JP7492543B2 - 可撓性基板に対する負荷測定を行う方法及び装置 - Google Patents

Description

［関連出願］
本出願は、「METHODS AND APPARATUS TO PERFORM LOAD MEASUREMENTS ON FLEXIBLE SUBSTRATES」と題する２０１９年６月２４日に出願された米国仮特許出願第６２／８６５，６３４号及び２０２０年５月２９日に出願された米国特許出願第１６／８８７，９６０号の利益を主張する。米国仮特許出願第６２／８６５，６３４号及び米国特許出願第１６／８８７，９６０号の全体は、引用することにより明確に本明細書の一部をなす。

本開示は、包括的には、材料試験に関し、より詳細には、可撓性基板に対する負荷測定を行う方法及び装置に関する。

組立体の信頼性試験、又は組立体の構成要素を動かすことは、構成要素の意図した及び／又は意図していない動きを繰り返し行って、定義された最小数の動きサイクルについて構成要素及び／又は組立体が確実に動作することを検証することを伴う場合がある。例えば、可撓性基板の信頼性試験は、デバイスの連続動作について試験し、及び／又は様々な故障モードをモニタリングしながら、１つ以上の方式で基板を繰り返し屈曲させることを伴う場合がある。

可撓性基板に対する負荷測定を行う方法及び装置が、特許請求の範囲においてより完全に記載されるように、実質的に、図面のうちの少なくとも１つによって示され、これに関連して説明されるように開示される。

本開示のこれらの特徴、態様、及び利点並びに他の特徴、態様、及び利点は、以下の詳細な説明が添付図面を参照して読まれるとより良好に理解され、図面を通して同様の参照符号は同様の部分を表す。

本開示の態様による、可撓性基板上で機械的特性試験を実行するための例示的な可撓性基板試験システムのブロック図である。 本開示の態様による、可撓性基板上で機械的特性試験を実行するための別の例示的な可撓性基板試験システムのブロック図である。

図１Ａの可撓性基板試験システムの例示的な実施態様のブロック図である。

図１Ａの可撓性基板試験システムの例示的な実施態様の斜視図である。

ガイドプレートを備える、図１Ａの例示的な基板試験システムの立面図である。

図３の並進リンク機構（translation linkage）の部分分解図である。

試験対象の基板を折り曲げるような位置に第２のプレートが動かされた図３の例示的な可撓性基板試験システムの斜視図である。

図１Ａの可撓性基板試験システムの別の例示的な実施態様の斜視図である。

図７の例示的な可撓性基板試験システムの立面図である。

図７の例示的な可撓性基板試験システムの平面図である。

図７の例示的な可撓性基板試験システムの立面図である。

図７の例示的な第１のプレート、屈曲部及びロードセルのより詳細な図である。

図１Ａ～図１１の例示的な可撓性基板試験システムによって行うことができる、可撓性基板に対する負荷を測定する例示的な方法を表すフローチャートである。

図面は、必ずしも正確な縮尺ではない。適切な場合は、同様の又は同一の参照番号を使用して、同様の又は同一の構成要素を指す。

従来の可撓性基板試験システムは、折り曲げ又は展開中の可撓性基板に対する負荷又は応力を測定しない。代わりに、従来の可撓性基板試験システムは、欠陥解析並びに他の静的試験及び解析等の試験を伴うことができる。

開示される例示的な可撓性基板試験システム及び方法は、折り曲げ及び／又は展開等の変形中の可撓性基板に対する動的負荷及び／又は静的負荷の測定を含む、可撓性基板の応力試験を提供する。いくつかの開示される例示的なシステム及び方法は、可撓性基板試験システム自体によって可撓性基板に引き起こされる追加の応力を低減又は最小化する。例えば、いくつかの開示される可撓性基板試験システムは、可撓性表示スクリーン等の可撓性基板の反復的折り曲げ及び展開を提供する固定具を備える。開示される例は、基板の端部が合わせて折り曲げられるか又は展開される際に固定具が可撓性基板に対する更なる圧縮又は張力を引き起こさないように固定具を構成し、例えば可動部を誘導する。

開示される例示的な可撓性基板試験システムは、試験対象の可撓性基板の第１の部分を静止状態に保持するように構成された第１の基板支持構造と、可撓性基板の第２の部分を保持するように構成された第２の基板支持構造と、可撓性基板を折り曲げ、可撓性基板を展開するように第２の基板支持構造を動かすように構成されたアクチュエータと、可撓性基板に対する負荷を測定するように構成されたロードセルとを備える。

いくつかの例示的な可撓性基板試験システムは、可撓性基板を折り曲げ、可撓性基板を展開するように第２の基板支持構造の運動を誘導するように構成された第１のガイドを更に備える。いくつかの例示的な可撓性基板試験システムにおいて、第１のガイドは、可撓性基板の第１の所定の曲げ半径に従って第２の基板支持構造の運動を誘導するように構成される。いくつかの例示的な可撓性基板試験システムにおいて、第１のガイドは、可撓性基板の第２の所定の曲げ半径に従って第２の基板支持構造の運動を誘導するように構成された第２のガイドと交換可能である。

いくつかの例示的な可撓性基板試験システムにおいて、第１のガイドは、第２の基板支持構造に取り付けられたカム従動子を誘導するように構成された溝を有する第１のガイドプレートを備える。いくつかの例示的な可撓性基板試験システムにおいて、第１のガイドプレートは、第２の基板支持構造に結合され、アクチュエータ溝内に位置決めされたアクチュエータピンを誘導するように構成されたアクチュエータ溝を備え、アクチュエータは、アクチュエータピンを動かすことによって第２の基板支持構造を動かすように構成される。

いくつかの例示的な可撓性基板試験システムにおいて、第１のガイドは、第２の基板支持構造の運動又は重量に起因して、可撓性基板に対し追加の応力を引き起こすことなく、第２の基板支持構造の運動を誘導するように構成される。いくつかの例示的な可撓性基板試験システムは、第２の基板支持構造に、第２の基板支持構造の、第１のガイドと反対側に結合された第２のガイドを更に備え、第２のガイドプレートは、可撓性基板を折り曲げ、可撓性基板を展開するように第２の基板支持構造の運動を誘導するように構成される。

いくつかの例示的な可撓性基板試験システムは、ロードセルに向かう第１の基板支持構造の変位を制限するように構成された負荷制限器を備える。いくつかの例示的な可撓性基板試験システムは、ロードセルからの負荷情報に基づいて可撓性基板に対する負荷を求めるように構成された制御回路部を備える。いくつかの例示的な可撓性基板試験システムにおいて、制御回路部は、可撓性基板の折り曲げ又は展開中にロードセルによって測定される動的負荷に基づいて、可撓性基板に対する負荷を求めるように構成される。いくつかの例示的な可撓性基板試験システムにおいて、制御回路部は、可撓性基板の折り曲げ又は展開の完了時にロードセルによって測定された静的負荷に基づいて可撓性基板に対する負荷を求めるように構成される。

いくつかの例示的な可撓性基板試験システムは、第２の基板支持構造を第１の方向に動かして可撓性基板を折り曲げるか、又は第２の方向に動かして可撓性基板を展開するようにアクチュエータを制御するように構成された制御回路部を備える。いくつかの例示的な可撓性基板試験システムは、第１の基板支持構造を保持し、ロードセルが負荷を測定するように構成される方向における第１の基板支持構造の運動を制限するように構成された並進リンク機構を備える。

いくつかの例示的な可撓性基板試験システムにおいて、ロードセルは、可撓性基板の第１の部分に対する負荷を測定するように構成される。いくつかの例示的な可撓性基板試験システムにおいて、ロードセルは、可撓性基板の第２の部分に対する負荷の少なくとも一部分を測定するように構成される。いくつかの例示的な可撓性基板試験システムは、第２の基板支持構造の重量、及び折り曲げ又は展開中の基板支持構造の運動量について、ロードセルからの負荷測定値を補償し、ロードセルからの負荷情報及び補償に基づいて、可撓性基板に対する負荷の少なくとも一部分を求めるように構成された制御回路部を備える。いくつかの例示的な可撓性基板試験システムは、可撓性基板の第１の部分に対する負荷の一部分を測定するように構成された第２のロードセルを備える。

可撓性基板に対する負荷を測定する、開示される例示的な方法は、基板支持構造を介して、試験対象の可撓性基板の第１の部分を静止状態に保持することと、アクチュエータを介して、可撓性基板を折り曲げ、又は可撓性基板を展開するように可撓性基板の第２の部分を動かすことと、動かした結果として生じる可撓性基板に対する負荷を測定することとを含む。

いくつかの他の例示的な可撓性基板試験システムは、試験対象の可撓性基板の第１の側部を静止状態に保持するように構成された第１の表面を備える第１のプレートと、第１のプレートを保持し、プレートの第１の表面に平行な方向におけるプレートの運動を制限するように構成された並進リンク機構と、可撓性基板の第２の側部を保持するように構成された第２の表面を備える第２のプレートと、可撓性基板を折り曲げ、可撓性基板を展開するように第２の表面の運動を誘導するように構成された第１のガイドプレートと、可撓性基板を折り曲げ、可撓性基板を展開するように第１のガイドプレートに従って第２のプレートを動かすように構成されたアクチュエータと、アクチュエータが第２のプレートを動かす間、第１のプレートに対する負荷を測定するように構成されたロードセルとを備える。

図１Ａは、可撓性基板１０２上で機械的特性試験を実行するための例示的な可撓性基板試験システム１００のブロック図である。例示的な可撓性基板１０２は、可撓性表示スクリーン、又は他のデバイス、構造、材料、及び／又は任意の他の基板としてもよい。図１Ａのシステム１００は、可撓性基板１０２の折り曲げ及び展開を繰り返し行い、基板１０２に対する応力を測定するように構成される。

例示的なシステム１００は、第１のプレート１０４、第２のプレート１０６、ガイドプレート１０８、アクチュエータ１１０、ロードセル１１２及び並進リンク機構１１４を備える。システム１００は、構造支持部若しくはフレーミング、処理回路部、通信及び／又は入力／出力（Ｉ／Ｏ）回路部、及び／又は任意の他の構成要素等の追加の特徴を備えることができる。

可撓性基板１０２は、折り曲げられると、基板１０２における屈曲部１２０又は折り曲げ部の対向する端部に第１の側部１１６及び第２の側部１１８を有するとみなされる。第１の側部１１６及び第２の側部１１８。図１Ａは、展開された又は平坦な位置（実線）及び折り曲げられた位置（点線）にある基板を示す。

第１のプレート１０４は第１の基板支持構造であり、基板１０２の第１の側部１１６が取り付けられたか又は付着された第１の表面１２２を有する。基板１０２の第１の側部１１６は、第１の表面１２２に対し静止状態で保持される。第２のプレート１０６は第２の基板支持構造であり、基板１０２の第２の側部１１８が取り付けられたか又は付着された第２の表面１２４を有する。基板１０２の第２の側部は、第２の表面１２４に対し静止状態で保持される。プレート１０４、１０６は、基板１０２が折り曲げられているときに曲線１２０を形成する基板１０２の部分によって架橋された間隙によって分離されている。

図１Ａにおける第１の基板支持構造及び第２の基板支持構造は、第１のプレート及び第２のプレートであるが、他の例において、第１の基板支持構造及び第２の基板支持構造は異なっていてもよい。例えば、他の第１の基板支持構造及び第２の基板支持構造は、基板１０２をプレートに取り付けることなく折り曲げを可能にするように基板１０２の一部分を保持するためのクリップ又はクランプを備えてもよい。

ガイドプレート１０８は、可撓性基板１０２を折り曲げ、展開するように、第２のプレート１０６、このため第２の表面１２４の運動を誘導する。以下でより詳細に説明するように、ガイドプレート１０８は複数の溝を含むことができ、これらは、対応するカム従動子によって第２のプレート１０６に取り付けられ、第２のプレート１０６の並進及び回転を誘導する。単一の溝及びカム従動子の代わりに複数の溝及びカム従動子を備えることによって、例示的なシステム１００は、基板１０２に対する更なる応力を生成することを回避することができる。例えば、一定の間隔を有する複数の溝は、基板１０２に対し更なる応力を引き起こし、試験結果に影響を及ぼす場合がある、第２のプレート１０６の重量に起因したモーメントの発生を阻止する。

図１Ａにおける例は、折り曲げ経路を画定するためのガイドとしてガイドプレート１０８を備えるが、他の例において、ガイドは異なっていてもよく、及び／又は、可撓性基板が折り曲げ及び／又は展開経路（複数の場合もある）を画定することを可能にするために省かれてもよい。例えば、他のガイドは、複数のギアを有してもよく、ここで、第１のギアは自由に回転し、基板１０２の第１の側部の縁部と位置合わせされ、第２のギアは、第１のギアと噛み合わされ、基板１０２の第２の半分に対し固定される。他の例示的なガイドは、互いに直交して配置され、互いに装着された、２つの線形アクチュエータの組み合わせを含んでもよく、第２のプレート１０６はアクチュエータに取り付けられ、ｘ－ｙ平面において自由に移動し、折り曲げ経路を描くことができる。複数の線形アクチュエータが、ガイドが異なる半径の折り曲げ部及び／又は非円形の折り曲げ部を含む様々なタイプの経路を実施することを可能にすることができる。いくつかの他の例示的なガイドが、折り曲げ経路を画定する一連のリンク機構を含んでもよい。

アクチュエータ１１０は、第２のプレート１０６を動かすように第２のプレート１０６に結合される。図１において説明するように、アクチュエータ１１０は、基板１０２が展開された第１の位置（例えば、実線で示される）と、基板１０２が折り曲げられた第２の位置（例えば、破線）との間で第２のプレート１０６を動かす。いくつかの例において、アクチュエータ１１０は、第２のプレート１０６に結合されたリンク機構及びアクチュエータピンを介して第２のプレート１０６に取り付けられたモーターとすることができる。アクチュエータピンは、アクチュエータ１１０が第２のプレート１０６上に力を行使する方向を制御するようにガイドプレート１０８を介して誘導することもできる。

ロードセル１１２は、アクチュエータ１１０が第２のプレート１０６を動かしている間、第１のプレート１０４に対する負荷を測定する。特に、ロードセル１１２は、基板１０２が第１のプレート１０４に対し基板１０２の第１の側部１１６によって加えられる負荷を測定することによって、基板１０２が折り曲げられる際の基板１０２に対する応力（例えば、折り曲げ力）を測定する。ロードセル１１２は、折り曲げ及び／又は展開中の負荷測定値（例えば、動的負荷の測定値）、及び／又は、折り曲げ及び／又は展開プロセスの終了時の負荷測定値（例えば、静的負荷の測定値）を出力することができる。

並進リンク機構１１４は、ロードセル１１２が第１のプレート１０４によって負荷をかけられる方向以外の方向における第１のプレート１０４の動きを制限する。例えば、ロードセル１１２が、第１の表面１２２の平面に対し垂直な方向における負荷を測定するように構成される場合、並進リンク機構１１４は、負荷が第１のプレート１０４からロードセル１１２に伝達されることを可能にしながら、第１の表面１２２の平面に対し平行な方向における第１のプレート１０４の動きを制限する。例示的な並進リンク機構１１４は、ロードセル１１２に対し固定されたフレームに結合された１つ以上の４バーリンク機構を含むことができる。いくつかの例において、並進リンク機構１１４は、ロードセル１１２の過負荷を阻止するように、ロードセル１１２に向かう方向において更に制限される。例えば、停止点は、この停止点を越えてロードセル１１２に向かう４バーリンク機構（複数の場合もある）及びプレート１０４の動きを阻止するように、フレームに取り付けることができる。

動作時に、例示的なロードセル１１２は、試験測定値から予荷重を減算するために、基板１０２を第１のプレート１０４及び第２のプレート１０６に固定した後にバイアス又はオフセットすることができる。例えば、ロードセル１１２における予荷重は、プレート１０４の重量、並進リンク機構１１４の重量、及び第１のプレート１０４における基板１０２の第１の側部１１６の重量に起因して生じる場合がある。ロードセル１１２における予荷重を求めることによって、ロードセル１１２は、折り曲げ及び展開中に基板１０２にかかる応力を測定するように較正又はオフセットすることができる。

図１Ｂは、可撓性基板１０２上で機械的特性試験を実行する別の例示的な可撓性基板試験システム１５０のブロック図である。図１Ｂの可撓性基板試験システム１５０は、図１Ａの可撓性基板試験システム１００に類似しているが、ロードセル１１２は、第１のプレート１０４（例えば、静止プレート）ではなく、第２のプレート１０６（例えば、移動プレート）に結合され、第２のプレート１０６に結合された可撓性基板１０２の一部分に対する負荷を測定する。更に他の例において、ロードセル（複数の場合もある）は、可撓性基板１０２の双方の部分に対する力を測定するためにプレート１０４、１０６の双方に結合してもよい。

図１Ｂの例において、ロードセル１１２によって出力される測定値は、第２のプレート１０６の重量及び第２のプレート１０６の慣性負荷について補償され、可撓性基板１０２に対する力の測定値が提供される。例えば、結果としてロードセル１１２によって測定可能な力が生じる、第２のプレート１０６の重量の一部分及び第２のプレート１０６の慣性負荷の一部分は、折り曲げ運動中に連続的に変化する場合がある。処理システム（例えば、以下で開示されるプロセッサ２０３）は、第２のプレート１０６及び／又はアクチュエータ１１０の特性、折り曲げ方向、折り曲げ速度及び／又は折り曲げ経路、及び／又は、折り曲げ及び／又は展開プロセス中に生じる任意の他の動的力に基づいて、ロードセル１１２から受信した測定値を補償するように構成することができる。

図２は、図１Ａの可撓性基板試験システム１００の例示的な実施態様のブロック図である。図２に示すように、可撓性基板試験システム１００は、試験用取付具２０１及びコンピューティングデバイス２０２を備える。

例示的なコンピューティングデバイス２０２は、汎用コンピューター、ラップトップコンピューター、タブレットコンピューター、モバイルデバイス、サーバー、オールインワンコンピューター、及び／又は他の任意のタイプのコンピューティングデバイスとしてもよい。図２のコンピューティングデバイス２０２は、プロセッサ２０３を備え、プロセッサ２０３は、汎用中央処理装置（ＣＰＵ：central processing unit）とすることができる。いくつかの例において、プロセッサ２０３は、ＦＰＧＡ、ＡＲＭコアを有するＲＩＳＣプロセッサ、画像処理装置、デジタル信号プロセッサ、及び／又はシステムオンチップ（ＳｏＣ）等の１つ以上の専用処理装置を含むことができる。プロセッサ２０３は、プロセッサにおいて（例えば、内蔵キャッシュ又はＳｏＣに）、ランダムアクセスメモリ２０６（又は他の揮発性メモリ）に、リードオンリーメモリ２０８（又はフラッシュメモリ等の他の不揮発性メモリ）に、及び／又はマスストレージデバイス２１０にローカルに記憶することができる機械可読命令２０４を実行する。例示的なマスストレージデバイス２１０は、ハードドライブ、ソリッドステートストレージドライブ、ハイブリッドドライブ、ＲＡＩＤアレイ、及び／又は他の任意のマスデータストレージデバイスとしてもよい。バス２１２は、プロセッサ２０３、ＲＡＭ２０６、ＲＯＭ２０８、マスストレージデバイス２１０、ネットワークインターフェース２１４、及び／又は入力／出力インターフェース２１６間の通信を可能にする。

例示的なネットワークインターフェース２１４は、コンピューティングデバイス２０１を、インターネット等の通信ネットワーク２１８に接続するハードウェア、ファームウェア、及び／又はソフトウェアを含む。例えば、ネットワークインターフェース２１４は、通信を送信及び／又は受信するために、ＩＥＥＥ ２０２．Ｘ準拠無線及び／又は有線通信ハードウェアを含むことができる。

図２の例示的なＩ／Ｏインターフェース２１６は、プロセッサ２０３に入力を提供する及び／又はプロセッサ２０３から出力を提供するために、１つ以上の入力／出力デバイス２２０をプロセッサ２０３に接続するハードウェア、ファームウェア、及び／又はソフトウェアを含む。例えば、Ｉ／Ｏインターフェース２１６は、ディスプレイデバイスとインターフェース接続する画像処理装置、１つ以上のＵＳＢ準拠デバイスとインターフェース接続するユニバーサルシリアルバスポート、ＦｉｒｅＷｉｒｅ（登録商標）、フィールドバス、及び／又は他の任意のタイプのインターフェースを含んでもよい。例示的な伸び計システム１００は、Ｉ／Ｏインターフェース２１６に結合されたディスプレイデバイス２２４（例えば、ＬＣＤスクリーン）を備える。他の例示的なＩ／Ｏデバイス（複数の場合もある）２２０は、キーボード、キーパッド、マウス、トラックボール、ポインティングデバイス、マイクロフォン、オーディオスピーカー、ディスプレイデバイス、光メディアドライブ、マルチタッチタッチスクリーン、ジェスチャー認識インターフェース、磁気メディアドライブ、及び／又は他の任意のタイプの入力及び／又は出力デバイスを含んでもよい。

コンピューティングデバイス２０２は、Ｉ／Ｏインターフェース２１６及び／又はＩ／Ｏデバイス（複数の場合もある）２２０を介して非一時的機械可読媒体２２２にアクセスすることができる。図２の機械可読媒体２２２の例は、光ディスク（例えば、コンパクトディスク（ＣＤ）、デジタルバーサタイル／ビデオディスク（ＤＶＤ）、Ｂｌｕ－ｒａｙ（登録商標）ディスク等）、磁気メディア（例えば、フロッピー（登録商標）ディスク）、ポータブル記憶媒体（例えば、ポータブルフラッシュドライブ、セキュアデジタル（ＳＤ）カード等）、及び／又は他の任意のタイプの取り外し可能及び／又はインストール済み機械可読媒体を含む。

試験用取付具２０１は、コンピューティングデバイス２０２に結合される。図２の例において、試験用取付具２０１は、ＵＳＢポート、Ｔｈｕｎｄｅｒｂｏｌｔポート、ＦｉｒｅＷｉｒｅ（登録商標）（ＩＥＥＥ １３９４）ポート、及び／又は他の任意のタイプのシリアル又はパラレルデータポート等のＩ／Ｏインターフェース２１６を介して、コンピューティングデバイスに結合される。いくつかの例において、試験用取付具２０１は、直接又はネットワーク２１８を介して、有線又は無線接続（例えば、Ｅｔｈｅｒｎｅｔ（登録商標）、Ｗｉ－Ｆｉ等）を介してネットワークインターフェース２１４及び／又はＩ／Ｏインターフェース２１６に結合される。

試験用取付具２０１は、フレーム２２８と、ロードセル２３０と、材料固定具２３６と、制御プロセッサ２３８とを備える。フレーム２２８は、試験を行う試験用取付具２０１の他の構成要素に剛体の構造支持体を提供する。ロードセル２３０は、図１Ａのロードセル１１２を実装することができ、把持部２４８（例えば、プレート１０４、１０６）を介してアクチュエータ２４６によって試験対象の材料（例えば、基板１０２）に加えられた力を測定する。

アクチュエータ２４６は、把持部２４８が試験対象の材料を把持するか又は他の形でアクチュエータ２４６に結合している間、試験対象の材料に力を加え、及び／又は試験対象の材料の変位を強制する。

試験用取付具２０１の構成要素に力及び／又は運動を与えるのに用いることができる例示的なアクチュエータは、電気モーター、空気圧アクチュエータ、油圧アクチュエータ、圧電アクチュエータ、中継器及び／又はスイッチを含む。例示的な試験用取付具２０１は、サーボモーター又は直接駆動リニアモーター等のモーターを用いるが、他のシステムは、異なるタイプのアクチュエータを用いてもよい。例えば、システムの要件に基づいて、油圧アクチュエータ、空気圧アクチュエータ、及び／又は任意の他のタイプのアクチュエータを用いてもよい。

例示的な把持部２４８は、試験されている機械的特性及び／又は試験対象の材料に依拠して、プラテン、クランプ及び／又は他のタイプの固定具を含む。把持部２４８は、手動入力により手動で構成、制御し、及び／又は制御プロセッサ２３８によって自動的に制御することができる。

試験システム１００は、１つ以上の入力デバイス２５２を含む１つ以上の制御パネル２５０を更に備えることができる。入力デバイス２５２は、オペレーター制御パネル上に位置するボタン、スイッチ及び／又は他の入力デバイスを含むことができる。例えば、入力デバイス２５２は、把持部２４８を所望の位置まで押す（jog）（例えば、位置決めする）ようにアクチュエータ２４６を制御するボタン、把持部２４８を（例えば、別のアクチュエータを介して）開閉するように制御するスイッチ（例えば、フットスイッチ）、及び／又は、試験用取付具２０１の動作を制御する任意の他の入力デバイスを備えてもよい。

例示的な制御プロセッサ２３８は、コンピューティングデバイス２０２と通信して、例えばコンピューティングデバイス２０２から試験パラメータを受信し、及び／又は、測定値及び／又は他の結果をコンピューティングデバイス２０２に報告する。例えば、制御プロセッサ２３８は、コンピューティングデバイス２０２との通信を可能にする１つ以上の通信及び／又はＩ／Ｏインターフェースを備えることができる。制御プロセッサ２３８は、所与の方向に動き、及び／又はアクチュエータ２４６の速度を制御するようにアクチュエータ２４６を制御し、試験対象の材料を把持又は解放するように固定具（複数の場合もある）２３６を制御し、及び／又は、変位トランスデューサ２３２、ロードセル２３０及び／又は他のトランスデューサから測定値を受信することができる。

例示的な制御プロセッサ２３８は、試験標本（例えば、基板１０２）が試験用取付具２０１における試験を受ける反復運動試験プロセスを実施するように構成される。例えば、一連の折り曲げ及び展開運動中又はその後の基板１０２に対する応力を測定するために、制御プロセッサ２３８は、ロードセル２３０をモニタリングして基板１０２に対する応力を測定しながら、アクチュエータ２４６を、把持部２４８（例えば、第１のプレート１０４及び第２のプレート１０６）を動かすように制御する。いくつかの例において、制御プロセッサ２３８は、アクチュエータ２４６のモーターエンコーダーをモニタリングして、折り曲げ角を求め、及び／又はパルスあたりの折り曲げの度合いの比を確立する。

例示的なプロセッサ２０３は、可撓性基板１０２の折り曲げ又は展開の終了時にロードセル２３０によって測定される負荷に基づいて、可撓性基板１０２における静的負荷を求めることができる。静的負荷測定は、基板１０２が折り曲げ又は展開プロセスに続いて弛緩することを可能にするように、弛緩時間を満了させた後に行うことができる。さらに又は代替的に、例示的なプロセッサ２０３は、可撓性基板１０２の折り曲げ又は展開中にロードセル２３０によって測定される負荷に基づいて、可撓性基板１０２における動的負荷を求めてもよい。例示的なプロセッサ２０３は、負荷測定値からの第１のプレート１０４の重量及び／又は第２のプレート１０６の重量及び慣性負荷の影響の除去等の、ロードセル（複数の場合もある）２３０からの測定値の補償を行うことができる。

図３は、図１Ａの可撓性基板試験システム１００の例示的な実施態様の斜視図である。図３の例示的な図は、第２のプレート１０６を動かすように構成された回転アーム３０１と、ロードセル１１２と、並進リンク機構１１４の例示的な実施とを示す。第１のプレート１０４は図３には示されていない。第２のプレート１０６は回転アーム３０１に取り付けることができる。

例示的な並進リンク機構１１４は、第１の４バーリンク機構３０２と、第２の４バーリンク機構３０４と、フレーム３０６とを備える。フレーム３０６及びロードセル１１２は、取付フレーム（例えば、図２のフレーム２２８）への取り付けによって互いに対し静止している。第１の４バーリンク機構３０２及び第２の４バーリンク機構３０４は、それぞれ、最も内側のリンクを介して第１のプレート１０４に取り付けられるように構成される。第１の４バーリンク機構３０２及び第２の４バーリンク機構３０４は、第１のプレート１０４からの負荷が、第１のプレート１０４の表面に対し垂直な方向（図３において方向Ｚとして示される）において（例えば、ロードセル１１２に結合された拡張ポスト３０８により）ロードセル１１２に伝達されることを可能にしながら、基板１０２が装着される第１のプレート１０４の表面に対し平行な方向（図３において方向Ｘ及びＹとして示される）における第１のプレート１０４の動きを制限する。

ロードセル１１２の過負荷を回避するために、フレーム３０６は、第１の４バーリンク機構３０２及び第２の４バーリンク機構３０４及び／又は第１のプレート１０４が停止点を越えてロードセル１１２に向かって進むことを阻止するように構成された停止点を備える。停止点は、例えば、第１の４バーリンク機構３０２及び／又は第２の４バーリンク機構３０４の下側に接触するように構成されたピン又は他の剛体の締結具と、フレーム３０６の上面と、フレーム３０６の上面に結合されたバンパー又は剛体のオフセットとを用いて実装され、第１のプレート１０４との接触及び／又は任意の他の技法により停止点を提供してもよい。

回転アーム３０１は、基板１０２の折り曲げ及び展開を行うために、第１のプレート１０４に対し第２のプレート１０６を回転及び並進させるように構成される。回転アーム３０１は、以下で図４を参照して論考するように、ガイドプレート１０８内のカム溝を通って進むように構成されたカム従動子を備える回転組立体３１０を介してガイドプレート１０８に結合される。

図４は、ガイドプレート４０２（例えば、図１Ａのガイドプレート１０８）を備える、図１Ａの例示的な可撓性基板試験システム１００の立面図である。例示的なガイドプレート４０２は、２つのカム溝４０４、４０６を備え、これらのカム溝内で、２つのカム従動子４０８、４１０が動かされることで、第２のプレート１０６を回転させ、動かす。溝４０４、４０６は、溝４０４、４０６のアーク長にわたって同じ距離だけ分離され、カム従動子４０８、４１０が、回転アーム３０１及び回転組立体３１０を介して第２のプレート１０６の重量を支持し、実質的に、第２のプレート１０６の重量に起因して基板１０２上に応力が発生しないようにする。

ガイドプレート４０２は、第２のプレート１０６に結合された作動ピン４１４を受けるように構成されたアクチュエータ溝４１２を備える。アクチュエータ溝４１２は、溝４０４、４１２のアーク長にわたってカム溝４０４から同じ距離だけ分離され、溝４０６、４１２のアーク長にわたってカム溝４０６から同じ距離だけ分離される。

例示的な溝４０４、４０６、４１２は、第２のプレート１０６が第１のプレート１０４に向けて回転されているとき、基板１０２における指定された曲げ半径を生じさせるように構成することができる。このため、ガイドプレート４０２は、他のガイドプレートと交換可能とすることができ、これにより、基板１０２において異なる曲げ半径が生じる。溝４０４、４０６、４１２の構成及び形状は、基板１０２の長さが変化せず、したがって圧縮及び張力が基板１０２に発生しないように、基板１０２の進行経路にわたってカム従動子４０８、４１０及び作動ピン４１４が基板１０２の有効曲げ軸に対し位置する角度及び位置のセットを計算することによって求めることができる。

図４の例において、ガイドプレート４０２は、曲げ視認窓４１６を備え、これを通じて、カメラ又は他のモニタリングデバイスが基板１０２の曲げ半径を観察することができる。

図５は、図３の並進リンク機構１１４の部分展開図である。特に、例示的な並進リンク機構１１４は、それぞれ中間リンク機構５０６、５０８、５１０、５１２と別個の４バーリンク機構３０２、３０４の内側リンク機構５０２、５０４と共に示される。中間リンク機構５０６～５１２は、内側リンク機構５０２、５０４をフレーム３０６に結合する。フレーム３０６は、４バーリンク機構３０２、３０４の一部分としての役割を果たす。

図６は、試験対象の基板１０２を折り曲げるような位置に第２のプレート１０６が動かされた図３の例示的な可撓性基板試験システム１００の斜視図である。

図７は、図１Ａの可撓性基板試験システム１００を実施するのに用いることができる別の例示的な可撓性基板試験システム７００の斜視図である。図８は、図７の例示的な可撓性基板試験システム７００の立面図である。図９は、図７の例示的な可撓性基板試験システムの平面図である。図１０は、図７の例示的な可撓性基板試験システムの立面図である。

例示的な可撓性基板試験システム７００は、駆動軸７１２を介して駆動される、第１のプレート７０４と、第２のプレート７０６と、ガイドプレート７０８ａ、７０８ｂと、駆動アーム７１０ａ、７１０ｂとを備える。第１のプレート７０４は、駆動アーム７１０ａ、７１０ｂがガイドプレート７０８ａ、７０８ｂによって画定される経路に従って第２のプレート７０６を動かし、第１のプレート７０４及び第２のプレート７０６に取り付けられた基板を折り曲げる間、静止したままである。

図７～図９の例において、例示的な並進リンク機構１１４は、ガイドプレート７０８ａ、７０８ｂと同じベースプレート７１６に結合された屈曲部７１４ａ、７１４ｂを備える。屈曲部７１４ａ、７１４ｂは、第１のプレート７０４を支持し、可撓性基板からロードセル７１８への負荷の伝達を可能にする。屈曲部７１４ａ、７１４ｂは、ロードセル７１８が力を測定する方向以外の方向における第１のプレート７０４の動きを制限する。

例示的なガイドプレート７０８ａ、７０８ｂは、図３に示すガイドプレート１０８に類似している。図７～図９の例において、ガイドプレート７０８ａ、７０８ｂは、それぞれ、アクチュエータ溝７２０ａ、７２０ｂと、１つのカム溝７２２ａ、７２２ｂとを備える。駆動アーム７１０ａ、７１０ｂは、第２のプレート７０６を動かす（例えば、折り曲げる、展開する）ように、（例えば、予負荷された作動ピン７２４ａ、７２４ｂを介して）それぞれのアクチュエータ溝７２０ａ、７２０ｂに結合される。

アクチュエータ溝７２０ａ、７２０ｂ（例えば、予負荷されたカム従動子７２４ａ、７２４ｂを介する）及びカム溝７２２ａ、７２２ｂ（例えば、カム従動子又はベアリング７２６ａ、７２６ｂを介する）の双方が第２のプレート７０６に結合され、第２のプレート７０８の移動及び折り曲げ経路を制御し、結果として、基板の折り曲げの経路を制御する。例示的なガイドプレート７０８ａ、７０８ｂは、更なるアクチュエータ溝７２０ａ、７２０ｂ及び／又はカム溝７２２ａ、７２２ｂを備えてもよい。

図８に示すように、駆動アーム７１０ａ、７１０ｂは、駆動アーム７１０ａ、７１０ｂの旋回軸８０４から径方向に延びるそれぞれのスロット８０２ａ、８０２ｂを備える。図８の例において、アクチュエータ１１０は、旋回軸８０４を定義する駆動軸７１２を介して駆動アーム７１０ａ、７１０ｂを作動させる（例えば、回転させる）。スロット８０２ａ、８０２ｂは、駆動アーム７１０ａ、７１０ｂが回転される際にスロット８０２ａ、８０２ｂの長さに沿ってベアリング７２６ａ、７２６ｂが自由に動くことを可能にしながら、駆動アーム７１０ａ、７１０ｂが回転される際にそれぞれのベアリング７２６ａ、７２６ｂを誘導する。

図１１は、図７の例示的な第１のプレート７０４、屈曲部７１４ａ、７１４ｂ、及びロードセル１２０のより詳細な図である。例示的な屈曲部７１４ａ、７１４ｂは、ベースプレート３１０に結合されたブラケット１１０２ａ、１１０２ｂによって支持される。

屈曲部７１４ａ、７１４ｂは、第１のプレート１１０の重量を支持するようにブラケット１１０２ａ、１１０２ｂ及び第１のプレート１１０に取り付けられた金属ストリップを備える。第１のプレート１１０はまた、測定のためにロードセル１２０に負荷を伝達するようにロードセル１２０に結合される。

ロードセル１２０の過負荷を回避するために、第１のプレート１１０は、第１のプレート１１０が停止点を越えてロードセル１２０に向かって進むことを阻止するように構成された停止点を備える。示される例において、停止点は、停止ブロック１１０４ａ、１１０４ｂを用いて実施される。支持ブラケット１１０６ａ、１１０６ｂは、屈曲部７１４ａ、７１４ｂを第１のプレート１１０に結合する。ブロック１１０４ａ、１１０４ｂは、支持ブラケット１１０６ａ、１１０６ｂの所定の量の進行後（例えば、第１のプレート１１０に所定の量の負荷がかかった後）、屈曲部７１４ａ、７１４ｂを第１のプレート１１０に結合する支持ブラケット１１０６ａ、１１０６ｂを停止するように構成される。

図１２は、図１Ａ～図１１の例示的な可撓性基板試験システムによって行うことができる、可撓性基板に対する負荷を測定する例示的な方法１２００を表すフローチャートである。例示的な方法１２００は、以下で図１Ａ及び図２を参照して開示される。

ブロック１２０２において、プロセッサ２０３及び／又は制御プロセッサ２３８は、ロードセル１１２、２３０を較正して、第１の基板支持構造及び／又は第２の基板支持構造（複数の場合もある）（例えば、第１のプレート１０４、第２のプレート１０６）、並進リンク機構１１４の重量（複数の場合もある）、及び／又はロードセル１１２、２３０による測定に影響を及ぼす任意の他の力を補償する。

ブロック１２０４において、第１の基板支持構造（例えば、第１のプレート１０４）は、可撓性基板１０２の第１の部分を静止状態に保持する。ブロック１２０６において、第２の基板支持構造（例えば、第２のプレート１０６）は、可撓性基板１０２の第２の部分を保持する。

ブロック１２０８において、プロセッサ２０３及び／又は制御プロセッサ２３８は、可撓性基板１０２を折り曲げるか否かを判断する。例えば、プロセッサ２０３は、折り曲げサイクル（例えば、折り曲げ及び展開）が行われるか否かを判断することができる。折り曲げが行われない場合（ブロック１２０８）、制御はブロック１２０８を反復し、折り曲げを待機する。

折り曲げが行われる場合（ブロック１２０８）、ブロック１２１０において、プロセッサ２０３及び／又は制御プロセッサ２３８は、可撓性基板１０２を折り曲げる折り曲げ方向において第２の基板支持構造を動かすようにアクチュエータ１１０を制御する。いくつかの例において、ガイドプレート１０８等の１つ以上のガイドを用いて、折り曲げ中の可撓性基板１０２の曲げ半径及び／又は折り曲げ経路を制御することができる。ブロック１２１２において、ロードセル１１２、２３０は、折り曲げ中の可撓性基板１０２に対する動的負荷を測定し、及び／又は折り曲げ後の可撓性基板１０２に対する静的負荷を測定する。

ブロック１２１４において、プロセッサ２０３及び／又は制御プロセッサ２３８は、可撓性基板１０２を展開するか否かを判断する。展開が行われない場合（ブロック１２１４）、制御はブロック１２１４を反復し、展開を待機する。

展開が行われる場合（ブロック１２１４）、ブロック１２１６において、プロセッサ２０３及び／又は制御プロセッサ２３８は、可撓性基板１０２を展開する展開方向において第２の基板支持構造を動かすようにアクチュエータ１１０を制御する。いくつかの例において、ガイドプレート１０８等の１つ以上のガイドを用いて、展開中の可撓性基板１０２の曲げ半径及び／又は折り曲げ経路を制御することができる。ブロック１２１８において、ロードセル１１２、２３０は、展開中の可撓性基板１０２に対する動的負荷を測定し、及び／又は展開後の可撓性基板１０２に対する静的負荷を測定する。

ブロック１２２０において、プロセッサ２０３及び／又は制御プロセッサ２３８は、折り曲げサイクルを繰り返すか否かを判断する。例えば、可撓性基板１０２は、複数の折り曲げサイクルを伴う試験プロセスを受ける場合がある。折り曲げサイクルが繰り返される場合（ブロック１２２０）、制御はブロック１２０８に戻る。折り曲げサイクルが繰り返されない場合（ブロック１２２０）、例示的な方法１２００は終了する。

本方法及びシステムは、ハードウェア、ソフトウェア、及び／又はハードウェア及びソフトウェアの組み合わせで実現することができる。本方法及び／又はシステムは、少なくとも１つのコンピューティングシステムにおいて集中的に、又はいくつかの相互接続されたコンピューティングシステムにわたって異なる要素が分散される分散的に、実現することができる。本明細書に記載した方法を実行するように適合された任意の種類のコンピューティングシステム又は他の装置が適している。ハードウェア及びソフトウェアの典型的な組み合わせは、汎用コンピューティングシステムを、ロードされ実行されるとコンピューティングシステムを本明細書に記載した方法を実行するように制御するプログラム又は他のコードとともに、含むことができる。別の典型的な実施態様は、特定用途向け集積回路又はチップを含むことができる。いくつかの実施態様は、非一時的機械可読（例えば、コンピューター可読）媒体（例えば、フラッシュドライブ、光ディスク、磁気記憶ディスク等）を含むことができ、そうした非一時的機械可読媒体は、機械によって実行可能なコードの１つ以上のラインを記憶し、それにより、機械に、本明細書に記載したようなプロセスを実施させる。本明細書において使用される場合、「非一時的機械可読媒体」という用語は、全てのタイプの機械可読記憶媒体を含み、伝播信号を排除するように定義される。

本明細書において使用される場合、「回路」及び「回路類」という用語は、物理的な電子構成要素（すなわち、ハードウェア）と、ハードウェアを構成することができ、ハードウェアが実行することができ、及び／又は他の方法でハードウェアに関連付けることができる、任意のソフトウェア及び／又はファームウェア（「コード」）とを指す。本明細書において使用される場合、例えば特定のプロセッサ及びメモリは、コードの第１の１つ以上のラインを実行しているとき、第１の「回路」を含むことができ、コードの第２の１つ以上のラインを実行しているとき、第２の「回路」を含むことができる。本明細書において使用される場合、「及び／又は」は、「及び／又は」によって連結されるリストにおける項目のうちの任意の１つ以上の項目を意味する。一例として、「ｘ及び／又はｙ」は、３つの要素の組｛（ｘ），（ｙ），（ｘ，ｙ）｝のうちの任意の要素を意味する。言い換えれば、「ｘ及び／又はｙ」は、「ｘ及びｙのうちの一方又は両方」を意味する。別の例として、「ｘ、ｙ及び／又はｚ」は、７つの要素の組｛（ｘ），（ｙ），（ｚ），（ｘ，ｙ），（ｘ，ｚ），（ｙ，ｚ），（ｘ，ｙ，ｚ）｝のうちの任意の要素を意味する。言い換えれば、「ｘ、ｙ及び／又はｚ」は、「ｘ、ｙ及びｚのうちの１つ以上」を意味する。本明細書において使用される場合、「例示的な」という用語は、非限定的な例、事例又は例証としての役割を果たすことを意味する。本明細書において使用される場合、「例えば」という用語は、１つ以上の非限定的な例、事例又は例証のリストを開始する。本明細書において使用される場合、回路類は、或る機能を実施するために必要なハードウェア及びコード（いずれかが必要である場合）を含む場合はいつでも、その機能の実施が（例えば、ユーザーが構成可能な設定、工場トリム等により）無効にされる又は有効にされていないか否かにかかわらず、回路類はその機能を実行するように「動作可能」である。

本方法及び／又はシステムを、或る特定の実施態様を参照して記載してきたが、当業者であれば、本方法及び／又はシステムの範囲から逸脱することなく、種々の変更を行うことができること及び均等物に置き換えることができることを理解するであろう。例えば、開示した例のブロック及び／又は構成要素を、組み合わせ、分割し、再配置し、及び／又は他の方法で変更することができる。加えて、本開示の範囲から逸脱することなく、本開示の教示に対して特定の状況又は材料を適合させるように多くの改変を行うことができる。したがって、本方法及び／又はシステムは、開示されている特定の実施態様に限定されない。代わりに、本方法及び／又はシステムは、字義どおりにでも均等論のもとにおいても、添付の特許請求の範囲内に入る全ての実施態様を含む。
上述の実施形態は下記のようにも記載され得るが下記には限定されない。
［構成１］
可撓性基板試験システムであって、
試験対象の可撓性基板の第１の部分を静止状態に保持するように構成された第１の基板支持構造と、
前記可撓性基板の第２の部分を保持するように構成された第２の基板支持構造と、
前記可撓性基板を折り曲げ、該可撓性基板を展開するように前記第２の基板支持構造を動かすように構成されたアクチュエータと、
前記可撓性基板に対する負荷を測定するように構成されたロードセルと、
を備える、可撓性基板試験システム。
［構成２］
前記可撓性基板を折り曲げ、該可撓性基板を展開するように前記第２の基板支持構造の運動を誘導するように構成された第１のガイドを更に備える、構成１に記載の可撓性基板試験システム。
［構成３］
前記第１のガイドは、前記可撓性基板の第１の所定の曲げ半径に従って前記第２の基板支持構造の前記運動を誘導するように構成される、構成２に記載の可撓性基板試験システム。
［構成４］
前記第１のガイドは、前記可撓性基板の第２の所定の曲げ半径に従って前記第２の基板支持構造の前記運動を誘導するように構成された第２のガイドと交換可能である、構成３に記載の可撓性基板試験システム。
［構成５］
前記第１のガイドは、前記第２の基板支持構造に取り付けられたカム従動子を誘導するように構成された溝を有する第１のガイドプレートを備える、構成２に記載の可撓性基板試験システム。
［構成６］
前記第１のガイドプレートは、前記第２の基板支持構造に結合され、アクチュエータ溝内に位置決めされたアクチュエータピンを誘導するように構成された前記アクチュエータ溝を備え、前記アクチュエータは、前記アクチュエータピンを動かすことによって前記第２の基板支持構造を動かすように構成される、構成５に記載の可撓性基板試験システム。
［構成７］
前記第１のガイドは、前記第２の基板支持構造の前記運動又は重量に起因して、前記可撓性基板に対し追加の応力を引き起こすことなく、前記第２の基板支持構造の前記運動を誘導するように構成される、構成２に記載の可撓性基板試験システム。
［構成８］
前記第２の基板支持構造に、該第２の基板支持構造の、前記第１のガイドと反対側に結合された第２のガイドを更に備え、前記第２のガイドプレートは、前記可撓性基板を折り曲げ、該可撓性基板を展開するように前記第２の基板支持構造の運動を誘導するように構成される、構成２に記載の可撓性基板試験システム。
［構成９］
前記ロードセルに向かう前記第１の基板支持構造の変位を制限するように構成された負荷制限器を更に備える、構成１に記載の可撓性基板試験システム。
［構成１０］
前記ロードセルからの負荷情報に基づいて前記可撓性基板に対する前記負荷を求めるように構成された制御回路部を更に備える、構成１に記載の可撓性基板試験システム。
［構成１１］
前記制御回路部は、前記可撓性基板の折り曲げ又は展開中に前記ロードセルによって測定される動的負荷に基づいて、前記可撓性基板に対する前記負荷を求めるように構成される、構成１０に記載の可撓性基板試験システム。
［構成１２］
前記制御回路部は、前記可撓性基板の折り曲げ又は展開の完了時に前記ロードセルによって測定された静的負荷に基づいて前記可撓性基板に対する前記負荷を求めるように構成される、構成１０に記載の可撓性基板試験システム。
［構成１３］
前記第２の基板支持構造を第１の方向に動かして前記可撓性基板を折り曲げるか、又は第２の方向に動かして前記可撓性基板を展開するように前記アクチュエータを制御するように構成された制御回路部を更に備える、構成１に記載の可撓性基板試験システム。
［構成１４］
前記第１の基板支持構造を保持し、前記ロードセルが前記負荷を測定するように構成される方向における前記第１の基板支持構造の運動を制限するように構成された並進リンク機構を更に備える、構成１に記載の可撓性基板試験システム。
［構成１５］
前記ロードセルは、前記可撓性基板の前記第１の部分に対する前記負荷を測定するように構成される、構成１に記載の可撓性基板試験システム。
［構成１６］
前記ロードセルは、前記可撓性基板の前記第２の部分に対する前記負荷の少なくとも一部分を測定するように構成される、構成１に記載の可撓性基板試験システム。
［構成１７］
前記第２の基板支持構造の重量、及び折り曲げ又は展開中の前記基板支持構造の慣性負荷について、前記ロードセルからの負荷測定値を補償し、前記ロードセルからの負荷情報及び前記補償に基づいて、前記可撓性基板に対する前記負荷の少なくとも一部分を求めるように構成された制御回路部を更に備える、構成１６に記載の可撓性基板試験システム。
［構成１８］
前記可撓性基板の前記第１の部分に対する前記負荷の一部分を測定するように構成された第２のロードセルを更に備える、構成１６に記載の可撓性基板試験システム。
［構成１９］
可撓性基板に対する負荷を測定する方法であって、
基板支持構造を介して、試験対象の可撓性基板の第１の部分を静止状態に保持することと、
アクチュエータを介して、前記可撓性基板を折り曲げ、又は該可撓性基板を展開するように前記可撓性基板の第２の部分を動かすことと、
前記動かした結果として生じる前記可撓性基板に対する負荷を測定することと、
を含む、方法。
［構成２０］
可撓性基板試験システムであって、
試験対象の可撓性基板の第１の側部を静止状態に保持するように構成された第１の表面を備える第１のプレートと、
前記第１のプレートを保持し、前記プレートの前記第１の表面に平行な方向における前記プレートの運動を制限するように構成された並進リンク機構と、
前記可撓性基板の第２の側部を保持するように構成された第２の表面を備える第２のプレートと、
前記可撓性基板を折り曲げ、該可撓性基板を展開するように前記第２の表面の運動を誘導するように構成された第１のガイドプレートと、
前記可撓性基板を折り曲げ、該可撓性基板を展開するように前記第１のガイドプレートに従って前記第２のプレートを動かすように構成されたアクチュエータと、
前記アクチュエータが前記第２のプレートを動かす間、前記第１のプレートに対する負荷を測定するように構成されたロードセルと、
を備える、可撓性基板試験システム。

Claims (19)

1. 可撓性基板試験システムであって、
   試験対象の可撓性基板の第１の部分を静止状態に保持するように構成された第１の基板支持構造と、
   前記可撓性基板の第２の部分を保持するように構成された第２の基板支持構造と、
   前記可撓性基板を折り曲げ、該可撓性基板を展開するように前記第２の基板支持構造を動かすように構成されたアクチュエータと、
   前記可撓性基板に対する負荷を測定するように構成されたロードセルと、
   前記第１の基板支持構造を保持し、前記ロードセルが前記負荷を測定するように構成された方向における前記第１の基板支持構造の運動を制限するように構成された並進リンク機構と、
   を備える、可撓性基板試験システム。
2. 前記可撓性基板を折り曲げ、該可撓性基板を展開するように前記第２の基板支持構造の運動を誘導するように構成された第１のガイドを更に備える、請求項１に記載の可撓性基板試験システム。
3. 前記第１のガイドは、前記可撓性基板の第１の所定の曲げ半径に従って前記第２の基板支持構造の前記運動を誘導するように構成される、請求項２に記載の可撓性基板試験システム。
4. 前記第１のガイドは、前記可撓性基板の第２の所定の曲げ半径に従って前記第２の基板支持構造の前記運動を誘導するように構成された第２のガイドと交換可能である、請求項３に記載の可撓性基板試験システム。
5. 前記第１のガイドは、前記第２の基板支持構造に取り付けられたカム従動子を誘導するように構成された溝を有する第１のガイドプレートを備える、請求項２に記載の可撓性基板試験システム。
6. 前記第１のガイドプレートは、前記第２の基板支持構造に結合され、アクチュエータ溝内に位置決めされたアクチュエータピンを誘導するように構成された前記アクチュエータ溝を備え、前記アクチュエータは、前記アクチュエータピンを動かすことによって前記第２の基板支持構造を動かすように構成される、請求項５に記載の可撓性基板試験システム。
7. 前記第１のガイドは、前記第２の基板支持構造の前記運動又は重量に起因して、前記可撓性基板に対し追加の応力を引き起こすことなく、前記第２の基板支持構造の前記運動を誘導するように構成される、請求項２に記載の可撓性基板試験システム。
8. 前記第２の基板支持構造に、該第２の基板支持構造の、前記第１のガイドと反対側に結合された第２のガイドを更に備え、前記第２のガイドは、前記可撓性基板を折り曲げ、該可撓性基板を展開するように前記第２の基板支持構造の運動を誘導するように構成される、請求項２に記載の可撓性基板試験システム。
9. 前記ロードセルに向かう前記第１の基板支持構造の変位を制限するように構成された負荷制限器を更に備える、請求項１に記載の可撓性基板試験システム。
10. 前記ロードセルからの負荷情報に基づいて前記可撓性基板に対する前記負荷を求めるように構成された制御回路部を更に備える、請求項１に記載の可撓性基板試験システム。
11. 前記制御回路部は、前記可撓性基板の折り曲げ又は展開中に前記ロードセルによって測定される動的負荷に基づいて、前記可撓性基板に対する前記負荷を求めるように構成される、請求項１０に記載の可撓性基板試験システム。
12. 前記制御回路部は、前記可撓性基板の折り曲げ又は展開の完了時に前記ロードセルによって測定された静的負荷に基づいて前記可撓性基板に対する前記負荷を求めるように構成される、請求項１０に記載の可撓性基板試験システム。
13. 前記第２の基板支持構造を第１の方向に動かして前記可撓性基板を折り曲げるか、又は第２の方向に動かして前記可撓性基板を展開するように前記アクチュエータを制御するように構成された制御回路部を更に備える、請求項１に記載の可撓性基板試験システム。
14. 前記ロードセルは、前記可撓性基板の前記第１の部分に対する前記負荷を測定するように構成される、請求項１に記載の可撓性基板試験システム。
15. 前記ロードセルは、前記可撓性基板の前記第２の部分に対する前記負荷の少なくとも一部分を測定するように構成される、請求項１に記載の可撓性基板試験システム。
16. 前記第２の基板支持構造の重量、及び折り曲げ又は展開中の前記基板支持構造の慣性負荷について、前記ロードセルからの負荷測定値を補償し、前記ロードセルからの負荷情報及び前記補償に基づいて、前記可撓性基板に対する前記負荷の少なくとも一部分を求めるように構成された制御回路部を更に備える、請求項１５に記載の可撓性基板試験システム。
17. 前記可撓性基板の前記第１の部分に対する前記負荷の一部分を測定するように構成された第２のロードセルを更に備える、請求項１５に記載の可撓性基板試験システム。
18. 可撓性基板に対する負荷を測定する方法であって、
    基板支持構造を介して、試験対象の可撓性基板の第１の部分を静止状態に保持することと、
    ロードセルが前記負荷を測定するように構成された方向における前記基板支持構造の運動を制限するように、前記基板支持構造を保持することと、
    アクチュエータを介して、前記可撓性基板を折り曲げ、又は該可撓性基板を展開するように前記可撓性基板の第２の部分を動かすことと、
    前記動かした結果として生じる前記可撓性基板に対する負荷を測定することと、
    を含む、方法。
19. 可撓性基板試験システムであって、
    試験対象の可撓性基板の第１の側部を静止状態に保持するように構成された第１の表面を備える第１のプレートと、
    前記第１のプレートを保持し、前記プレートの前記第１の表面に平行な方向における前記プレートの運動を制限するように構成された並進リンク機構と、
    前記可撓性基板の第２の側部を保持するように構成された第２の表面を備える第２のプレートと、
    前記可撓性基板を折り曲げ、該可撓性基板を展開するように前記第２の表面の運動を誘導するように構成された第１のガイドプレートと、
    前記可撓性基板を折り曲げ、該可撓性基板を展開するように前記第１のガイドプレートに従って前記第２のプレートを動かすように構成されたアクチュエータと、
    前記アクチュエータが前記第２のプレートを動かす間、前記第１のプレートに対する負荷を測定するように構成されたロードセルと、
    を備え、
    前記並進リンク機構は、前記ロードセルが前記負荷を測定するように構成された方向における前記第１のプレートの運動を制限するように更に構成される、可撓性基板試験システム。

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