JP7492252B2 - 走査型イオンコンダクタンス顕微鏡 - Google Patents
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Description
SICMは、プローブとして電解質液で満たしたナノピペットの内部に非分極性の電極を挿入し、試料を保持した電解質側にあるもう一本の非分極性の電極との間に電圧を加えることで生じるイオン電流を測定することで、試料の表面情報を得ることができる。
これにより、細胞のように柔らかい生物試料であっても測定可能であり、ナノスケールで可視化できることから、ウイルス等の取り込み等も連続的に可視化できることが期待されている。
SICMでは、この微小なイオン電流を微小電流計測器により計測する。
ナノピペット内に挿入した電極と微小電流計測器との間が離れると、その分だけ電極から微小電流計測器までをつなぐ配線が長くなり、その配線由来の寄生容量成分が大きくなり、電流計測に遅れが生じ、高速イメージングのネックとなる。
例えば、試料ステージ側をピエゾ素子等の圧電アクチュエータにて水平方向のXY軸位置制御し、プローブの先端部と試料表面との垂直方向の距離を位置制御するピエゾ素子からなる圧電アクチュエータをプローブ保持手段側に設ける構造例が例として挙げられる。
従って、プローブ保持手段と一体的に設けられている形態のみならず、プローブ側の電極と微小電流計測器との配線距離が従来よりも短くなるように、プローブ保持手段の近傍に設けた形態も含まれる。
このように配線距離を短くすることで、微小電流の際に課題となる寄生容量由来の遅れを減少させることが可能となり、計測速度を向上させることができる。
このようにすると、顕微鏡本体側に、プローブ保持手段と微小電流計測器とをセットにして取り付け,取り外しが可能になる。
例えば、スイッチトキャパシタ(Switched capacitor)は、リセットのためのスイッチとコンデンサーとを組み合せたものであり、帰還抵抗の微小電流計測器に比べ、低ノイズ・高速の微小電流計測が可能である。しかし、キャパシタに溜まった電荷をリセットする際に生じるチャージインジェクション由来の電流が高感度な電流計測の妨げとなっていた。そこで、このリセットのタイミングをホッピング動作の引き上げのタイミングと同期させることで、リセットノイズを減らすことができる。
また、プローブ保持手段16と微小電流計測器18とを連結具15にて一体化した構造例を図2(a)に示す。
XYステージ20は、X軸方向に位置制御するためのピエゾ素子からなる圧電アクチュエータと、Y軸方向に位置制御するためのピエゾ素子からなる圧電アクチュエータを有し、これにより水平方向にXY制御される。
垂直方向であるZ軸方向は、除振台11の上面から立設した支持部12に上下方向に大きく移動制御されたステッピングモータ13を有する。
このステッピングモータ13を介して、プローブ16aと微小電流を計測する微小電流計測器18が取り付けられている。
拡大図を図2(a)に示すようにプローブ16aは、プローブ保持手段16に取付ネジ等の取付具16bにて所定の位置に保持されている。
このプローブ16aの先端部の高さをZ軸方向に移動制御するためのZ軸アクチュエータ17を介して、連結具15に設けられている。
Z軸アクチュエータ17は、ピエゾ素子からなる圧電アクチュエータにて構成されている。
これにより、図2(a)に示すようにプローブ16aを保持するためのプローブ保持手段16と、微小電流計測器18とが連結具15にて一体化され、連結具15の両側の取付部15a,15bをステッピングモータ13側に設けた支柱状の固定部14a,14bにボルト等の固定具14c,14dを介して取り付けたり、取り外しが可能になっている。
試料1とプローブ16aとの水平方向の相対的な位置関係は、XYステージ20の移動制御にて行われる。
プローブ16aは、試料1の表面の所定の近い位置まではステッピングモータ13の下降で動作する。
所定の位置からは、Z軸アクチュエータ17の動作により、プローブ16aの先端部を試料表面に向けて下降して行くと、両電極間に印加されている電圧に基づいて発生しているイオン電流が減少する。
この際のイオン電流の値が所定の閾値以下になった時点でのプローブ16aの先端部の高さを検出することで、試料1の表面形状等が計測されることになる。
例えば、ホッピングモードにて走査動作を行う場合には、XYステージ20の操作により、X軸方向又は/及びY軸方向に一定の間隔で移動させる動作と、Z軸アクチュエータ17の上下方向の動作を組み合せる。
プローブ16aの先端部が試料1の表面に近接し、微小電流計測器18にて計測した電流値が閾値以下になると、プローブ16aが退避動作を行う動作を繰り返すことで、細胞(試料1)の表面の形態が顕微鏡観察できる。
この場合に、プローブ16aのホッピング動作と同期するように、微小電流計測器18の計測回路にスイッチトキャパシタ回路を組み込むことで、リセット時のノイズを減らすことができる。
本実施例では、図2(b)に示すようにトレース用の圧電アクチュエータ17a,ホッピング用の圧電アクチュエータ17b、及び退避用の圧電アクチュエータ17cの3つに分割した例になっている。
これにより、試料1をX軸又はY軸方向に移動させる動作と、プローブの先端部をホッピング2させる動作を同期させながら、試料1の表面形状等をトレース3することができる。
12 支持部
13 ステッピングモータ
14a 固定部
14b 固定部
15 連結具
16 プローブ保持手段
16a プローブ
17 Z軸アクチュエータ
18 微小電流計測器
19 計測器保持部
20 XYステージ
21 試料ステージ
Claims (2)
- 除振台の上面にXYステージを介して設けた試料を保持する試料ステージと、
前記試料に対して計測用のプローブを位置制御するプローブ保持手段と、前記プローブを介して得られた信号を計測する微小電流計測器と、前記除振台の上面から立設した支持部に設けたZ軸方向のステッピングモータを備え、
前記微小電流計測器は計測器保持部に取り付けてあり、前記プローブ保持手段はZ軸アクチュエータに取り付けられ、
前記計測器保持部とZ軸アクチュエータが連結具にて一体的に連結され、
前記連結具が前記ステッピングモータに取り付け取り外し可能になっていることを特徴とする走査型イオンコンダクタンス顕微鏡。 - 前記微小電流計測器は電流の計測回路に、帰還抵抗、スイッチトキャパシタ回路、光フィードバック回路のいずれかが組み込まれていることを特徴とする請求項1記載の走査型イオンコンダクタンス顕微鏡。
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