JP7482624B2 - 不良検知方法および不良検知装置 - Google Patents
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Description
101a,101b:分割データセット
102:重複領域
111:データ処理モジュール
112:分類器
115:前処理トレースデータ
121:不良検知結果
601,602:未加工データ
603:調整未加工データ
701:元データ
702:ゼロ中心化したデータ
703:規格化データ
821:ビッグデータセット
822:トレースデータセット
921:トレースデータ
Claims (19)
- 一つ以上の電子機器の製造工程で取得した複数の時系列センサデータ(time-series sensor data)を受信し、
前記複数の時系列センサデータを二次元データアレイ内に配列し、
前記二次元データアレイを畳み込みニューラルネットワークモデルに提供し、
前記畳み込みニューラルネットワークモデルを用いて不良状態と相関する前記二次元データアレイ内のパターンを識別し、
前記一つ以上の電子機器の製造工程で前記不良状態の不良指標(fault indicator)を提供し、
前記不良指標に基づいて前記電子機器が不良を含んでいるのかを分類すること、
を含み、
前記二次元データアレイは、前記畳み込みニューラルネットワークモデルに対する入力データの次元(dimension)を有し、
前記二次元データアレイは第2の二次元データアレイに変換され、前記第2の二次元データアレイは互いに離れている複数のデータアレイを含む、不良検知方法。 - 前記電子機器は、表示装置である、請求項1に記載の不良検知方法。
- 前記電子機器は、表示装置のガラスパネルである、請求項1に記載の不良検知方法。
- 前記畳み込みニューラルネットワークモデルは、VGG、Resnet、Alexnet、またはSqueezenetである、請求項1に記載の不良検知方法。
- 前記分類結果は、前記不良状態の種類と位置を含む、請求項1に記載の不良検知方法。
- さらに、前記一つ以上の製造工程で前記不良を有する前記電子機器を廃棄することを含む、請求項1に記載の不良検知方法。
- 一つ以上の電子機器の製造工程で取得した複数の時系列センサデータ(time-series sensor data)を受信し、
前記複数の時系列センサデータを二次元データアレイ内に配列し、
前記二次元データアレイを畳み込みニューラルネットワークモデルに提供し、
前記畳み込みニューラルネットワークモデルを用いて不良状態と相関する前記二次元データアレイ内のパターンを識別し、
前記一つ以上の電子機器の製造工程で前記不良状態の不良指標(fault indicator)を提供し、
前記不良指標に基づいて前記電子機器が不良を含んでいるのかを分類し、
前記複数の時系列センサデータをセンサの数に対応する第1次元および前記各センサのデータサンプル数に対応する第2次元を有する未加工トレースデータアレイに配置し、
前記未加工トレースデータアレイが前記二次元データアレイに適合するかどうかを判断し、
前記未加工トレースデータアレイを複数の未加工トレースデータアレイ片に分割し、
前記複数の未加工トレースデータアレイ片を前記二次元データアレイに配置すること、を含み、
前記二次元データアレイは、前記畳み込みニューラルネットワークモデルに対する入力データの次元(dimension)を有する、不良検知方法。 - 前記複数の未加工トレースデータアレイ片のそれぞれは、重複領域を含む、請求項7に記載の不良検知方法。
- 一つ以上の電子機器の製造工程で取得した複数の時系列センサデータ(time-series sensor data)を受信し、
前記複数の時系列センサデータを二次元データアレイ内に配列し、
前記二次元データアレイを畳み込みニューラルネットワークモデルに提供し、
前記畳み込みニューラルネットワークモデルを用いて不良状態と相関する前記二次元データアレイ内のパターンを識別し、
前記一つ以上の電子機器の製造工程で前記不良状態の不良指標(fault indicator)を提供し、
前記不良指標に基づいて前記電子機器が不良を含んでいるのかを分類し、
互いに異なる数のデータサンプルを有する複数の時系列センサデータセットを受信し、
前記複数の時系列センサデータセットのうち前記データサンプルの数が最も少ない第1時系列センサデータセットを決定し、
前記複数の時系列センサデータセットのうち残りの時系列センサデータセットのサイズを調整して前記残りの時系列センサデータセットが前記第1時系列センサデータセットのデータサンプル数と同じデータサンプル数を有するようにすること、を含み、
前記二次元データアレイは、前記畳み込みニューラルネットワークモデルに対する入力データの次元(dimension)を有する、不良検知方法。 - 一つ以上の電子機器の製造工程で取得した複数の時系列センサデータ(time-series sensor data)を受信し、
前記複数の時系列センサデータを二次元データアレイ内に配列し、
前記二次元データアレイを畳み込みニューラルネットワークモデルに提供し、
前記畳み込みニューラルネットワークモデルを用いて不良状態と相関する前記二次元データアレイ内のパターンを識別し、
前記一つ以上の電子機器の製造工程で前記不良状態の不良指標(fault indicator)を提供し、
前記不良指標に基づいて前記電子機器が不良を含んでいるのかを分類し、
前記不良状態と相関する前記複数の時系列センサデータの部分集合を決定し、
前記二次元データアレイを再配列して前記複数の時系列センサデータの部分集合を隣接するように配置すること、を含み、
前記二次元データアレイは、前記畳み込みニューラルネットワークモデルに対する入力データの次元(dimension)を有する、不良検知方法。 - 一つ以上の電子機器の製造工程で取得した複数の時系列センサデータ(time-series sensor data)を受信し、
前記複数の時系列センサデータを二次元データアレイ内に配列し、
前記二次元データアレイを畳み込みニューラルネットワークモデルに提供し、
前記畳み込みニューラルネットワークモデルを用いて不良状態と相関する前記二次元データアレイ内のパターンを識別し、
前記一つ以上の電子機器の製造工程で前記不良状態の不良指標(fault indicator)を提供し、
前記不良指標に基づいて前記電子機器が不良を含んでいるのかを分類し、
前記一つ以上の製造工程内の複数の処理に対応するデータをそれぞれ有する複数の時系列センサデータセットを受信し、
前記複数の時系列センサデータセットの前記複数の処理のそれぞれのデータサイズを比較し、
前記複数の処理それぞれに対し、前記複数の時系列センサデータセットのうち最小ステップサイズを有する第1時系列センサデータセットを決定し、
残りの時系列センサデータセットの各処理に対応する時系列センサデータを写像して前記最小ステップサイズを有するようにし、
前記最小ステップサイズに写像される各工程を結合することによって前記複数の時系列センサデータセットのそれぞれに対して前記二次元データアレイを生成すること、を含み、
前記二次元データアレイは、前記畳み込みニューラルネットワークモデルに対する入力データの次元(dimension)を有する、不良検知方法。 - 前記残りの時系列センサデータセットの各処理に対応する時系列センサデータを写像して前記最小ステップサイズを有するようにすることは、前記最小ステップサイズの第1データサンプルを選択することを含む、請求項11に記載の不良検知方法。
- さらに、前記残りの時系列センサデータセットの各処理に対応する時系列センサデータをデシメーション(decimation)で再サンプリングして前記最小ステップサイズを有する再サンプル時系列センサデータを求めることを含む、請求項11に記載の不良検知方法。
- さらに、
前記複数の時系列センサデータの平均を決定し、
前記複数の時系列センサデータのそれぞれを移動させて平均が0になるようにし、
前記複数の時系列センサデータそれぞれを規格化して-1と+1との間の範囲に位置させること、を含む、請求項1に記載の不良検知方法。 - 第1フォーマットの第1データセットで事前トレーニング済みの畳み込みニューラルネットワークモデルを提供し、
第2フォーマットの第2データセットを受信し、
前記第2データセットの前記第2フォーマットを前記第1フォーマットに変換して第3データセットを生成し、
前記畳み込みニューラルネットワークモデルを前記第3データセットで再トレーニングし、
更新された畳み込みニューラルネットワークモデルを求めること、を含み、
前記第2データセットは、一つ以上の電子機器の製造工程で取得した複数の時系列センサデータであり、前記第1フォーマットは、二次元データアレイであり、
前記二次元データアレイは、前記更新された畳み込みニューラルネットワークモデルの入力データ次元を有し、
さらに、
前記二次元データアレイの前記第1フォーマットを有する前記第3データセットを前記更新された畳み込みニューラルネットワークモデルに提供し、
前記更新された畳み込みニューラルネットワークモデルを用いて不良状態と相関する前記二次元データアレイ内のパターンを識別し、
前記一つ以上の電子機器の製造工程で前記不良状態の不良指標(fault indicator)を提供し、
前記不良指標に基づいて前記電子機器が不良を含むと判断することと、
次の1)、2)、3)、および4)のうち少なくとも一つの処理と、を含む、不良検知方法。
1)前記複数の時系列センサデータをセンサの数に対応する第1次元と前記各センサのデータサンプル数に対応する第2次元を有する未加工トレースデータアレイに配置し、
前記未加工トレースデータアレイが前記二次元データアレイに適合するかどうかを判断し、
前記未加工トレースデータアレイを複数の未加工トレースデータアレイ片に分割し、
前記複数の未加工トレースデータアレイ片を前記二次元データアレイに配置すること
2)互いに異なる数のデータサンプルを有する複数の時系列センサデータセットを受信し、
前記複数の時系列センサデータセットのうち前記データサンプル数が最も少ない第1時系列センサデータセットを決定し、
前記複数の時系列センサデータセットのうち残りの時系列センサデータセットのサイズを調整して前記残りの時系列センサデータセットが前記第1時系列センサデータセットのデータサンプル数と同じデータサンプル数を有するようにすること
3)前記不良状態と相関する前記複数の時系列センサデータの部分集合を決定し、
前記二次元データアレイを再配列して前記複数の時系列センサデータの部分集合を隣接するように配置すること
4)前記一つ以上の製造工程内の複数の処理に対応するデータをそれぞれ有する複数の時系列センサデータセットを受信し、
前記複数の時系列センサデータセットの前記複数の処理のそれぞれのデータサイズを比較し、
前記複数の処理のそれぞれに対し、前記複数の時系列センサデータセットのうち最小ステップサイズを有する第1時系列センサデータセットを決定し、
残りの時系列センサデータセットの各処理に対応する時系列センサデータを写像して前記最小ステップサイズを有するようにし、
前記最小ステップサイズに写像される各工程を結合することによって前記複数の時系列センサデータセットのそれぞれに対して前記二次元データアレイを生成すること - 前記電子機器は、表示装置のガラスパネルである、請求項15に記載の不良検知方法。
- 前記更新された畳み込みニューラルネットワークモデルは、VGG、Resnet、Alexnet、またはSqueezenetである、請求項15に記載の不良検知方法。
- さらに、前記一つ以上の製造工程で前記不良を有する前記電子機器を廃棄することを含む、請求項15に記載の不良検知方法。
- プロセッサと、
プロセッサ実行可能命令を保存するメモリと、を含み、
前記プロセッサは、データ分析モデルを実行し、
前記データ分析モデルは、データ処理モジュールおよび分類器を含み、
前記データ処理モジュールは、
一つ以上の電子機器の製造工程で取得した複数の時系列センサデータ(time-series sensor data)を受信し、
前記複数の時系列センサデータを二次元データアレイ内に配列し、
前記二次元データアレイを畳み込みニューラルネットワークモデルに提供し、
前記分類器は、
不良状態と相関する前記二次元データアレイ内のパターンを識別し、
前記一つ以上の電子機器の製造工程で前記不良状態の不良指標(fault indicator)を提供し、
前記不良指標に基づいて前記電子機器が不良を含むと判断し、
前記二次元データアレイは、前記畳み込みニューラルネットワークモデルに対する入力データの次元(dimension)を有し、
前記二次元データアレイは第2の二次元データアレイに変換され、前記第2の二次元データアレイは互いに離れている複数のデータアレイを含む、
不良検知装置。
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