JP7519244B2 - 液処理装置及び液処理装置の運転方法 - Google Patents
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Description
41 塗布ノズル
46 流路
47 吐出口
5 待機ユニット
51 ノズル収容部
52 縮径部
52a 第1の内周面
52b 第2の内周面
53 排出口
56 溶剤吐出口
83 溶剤の液層(溶剤層)
W ウェハ
Claims (17)
- 液処理装置であって、
基板を保持する基板保持部と、
乾燥により固化する処理液を前記基板保持部に保持された基板の表面に吐出するためのノズルと、
前記ノズルを待機させるノズル待機装置と、
前記ノズル及び前記ノズル待機装置を制御する制御部と、を備え、
前記ノズル待機装置は、
前記ノズルから吐出された処理液を排出する排出口が形成されたノズル収容部と、
前記ノズル収容部内に開口し、吐出された溶剤が前記ノズル収容部の内周面に沿って案内されて前記排出口から排出されるように形成された溶剤吐出口と、を備え、
前記ノズル収容部は、前記排出口の上方側に前記溶剤吐出口から吐出された溶剤が旋回流となって落下する部位に、前記排出口へ向かうほど内径が小さくなるよう、前記ノズル収容部の中心線に対する角度が互いに異なる内周面として形成された第1の内周面と第2の内周面とを備えた縮径部を有し、
前記制御部は、
前記ノズル収容部に前記ノズルを待機させる工程と、
前記ノズル収容部に待機している前記ノズルに形成された吐出口から処理液を吐出して、当該吐出口と対向する前記排出口から処理液を排出する工程と、
前記溶剤吐出口から溶剤を吐出し、当該溶剤により前記ノズル内に溶剤の液層を形成する工程と、を行う制御を実行し、
前記溶剤の液層を形成する工程では、
前記ノズル収容部の中心線を含むように当該中心線に沿って切断された断面において、対向する各々の前記第1の内周面に沿って延びる二直線の交点が、前記ノズルの吐出口よりも上方に位置するように前記ノズルを配置する制御を実行する、液処理装置。 - 前記溶剤吐出口は、前記縮径部よりも上方に形成されている、請求項1に記載の液処理装置。
- 前記交点は、前記第2の内周面の内方の領域に位置している、請求項1または2に記載の液処理装置。
- 前記縮径部は、前記第2の内周面から前記排出口に向かうほど内径が小さくなるように形成された第3の内周面を備えている、請求項1~3のいずれか1項に記載の液処理装置。
- 前記ノズル収容部の中心線を含むように当該中心線に沿って切断された断面において、対向する各々の前記第1の内周面のなす角と、対向する各々の前記第3の内周面のなす角とが互いに等しい、請求項4に記載の液処理装置。
- 前記ノズル収容部の前記溶剤吐出口よりも上方に、前記排出口とは異なる他の溶剤排出口が設けられている、請求項1~5のいずれか1項に記載の液処理装置。
- 前記制御部は、前記ノズルの先端部に溶剤を吸い込んで溶剤の液層を形成する前に前記処理液を吐出する、予備吐出を行う際に、前記ノズル収容部内における前記ノズルからの処理液吐出と前記溶剤吐出口からの溶剤吐出が同時に行われる制御を行うように構成されている、請求項1~6のいずれか1項に記載の液処理装置。
- 前記制御部は、前記予備吐出の際に前記ノズルの先端部が前記溶剤吐出口よりも上方に位置した状態となるよう前記ノズルを移動させる制御を行うように構成されている、請求項7に記載の液処理装置。
- 前記ノズル待機装置に待機するノズル内の流路を上流側に吸引して溶剤を吸い込む吸引機構と、を備えた、請求項1~8のいずれか1項に記載の液処理装置。
- 乾燥により固化する処理液を、基板保持部に保持された基板の表面にノズルから吐出する工程と、
ノズルの先端部を囲むように形成された内周面を含み、ノズルの吐出口と対向して排出口が形成されたノズル収容部に前記ノズルを待機させる工程と、
前記ノズル収容部に待機しているノズルの吐出口から処理液を吐出して、当該吐出口と対向する排出口から処理液を排出する工程と、
前記ノズル収容部内に開口する溶剤吐出口から溶剤を吐出し、吐出された溶剤が前記ノズル収容部の内周面に沿って案内され、当該溶剤により前記ノズル内に溶剤の液層を形成する工程と、を備え、
前記ノズル収容部は、前記排出口の上方側に前記溶剤吐出口から吐出された溶剤が旋回流となって落下する部位に、前記排出口へ向かうほど内径が小さくなるよう、前記ノズル収容部の中心線に対する角度が互いに異なる内周面として形成された第1の内周面と第2の内周面とを備えた縮径部を有し、
前記溶剤の液層を形成する工程では、前記ノズル収容部の中心線を含むように当該中心線に沿って切断された断面において、対向する各々の前記第1の内周面に沿って延びる二直線の交点が、前記ノズルの吐出口よりも上方に位置するように前記ノズルが配置されている、液処理装置の運転方法。 - 前記縮径部よりも上方の領域で前記溶剤を吐出させる、請求項10に記載の液処理装置の運転方法。
- 前記溶剤の液層を形成する工程において、前記交点が前記第2の内周面の内方の領域に位置するように前記ノズルが配置されている、請求項10または11に記載の液処理装置の運転方法。
- 前記溶剤の液層を形成する工程において、前記第2の内周面と前記排出口の間で前記溶剤を流れにくくする、請求項10~12のいずれか1項に記載の液処理装置の運転方法。
- 前記縮径部は、前記第2の内周面から前記排出口に向かうほど内径が小さくなるように形成された第3の内周面を有し、
前記ノズル収容部の中心線を含むように当該中心線に沿って切断された断面において、対向する各々の前記第1の内周面のなす角と、対向する各々の前記第3の内周面のなす角とが互いに等しい、請求項13に記載の液処理装置の運転方法。 - 前記ノズル収容部の前記溶剤吐出口よりも上方において、前記ノズル収容部内に溜まりすぎた前記吐出された溶剤を排出させる、請求項10~14のいずれか1項に記載の液処理装置の運転方法。
- 前記処理液を排出する工程において、前記ノズルからの処理液吐出と前記溶剤吐出口からの溶剤吐出を同時に行う、請求項10~15のいずれか1項に記載の液処理装置の運転方法。
- 前記処理液を排出する工程において、前記縮径部に溜まる、前記ノズルから吐出された処理液と前記溶剤吐出口から吐出された溶剤に、前記ノズルの先端部が接触しないようにする、請求項16に記載の液処理装置の運転方法。
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