JP7460095B2 - 接合方法、接合装置および接合システム - Google Patents
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Description
2つの被接合物を接合する接合方法であって、
10-2Pa以下の減圧雰囲気下において前記2つの被接合物それぞれの互いに接合される接合面の少なくとも一方を60℃よりも高い温度に加熱することにより前記被接合物の接合面および前記被接合物の接合面の内側に存在する水分を除去する熱処理工程と、
前記熱処理工程の後、減圧雰囲気を維持した状態で、前記2つの被接合物それぞれの前記接合面を活性化する活性化処理工程と、
前記熱処理工程の後、減圧雰囲気であり且つ前記2つの被接合物それぞれの前記接合面から水分が除去された状態を維持しつつ、前記2つの被接合物を接合する接合工程と、を含む。
2つの被接合物を接合する接合装置であって、
チャンバと、
前記チャンバ内に配置され、前記2つの被接合物のうちのいずれか一方を支持するステージと、
前記チャンバ内において前記ステージに対向して配置され、前記2つの被接合物のうちの他方を支持するヘッドと、
前記チャンバまたは前記チャンバに連結された待機チャンバ内を減圧雰囲気下にした状態で、前記2つの被接合物それぞれの互いに接合される少なくとも一方の接合面を60℃よりも高い温度に加熱する第1被接合物加熱部と、
前記2つの被接合物それぞれの前記接合面を活性化する活性化処理を行う活性化処理部と、
前記ステージと前記ヘッドとの少なくとも一方を、前記ステージと前記ヘッドとが互いに近づく第1方向または前記ステージと前記ヘッドとが離れる第2方向へ移動させる駆動部と、
前記第1被接合物加熱部、前記活性化処理部および前記駆動部それぞれの動作を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、10-2Pa以下の減圧雰囲気で維持した状態で、前記2つの被接合物が離間した状態で、前記第1被接合物加熱部を制御して前記2つの被接合物それぞれの前記接合面の少なくとも一方を60℃よりも高い温度に加熱することにより前記被接合物の接合面および前記被接合物内部の接合面側に存在する水分を除去した後、減圧雰囲気で維持した状態で、前記活性化処理部を制御して前記接合面に対して前記活性化処理を行い、その後、減圧雰囲気であり且つ前記2つの被接合物それぞれの前記接合面から水分が除去された状態を維持しつつ、前記駆動部を制御して前記ステージと前記ヘッドとの少なくとも一方を前記第1方向へ移動させることにより前記2つの被接合物を接合する。
以下、本発明の実施の形態1に係る接合装置について、図を参照しながら説明する。本実施の形態に係る接合装置は、減圧雰囲気にあるチャンバ内で、2つの基板の接合面を加熱した後、活性化処理を行い、その後、基板同士を接触させて加圧および加熱することにより、2つの基板を接合する。ここで、基板W1、W2としては、例えば、Si基板、SiO2ガラス基板等のガラス基板、酸化物基板(例えば、酸化ケイ素(SiO2)基板、サファイア基板を含むアルミナ基板(Al2O3)、酸化ガリウム(Ga2O3)等)、窒化物基板(例えば、窒化ケイ素(SiN)、窒化アルミニウム(AlN)、窒化ガリウム(GaN))、GaAs基板、炭化ケイ素(SiC)基板、タンタル酸リチウム(Lt:LiTaO3)基板、ニオブ酸リチウム基板(Ln:LiNbO3)、ダイヤモンド基板などのいずれかからなる被接合物である。或いは、基板W1、W2として、接合面にAu、Cu、Al、Ti等の金属から形成された電極が設けられた基板であってもよい。活性化処理では、2つの基板それぞれの互いに接合される接合面に対して、粒子ビームを照射することにより基板の接合面を活性化する。
本実施の形態に係る接合システムは、基板W1、W2同士をいわゆる親水化接合する点で実施の形態1と相違する。本実施の形態に係る接合システムは、基板W1、W2の接合面を活性化する活性化処理工程を行った後、基板W1、W2の接合面を水洗浄する水洗浄工程を行う。
Claims (46)
- 2つの被接合物を接合する接合方法であって、
10-2Pa以下の減圧雰囲気下において前記2つの被接合物それぞれの互いに接合される接合面の少なくとも一方を60℃よりも高い温度に加熱することにより前記被接合物の接合面および前記被接合物内部の接合面側に存在する水分を除去する熱処理工程と、
前記熱処理工程の後、減圧雰囲気を維持した状態で、前記2つの被接合物それぞれの前記接合面を活性化する活性化処理工程と、
前記熱処理工程の後、減圧雰囲気であり且つ前記2つの被接合物それぞれの前記接合面から水分が除去された状態を維持しつつ、前記2つの被接合物を接合する接合工程と、を含む、
接合方法。 - 前記接合工程において、前記2つの被接合物は、前記2つの被接合物の接合面に存在するダングリングボンドを介して直接接合される、
請求項1に記載の接合方法。 - 前記接合工程における気圧は、10-5Pa以下である、
請求項1または2に記載の接合方法。 - 前記熱処理工程において、減圧雰囲気を維持した状態で、前記2つの被接合物それぞれの前記接合面の少なくとも一方を60℃よりも高い温度に加熱した状態を30秒以上維持する、
請求項1から3のいずれか1項に記載の接合方法。 - 前記熱処理工程における気圧は、10-5Pa以下である、
請求項1から4のいずれか1項に記載の接合方法。 - 前記熱処理工程は、前記活性化処理工程と前記接合工程との少なくとも1つと並行して行う、
請求項1から5のいずれか1項に記載の接合方法。 - 前記活性化処理工程において、前記接合面に粒子ビームを照射する、
請求項1から6のいずれか1項に記載の接合方法。 - 前記熱処理工程の前に、前記2つの被接合物の少なくとも一方の前記接合面にSiを堆積させるSi粒子堆積工程を更に含む、
請求項7に記載の接合方法。 - 前記活性化処理工程は、前記Si粒子堆積工程の後に行われる、
請求項8に記載の接合方法。 - 前記活性化処理工程において、前記2つの被接合物のうちの少なくとも一方の接合面に、前記粒子ビームとともにSi粒子を照射する、
請求項7に記載の接合方法。 - 前記2つの被接合物の少なくとも一方は、前記接合面側に酸化膜または窒化膜を有する、
請求項1から10のいずれか1項に記載の接合方法。 - 前記2つの被接合物の少なくとも一方は、前記接合面側に酸化膜を有し、
前記酸化膜の表面には、厚さ3nm以上のSi層が形成されている、
請求項1から11のいずれか1項に記載の接合方法。 - 前記2つの被接合物の少なくとも一方は、前記接合面に絶縁膜と金属電極とが露出している、
請求項1から12のいずれか1項に記載の接合方法。 - 前記2つの被接合物の少なくとも一方は、前記接合面にSi層が露出している、
請求項1から10のいずれか1項に記載の接合方法。 - 前記熱処理工程の後、前記活性化処理工程の前に、加熱した前記被接合物を60℃以下の温度に冷却する冷却工程を更に含む、
請求項1から14のいずれか1項に記載の接合方法。 - 前記熱処理工程の前に、前記2つの被接合物の少なくとも一方の接合面に少なくとも水を使用して洗浄する洗浄工程を更に含む、
請求項1から15のいずれか1項に記載の接合方法。 - 前記接合工程において、前記熱処理工程の後、前記2つの被接合物の少なくとも一方の加熱された前記接合面の温度が60℃以下の温度に冷却された後、前記2つの被接合物を接合する、
請求項1から16のいずれか1項に記載の接合方法。 - 2つの被接合物を接合する接合方法であって、
減圧雰囲気下において前記2つの被接合物それぞれの互いに接合される接合面の少なくとも一方を60℃よりも高い温度に加熱する熱処理工程と、
前記熱処理工程の後、減圧雰囲気を維持した状態で、前記2つの被接合物それぞれの前記接合面を活性化する活性化処理工程と、
前記活性化処理工程の後、減圧雰囲気を維持した状態で、前記2つの被接合物を接合する接合工程と、を含み、
前記活性化処理工程は、前記2つの被接合物のうちの少なくとも一方の周囲の活性化処理領域を含む形でカバーが配置されたチャンバ内において行われ、
前記活性化処理工程の前に行われ且つ前記チャンバ内を減圧雰囲気にした状態で前記カバーを加熱するカバー加熱工程を更に含み、
前記熱処理工程は、前記カバー加熱工程と同時に行う、
接合方法。 - 2つの被接合物を接合する接合方法であって、
前記2つの被接合物のうちの少なくとも一方の周囲の活性化処理領域を含む形でカバーが配置されたチャンバ内を減圧雰囲気にした状態で前記カバーを加熱するカバー加熱工程と、
前記カバー加熱工程の後、前記2つの被接合物それぞれの接合面を活性化する活性化処理工程と、
前記カバー加熱工程の後、前記2つの被接合物を接合する接合工程と、を含み、
前記接合工程は、前記活性化処理工程の後に行う、
接合方法。 - 前記カバー加熱工程と同時に前記チャンバの内壁を加熱するチャンバ加熱工程を更に含む、
請求項19に記載の接合方法。 - 前記カバー加熱工程における前記カバーの温度は、前記チャンバ加熱工程における前記チャンバの内壁の温度よりも高い、
請求項20に記載の接合方法。 - 前記接合工程の前に、前記2つの被接合物のうちの少なくとも一方の接合面にSi粒子を照射する、
請求項1から21のいずれか1項に記載の接合方法。 - 2つの被接合物を接合する接合装置であって、
チャンバと、
前記チャンバ内に配置され、前記2つの被接合物のうちのいずれか一方を支持するステージと、
前記チャンバ内において前記ステージに対向して配置され、前記2つの被接合物のうちの他方を支持するヘッドと、
前記チャンバまたは前記チャンバに連結された待機チャンバ内を減圧雰囲気下にした状態で、前記2つの被接合物それぞれの互いに接合される少なくとも一方の接合面を60℃よりも高い温度に加熱する第1被接合物加熱部と、
前記2つの被接合物それぞれの前記接合面を活性化する活性化処理を行う活性化処理部と、
前記ステージと前記ヘッドとの少なくとも一方を、前記ステージと前記ヘッドとが互いに近づく第1方向または前記ステージと前記ヘッドとが離れる第2方向へ移動させる駆動部と、
前記第1被接合物加熱部、前記活性化処理部および前記駆動部それぞれの動作を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、10-2Pa以下の減圧雰囲気で維持した状態で、前記2つの被接合物が離間した状態で、前記第1被接合物加熱部を制御して前記2つの被接合物それぞれの前記接合面の少なくとも一方を60℃よりも高い温度に加熱することにより前記被接合物の接合面および前記被接合物内部の接合面側に存在する水分を除去した後、減圧雰囲気で維持した状態で、前記活性化処理部を制御して前記接合面に対して前記活性化処理を行い、その後、減圧雰囲気であり且つ前記2つの被接合物それぞれの前記接合面から水分が除去された状態を維持しつつ、前記駆動部を制御して前記ステージと前記ヘッドとの少なくとも一方を前記第1方向へ移動させることにより前記2つの被接合物を接合する、
接合装置。 - 前記2つの被接合物は、前記2つの被接合物の接合面に存在するダングリングボンドを介して直接接合される、
請求項23に記載の接合装置。 - 前記チャンバの外側に設けられた待機チャンバと、
前記待機チャンバ内に配置された前記2つの被接合物のうちの少なくとも一方の前記接合面を加熱する第2被接合物加熱部と、を更に備え、
前記制御部は、前記待機チャンバ内に前記2つの被接合物が配置され且つ前記待機チャンバ内を減圧雰囲気下にした状態で、前記2つの被接合物それぞれの前記接合面の少なくとも一方を加熱するよう前記第2被接合物加熱部を制御する、
請求項23または24に記載の接合装置。 - 前記活性化処理部は、前記接合面に粒子ビームを照射する粒子ビーム源を有する、
請求項23から25のいずれか1項に記載の接合装置。 - 前記2つの被接合物の少なくとも一方の前記接合面にSi粒子を堆積させるSi粒子照射部を更に備える、
請求項23から26のいずれか1項に記載の接合装置。 - 前記粒子ビーム源は、前記2つの被接合物のうちの少なくとも一方の接合面に、前記粒子ビームとともにSi粒子を照射する、
請求項26に記載の接合装置。 - 前記2つの被接合物の少なくとも一方は、前記接合面に酸化膜または窒化膜が露出している、
請求項23から28のいずれか1項に記載の接合装置。 - 前記2つの被接合物の少なくとも一方は、前記接合面に絶縁膜と金属電極とが露出している、
請求項23から28のいずれか1項に記載の接合装置。 - 前記制御部は、減圧雰囲気で維持した状態で、前記2つの被接合物が離間した状態で、前記第1被接合物加熱部を制御して前記2つの被接合物それぞれの前記接合面の少なくとも一方を60℃よりも高い温度に加熱した後、前記活性化処理部による前記活性化処理の前に、前記加熱された被接合物を60℃以下の温度に冷却する、
請求項23から30のいずれか1項に記載の接合装置。 - 前記チャンバ内の気圧は、10-5Pa以下である、
請求項23から31のいずれか1項に記載の接合装置。 - 2つの被接合物を接合する接合装置であって、
チャンバと、
前記チャンバ内に配置され、前記2つの被接合物のうちのいずれか一方を支持するステージと、
前記チャンバ内において前記ステージに対向して配置され、前記2つの被接合物のうちの他方を支持するヘッドと、
前記チャンバまたは前記チャンバに連結された待機チャンバ内を減圧雰囲気下にした状態で、前記2つの被接合物それぞれの互いに接合される少なくとも一方の接合面を60℃よりも高い温度に加熱する第1被接合物加熱部と、
前記2つの被接合物それぞれの前記接合面を活性化する活性化処理を行う活性化処理部と、
前記ステージと前記ヘッドとの少なくとも一方を、前記ステージと前記ヘッドとが互いに近づく第1方向または前記ステージと前記ヘッドとが離れる第2方向へ移動させる駆動部と、
前記チャンバ内における、前記ステージと前記ヘッドとの少なくとも一方の周囲に配置されたカバーと、
前記カバーを加熱するカバー加熱部と、
前記第1被接合物加熱部、前記活性化処理部および前記駆動部それぞれの動作を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記カバー加熱部が、前記活性化処理を行う前に、前記チャンバ内を減圧雰囲気にした状態で前記カバーを加熱した後、減圧雰囲気で維持した状態で、前記2つの被接合物が離間した状態で、前記第1被接合物加熱部を制御して前記2つの被接合物それぞれの前記接合面の少なくとも一方を60℃よりも高い温度に加熱した後、減圧雰囲気で維持した状態で、前記活性化処理部を制御して前記接合面に対して前記活性化処理を行い、その後、減圧雰囲気で維持した状態で、前記駆動部を制御して前記ステージと前記ヘッドとの少なくとも一方を前記第1方向へ移動させることにより前記2つの被接合物を接合する、
接合装置。 - 前記カバーは、ガラスから板状に形成され、前記ステージと前記ヘッドとの少なくとも一方の周囲における前記活性化処理において活性化される活性化処理領域を含む形で配置され、
前記カバー加熱部は、前記チャンバの内壁を加熱するチャンバ加熱工程が行われる際に、前記カバーを加熱する、
請求項33に記載の接合装置。 - 前記カバー加熱部は、前記カバーを、前記チャンバ加熱工程において加熱された前記チャンバの内壁の温度よりも高い温度に加熱する、
請求項34に記載の接合装置。 - 2つの被接合物を接合する接合システムであって、
前記2つの被接合物の少なくとも一方の接合面を少なくとも水を使用して親水化する親水化処理装置と、
チャンバと、前記チャンバまたは前記チャンバに連結された待機チャンバ内を減圧雰囲気下にした状態で、前記2つの被接合物それぞれの互いに接合される接合面の少なくとも一方を60℃よりも高い温度に加熱する第1被接合物加熱部と、前記チャンバ内に配置され、前記2つの被接合物のうちのいずれか一方を支持するステージと、前記チャンバ内において前記ステージに対向して配置され、前記2つの被接合物のうちの他方を支持するヘッドと、前記ステージと前記ヘッドとの少なくとも一方を、前記ステージと前記ヘッドとが互いに近づく第1方向または前記ステージと前記ヘッドとが離れる第2方向へ移動させる駆動部と、を有する接合装置と、
前記チャンバ内における、前記ステージと前記ヘッドとの少なくとも一方の周囲に配置されたカバーと、
前記カバーを加熱するカバー加熱部と、
前記第1被接合物加熱部および前記駆動部それぞれの動作を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記カバー加熱部が、前記接合面を親水化する親水化処理を行う前に、前記チャンバ内を減圧雰囲気にした状態で前記カバーを加熱した後、減圧雰囲気において、前記第1被接合物加熱部を制御して、前記2つの被接合物それぞれの前記接合面の少なくとも一方を60℃よりも高い温度に加熱し、その後、減圧雰囲気で維持した状態で、前記駆動部を制御して前記ステージと前記ヘッドとの少なくとも一方を前記第1方向へ移動させることにより前記2つの被接合物を接合する、
接合システム。 - 前記2つの被接合物の少なくとも一方に前記接合面に少なくとも水を使用して洗浄する洗浄装置を更に備え、
前記制御部は、前記洗浄装置を制御して前記接合面を洗浄した後、減圧雰囲気において前記2つの被接合物が離間した状態で、前記第1被接合物加熱部を制御して、前記2つの被接合物それぞれの前記接合面を60℃よりも高い温度に加熱する、
請求項36に記載の接合システム。 - 2つの被接合物を接合する接合システムであって、
前記2つの被接合物の少なくとも一方の接合面を少なくとも水を使用して親水化する親水化処理装置と、
チャンバと、前記チャンバまたは前記チャンバに連結された待機チャンバ内を減圧雰囲気下にした状態で、前記2つの被接合物それぞれの互いに接合される接合面の少なくとも一方を60℃よりも高い温度に加熱する第1被接合物加熱部と、前記チャンバ内に配置され、前記2つの被接合物のうちのいずれか一方を支持するステージと、前記チャンバ内において前記ステージに対向して配置され、前記2つの被接合物のうちの他方を支持するヘッドと、前記ステージと前記ヘッドとの少なくとも一方を、前記ステージと前記ヘッドとが互いに近づく第1方向または前記ステージと前記ヘッドとが離れる第2方向へ移動させる駆動部と、を有する接合装置と、
前記チャンバの外側に設けられた待機チャンバと、
前記待機チャンバ内に配置され前記2つの被接合物の少なくとも一方を保持する保持機構と、
前記第1被接合物加熱部および前記駆動部それぞれの動作を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、減圧雰囲気において、前記第1被接合物加熱部を制御して、前記2つの被接合物それぞれの前記接合面の少なくとも一方を60℃よりも高い温度に加熱し、その後、減圧雰囲気で維持した状態で、前記駆動部を制御して前記ステージと前記ヘッドとの少なくとも一方を前記第1方向へ移動させることにより前記2つの被接合物を接合し、
前記保持機構は、
鉛直方向に並んで配置された複数のスロットを有するカセットと、
前記カセットを昇降させる昇降駆動部と、を有し、
前記複数のスロットのうちの最も鉛直下側に位置するスロットと最も鉛直上側に位置するスロットとに、接合される前の前記2つの被接合物の少なくとも1つが保持され、前記複数のスロットのうちの最も鉛直下側に位置するスロットと最も鉛直上側に位置するスロットとを除くスロットに互いに接合された前記2つの被接合物が保持される、
接合システム。 - 2つの被接合物を接合する接合方法であって、
前記2つの被接合物の少なくとも一方にイオン注入するイオン注入工程と、
前記イオン注入工程の後、10-2Pa以下の減圧雰囲気下において前記2つの被接合物それぞれの互いに接合される接合面を60℃以上且つ150℃未満の温度に加熱することにより前記被接合物の接合面および前記被接合物内部の接合面側に存在する水分を除去する熱処理工程と、
前記熱処理工程の後、減圧雰囲気を維持した状態で、前記2つの被接合物それぞれの前記接合面を活性化する活性化処理工程と、
前記熱処理工程の後、減圧雰囲気であり且つ前記2つの被接合物それぞれの前記接合面から水分が除去された状態を維持しつつ、前記2つの被接合物を接合する接合工程と、
前記接合工程の後、接合された前記2つの被接合物を210℃以上且つ300℃未満の温度に加熱する追加熱処理工程と、を含む、
接合方法。 - 前記熱処理工程と前記追加熱処理工程とを異なる場所で行い、前記熱処理工程を行う場所から前記追加熱処理工程を行う場所まで搬送する際、前記2つの被接合物を50℃以上の温度で維持する、
請求項39に記載の接合方法。 - 前記2つの被接合物の少なくとも一方は、タンタル酸リチウム(Lt:LiTaO3)またはニオブ酸リチウム基板(Ln:LiNbO3)である、
請求項39または40に記載の接合方法。 - 前記追加熱処理工程の後にイオン注入された基板を厚さ10μm以内の薄膜を残して剥離された接合物は、弾性波デバイスまたは光変調器である、
請求項39から41のいずれか1項に記載の接合方法。 - 2つの被接合物を接合する接合システムであって、
減圧雰囲気下において、少なくとも一方にイオン注入された前記2つの被接合物それぞれの互いに接合される接合面を加熱する第1熱処理装置と、
前記2つの被接合物の少なくとも一方の接合面を活性化する活性化処理装置と、
チャンバと、前記チャンバ内に配置され、前記2つの被接合物のうちのいずれか一方を支持するステージと、前記チャンバ内において前記ステージに対向して配置され、前記2つの被接合物のうちの他方を支持するヘッドと、前記ステージと前記ヘッドとの少なくとも一方を、前記ステージと前記ヘッドとが互いに近づく第1方向または前記ステージと前記ヘッドとが離れる第2方向へ移動させる駆動部と、を有する接合装置と、
前記2つの被接合物を加熱する第2熱処理装置と、
前記第1熱処理装置、前記活性化処理装置、前記駆動部および前記第2熱処理装置それぞれの動作を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記第1熱処理装置を制御して、10-2Pa以下の減圧雰囲気下において、少なくとも一方にイオン注入された前記2つの被接合物それぞれの互いに接合される接合面を60℃以上且つ150℃未満の温度に加熱することにより前記被接合物の接合面および前記被接合物内部の接合面側に存在する水分を除去し、その後、前記活性化処理装置を制御して、減圧雰囲気を維持した状態で、前記2つの被接合物それぞれの前記接合面を活性化した後、減圧雰囲気であり且つ前記2つの被接合物それぞれの前記接合面から水分が除去された状態を維持しつつ、前記駆動部を制御して前記ステージと前記ヘッドとの少なくとも一方を前記第1方向へ移動させることにより前記2つの被接合物を接合し、その後、前記第2熱処理装置を制御して、互いに接合された前記2つの被接合物を210℃以上且つ300℃未満の温度に加熱する、
接合システム。 - 前記第1熱処理装置で前記2つの被接合物に対する少なくとも一方に対して熱処理を行った後、前記第2熱処理装置において接合された前記2つの被接合物に対する熱処理を行うまでの間において、前記第1熱処理装置、前記活性化処理装置、前記接合装置および前記第2熱処理装置のいずれかの間で接合された前記2つの被接合物を搬送する搬送装置を更に備え、
前記搬送装置は、接合された前記2つの被接合物の少なくとも一方を搬送する際、搬送する前記2つの被接合物の少なくとも一方を50℃以上の温度で維持する、
請求項43に記載の接合システム。 - 前記2つの被接合物の少なくとも一方は、タンタル酸リチウム(Lt:LiTaO3)またはニオブ酸リチウム基板(Ln:LiNbO3)である、
請求項43または44に記載の接合システム。 - 前記第2熱処理装置による熱処理を行った後にイオン注入された基板を厚さ10μm以内の薄膜を残して剥離された接合物は、弾性波デバイスまたは光変調器である、
請求項43から45のいずれか1項に記載の接合システム。
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