JP7520976B2 - 試料観察装置及び試料観察方法 - Google Patents
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Claims (10)
- 試料に対する励起光を出力する光源部と、
前記励起光を面状光に整形し、前記試料に前記面状光をXZ面で照射する照射光学系と、
前記面状光の照射面を通過するように前記試料を所定の走査速度でY軸方向に走査する走査部と、
前記照射面に対して傾斜する観察軸を有し、前記面状光の照射によって前記試料で発生した観察光を結像する結像光学系と、
前記結像光学系によって結合された前記観察光の光像に対応するXZ画像データを所定のフレームレートで複数取得する画像取得部と、
前記面状光の光量及び前記走査速度を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記面状光の光量と前記走査速度との積で表される測定感度における前記面状光の最適光量が前記走査速度に応じて設定された参照テーブルを参照し、前記フレームレートに応じて複数の異なる前記参照テーブルを有し、ユーザによって選択された前記画像取得部のサブアレイサイズに対応するフレームレートに基づいて前記複数の参照テーブルから一の参照テーブルを選択し、選択した前記参照テーブルを用いて前記走査速度と前記最適光量とを決定する試料観察装置。 - 前記制御部は、前記フレームレートにおいて採り得る最大走査速度を前記走査速度として決定する請求項1記載の試料観察装置。
- 前記制御部は、決定した前記最適光量に基づいて前記光源部から出力される前記励起光の光量を制御する請求項1又は2記載の試料観察装置。
- 前記光源部は、透過率が互いに異なる複数の減光フィルタを有し、
前記制御部は、決定した前記最適光量に基づいて前記複数の減光フィルタから一の減光フィルタを選択して前記光源部から出力される前記励起光の光量を制御する請求項3記載の試料観察装置。 - 前記制御部は、決定した前記最適光量に基づいて前記光源部に印加する電流値又は電圧値を制御する請求項3記載の試料観察装置。
- 試料に対する励起光を出力する出力ステップと、
前記励起光を面状光に整形し、前記試料に前記面状光をXZ面で照射する照射ステップと、
前記面状光の照射面を通過するように前記試料を所定の走査速度でY軸方向に走査する走査ステップと、
前記照射面に対して傾斜する観察軸を有し、前記面状光の照射によって前記試料で発生した観察光を結像する結像ステップと、
前記結像ステップによって結合された前記観察光の光像に対応するXZ画像データを所定のフレームレートで複数取得する画像取得ステップと、
前記各ステップの実行にあたって前記面状光の光量及び前記走査速度を制御する制御ステップと、を備え、
前記制御ステップでは、前記面状光の光量と前記走査速度との積で表される測定感度における前記面状光の最適光量が前記走査速度に応じて設定された参照テーブルを参照し、前記フレームレートに応じて複数の異なる前記参照テーブルを用い、ユーザによって選択された前記画像取得ステップ実行時のサブアレイサイズに対応するフレームレートに基づいて前記複数の参照テーブルから一の参照テーブルを選択し、選択した前記参照テーブルを用いて前記走査速度と前記最適光量とを決定する試料観察方法。 - 前記制御ステップでは、前記フレームレートにおいて採り得る最大走査速度を前記走査速度として決定する請求項6記載の試料観察方法。
- 前記制御ステップでは、決定した前記最適光量に基づいて前記出力ステップにおける前記励起光の光量を制御する請求項6又は7記載の試料観察方法。
- 前記出力ステップでは、透過率が互いに異なる複数の減光フィルタを用い、
前記制御ステップでは、決定した前記最適光量に基づいて前記複数の減光フィルタから一の減光フィルタを選択して前記出力ステップにおける前記励起光の光量を制御する請求項8記載の試料観察方法。 - 前記制御ステップでは、決定した前記最適光量に基づいて前記励起光を出力する光源部に印加する電流値又は電圧値を制御し、前記出力ステップにおける前記励起光の光量を制御する請求項8記載の試料観察方法。
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