せられない２つ
の電極面のうちの一方を被測定対象物である剛体
に固定し、他方に一定の質量を有する荷重を固定
して成る加速度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988006652U JPH01112468U (ja) | 1988-01-23 | 1988-01-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988006652U JPH01112468U (ja) | 1988-01-23 | 1988-01-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01112468U true JPH01112468U (ja) | 1989-07-28 |
Family
ID=31210998
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988006652U Pending JPH01112468U (ja) | 1988-01-23 | 1988-01-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01112468U (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009053141A (ja) * | 2007-08-29 | 2009-03-12 | Yokohama Rubber Co Ltd:The | 加速度センサモジュール |
| WO2009123022A1 (ja) | 2008-03-31 | 2009-10-08 | 旭硝子株式会社 | 加速度センサ装置及びセンサネットワークシステム |
| JP2010230442A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Japan Research Institute Ltd | 外力方向検出システム |
| JP2015087292A (ja) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | センサー素子、力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置および部品加工装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5927466B2 (ja) * | 1976-10-13 | 1984-07-05 | アイシン・ワ−ナ−株式会社 | 往復直進運動を平行四辺形形状の軌跡のサイクル運動に変換する機構 |
-
1988
- 1988-01-23 JP JP1988006652U patent/JPH01112468U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5927466B2 (ja) * | 1976-10-13 | 1984-07-05 | アイシン・ワ−ナ−株式会社 | 往復直進運動を平行四辺形形状の軌跡のサイクル運動に変換する機構 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009053141A (ja) * | 2007-08-29 | 2009-03-12 | Yokohama Rubber Co Ltd:The | 加速度センサモジュール |
| WO2009123022A1 (ja) | 2008-03-31 | 2009-10-08 | 旭硝子株式会社 | 加速度センサ装置及びセンサネットワークシステム |
| JP2010230442A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Japan Research Institute Ltd | 外力方向検出システム |
| JP2015087292A (ja) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | センサー素子、力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置および部品加工装置 |