JP7495282B2 - Inspection device and inspection method - Google Patents

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Description

本開示は、検査装置及び検査方法に関する。 This disclosure relates to an inspection device and an inspection method.

電子デバイスの生産工程において、特許文献１に開示されているような、部品実装装置（被実装物作業装置）が使用される。部品を実装された基板の外観は、自動光学検査装置（ＡＯＩ：Automated Optical Inspection）と呼ばれる検査装置で検査される。 In the production process of electronic devices, a component mounting device (mounted object working device) such as that disclosed in Patent Document 1 is used. The appearance of the board on which the components are mounted is inspected by an inspection device called an automated optical inspection (AOI).

国際公開第２０１９／１１１３８８号International Publication No. 2019/111388

検査装置を用いて、様々な対象物の外観検査を実施したいという要望がある。例えば湾曲面を有する対象物の外観検査を適正に実施したいという要望がある。 There is a demand for using inspection equipment to perform visual inspections of various objects. For example, there is a demand for properly performing visual inspections of objects with curved surfaces.

本開示は、湾曲面を有する対象物の外観検査を適正に実施することを目的とする。 The purpose of this disclosure is to properly perform visual inspection of objects with curved surfaces.

本開示に従えば、湾曲面を有する対象物を支持するテーブルと、前記テーブルに支持された前記対象物を照明光で照明する照明装置と、光学系及びイメージセンサを有する撮像装置と、前記光学系の視野範囲に配置されている前記湾曲面の調整用画像を前記撮像装置に撮像させる撮像制御部と、前記テーブルを傾けて、前記調整用画像の輝度を調整するテーブル制御部と、を備え、前記撮像制御部は、前記調整用画像の輝度が調整された後に、前記視野範囲に配置されている前記湾曲面の検査用画像を前記撮像装置に撮像させる、検査装置が提供される。 According to the present disclosure, there is provided an inspection device comprising a table for supporting an object having a curved surface, an illumination device for illuminating the object supported on the table with illumination light, an imaging device having an optical system and an image sensor, an imaging control unit for causing the imaging device to capture an adjustment image of the curved surface located within the field of view of the optical system, and a table control unit for adjusting the brightness of the adjustment image by tilting the table, wherein the imaging control unit causes the imaging device to capture an inspection image of the curved surface located within the field of view after the brightness of the adjustment image has been adjusted.

本開示によれば、湾曲面を有する対象物の外観検査を適正に実施することができる。 This disclosure makes it possible to properly perform visual inspection of objects with curved surfaces.

図１は、実施形態に係る検査装置を模式的に示す図である。FIG. 1 is a diagram illustrating an inspection device according to an embodiment. 図２は、実施形態に係る制御装置を示す機能ブロック図である。FIG. 2 is a functional block diagram showing the control device according to the embodiment. 図３は、実施形態に係る検査方法を示すフローチャートである。FIG. 3 is a flowchart showing an inspection method according to the embodiment. 図４は、実施形態に係るテーブルに支持された対象物を上方から見た図である。FIG. 4 is a diagram showing an object supported on a table according to the embodiment as viewed from above. 図５は、実施形態に係る光学系の視野範囲に湾曲面の第１範囲が配置されている状態を模式的に示す図である。FIG. 5 is a diagram illustrating a state in which a first area of a curved surface is disposed in the field of view of an optical system according to an embodiment. 図６は、実施形態に係る湾曲面の第１範囲の調整用画像を模式的に示す図である。FIG. 6 is a diagram illustrating an adjustment image of a first range of a curved surface according to the embodiment. 図７は、実施形態に係るテーブル制御部の処理を説明するための図である。FIG. 7 is a diagram for explaining the processing of the table control unit according to the embodiment. 図８は、実施形態に係るテーブルが傾けられた後の湾曲面の第１範囲の調整用画像を模式的に示す図である。FIG. 8 is a diagram illustrating an adjustment image of a first range of the curved surface after the table according to the embodiment is tilted. 図９は、実施形態に係る表示装置に表示された第１範囲の検査用画像を模式的に示す図である。FIG. 9 is a diagram illustrating a test image of a first range displayed on the display device according to the embodiment. 図１０は、実施形態に係る光学系の視野範囲に湾曲面の第２範囲が配置されている状態を模式的に示す図である。FIG. 10 is a diagram illustrating a state in which a second range of the curved surface is disposed in the field of view of the optical system according to the embodiment. 図１１は、実施形態に係るコンピュータシステムを示すブロック図である。FIG. 11 is a block diagram showing a computer system according to an embodiment. 図１２は、その他の実施形態に係るテーブル制御部の処理を説明するための図である。FIG. 12 is a diagram for explaining the processing of the table control unit according to another embodiment.

以下、本開示に係る実施形態について図面を参照しながら説明するが、本開示はこれに限定されない。以下で説明する実施形態の構成要素は、適宜組み合わせることができる。また、一部の構成要素を用いない場合もある。 Below, embodiments of the present disclosure will be described with reference to the drawings, but the present disclosure is not limited thereto. The components of the embodiments described below can be combined as appropriate. Also, some components may not be used.

実施形態においては、ＸＹＺ直交座標系を規定し、ＸＹＺ直交座標系を参照しながら各部の位置関係について説明する。水平面内のＸ軸と平行な方向をＸ軸方向とする。Ｘ軸と直交する水平面内のＹ軸と平行な方向をＹ軸方向とする。水平面と直交するＺ軸と平行な方向をＺ軸方向とする。Ｘ軸を中心とする回転又は傾斜方向をθＸ方向とする。Ｙ軸を中心とする回転又は傾斜方向をθＹ方向とする。Ｚ軸を中心とする回転又は傾斜方向をθＺ方向とする。Ｘ軸及びＹ軸を含む平面を適宜、ＸＹ平面、と称する。ＸＹ平面は、水平面と平行である。Ｚ軸は鉛直線と平行である。Ｚ軸方向は上下方向である。＋Ｚ方向は上方向であり、－Ｚ方向は下方向である。Ｚ軸は、ＸＹ平面と直交する。 In the embodiment, an XYZ Cartesian coordinate system is defined, and the positional relationship of each part is described with reference to the XYZ Cartesian coordinate system. The direction parallel to the X-axis in a horizontal plane is defined as the X-axis direction. The direction parallel to the Y-axis in a horizontal plane perpendicular to the X-axis is defined as the Y-axis direction. The direction parallel to the Z-axis perpendicular to the horizontal plane is defined as the Z-axis direction. The direction of rotation or tilt around the X-axis is defined as the θX direction. The direction of rotation or tilt around the Y-axis is defined as the θY direction. The direction of rotation or tilt around the Z-axis is defined as the θZ direction. The plane including the X-axis and Y-axis is appropriately referred to as the XY plane. The XY plane is parallel to the horizontal plane. The Z-axis is parallel to the vertical line. The Z-axis direction is the up-down direction. The +Z direction is the upward direction, and the -Z direction is the downward direction. The Z-axis is perpendicular to the XY plane.

［検査装置］
図１は、実施形態に係る検査装置１を模式的に示す図である。実施形態において、検査装置１は、外観検査装置の一種である自動光学検査装置（ＡＯＩ：Automated Optical Inspection）である。 [Inspection equipment]
1 is a diagram illustrating an inspection apparatus 1 according to an embodiment of the present invention. In the embodiment, the inspection apparatus 1 is an automated optical inspection (AOI) apparatus, which is a type of visual inspection apparatus.

検査装置１は、対象物２を支持するテーブル３と、テーブル３を傾けるテーブル駆動装置４と、テーブル３に支持された対象物２を照明光で照明する照明装置５と、光学系６及びイメージセンサ７を有する撮像装置８と、撮像装置８を移動する撮像移動装置９と、コンピュータシステムを含む制御装置１０と、表示データを表示する表示装置１１とを備える。 The inspection device 1 includes a table 3 that supports the object 2, a table driving device 4 that tilts the table 3, an illumination device 5 that illuminates the object 2 supported on the table 3 with illumination light, an imaging device 8 that has an optical system 6 and an image sensor 7, an imaging movement device 9 that moves the imaging device 8, a control device 10 that includes a computer system, and a display device 11 that displays display data.

対象物２は、検査装置１の検査対象物である。対象物２は、湾曲面１２を有する。湾曲面１２を有する対象物２として、ミラー、レンズ、及び板金が例示される。湾曲面１２は、検査装置１の検査対象である。検査装置１は、湾曲面１２の外観検査を実施する。 The object 2 is an object to be inspected by the inspection device 1. The object 2 has a curved surface 12. Examples of the object 2 having a curved surface 12 include a mirror, a lens, and a metal plate. The curved surface 12 is an object to be inspected by the inspection device 1. The inspection device 1 performs an appearance inspection of the curved surface 12.

テーブル３は、対象物２の少なくとも一部を支持する支持面１３を有する。テーブル３の支持面１３は、＋Ｚ方向を向く。支持面１３は、ＸＹ平面と平行である。なお、支持面１３は、ＸＹ平面に対して傾斜してもよい。対象物２は、湾曲面１２が上方を向くように、テーブル３に支持される。対象物２がテーブル３に支持されている状態で、湾曲面１２は、上方に突出する。 The table 3 has a support surface 13 that supports at least a portion of the object 2. The support surface 13 of the table 3 faces the +Z direction. The support surface 13 is parallel to the XY plane. Note that the support surface 13 may be inclined with respect to the XY plane. The object 2 is supported by the table 3 so that the curved surface 12 faces upward. When the object 2 is supported by the table 3, the curved surface 12 protrudes upward.

テーブル駆動装置４は、テーブル３をθＸ方向及びθＹ方向のそれぞれに傾けることができる。テーブル３が傾くことにより、テーブル３に支持されている対象物２がθＸ方向及びθＹ方向のそれぞれに傾く。テーブル駆動装置４は、テーブル３を傾ける動力を発生する複数のアクチュエータ１４と、複数のアクチュエータ１４を介してテーブル３を支持するベース部材１５とを有する。 The table drive device 4 can tilt the table 3 in both the θX direction and the θY direction. When the table 3 tilts, the object 2 supported on the table 3 tilts in both the θX direction and the θY direction. The table drive device 4 has a plurality of actuators 14 that generate power to tilt the table 3, and a base member 15 that supports the table 3 via the plurality of actuators 14.

照明装置５は、テーブル３に支持された対象物２の湾曲面１２を照明光で照明する。照明装置５は、テーブル３よりも上方に配置される。照明装置５は、傾斜照明装置１６と、同軸照明装置１７とを有する。 The lighting device 5 illuminates the curved surface 12 of the object 2 supported on the table 3 with illumination light. The lighting device 5 is disposed above the table 3. The lighting device 5 has an oblique lighting device 16 and a coaxial lighting device 17.

傾斜照明装置１６は、円環状の複数の光源１８と、複数の光源１８を支持する支持部材１９とを有する。光源１８として、発光ダイオード（ＬＥＤ：Light Emitting Diode）が例示される。光源１８は、照明光として白色光を射出する。 The inclined lighting device 16 has a plurality of circular light sources 18 and a support member 19 that supports the plurality of light sources 18. An example of the light source 18 is a light emitting diode (LED). The light source 18 emits white light as the illumination light.

実施形態において、光源１８は、第１の内径を有する第１光源１８Ａと、第１の内径よりも大きい第２の内径を有する第２光源１８Ｂと、第２の内径よりも大きい第３の内径を有する第３光源１８Ｃとを含む。複数の光源１８のうち、第１光源１８Ａがテーブル３から最も遠い位置に配置され、第１光源１８Ａに次いで第２光源１８Ｂがテーブル３から遠い位置に配置され、第３光源１８Ｃがテーブル３に最も近い位置に配置される。すなわち、複数の光源１８のうち、第１光源１８Ａが最も高い位置に配置され、第１光源１８Ａに次いで第２光源１８Ｂが高い位置に配置され、第３光源１８Ｃが最も低い位置に配置される。テーブル３に対象物２が支持されていない場合、第１光源１８Ａから射出された照明光は、第１入射角度で支持面１３に入射する。第２光源１８Ｂから射出された照明光は、第２入射角度で支持面１３に入射する。第３光源１８Ｃから射出された照明光は、第３入射角度で支持面１３に入射する。第１入射角度と第２入射角度と第３入射角度とは、異なる。 In the embodiment, the light source 18 includes a first light source 18A having a first inner diameter, a second light source 18B having a second inner diameter larger than the first inner diameter, and a third light source 18C having a third inner diameter larger than the second inner diameter. Of the multiple light sources 18, the first light source 18A is arranged at a position farthest from the table 3, the second light source 18B is arranged at a position farthest from the table 3 next to the first light source 18A, and the third light source 18C is arranged at a position closest to the table 3. That is, of the multiple light sources 18, the first light source 18A is arranged at the highest position, the second light source 18B is arranged at a higher position next to the first light source 18A, and the third light source 18C is arranged at the lowest position. When the object 2 is not supported on the table 3, the illumination light emitted from the first light source 18A is incident on the support surface 13 at a first incident angle. The illumination light emitted from the second light source 18B is incident on the support surface 13 at a second incident angle. The illumination light emitted from the third light source 18C is incident on the support surface 13 at a third incident angle. The first incident angle, the second incident angle, and the third incident angle are different.

同軸照明装置１７は、撮像装置８の光学系６の入射面２０の周囲に配置される光源２１と、光源２１を支持する支持部材２２とを有する。光源２１は、光学系６の入射面２０の周囲に間隔をあけて複数配置される。光源２１として、発光ダイオード（ＬＥＤ：Light Emitting Diode）が例示される。光源２１は、照明光として白色光を射出する。 The coaxial lighting device 17 has a light source 21 arranged around the entrance surface 20 of the optical system 6 of the imaging device 8, and a support member 22 that supports the light source 21. A plurality of light sources 21 are arranged at intervals around the entrance surface 20 of the optical system 6. An example of the light source 21 is a light emitting diode (LED). The light source 21 emits white light as illumination light.

光源２１は、光学系６の光軸ＡＸと平行な方向に照明光を射出する。実施形態において、光学系６の光軸ＡＸは、Ｚ軸と平行である。テーブル３に対象物２が支持されてなく、支持面１３がＸＹ平面と平行である場合、光源２１から射出された照明光は、支持面１３に垂直に入射する。 The light source 21 emits illumination light in a direction parallel to the optical axis AX of the optical system 6. In the embodiment, the optical axis AX of the optical system 6 is parallel to the Z axis. When the object 2 is not supported on the table 3 and the support surface 13 is parallel to the XY plane, the illumination light emitted from the light source 21 is perpendicular to the support surface 13.

撮像装置８は、照明装置５で照明された対象物２の湾曲面１２を撮像する。撮像装置８は、テーブル３よりも上方に配置される。撮像装置８は、テーブル３に支持されている対象物２の湾曲面１２を上方から撮像する。 The imaging device 8 captures an image of the curved surface 12 of the object 2 illuminated by the lighting device 5. The imaging device 8 is disposed above the table 3. The imaging device 8 captures an image of the curved surface 12 of the object 2 supported by the table 3 from above.

撮像装置８は、光学系６とイメージセンサ７とを有する。光学系６の光軸ＡＸは、円環状の光源１８の内側に配置される。イメージセンサ７は、光学系６を介して対象物２の画像３４を取得する。イメージセンサ７として、ＣＣＤ（Couple Charged Device）イメージセンサ又はＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）イメージセンサが例示される。撮像装置８により撮像される画像３４は、カラー画像である。なお、撮像装置８により撮像される画像３４は、モノクロ画像でもよい。 The imaging device 8 has an optical system 6 and an image sensor 7. The optical axis AX of the optical system 6 is disposed inside the annular light source 18. The image sensor 7 acquires an image 34 of the object 2 via the optical system 6. Examples of the image sensor 7 include a CCD (Couple Charged Device) image sensor and a CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) image sensor. The image 34 captured by the imaging device 8 is a color image. Note that the image 34 captured by the imaging device 8 may be a monochrome image.

撮像移動装置９は、光学系６の光軸ＡＸと直交するＸＹ平面内において撮像装置８を移動させる。撮像移動装置９は、撮像装置８のボディを保持する保持部材２３と、保持部材２３を介して撮像装置８を移動させる動力を発生するアクチュエータ２４とを有する。撮像装置８がＸＹ平面内において移動することにより、照明装置５も、撮像装置８と一緒にＸＹ平面内において移動する。 The imaging movement device 9 moves the imaging device 8 in the XY plane perpendicular to the optical axis AX of the optical system 6. The imaging movement device 9 has a holding member 23 that holds the body of the imaging device 8, and an actuator 24 that generates power to move the imaging device 8 via the holding member 23. As the imaging device 8 moves in the XY plane, the illumination device 5 also moves in the XY plane together with the imaging device 8.

ＸＹ平面内において撮像装置８が移動することにより、光学系６の視野範囲２５が対象物２に対してＸ軸方向及びＹ軸方向に移動する。光学系６の視野範囲２５は、撮像装置８の撮像可能範囲である。光学系６の視野範囲２５は、湾曲面１２よりも小さい。ＸＹ平面内において光学系６の視野範囲２５と湾曲面１２との相対位置が調整されることにより、撮像装置８は、湾曲面１２の複数の範囲４０のそれぞれを撮像することができる。 As the imaging device 8 moves within the XY plane, the field of view 25 of the optical system 6 moves in the X-axis and Y-axis directions relative to the object 2. The field of view 25 of the optical system 6 is the range that can be imaged by the imaging device 8. The field of view 25 of the optical system 6 is smaller than the curved surface 12. As the relative position of the field of view 25 of the optical system 6 and the curved surface 12 is adjusted within the XY plane, the imaging device 8 can image each of the multiple ranges 40 of the curved surface 12.

制御装置１０は、テーブル駆動装置４、照明装置５、撮像装置８、及び撮像移動装置９を制御する。制御装置１０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）のようなプロセッサを含む演算処理装置と、ＲＯＭ（Read Only Memory）又はＲＡＭ（Random Access Memory）のようなメモリ及びストレージを含む記憶装置とを有する。演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施する。なお、制御装置１０は、例えば、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）又はＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）のような集積回路により構成されてもよい。 The control device 10 controls the table drive device 4, the lighting device 5, the imaging device 8, and the imaging movement device 9. The control device 10 has an arithmetic processing device including a processor such as a CPU (Central Processing Unit), and a storage device including a memory and storage such as a ROM (Read Only Memory) or a RAM (Random Access Memory). The arithmetic processing device performs arithmetic processing according to a computer program stored in the storage device. The control device 10 may be configured, for example, by an integrated circuit such as an ASIC (Application Specific Integrated Circuit) or an FPGA (Field Programmable Gate Array).

表示装置１１は、表示データを表示させる表示画面を有する。表示装置１１として、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ：Liquid Crystal Display）又は有機ＥＬディスプレイ（ＯＥＬＤ：Organic Electroluminescence Display）のようなフラットパネルディスプレイが例示される。表示装置１１に表示される表示データは、湾曲面１２の画像３４を含む。作業者は、表示装置１１の表示画面で湾曲面１２の状態を確認することができる。 The display device 11 has a display screen that displays the display data. Examples of the display device 11 include a flat panel display such as a liquid crystal display (LCD) or an organic electroluminescence display (OELD). The display data displayed on the display device 11 includes an image 34 of the curved surface 12. The worker can check the state of the curved surface 12 on the display screen of the display device 11.

［制御装置］
図２は、実施形態に係る制御装置１０を示す機能ブロック図である。制御装置１０は、照明制御部２６と、撮像位置制御部２７と、撮像制御部２８と、画像取得部２９と、画像処理部３０と、テーブル制御部３１と、表示制御部３２と、記憶部３３とを有する。 [Control device]
2 is a functional block diagram showing the control device 10 according to the embodiment. The control device 10 includes an illumination control unit 26, an imaging position control unit 27, an imaging control unit 28, an image acquisition unit 29, an image processing unit 30, a table control unit 31, a display control unit 32, and a storage unit 33.

照明制御部２６は、照明装置５に制御指令を出力して、テーブル３に支持されている対象物２を照明光で照明させる。実施形態において、照明制御部２６は、同軸照明装置１７に制御指令を出力して、テーブル３に支持されている対象物２を照明光で照明させる。 The lighting control unit 26 outputs a control command to the lighting device 5 to illuminate the object 2 supported on the table 3 with illumination light. In the embodiment, the lighting control unit 26 outputs a control command to the coaxial lighting device 17 to illuminate the object 2 supported on the table 3 with illumination light.

撮像位置制御部２７は、撮像移動装置９に制御指令を出して、ＸＹ平面内において撮像装置８を移動させる。撮像位置制御部２７は、撮像移動装置９に制御指令を出力して、ＸＹ平面内における光学系６の視野範囲２５とテーブル３に支持されている対象物２との相対位置を調整する。 The imaging position control unit 27 issues a control command to the imaging movement device 9 to move the imaging device 8 within the XY plane. The imaging position control unit 27 outputs a control command to the imaging movement device 9 to adjust the relative position between the field of view 25 of the optical system 6 within the XY plane and the object 2 supported by the table 3.

撮像制御部２８は、撮像装置８に制御指令を出力して、光学系６の視野範囲２５に配置されている湾曲面１２の画像３４を撮像させる。撮像制御部２８は、撮像装置８に制御指令を出力して、湾曲面１２を撮像させるタイミング、シャッター速度、及び光学系６の絞りの少なくとも一つを含む撮像条件を制御する。 The imaging control unit 28 outputs a control command to the imaging device 8 to capture an image 34 of the curved surface 12 located in the field of view 25 of the optical system 6. The imaging control unit 28 outputs a control command to the imaging device 8 to control imaging conditions including at least one of the timing for capturing an image of the curved surface 12, the shutter speed, and the aperture of the optical system 6.

画像取得部２９は、光学系６の視野範囲２５に配置されている湾曲面１２の画像３４を撮像装置８から取得する。 The image acquisition unit 29 acquires an image 34 of the curved surface 12 located within the field of view 25 of the optical system 6 from the imaging device 8.

実施形態において、撮像装置８により撮像される画像３４は、調整用画像３４Ａと、検査用画像３４Ｂとを含む。画像取得部２９が取得する画像３４は、調整用画像３４Ａと、検査用画像３４Ｂとを含む。 In the embodiment, the image 34 captured by the imaging device 8 includes an adjustment image 34A and an inspection image 34B. The image 34 acquired by the image acquisition unit 29 includes an adjustment image 34A and an inspection image 34B.

画像処理部３０は、画像取得部２９により取得された湾曲面１２の画像３４を処理する。画像処理部３０は、画像３４の輝度を算出する。画像３４は、複数の画素３５により構成される。実施形態において、画像処理部３０は、画像３４を構成する複数の画素３５のそれぞれの輝度を算出する。 The image processing unit 30 processes the image 34 of the curved surface 12 acquired by the image acquisition unit 29. The image processing unit 30 calculates the brightness of the image 34. The image 34 is composed of a plurality of pixels 35. In the embodiment, the image processing unit 30 calculates the brightness of each of the plurality of pixels 35 that make up the image 34.

テーブル制御部３１は、テーブル駆動装置４に制御指令を出力して、テーブル３を傾ける。テーブル制御部３１は、画像処理部３０により算出された調整用画像３４Ａの輝度に基づいて、テーブル３を傾ける。テーブル制御部３１は、テーブル３を傾けて、調整用画像３４Ａの輝度を調整する。 The table control unit 31 outputs a control command to the table driving device 4 to tilt the table 3. The table control unit 31 tilts the table 3 based on the brightness of the adjustment image 34A calculated by the image processing unit 30. The table control unit 31 tilts the table 3 to adjust the brightness of the adjustment image 34A.

実施形態において、テーブル制御部３１は、画像処理部３０の算出結果に基づいて、調整用画像３４Ａを構成する複数の画素３５のそれぞれの輝度が予め定められている輝度閾値３６以上になるように、テーブル３を傾ける。また、テーブル制御部３１は、画像処理部３０の算出結果に基づいて、調整用画像３４Ａにおける画素３５の輝度の最大値と最小値との差が予め定められている差分閾値３７以下になるように、テーブル３を傾ける。 In the embodiment, the table control unit 31 tilts the table 3 based on the calculation result of the image processing unit 30 so that the luminance of each of the multiple pixels 35 constituting the adjustment image 34A is equal to or greater than a predetermined luminance threshold value 36. Also, the table control unit 31 tilts the table 3 based on the calculation result of the image processing unit 30 so that the difference between the maximum and minimum luminance values of the pixels 35 in the adjustment image 34A is equal to or less than a predetermined difference threshold value 37.

表示制御部３２は、画像取得部２９により取得された湾曲面１２の画像３４を表示装置１１に表示させる。 The display control unit 32 causes the display device 11 to display the image 34 of the curved surface 12 acquired by the image acquisition unit 29.

記憶部３３は、予め定められている輝度閾値３６及び差分閾値３７を記憶する。記憶部３３は、画像取得部２９により取得された湾曲面１２の画像３４を記憶する。 The memory unit 33 stores a predetermined brightness threshold 36 and a difference threshold 37. The memory unit 33 stores an image 34 of the curved surface 12 acquired by the image acquisition unit 29.

［検査方法］
図３は、実施形態に係る検査方法を示すフローチャートである。対象物２がテーブル３の支持面１３に設置される。対象物２は、湾曲面１２と撮像装置８とが対向するように、テーブル３に支持される（ステップＳ１）。 [Inspection method]
3 is a flowchart showing an inspection method according to an embodiment. The object 2 is placed on the support surface 13 of the table 3. The object 2 is supported by the table 3 so that the curved surface 12 faces the imaging device 8 (step S1).

図１に示したように、実施形態において、検査対象である湾曲面１２は、上方に突出する。すなわち、実施形態において、検査対象である湾曲面１２は、撮像装置８に向かって突出する凸面である。 As shown in FIG. 1, in the embodiment, the curved surface 12 to be inspected protrudes upward. That is, in the embodiment, the curved surface 12 to be inspected is a convex surface that protrudes toward the imaging device 8.

図４は、実施形態に係るテーブル３に支持された対象物２を上方から見た図である。図４に示すように、湾曲面１２に複数の範囲４０が設定される。１つの範囲４０の外形及び寸法は、視野範囲２５の外形及び寸法と実質的に等しい。 Figure 4 is a top view of an object 2 supported on a table 3 according to an embodiment. As shown in Figure 4, multiple ranges 40 are set on the curved surface 12. The outer shape and dimensions of one range 40 are substantially equal to the outer shape and dimensions of the field of view range 25.

照明制御部２６は、同軸照明装置１７に制御指令を出力して、テーブル３に支持されている対象物２の湾曲面１２の照明を開始する。対象物２の湾曲面１２は、同軸照明装置１７の光源２１から射出された照明光で照明される（ステップＳ２）。 The lighting control unit 26 outputs a control command to the coaxial lighting device 17 to start illuminating the curved surface 12 of the object 2 supported on the table 3. The curved surface 12 of the object 2 is illuminated with the illumination light emitted from the light source 21 of the coaxial lighting device 17 (step S2).

カウンタｉが初期値である「１」に設定される（ステップＳ３）。 Counter i is set to its initial value "1" (step S3).

撮像位置制御部２７は、撮像装置８の光学系６の視野範囲２５に湾曲面１２の第ｉ範囲４０が配置されるように、撮像移動装置９に制御指令を出力する（ステップＳ４）。 The imaging position control unit 27 outputs a control command to the imaging movement device 9 so that the i-th range 40 of the curved surface 12 is positioned within the field of view range 25 of the optical system 6 of the imaging device 8 (step S4).

カウンタｉが「１」である場合、撮像位置制御部２７は、撮像装置８の光学系６の視野範囲２５に湾曲面１２の第１範囲４１が配置されるように、撮像移動装置９に制御指令を出力する。 When counter i is "1", the imaging position control unit 27 outputs a control command to the imaging movement device 9 so that the first range 41 of the curved surface 12 is positioned within the field of view range 25 of the optical system 6 of the imaging device 8.

図５は、実施形態に係る光学系６の視野範囲２５に湾曲面１２の第１範囲４１が配置されている状態を模式的に示す図である。図５に示すように、撮像位置制御部２７は、撮像装置８をＸＹ平面内において移動させて、光学系６の視野範囲２５に湾曲面１２の第１範囲４１が配置されるように、ＸＹ平面内における光学系６の視野範囲２５と湾曲面１２との相対位置を調整する。 Figure 5 is a schematic diagram showing a state in which the first area 41 of the curved surface 12 is disposed in the field of view 25 of the optical system 6 according to the embodiment. As shown in Figure 5, the imaging position control unit 27 moves the imaging device 8 in the XY plane to adjust the relative positions of the field of view 25 of the optical system 6 and the curved surface 12 in the XY plane so that the first area 41 of the curved surface 12 is disposed in the field of view 25 of the optical system 6.

撮像制御部２８は、光学系６の視野範囲２５に配置されている湾曲面１２の調整用画像３４Ａを撮像装置８に撮像させる。画像取得部２９は、撮像装置８から第１範囲４１の調整用画像３４Ａを取得する（ステップＳ５）。 The imaging control unit 28 causes the imaging device 8 to capture an adjustment image 34A of the curved surface 12 located in the field of view 25 of the optical system 6. The image acquisition unit 29 acquires the adjustment image 34A of the first range 41 from the imaging device 8 (step S5).

図６は、実施形態に係る湾曲面１２の第１範囲４１の調整用画像３４Ａを模式的に示す図である。図６に示すように、第１範囲４１の調整用画像３４Ａにおいて、輝度が低い第１領域５１と、輝度が高い第２領域５２とが存在する場合がある。 Figure 6 is a schematic diagram showing an adjustment image 34A of a first range 41 of a curved surface 12 according to an embodiment. As shown in Figure 6, in the adjustment image 34A of the first range 41, a first region 51 with low brightness and a second region 52 with high brightness may exist.

図５に示すように、光軸ＡＸに対する第１範囲４１の角度により、第１範囲４１の第１部分６１に入射した照明光は撮像装置８に反射されず、第１範囲４１の第２部分６２に入射した照明光は撮像装置８に反射される可能性がある。湾曲面１２の第１部分６１は、調整用画像３４Ａの第１領域５１に対応する。湾曲面１２の第２部分６２は、調整用画像３４Ａの第２領域５２に対応する。 As shown in FIG. 5, due to the angle of the first range 41 with respect to the optical axis AX, illumination light incident on a first portion 61 of the first range 41 may not be reflected to the imaging device 8, and illumination light incident on a second portion 62 of the first range 41 may be reflected to the imaging device 8. The first portion 61 of the curved surface 12 corresponds to the first region 51 of the adjustment image 34A. The second portion 62 of the curved surface 12 corresponds to the second region 52 of the adjustment image 34A.

画像処理部３０は、画像取得部２９により取得された第１範囲４１の調整用画像３４Ａの輝度を算出する。調整用画像３４Ａは、複数の画素３５により構成される。実施形態において、画像処理部３０は、調整用画像３４Ａを構成する複数の画素３５のそれぞれの輝度を算出する（ステップＳ６）。 The image processing unit 30 calculates the luminance of the adjustment image 34A of the first range 41 acquired by the image acquisition unit 29. The adjustment image 34A is composed of a plurality of pixels 35. In the embodiment, the image processing unit 30 calculates the luminance of each of the plurality of pixels 35 that constitute the adjustment image 34A (step S6).

テーブル制御部３１は、画像処理部３０により算出された調整用画像３４Ａの輝度に基づいて、テーブル３を傾ける。実施形態において、テーブル制御部３１は、画像処理部３０の算出結果に基づいて、調整用画像３４Ａを構成する複数の画素３５のそれぞれの輝度が予め定められている輝度閾値３６以上になるように、テーブル３を傾ける（ステップＳ７）。 The table control unit 31 tilts the table 3 based on the brightness of the adjustment image 34A calculated by the image processing unit 30. In an embodiment, the table control unit 31 tilts the table 3 based on the calculation result of the image processing unit 30 so that the brightness of each of the multiple pixels 35 that make up the adjustment image 34A is equal to or greater than a predetermined brightness threshold value 36 (step S7).

すなわち、テーブル制御部３１は、画像処理部３０の算出結果を監視しながら、調整用画像３４Ａの全体が明るい白色になるように、テーブル３に支持されている対象物２を傾ける。 That is, the table control unit 31 tilts the object 2 supported by the table 3 while monitoring the calculation results of the image processing unit 30 so that the entire adjustment image 34A becomes bright white.

図７は、実施形態に係るテーブル制御部３１の処理を説明するための図である。図７に示すように、テーブル制御部３１は、第１範囲４１の調整用画像３４Ａにおいて第１領域５１の輝度が高くなるように、テーブル３を傾ける。 Figure 7 is a diagram for explaining the processing of the table control unit 31 according to the embodiment. As shown in Figure 7, the table control unit 31 tilts the table 3 so that the brightness of the first region 51 is increased in the adjustment image 34A of the first range 41.

例えば、第１範囲４１の調整用画像３４Ａにおいて輝度が輝度閾値３６未満の第１領域５１と輝度閾値３６以上の第２領域５２とが存在する場合、テーブル制御部３１は、第１領域５１に対応する湾曲面１２の第１部分６１が撮像装置８に接近するように、すなわち、第１部分６１が＋Ｚ方向に移動するように、テーブル３を傾ける。なお、テーブル制御部３１は、第２領域５２に対応する湾曲面１２の第２部分６２が撮像装置８から離隔するように、すなわち、第２部分６２が－Ｚ方向に移動するように、テーブル３を傾けてもよい。 For example, when a first region 51 with a brightness less than the brightness threshold 36 and a second region 52 with a brightness equal to or greater than the brightness threshold 36 exist in the adjustment image 34A of the first range 41, the table control unit 31 tilts the table 3 so that a first portion 61 of the curved surface 12 corresponding to the first region 51 approaches the imaging device 8, i.e., so that the first portion 61 moves in the +Z direction. Note that the table control unit 31 may tilt the table 3 so that a second portion 62 of the curved surface 12 corresponding to the second region 52 moves away from the imaging device 8, i.e., so that the second portion 62 moves in the -Z direction.

図８は、実施形態に係るテーブル３が傾けられた後の湾曲面１２の第１範囲４１の調整用画像３４Ａを模式的に示す図である。図８に示すように、テーブル３が傾けられることにより、輝度が低い第１領域５１が無くなり、調整用画像３４Ａの全体が明るい白色になる。すなわち、第１範囲４１の調整用画像３４Ａを構成する複数の画素３５のそれぞれの輝度が輝度閾値３６以上になる。 Figure 8 is a schematic diagram showing the adjustment image 34A of the first range 41 of the curved surface 12 after the table 3 according to the embodiment is tilted. As shown in Figure 8, by tilting the table 3, the first region 51 with low brightness disappears and the entire adjustment image 34A becomes bright white. In other words, the brightness of each of the multiple pixels 35 constituting the adjustment image 34A of the first range 41 becomes equal to or greater than the brightness threshold value 36.

また、テーブル制御部３１は、画像処理部３０の算出結果に基づいて、調整用画像３４Ａにおける画素３５の輝度の最大値と最小値との差が予め定められている差分閾値３７以下になるように、テーブル３を傾ける（ステップＳ８）。 In addition, based on the calculation results of the image processing unit 30, the table control unit 31 tilts the table 3 so that the difference between the maximum and minimum luminance values of the pixel 35 in the adjustment image 34A is equal to or smaller than a predetermined difference threshold value 37 (step S8).

すなわち、テーブル制御部３１は、画像処理部３０の算出結果を監視しながら、調整用画像３４Ａの輝度の分布が均一になるように、テーブル３に支持されている対象物２を傾ける。 That is, the table control unit 31 tilts the object 2 supported on the table 3 while monitoring the calculation results of the image processing unit 30 so that the brightness distribution of the adjustment image 34A becomes uniform.

ステップＳ７及びステップＳ８の処理により、調整用画像３４Ａを構成する複数の画素３５のそれぞれの輝度が輝度閾値３６以上になり、且つ、調整用画像３４Ａの輝度の分布が均一になるように、テーブル３が傾けられる。 By the processing of steps S7 and S8, the table 3 is tilted so that the brightness of each of the multiple pixels 35 constituting the adjustment image 34A becomes equal to or greater than the brightness threshold value 36, and the brightness distribution of the adjustment image 34A becomes uniform.

撮像制御部２８は、ステップＳ７及びステップＳ８において調整用画像３４Ａの輝度が調整された後に、光学系６の視野範囲２５に配置されている湾曲面１２の検査用画像３４Ｂを撮像装置８に撮像させる。撮像制御部２８は、調整用画像３４Ａの輝度が調整された後のテーブル３の傾きを維持した状態で、検査用画像３４Ｂを撮像装置８に撮像させる。すなわち、検査装置１は、調整用画像３４Ａを構成する複数の画素３５のそれぞれの輝度が輝度閾値３６以上になり、且つ、調整用画像３４Ａの輝度の分布が均一になるように、テーブル３を傾けた後、そのテーブル３の傾きを維持した状態で、検査用画像３４Ｂの撮像に移行する。検査用画像３４Ｂは、ステップＳ７及びステップＳ８において輝度が調整された後の調整用画像３４Ａと同一の画像３４である。画像取得部２９は、撮像装置８から第１範囲４１の検査用画像３４Ｂを取得する（ステップＳ９）。 After the brightness of the adjustment image 34A is adjusted in steps S7 and S8, the imaging control unit 28 causes the imaging device 8 to capture the inspection image 34B of the curved surface 12 arranged in the field of view 25 of the optical system 6. The imaging control unit 28 causes the imaging device 8 to capture the inspection image 34B while maintaining the inclination of the table 3 after the brightness of the adjustment image 34A is adjusted. That is, the inspection device 1 tilts the table 3 so that the brightness of each of the multiple pixels 35 constituting the adjustment image 34A becomes equal to or greater than the brightness threshold value 36 and the brightness distribution of the adjustment image 34A becomes uniform, and then proceeds to capture the inspection image 34B while maintaining the inclination of the table 3. The inspection image 34B is the same image 34 as the adjustment image 34A after the brightness is adjusted in steps S7 and S8. The image acquisition unit 29 acquires the inspection image 34B of the first range 41 from the imaging device 8 (step S9).

ステップＳ９において取得された第１範囲４１の検査用画像３４Ｂは、湾曲面１２の外観検査用の画像３４である。表示制御部３２は、ステップＳ９において取得された第１範囲４１の検査用画像３４Ｂを表示装置１１に表示させる（ステップＳ１０）。 The inspection image 34B of the first range 41 acquired in step S9 is an image 34 for visual inspection of the curved surface 12. The display control unit 32 causes the display device 11 to display the inspection image 34B of the first range 41 acquired in step S9 (step S10).

図９は、実施形態に係る表示装置１１に表示された第１範囲４１の検査用画像３４Ｂを模式的に示す図である。第１範囲４１に異常が存在しない場合、第１範囲４１の検査用画像３４Ｂは、白色で表示される。第１範囲４１に異常が存在する場合、第１範囲４１の検査用画像３４Ｂにおいて、異常部分３８は、黒色で表示される。第１範囲４１の異常として、第１範囲４１に対する異物の付着又は第１範囲４１の一部の損傷が例示される。異常部分３８が存在する場合、異常部分３８に入射した照明光は、撮像装置８に反射されない。その結果、画像３４において、異常部分３８は、黒色になる。作業者は、表示装置１１に表示された検査用画像３４Ｂを確認することにより、第１範囲４１の異常の有無を判定することができる。 9 is a diagram showing a schematic diagram of the inspection image 34B of the first range 41 displayed on the display device 11 according to the embodiment. If there is no abnormality in the first range 41, the inspection image 34B of the first range 41 is displayed in white. If there is an abnormality in the first range 41, the abnormal portion 38 is displayed in black in the inspection image 34B of the first range 41. Examples of abnormalities in the first range 41 include the attachment of a foreign object to the first range 41 or damage to a part of the first range 41. If there is an abnormal portion 38, the illumination light incident on the abnormal portion 38 is not reflected by the imaging device 8. As a result, in the image 34, the abnormal portion 38 is black. The operator can determine whether there is an abnormality in the first range 41 by checking the inspection image 34B displayed on the display device 11.

なお、画像処理部３０が、ステップＳ９において取得された検査用画像３４Ｂを画像処理して、第１範囲４１の異常の有無を判定してもよい。 The image processing unit 30 may also perform image processing on the inspection image 34B acquired in step S9 to determine whether or not there is an abnormality in the first range 41.

撮像位置制御部２７は、湾曲面１２の検査が終了したか否かを判定する（ステップＳ１１）。 The imaging position control unit 27 determines whether the inspection of the curved surface 12 has been completed (step S11).

ステップＳ１１において、湾曲面１２の検査が終了していないと判定された場合（ステップＳ１１：Ｎｏ）、カウンタｉがインクリメントされる（ステップＳ１２）。 If it is determined in step S11 that the inspection of the curved surface 12 has not been completed (step S11: No), the counter i is incremented (step S12).

ステップＳ１２において、カウンタｉがインクリメントされた後、ステップＳ４の処理に戻る。 In step S12, counter i is incremented, and then processing returns to step S4.

カウンタｉが「２」に設定された場合、撮像位置制御部２７は、撮像装置８の光学系６の視野範囲２５に湾曲面１２の第２範囲４２が配置されるように、撮像移動装置９に制御指令を出力する（ステップＳ４）。 When the counter i is set to "2", the imaging position control unit 27 outputs a control command to the imaging movement device 9 so that the second area 42 of the curved surface 12 is positioned within the field of view range 25 of the optical system 6 of the imaging device 8 (step S4).

図１０は、実施形態に係る光学系６の視野範囲２５に湾曲面１２の第２範囲４２が配置されている状態を模式的に示す図である。図１０に示すように、撮像位置制御部２７は、撮像装置８をＸＹ平面内において移動させて、光学系６の視野範囲２５に湾曲面１２の第２範囲４２が配置されるように、ＸＹ平面内における光学系６の視野範囲２５と湾曲面１２との相対位置を調整することができる。 Figure 10 is a schematic diagram showing a state in which the second area 42 of the curved surface 12 is disposed in the field of view 25 of the optical system 6 according to the embodiment. As shown in Figure 10, the imaging position control unit 27 can adjust the relative position of the field of view 25 of the optical system 6 and the curved surface 12 in the XY plane by moving the imaging device 8 in the XY plane so that the second area 42 of the curved surface 12 is disposed in the field of view 25 of the optical system 6.

以下、湾曲面１２の第２範囲４２について、上述のステップＳ５からステップＳ１０の処理が実施される。すなわち、撮像制御部２８は、光学系６の視野範囲２５に配置されている湾曲面１２の第２範囲４２の調整用画像３４Ａを撮像装置８に撮像させる。テーブル制御部３１は、画像処理部３０の算出結果に基づいて、テーブル３を傾けて、第２範囲４２の調整用画像３４Ａの輝度を調整する。撮像制御部２８は、第２範囲４２の調整用画像３４Ａの輝度が調整された後に、光学系６の視野範囲２５に配置されている第２範囲４２の検査用画像３４Ｂを撮像装置８に撮像させる。表示制御部３２は、第２範囲４２の検査用画像３４Ｂを表示装置１１に表示させる。 Then, the above-mentioned steps S5 to S10 are performed for the second range 42 of the curved surface 12. That is, the imaging control unit 28 causes the imaging device 8 to capture an adjustment image 34A of the second range 42 of the curved surface 12 located in the field of view 25 of the optical system 6. The table control unit 31 tilts the table 3 based on the calculation result of the image processing unit 30 to adjust the brightness of the adjustment image 34A of the second range 42. After the brightness of the adjustment image 34A of the second range 42 is adjusted, the imaging control unit 28 causes the imaging device 8 to capture an inspection image 34B of the second range 42 located in the field of view 25 of the optical system 6. The display control unit 32 causes the display device 11 to display the inspection image 34B of the second range 42.

湾曲面１２の第２範囲４２について、ステップＳ４からステップＳ１０までの処理が終了した後、撮像位置制御部２７は、湾曲面１２の検査が終了したか否かを判定する（ステップＳ１１）。 After the processing from step S4 to step S10 is completed for the second range 42 of the curved surface 12, the imaging position control unit 27 determines whether or not the inspection of the curved surface 12 is completed (step S11).

図４を参照して説明したように、湾曲面１２に複数の範囲４０が設定される。複数の範囲４０のそれぞれについて、ステップＳ４からステップＳ１０までの処理が終了することにより、湾曲面１２の検査が終了したと判定される（ステップＳ１１：Ｙｅｓ）。 As described with reference to FIG. 4, multiple ranges 40 are set on the curved surface 12. When the processes from step S4 to step S10 are completed for each of the multiple ranges 40, it is determined that the inspection of the curved surface 12 is completed (step S11: Yes).

このように、実施形態において、撮像制御部２８は、湾曲面１２の第１範囲４１の調整用画像３４Ａの輝度が調整された後に、第１範囲４１の検査用画像３４Ｂを撮像装置８に撮像させ、湾曲面１２の第２範囲４２の調整用画像３４Ａの輝度が調整された後に、第２範囲４２の検査用画像３４Ｂを撮像装置８に撮像させる。湾曲面１２にＮ個の範囲４０が設定されている場合、Ｎ個の範囲４０のそれぞれについて、ステップＳ４からステップＳ１０の処理が実施される。Ｎ個の範囲４０のそれぞれについて、調整用画像３４Ａの輝度の調整と検査用画像３４Ｂの取得とが終了するまで、対象物２は、テーブル３に支持され続ける。このように、複数の範囲４０のそれぞれについて、調整用画像３４Ａの輝度の調整と検査用画像３４Ｂの取得とが、ステップアンドリピート方式で実施される。 In this manner, in the embodiment, the imaging control unit 28 causes the imaging device 8 to capture the test image 34B of the first range 41 of the curved surface 12 after the brightness of the adjustment image 34A of the first range 41 is adjusted, and causes the imaging device 8 to capture the test image 34B of the second range 42 of the curved surface 12 after the brightness of the adjustment image 34A of the second range 42 of the curved surface 12 is adjusted. When N ranges 40 are set on the curved surface 12, the processing from step S4 to step S10 is performed for each of the N ranges 40. The object 2 continues to be supported by the table 3 until the adjustment of the brightness of the adjustment image 34A and the acquisition of the test image 34B are completed for each of the N ranges 40. In this manner, the adjustment of the brightness of the adjustment image 34A and the acquisition of the test image 34B are performed for each of the multiple ranges 40 in a step-and-repeat manner.

［コンピュータシステム］
図１１は、実施形態に係るコンピュータシステム１０００を示すブロック図である。上述の制御装置１０は、コンピュータシステム１０００を含む。コンピュータシステム１０００は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）のようなプロセッサ１００１と、ＲＯＭ（Read Only Memory）のような不揮発性メモリ及びＲＡＭ（Random Access Memory）のような揮発性メモリを含むメインメモリ１００２と、ストレージ１００３と、入出力回路を含むインターフェース１００４とを有する。制御装置１０の機能は、コンピュータプログラムとしてストレージ１００３に記憶されている。プロセッサ１００１は、コンピュータプログラムをストレージ１００３から読み出してメインメモリ１００２に展開し、コンピュータプログラムに従って上述の処理を実行する。なお、コンピュータプログラムは、ネットワークを介してコンピュータシステム１０００に配信されてもよい。 [Computer System]
FIG. 11 is a block diagram showing a computer system 1000 according to an embodiment. The above-mentioned control device 10 includes the computer system 1000. The computer system 1000 has a processor 1001 such as a central processing unit (CPU), a main memory 1002 including a non-volatile memory such as a read only memory (ROM) and a volatile memory such as a random access memory (RAM), a storage 1003, and an interface 1004 including an input/output circuit. The functions of the control device 10 are stored in the storage 1003 as a computer program. The processor 1001 reads the computer program from the storage 1003, expands it in the main memory 1002, and executes the above-mentioned processing according to the computer program. The computer program may be distributed to the computer system 1000 via a network.

コンピュータプログラムは、上述の実施形態に従って、コンピュータシステム１０００に、湾曲面１２を有する対象物２を照明光で照明することと、撮像装置８の光学系６の視野範囲２５に配置されている湾曲面１２の調整用画像３４Ａを撮像させることと、対象物２を傾けて、調整用画像３４Ａの輝度を調整することと、調整用画像３４Ａの輝度が調整された後に、視野範囲２５に配置されている湾曲面１２の検査用画像３４Ｂを撮像させることと、を実行させることができる。 In accordance with the above-described embodiment, the computer program can cause the computer system 1000 to illuminate an object 2 having a curved surface 12 with illumination light, capture an adjustment image 34A of the curved surface 12 located in the field of view 25 of the optical system 6 of the imaging device 8, tilt the object 2 to adjust the brightness of the adjustment image 34A, and capture an inspection image 34B of the curved surface 12 located in the field of view 25 after the brightness of the adjustment image 34A has been adjusted.

［効果］
以上説明したように、実施形態によれば、湾曲面１２の検査用画像３４Ｂが取得される前に、湾曲面１２の調整用画像３４Ａが取得される。テーブル３を傾けることにより、調整用画像３４Ａの輝度が調整される。実施形態においては、調整用画像３４Ａの全体が明るい白色になるように、テーブル３が傾けられる。調整用画像３４Ａの輝度が調整された後、湾曲面１２の検査用画像３４Ｂが取得される。これにより、湾曲面１２を有する対象物２の外観検査が適正に実施される。上述のように、湾曲面１２の異常部分３８は、画像３４において黒色になる。実施形態においては、検査用画像３４Ｂを取得する前に、調整用画像３４Ａの全体が明るい白色になるように、対象物２の傾きが調整される。輝度が調整された後の調整用画像３４Ａは、検査用画像３４Ｂと同一の画像３４である。検査用画像３４Ｂに異常部分３８が存在する場合、白色と黒色とのコントラストにより、検査用画像３４Ｂから異常部分３８が高精度に発見される。これにより、湾曲面１２の外観検査が適正に実施される。 [effect]
As described above, according to the embodiment, before the inspection image 34B of the curved surface 12 is acquired, the adjustment image 34A of the curved surface 12 is acquired. The table 3 is tilted to adjust the brightness of the adjustment image 34A. In the embodiment, the table 3 is tilted so that the entire adjustment image 34A is bright white. After the brightness of the adjustment image 34A is adjusted, the inspection image 34B of the curved surface 12 is acquired. This allows the appearance inspection of the object 2 having the curved surface 12 to be properly performed. As described above, the abnormal part 38 of the curved surface 12 becomes black in the image 34. In the embodiment, before the inspection image 34B is acquired, the inclination of the object 2 is adjusted so that the entire adjustment image 34A is bright white. The adjustment image 34A after the brightness adjustment is the same image 34 as the inspection image 34B. If the abnormal part 38 exists in the inspection image 34B, the abnormal part 38 is found with high accuracy from the inspection image 34B due to the contrast between white and black. This allows the appearance inspection of the curved surface 12 to be carried out properly.

実施形態において、テーブル制御部３１は、調整用画像３４Ａの輝度を監視しながら、調整用画像３４Ａの全体が明るい白色になるように、テーブル３を傾ける。例えば傾斜センサの検出データに基づいてテーブル３が傾けられる場合、テーブル３と対象物２との位置決めを高精度に実施する必要がある。実施形態によれば、調整用画像３４Ａの輝度に基づいて、調整用画像３４Ａの全体が明るい白色になるようにテーブル３を傾けるフィードバック制御が実施される。そのため、テーブル３と対象物２との位置決めが高精度に実施されなくても、テーブル制御部３１は、調整用画像３４Ａの全体が明るい白色になるように、テーブル３を傾けることができる。 In the embodiment, the table control unit 31 tilts the table 3 while monitoring the brightness of the adjustment image 34A so that the entire adjustment image 34A becomes bright white. For example, when the table 3 is tilted based on the detection data of a tilt sensor, the positioning of the table 3 and the object 2 needs to be performed with high accuracy. According to the embodiment, feedback control is performed based on the brightness of the adjustment image 34A to tilt the table 3 so that the entire adjustment image 34A becomes bright white. Therefore, even if the positioning of the table 3 and the object 2 is not performed with high accuracy, the table control unit 31 can tilt the table 3 so that the entire adjustment image 34A becomes bright white.

テーブル制御部３１は、調整用画像３４Ａを構成する複数の画素３５のそれぞれの輝度が予め定められている輝度閾値３６以上になるように、テーブル３を傾ける。これにより、テーブル制御部３１は、調整用画像３４Ａの全体を明るい白色にすることができる。 The table control unit 31 tilts the table 3 so that the luminance of each of the multiple pixels 35 that make up the adjustment image 34A is equal to or greater than a predetermined luminance threshold value 36. This allows the table control unit 31 to make the entire adjustment image 34A a bright white color.

テーブル制御部３１は、調整用画像３４Ａにおける画素３５の輝度の最大値と最小値との差が差分閾値３７以下になるように、テーブル３を傾ける。これにより、テーブル制御部３１は、調整用画像３４Ａの輝度の分布を均一にすることができる。 The table control unit 31 tilts the table 3 so that the difference between the maximum and minimum luminance values of the pixels 35 in the adjustment image 34A is equal to or less than the difference threshold value 37. This allows the table control unit 31 to make the luminance distribution of the adjustment image 34A uniform.

撮像制御部２８は、調整用画像３４Ａの輝度が調整された後のテーブル３の傾きを維持した状態で、検査用画像３４Ｂを撮像装置８に撮像させる。すなわち、調整用画像３４Ａの全体が明るい白色になるようにテーブル３が傾けられた後、テーブル３の傾きが維持された状態で、検査用画像３４Ｂが撮像される。これにより、湾曲面１２の外観検査は、適正に且つ効率良く実施される。 The imaging control unit 28 causes the imaging device 8 to capture the inspection image 34B while maintaining the inclination of the table 3 after the brightness of the adjustment image 34A has been adjusted. That is, after the table 3 is tilted so that the entire adjustment image 34A is bright white, the inspection image 34B is captured while the inclination of the table 3 is maintained. This allows the appearance inspection of the curved surface 12 to be performed properly and efficiently.

照明装置５は、光学系６の入射面２０の周囲に配置される光源２１を有する同軸照明装置１７を含む。同軸照明装置１７の光源２１は、光学系６の光軸ＡＸと平行なＺ軸方向に照明光を射出する。これにより、画像３４の輝度が十分に高くなる。すなわち、画像３４の全体が明るい白色になる。 The illumination device 5 includes a coaxial illumination device 17 having light sources 21 arranged around the entrance surface 20 of the optical system 6. The light sources 21 of the coaxial illumination device 17 emit illumination light in the Z-axis direction parallel to the optical axis AX of the optical system 6. This ensures that the brightness of the image 34 is sufficiently high. In other words, the entire image 34 is bright white.

対象物２は、湾曲面１２と撮像装置８とが対向するように、テーブル３に支持される。検査対象の湾曲面１２は、撮像装置８に向かって突出する。調整用画像３４Ａにおいて輝度が輝度閾値３６未満の第１領域５１と輝度閾値３６以上の第２領域５２とが存在する場合、テーブル制御部３１は、第１領域５１に対応する湾曲面１２の第１部分６１が撮像装置８に接近するように、又は、第２領域５２に対応する湾曲面１２の第２部分６２が撮像装置８から離隔するように、テーブル３を傾ける。これにより、テーブル制御部３１は、調整用画像３４Ａの輝度に基づいて、調整用画像３４Ａの全体が明るい白色になるように、テーブル３を適正に傾けることができる。 The object 2 is supported on the table 3 so that the curved surface 12 faces the imaging device 8. The curved surface 12 of the inspection target protrudes toward the imaging device 8. When a first region 51 whose luminance is less than the luminance threshold 36 and a second region 52 whose luminance is equal to or greater than the luminance threshold 36 are present in the adjustment image 34A, the table control unit 31 tilts the table 3 so that a first portion 61 of the curved surface 12 corresponding to the first region 51 approaches the imaging device 8, or a second portion 62 of the curved surface 12 corresponding to the second region 52 moves away from the imaging device 8. This allows the table control unit 31 to appropriately tilt the table 3 based on the luminance of the adjustment image 34A so that the entire adjustment image 34A becomes bright white.

テーブル３と撮像装置８とは、光学系６の光軸ＡＸと直交するＸＹ平面内において相対移動可能である。撮像制御部２８は、湾曲面１２の第１範囲４１の調整用画像３４Ａの輝度が調整された後に、第１範囲４１の検査用画像３４Ｂを撮像装置８に撮像させ、湾曲面１２の第２範囲４２の調整用画像３４Ａの輝度が調整された後に、第２範囲４２の検査用画像３４Ｂを撮像装置８に撮像させる。すなわち、湾曲面１２に設定された複数の範囲４０のそれぞれについて、ステップアンドリピート方式で、調整用画像３４Ａを用いる輝度の調整、及び検査用画像３４Ｂを用いる湾曲面１２の外観検査が効率良く実施される。また、湾曲面１２が視野範囲２５より大きくても、湾曲面１２の全体の外観検査が円滑に実施される。 The table 3 and the imaging device 8 can move relative to each other in the XY plane perpendicular to the optical axis AX of the optical system 6. After the brightness of the adjustment image 34A of the first range 41 of the curved surface 12 is adjusted, the imaging control unit 28 causes the imaging device 8 to capture the inspection image 34B of the first range 41, and after the brightness of the adjustment image 34A of the second range 42 of the curved surface 12 is adjusted, the imaging control unit 28 causes the imaging device 8 to capture the inspection image 34B of the second range 42. That is, for each of the multiple ranges 40 set on the curved surface 12, the brightness adjustment using the adjustment image 34A and the appearance inspection of the curved surface 12 using the inspection image 34B are efficiently performed in a step-and-repeat manner. Also, even if the curved surface 12 is larger than the field of view range 25, the appearance inspection of the entire curved surface 12 is smoothly performed.

撮像装置８により撮像された湾曲面１２の検査用画像３４Ｂは、表示装置１１に表示される。これにより、作業者は、表示装置１１の表示画面を確認して、湾曲面１２の異常の有無を確認することができる。 The inspection image 34B of the curved surface 12 captured by the imaging device 8 is displayed on the display device 11. This allows the worker to check the display screen of the display device 11 to see if there are any abnormalities in the curved surface 12.

［その他の実施形態］
上述の実施形態においては、検査対象である湾曲面１２は、撮像装置８に向かって突出する凸面であることとした。検査対象である湾曲面１２は、撮像装置８に対して窪む凹面でもよい。 [Other embodiments]
In the above embodiment, the curved surface 12 to be inspected is a convex surface that protrudes toward the imaging device 8. The curved surface 12 to be inspected may be a concave surface that is recessed toward the imaging device 8.

図１２は、その他の実施形態に係るテーブル制御部３１の処理を説明するための図である。図１２に示すように、検査対象である湾曲面１２は、撮像装置８に対して窪む凹面である。範囲４０の調整用画像３４Ａにおいて輝度が輝度閾値３６未満の第１領域５１と輝度閾値３６以上の第２領域５２とが存在する場合、テーブル制御部３１は、第１領域５１に対応する湾曲面１２の第１部分６１が撮像装置８から離隔するように、テーブル３を傾ける。これにより、テーブル制御部３１は、調整用画像３４Ａの全体を明るい白色にすることができる。なお、テーブル制御部３１は、第２領域５２に対応する湾曲面１２の第２部分６２が撮像装置８に接近するように、テーブル３を傾けてもよい。 12 is a diagram for explaining the processing of the table control unit 31 according to another embodiment. As shown in FIG. 12, the curved surface 12 to be inspected is a concave surface recessed toward the imaging device 8. When a first region 51 having a brightness less than the brightness threshold 36 and a second region 52 having a brightness equal to or greater than the brightness threshold 36 exist in the adjustment image 34A of the range 40, the table control unit 31 tilts the table 3 so that the first portion 61 of the curved surface 12 corresponding to the first region 51 is separated from the imaging device 8. This allows the table control unit 31 to make the entire adjustment image 34A bright white. The table control unit 31 may tilt the table 3 so that the second portion 62 of the curved surface 12 corresponding to the second region 52 approaches the imaging device 8.

上述の実施形態においては、撮像移動装置９により撮像装置８がＸＹ平面内において移動することによって、視野範囲２５と湾曲面１２との相対位置が変更されることとした。テーブル３がＸＹ平面内において移動してもよいし、テーブル３及び撮像装置８の両方がＸＹ平面内において移動してもよい。テーブル３と撮像装置８とは、光学系６の光軸ＡＸと直交するＸ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれに相対移動可能であればよい。 In the above embodiment, the imaging device 8 is moved in the XY plane by the imaging movement device 9, thereby changing the relative position between the field of view 25 and the curved surface 12. The table 3 may move in the XY plane, or both the table 3 and the imaging device 8 may move in the XY plane. It is sufficient that the table 3 and the imaging device 8 are capable of relative movement in each of the X-axis direction and the Y-axis direction perpendicular to the optical axis AX of the optical system 6.

上述の実施形態においては、同軸照明装置１７が湾曲面１２を照明することとした。傾斜照明装置１６が湾曲面１２を照明してもよい。 In the above embodiment, the coaxial lighting device 17 illuminates the curved surface 12. The oblique lighting device 16 may also illuminate the curved surface 12.

１…検査装置、２…対象物、３…テーブル、４…テーブル駆動装置、５…照明装置、６…光学系、７…イメージセンサ、８…撮像装置、９…撮像移動装置、１０…制御装置、１１…表示装置、１２…湾曲面、１３…支持面、１４…アクチュエータ、１５…ベース部材、１６…傾斜照明装置、１７…同軸照明装置、１８…光源、１８Ａ…第１光源、１８Ｂ…第２光源、１８Ｃ…第３光源、１９…支持部材、２０…入射面、２１…光源、２２…支持部材、２３…保持部材、２４…アクチュエータ、２５…視野範囲、２６…照明制御部、２７…撮像位置制御部、２８…撮像制御部、２９…画像取得部、３０…画像処理部、３１…テーブル制御部、３２…表示制御部、３３…記憶部、３４…画像、３４Ａ…調整用画像、３４Ｂ…検査用画像、３５…画素、３６…輝度閾値、３７…差分閾値、３８…異常部分、４０…範囲、４１…第１範囲、４２…第２範囲、５１…第１領域、５２…第２領域、６１…第１部分、６２…第２部分、１０００…コンピュータシステム、１００１…プロセッサ、１００２…メインメモリ、１００３…ストレージ、１００４…インターフェース、ＡＸ…光軸。 1... inspection device, 2... object, 3... table, 4... table drive device, 5... illumination device, 6... optical system, 7... image sensor, 8... imaging device, 9... imaging movement device, 10... control device, 11... display device, 12... curved surface, 13... support surface, 14... actuator, 15... base member, 16... inclined illumination device, 17... coaxial illumination device, 18... light source, 18A... first light source, 18B... second light source, 18C... third light source, 19... support member, 20... incidence surface, 21... light source, 22... support member, 23... holding member, 24... actuator, 25... field of view range, 26... illumination control unit, 27... imaging Image position control unit, 28...imaging control unit, 29...image acquisition unit, 30...image processing unit, 31...table control unit, 32...display control unit, 33...storage unit, 34...image, 34A...image for adjustment, 34B...image for inspection, 35...pixel, 36...brightness threshold, 37...difference threshold, 38...abnormal part, 40...range, 41...first range, 42...second range, 51...first area, 52...second area, 61...first part, 62...second part, 1000...computer system, 1001...processor, 1002...main memory, 1003...storage, 1004...interface, AX...optical axis.

Claims (12)

湾曲面を有する対象物を支持するテーブルと、
前記テーブルに支持された前記対象物を照明光で照明する照明装置と、
光学系及びイメージセンサを有する撮像装置と、
前記光学系の視野範囲に配置されている前記湾曲面の調整用画像を前記撮像装置に撮像させる撮像制御部と、
前記テーブルを傾けて、前記調整用画像の輝度を調整するテーブル制御部と、を備え、
前記撮像制御部は、前記調整用画像の輝度が調整された後に、前記視野範囲に配置されている前記湾曲面の検査用画像を前記撮像装置に撮像させ、
前記テーブル制御部は、前記調整用画像における前記輝度の最大値と最小値との差が差分閾値以下になるように、前記テーブルを傾ける、
検査装置。 a table for supporting an object having a curved surface;
an illumination device that illuminates the object supported on the table with illumination light;
an imaging device having an optical system and an image sensor;
an imaging control unit that causes the imaging device to capture an adjustment image of the curved surface that is disposed within a field of view of the optical system;
a table control unit that tilts the table to adjust the brightness of the adjustment image,
the imaging control unit causes the imaging device to capture an inspection image of the curved surface disposed within the field of view after the luminance of the adjustment image has been adjusted ;
the table control unit inclines the table so that a difference between a maximum value and a minimum value of the luminance in the adjustment image becomes equal to or smaller than a difference threshold value.
Inspection equipment. 湾曲面を有する対象物を支持するテーブルと、
前記テーブルに支持された前記対象物を照明光で照明する照明装置と、
光学系及びイメージセンサを有する撮像装置と、
前記光学系の視野範囲に配置されている前記湾曲面の調整用画像を前記撮像装置に撮像させる撮像制御部と、
前記テーブルを傾けて、前記調整用画像の輝度を調整するテーブル制御部と、を備え、
前記撮像制御部は、前記調整用画像の輝度が調整された後に、前記視野範囲に配置されている前記湾曲面の検査用画像を前記撮像装置に撮像させ、
前記対象物は、前記湾曲面と前記撮像装置とが対向するように、前記テーブルに支持され、
前記湾曲面は、前記撮像装置に向かって突出し、
前記調整用画像において前記輝度が輝度閾値未満の第１領域と輝度閾値以上の第２領域とが存在する場合、前記テーブル制御部は、前記第１領域に対応する前記湾曲面の第１部分が前記撮像装置に接近するように、又は、前記第２領域に対応する前記湾曲面の第２部分が前記撮像装置から離隔するように、前記テーブルを傾ける、
検査装置。 a table for supporting an object having a curved surface;
an illumination device that illuminates the object supported on the table with illumination light;
an imaging device having an optical system and an image sensor;
an imaging control unit that causes the imaging device to capture an adjustment image of the curved surface that is disposed within a field of view of the optical system;
a table control unit that tilts the table to adjust the brightness of the adjustment image,
the imaging control unit causes the imaging device to capture an inspection image of the curved surface disposed within the field of view after the luminance of the adjustment image has been adjusted ;
the object is supported on the table such that the curved surface faces the imaging device;
the curved surface protrudes toward the imaging device;
When a first region in which the brightness is less than a brightness threshold value and a second region in which the brightness is equal to or greater than the brightness threshold value are present in the adjustment image, the table control unit tilts the table so that a first portion of the curved surface corresponding to the first region approaches the imaging device, or so that a second portion of the curved surface corresponding to the second region moves away from the imaging device.
Inspection equipment. 湾曲面を有する対象物を支持するテーブルと、
前記テーブルに支持された前記対象物を照明光で照明する照明装置と、
光学系及びイメージセンサを有する撮像装置と、
前記光学系の視野範囲に配置されている前記湾曲面の調整用画像を前記撮像装置に撮像させる撮像制御部と、
前記テーブルを傾けて、前記調整用画像の輝度を調整するテーブル制御部と、を備え、
前記撮像制御部は、前記調整用画像の輝度が調整された後に、前記視野範囲に配置されている前記湾曲面の検査用画像を前記撮像装置に撮像させ、
前記対象物は、前記湾曲面と前記撮像装置とが対向するように、前記テーブルに支持され、
前記湾曲面は、前記撮像装置に対して窪み、
前記調整用画像において前記輝度が輝度閾値未満の第１領域と輝度閾値以上の第２領域とが存在する場合、前記テーブル制御部は、前記第１領域に対応する前記湾曲面の第１部分が前記撮像装置から離隔するように、又は、前記第２領域に対応する前記湾曲面の第２部分が前記撮像装置に接近するように、前記テーブルを傾ける、
検査装置。 a table for supporting an object having a curved surface;
an illumination device that illuminates the object supported on the table with illumination light;
an imaging device having an optical system and an image sensor;
an imaging control unit that causes the imaging device to capture an adjustment image of the curved surface that is disposed within a field of view of the optical system;
a table control unit that adjusts the brightness of the adjustment image by tilting the table,
the imaging control unit causes the imaging device to capture an inspection image of the curved surface disposed within the field of view after the luminance of the adjustment image has been adjusted ;
the object is supported on the table such that the curved surface faces the imaging device;
the curved surface is recessed relative to the imaging device;
When a first region in which the brightness is less than a brightness threshold value and a second region in which the brightness is equal to or greater than the brightness threshold value are present in the adjustment image, the table control unit tilts the table so that a first portion of the curved surface corresponding to the first region moves away from the imaging device, or so that a second portion of the curved surface corresponding to the second region moves closer to the imaging device.
Inspection equipment. 湾曲面を有する対象物を支持するテーブルと、
前記テーブルに支持された前記対象物を照明光で照明する照明装置と、
光学系及びイメージセンサを有する撮像装置と、
前記光学系の視野範囲に配置されている前記湾曲面の調整用画像を前記撮像装置に撮像させる撮像制御部と、
前記テーブルを傾けて、前記調整用画像の輝度を調整するテーブル制御部と、を備え、
前記撮像制御部は、前記調整用画像の輝度が調整された後に、前記視野範囲に配置されている前記湾曲面の検査用画像を前記撮像装置に撮像させ、
前記テーブルと前記撮像装置とは、前記光学系の光軸と直交する方向に相対移動可能であり、
前記撮像制御部は、前記湾曲面の第１範囲の前記調整用画像の輝度が調整された後に、前記第１範囲の前記検査用画像を前記撮像装置に撮像させ、前記湾曲面の第２範囲の前記調整用画像の輝度が調整された後に、前記第２範囲の前記検査用画像を前記撮像装置に撮像させる、
検査装置。 a table for supporting an object having a curved surface;
an illumination device that illuminates the object supported on the table with illumination light;
an imaging device having an optical system and an image sensor;
an imaging control unit that causes the imaging device to capture an adjustment image of the curved surface that is disposed within a field of view of the optical system;
a table control unit that adjusts the brightness of the adjustment image by tilting the table,
the imaging control unit causes the imaging device to capture an inspection image of the curved surface disposed within the field of view after the luminance of the adjustment image has been adjusted ;
the table and the imaging device are relatively movable in a direction perpendicular to an optical axis of the optical system,
the imaging control unit causes the imaging device to capture the test image of the first range after the luminance of the adjustment image of the first range of the curved surface is adjusted, and causes the imaging device to capture the test image of the second range after the luminance of the adjustment image of the second range of the curved surface is adjusted;
Inspection equipment. 前記テーブル制御部は、前記調整用画像を構成する複数の画素のそれぞれの輝度が輝度閾値以上になるように、前記テーブルを傾ける、
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の検査装置。 the table control unit inclines the table so that the luminance of each of the plurality of pixels constituting the adjustment image becomes equal to or greater than a luminance threshold value.
The inspection device according to any one of claims 1 to 4 . 前記撮像制御部は、前記調整用画像の輝度が調整された後の前記テーブルの傾きを維持した状態で、前記検査用画像を前記撮像装置に撮像させる、
請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の検査装置。 the imaging control unit causes the imaging device to capture the test image while maintaining the inclination of the table after the luminance of the adjustment image has been adjusted;
The inspection device according to any one of claims 1 to 5 . 前記照明装置は、前記光学系の入射面の周囲に配置される光源を有し、
前記光源は、前記光学系の光軸と平行な方向に前記照明光を射出する、
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の検査装置。 The illumination device includes light sources arranged around an entrance surface of the optical system,
The light source emits the illumination light in a direction parallel to an optical axis of the optical system.
The inspection device according to any one of claims 1 to 6 . 前記検査用画像を表示装置に表示させる表示制御部を備える、
請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の検査装置。 a display control unit that displays the test image on a display device;
The inspection device according to any one of claims 1 to 7 . 湾曲面を有する対象物を照明光で照明することと、
撮像装置の光学系の視野範囲に配置されている前記湾曲面の調整用画像を撮像させることと、
前記対象物を傾けて、前記調整用画像の輝度を調整することと、
前記調整用画像の輝度が調整された後に、前記視野範囲に配置されている前記湾曲面の検査用画像を撮像させることと、を含み、
前記調整用画像における前記輝度の最大値と最小値との差が差分閾値以下になるように、前記対象物を傾ける、
検査方法。 Illuminating an object having a curved surface with illumination light;
capturing an adjustment image of the curved surface disposed within a field of view of an optical system of an imaging device;
tilting the object to adjust the brightness of the adjustment image;
After the brightness of the adjustment image is adjusted, capturing an inspection image of the curved surface disposed in the field of view ;
tilting the object so that a difference between a maximum value and a minimum value of the luminance in the adjustment image becomes equal to or smaller than a difference threshold value;
Inspection method. 湾曲面を有する対象物を照明光で照明することと、
撮像装置の光学系の視野範囲に配置されている前記湾曲面の調整用画像を撮像させることと、
前記対象物を傾けて、前記調整用画像の輝度を調整することと、
前記調整用画像の輝度が調整された後に、前記視野範囲に配置されている前記湾曲面の検査用画像を撮像させることと、を含み、
前記対象物は、前記湾曲面と前記撮像装置とが対向するように配置され、
前記湾曲面は、前記撮像装置に向かって突出し、
前記調整用画像において前記輝度が輝度閾値未満の第１領域と輝度閾値以上の第２領域とが存在する場合、前記第１領域に対応する前記湾曲面の第１部分が前記撮像装置に接近するように、又は、前記第２領域に対応する前記湾曲面の第２部分が前記撮像装置から離隔するように、前記対象物を傾ける、
検査方法。 Illuminating an object having a curved surface with illumination light;
capturing an adjustment image of the curved surface disposed within a field of view of an optical system of an imaging device;
tilting the object to adjust the brightness of the adjustment image;
After the brightness of the adjustment image is adjusted, capturing an inspection image of the curved surface disposed in the field of view ;
the object is disposed so that the curved surface faces the imaging device;
the curved surface protrudes toward the imaging device;
when a first region in which the brightness is less than a brightness threshold value and a second region in which the brightness is equal to or greater than the brightness threshold value are present in the adjustment image, tilting the object so that a first portion of the curved surface corresponding to the first region approaches the imaging device, or so that a second portion of the curved surface corresponding to the second region moves away from the imaging device;
Inspection method. 湾曲面を有する対象物を照明光で照明することと、
撮像装置の光学系の視野範囲に配置されている前記湾曲面の調整用画像を撮像させることと、
前記対象物を傾けて、前記調整用画像の輝度を調整することと、
前記調整用画像の輝度が調整された後に、前記視野範囲に配置されている前記湾曲面の検査用画像を撮像させることと、を含み、
前記対象物は、前記湾曲面と前記撮像装置とが対向するように配置され、
前記湾曲面は、前記撮像装置に対して窪み、
前記調整用画像において前記輝度が輝度閾値未満の第１領域と輝度閾値以上の第２領域とが存在する場合、前記第１領域に対応する前記湾曲面の第１部分が前記撮像装置から離隔するように、又は、前記第２領域に対応する前記湾曲面の第２部分が前記撮像装置に接近するように、前記対象物を傾ける、
検査方法。 Illuminating an object having a curved surface with illumination light;
capturing an adjustment image of the curved surface disposed within a field of view of an optical system of an imaging device;
tilting the object to adjust the brightness of the adjustment image;
After the brightness of the adjustment image is adjusted, capturing an inspection image of the curved surface disposed in the field of view ;
the object is disposed so that the curved surface faces the imaging device;
the curved surface is recessed relative to the imaging device;
when a first region in which the brightness is less than a brightness threshold value and a second region in which the brightness is equal to or greater than the brightness threshold value are present in the adjustment image, tilting the object so that a first portion of the curved surface corresponding to the first region moves away from the imaging device, or so that a second portion of the curved surface corresponding to the second region moves closer to the imaging device;
Inspection method. 湾曲面を有する対象物を照明光で照明することと、
撮像装置の光学系の視野範囲に配置されている前記湾曲面の調整用画像を撮像させることと、
前記対象物を傾けて、前記調整用画像の輝度を調整することと、
前記調整用画像の輝度が調整された後に、前記視野範囲に配置されている前記湾曲面の検査用画像を撮像させることと、を含み、
前記対象物と前記撮像装置とは、前記光学系の光軸と直交する方向に相対移動可能であり、
前記湾曲面の第１範囲の前記調整用画像の輝度が調整された後に、前記第１範囲の前記検査用画像を前記撮像装置に撮像させ、前記湾曲面の第２範囲の前記調整用画像の輝度が調整された後に、前記第２範囲の前記検査用画像を前記撮像装置に撮像させる、
検査方法。 Illuminating an object having a curved surface with illumination light;
capturing an adjustment image of the curved surface disposed within a field of view of an optical system of an imaging device;
tilting the object to adjust the brightness of the adjustment image;
After the brightness of the adjustment image is adjusted, capturing an inspection image of the curved surface disposed in the field of view ;
the object and the imaging device are relatively movable in a direction perpendicular to an optical axis of the optical system,
After the brightness of the adjustment image in a first range of the curved surface is adjusted, the imaging device is caused to capture the test image in the first range, and after the brightness of the adjustment image in a second range of the curved surface is adjusted, the imaging device is caused to capture the test image in the second range.
Inspection method.
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