JP7470978B2 - 液体中の物質観察方法及びその装置 - Google Patents
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Description
次に、上記したような観察装置を試験装置として用いて試料を観察した結果について説明する。
2 半導体層
3 ソース電極
4 ドレイン電極
5 ゲート電極
L 液体
11、11’ 光学レンズ
12 二次元光検出器
24 光源
30 ファンクションジェネレータ
Claims (11)
- 液体中の物質を光学的に観察する方法であって、
半導体層内の第1面近傍にソース電極とドレイン電極とを設け、前記第1面と対をなす第2面に間隔を空けて対向させてゲート電極を設け、前記第2面と前記ゲート電極との間を満たすように前記物質を含む前記液体を与え、
前記ソース電極及び前記ドレイン電極を電気的に接続し、前記ゲート電極との間に所定周期でゲート電圧を印加して前記第2面への電荷の蓄積及び除荷を繰り返すとともに、前記所定周期に同期させて、前記電荷の蓄積状態と除荷状態との光学画像の差イメージを積算して観察画像を得ることを特徴とする液体中の物質の観察方法。 - 前記観察画像では、前記物質が前記第2面上に配置されることで前記電荷の蓄積状態において非蓄積部分を形成することを特徴とする請求項1記載の液体中の物質の観察方法。
- 前記ゲート電圧の印加の有無で、前記ソース電極及び前記ドレイン電極の間の抵抗値変化から、前記物質の前記第2面上での配置を検知することを特徴とする請求項2記載の液体中の物質の観察方法。
- 前記光学画像は前記第2面に単色光を照射するとともに前記半導体層の透過光から得られ、前記単色光は前記第2面への電荷の蓄積及び除荷により誘起される前記半導体層の光透過率変化のピーク波長に対応した波長を有することを特徴とする請求項1乃至3のうちの1つに記載の液体中の物質の観察方法。
- 前記光学画像は前記第2面に光を照射するとともにこの反射光から得られることを特徴とする請求項1乃至3のうちの1つに記載の液体中の物質の観察方法。
- 前記物質は生体試料であることを特徴とする請求項1乃至5のうちの1つに記載の液体中の物質の観察方法。
- 液体中の物質を光学的に観察する装置であって、
半導体層内の第1面近傍にソース電極とドレイン電極とを設け、前記第1面と対をなす第2面に間隔を空けて対向させてゲート電極を設け、前記第2面と前記ゲート電極との間を満たすように前記物質を含む前記液体を与えられ得て、
前記ソース電極及び前記ドレイン電極を電気的に接続し、前記ゲート電極との間に所定周期でゲート電圧を印加して前記第2面への電荷の蓄積及び除荷を繰り返すとともに、前記所定周期に同期させて、前記電荷の蓄積状態と除荷状態との光学画像の差イメージを積算して観察画像を得ることを特徴とする液体中の物質の観察装置。 - 前記観察画像では、前記物質が前記第2面上に配置されることで前記電荷の蓄積状態において非蓄積部分を形成することを特徴とする請求項7記載の液体中の物質の観察装置。
- 前記ゲート電圧の印加の有無で、前記ソース電極及び前記ドレイン電極の間の抵抗値変化から、前記物質の前記第2面上での配置を検知することを特徴とする請求項8記載の液体中の物質の観察装置。
- 前記光学画像は前記第2面に単色光を照射するとともに前記半導体層の透過光から得られ、前記単色光は前記第2面への電荷の蓄積及び除荷により誘起される前記半導体層の光透過率変化のピーク波長に対応した波長を有することを特徴とする請求項7乃至9のうちの1つに記載の液体中の物質の観察装置。
- 前記光学画像は前記第2面に光を照射するとともにこの反射光から得られることを特徴とする請求項7乃至9のうちの1つに記載の液体中の物質の観察装置。
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