JP7487008B2 - 真空バルブの配置構造 - Google Patents
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Description
以下、実施形態に係る真空バルブの配置構造について、添付図面を参照しながら説明する。なお、添付図面に開示された実施形態は、あくまで一例に過ぎず、これにより発明が限定されるものではない。
図5及び図6は、変形例において、互いに異なる輪郭に設定された複数の真空バルブPの配置構造図である。図5及び図6の例において、3つの真空バルブPが、図示しない同一仮想平面上に沿って、互いに隣り合うように平行に並んだ状態で上記した可動部7に支持されている。なお、本変形例では、スペーサ30(図4及び図5参照)を適用すること無く、隣り合う2つの真空バルブPは、双方の太形部27の全体が互いに対向しないように配置されている。
Claims (10)
- 複数の真空バルブを互いに隣り合うように並べて配置させる真空バルブの配置構造であって、
前記真空バルブは、異なる形状の太形部及び細形部を有し、前記太形部は、前記細形部よりも大きく構成され、
隣り合う2つの前記真空バルブは、双方の前記太形部の全体が互いに対向しないように配置され、
前記太形部は、前記細形部に向かって傾斜した傾斜面を備え、
隣り合う2つの前記真空バルブは、前記傾斜面が互いに近接しつつ対向するように配置されている真空バルブの配置構造。 - 複数の真空バルブを互いに隣り合うように並べて配置させる真空バルブの配置構造であって、
前記真空バルブは、異なる形状の太形部及び細形部を有し、前記太形部は、前記細形部よりも大きく構成され、
隣り合う2つの前記真空バルブは、双方の前記太形部の全体が互いに対向しないように配置され、
前記真空バルブの中心を規定する軸線を有し、
隣り合う2つの前記真空バルブは、前記軸線に沿った方向で見て、双方の前記太形部が互いに一部重なるように配置され、
前記太形部は、
前記細形部よりも突出した輪郭を有する頂面と、
前記頂面から前記細形部に向かって傾斜した傾斜面と、を備え、
隣り合う2つの前記真空バルブは、前記傾斜面が互いに対向するように配置されている真空バルブの配置構造。 - 複数の真空バルブを互いに隣り合うように並べて配置させる真空バルブの配置構造であって、
前記真空バルブは、異なる形状の太形部及び細形部を有し、前記太形部は、前記細形部よりも大きく構成され、
隣り合う2つの前記真空バルブは、双方の前記太形部の全体が互いに対向しないように配置され、
前記真空バルブの中心を規定する軸線を有し、
隣り合う2つの前記真空バルブは、前記軸線に沿った方向で見て、双方の前記太形部が互いに一部重なるように配置され、
複数の前記真空バルブは、互いに同一の輪郭に設定され、
隣り合う2つの前記真空バルブの前記太形部の全体が互いに対向しないように、一方の前記真空バルブを、他方の前記真空バルブに対して、前記軸線に沿った方向に変位させて配置させるスペーサを有している真空バルブの配置構造。 - 複数の真空バルブを互いに隣り合うように並べて配置させる真空バルブの配置構造であって、
前記真空バルブは、異なる形状の太形部及び細形部を有し、前記太形部は、前記細形部よりも大きく構成され、
隣り合う2つの前記真空バルブは、双方の前記太形部の全体が互いに対向しないように配置され、
前記真空バルブの中心を規定する軸線を有し、
隣り合う2つの前記真空バルブは、前記軸線に沿った方向で見て、双方の前記太形部が互いに一部重なるように配置され、
複数の前記真空バルブが、絶縁層によって一体的にモールド化された状態において、
一対の電極を接離可能に収容する真空容器が複数配置され、
前記絶縁層は、複数の前記真空容器を一体的に覆うように、絶縁性樹脂材料で成形されている真空バルブの配置構造。 - 複数の真空バルブを互いに隣り合うように並べて配置させる真空バルブの配置構造であって、
前記真空バルブは、異なる形状の太形部及び細形部を有し、前記太形部は、前記細形部よりも大きく構成され、
隣り合う2つの前記真空バルブは、双方の前記太形部の全体が互いに対向しないように配置され、
前記真空バルブの中心を規定する軸線を有し、
隣り合う2つの前記真空バルブは、前記軸線に沿った方向で見て、双方の前記太形部が互いに一部重なるように配置され、
複数の前記真空バルブが、前記軸線に沿った方向で見て、真っ直ぐに延びた1本の仮想中心線に対して同心円状に配置された状態において、
隣り合う2つの前記真空バルブは、前記軸線に沿った方向で見て、双方の前記太形部が互いに一部重なるように配置され、
隣り合う3つの前記真空バルブは、前記軸線に沿った方向で見て、それぞれの前記太形部が2箇所で重なるように配置されている真空バルブの配置構造。 - 隣り合う2つの前記真空バルブにおいて、一方の前記真空バルブの前記太形部は、他方の前記真空バルブの前記細形部に対向して配置されている請求項2~5のいずれか1項に記載の真空バルブの配置構造。
- 前記スペーサは、一方の前記真空バルブと一体化されている請求項3に記載の真空バルブの配置構造。
- 前記真空バルブを動作させる可動部を有し、
前記スペーサは、一方の前記真空バルブを動作させる前記可動部と一体化されている請求項3に記載の真空バルブの配置構造。 - 前記真空バルブが、同一仮想平面上に3つ並んで配置された状態において、
前記スペーサは、中央或いは両端に配置された前記真空バルブを前記軸線に沿った方向に変位させる請求項3に記載の真空バルブの配置構造。 - 前記真空バルブは、前記軸線に沿った方向で見て、前記太形部の両側に前記細形部が1つずつ設けられていると共に、一方側の前記細形部の全長が他方側の前記細形部の全長よりも長く設定され、
隣り合う2つの前記真空バルブにおいて、一方の前記真空バルブの前記太形部は、他方の前記真空バルブの前記細形部のうち、全長の長い前記細形部に対向して配置されている請求項2~5のいずれか1項に記載の真空バルブの配置構造。
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