JP7458555B2 - Ｘ線検査装置及びｘ線検査システム - Google Patents

Description

本開示は、Ｘ線検査装置及びＸ線検査システムに関し、より詳細には、被検査体を多方向に回転させることで、１つのＸ線チューブを使用し、複数の被検査体を効果的に検査することができるＸ線検査装置、及びそれを含むＸ線検査システムに関する。

Ｘ線（Ｘ－Ｒａｙ）（レントゲン）とは、波長が原子サイズほどに小さくて結晶ごとに固有の回折模様を形成し、エネルギが大きいため、物質に対する蛍光作用が強く物質を容易に透過することができ、物質をイオン化させる特徴がある。このようなＸ線は、透過の際は、物質の密度や原子によって透過率が変わり、蛍光体に衝突するエネルギが異なってくる。

この原理を用いたＸ線検査装置は、生体の内部を撮影する医療用のＸ線検査装置と、一般の産業分野に活用される非破壊検査のための産業用のＸ線検査装置などに区分される。

特に、産業分野においては、二次電池のような被検査体を生産する場合、被検査体の良品検査のためにＸ線検査装置が主に利用されている。この場合、二次電池の生産ラインにＸ線検査装置を適用するためには、生産ラインの生産速度よりＸ線検査装置の検査速度が速いか同じくらいに等しくなければならない。

従来は、二次電池を検査するために、複数のＸ線チューブを順次に使用し、二次電池の各部分に対する３次元検査画像を撮影していた。ただ、複数のＸ線チューブを使用するとなると、検査画像を撮影するための時間がかかりすぎるだけでなく、Ｘ線検査システムの構造全体が複雑になるという問題があった。

そこで、本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的とするところは、１つのＸ線チューブを使用する一方で、複数の被検査体に対して検査が必要なエリアを同時に検査位置に配置して検査することで、検査時間を短縮し、構造を単純化して全サイズを小さくすることができるＸ線検査装置及びＸ線検査システムを提供することにある。

本開示の一実施例に係るＸ線検査装置は、Ｘ線チューブと、前記Ｘ線チューブに対向するように配置されるディテクタと、少なくとも２つの被検査体を同時にＸ線検査するために、前記少なくとも２つの被検査体を前記Ｘ線チューブと前記ディテクタとの間の検査位置に移送する移送装置とを含む。

この場合、前記移送装置は、第１の移送装置及び第２の移送装置を含み、前記第１及び第２の移送装置は、それぞれ少なくとも１つの被検査体を前記検査位置に同時に移送してよい。

一方、前記移送装置は、前記少なくとも２つの被検査体を同時に回転させるための回転部材を更に含んでよい。

この場合、前記回転部材は、前記検査位置に前記被検査体の角のいずれか１つ、又は側面のいずれか１つが配置されるように、前記被検査体を回転させてよい。

一方、前記移送装置は、被検査体を前記Ｘ線チューブのＸ線放射経路に垂直した移送方向に移送可能であり、前記放射経路を軸に回転可能であり、前記放射経路及び前記移送方向に垂直した水平方向を軸に回転可能であってよい。

この場合、前記移送装置は、被検査体を前記放射経路を軸に回転させる第１の回転部材と、前記被検査体と前記第１の回転部材とを前記水平方向を軸に回転させる第２の回転部材と、前記被検査体、前記第１の回転部材及び前記第２の回転部材を前記移送方向に移送する移送部材とを含んでよい。

この場合、前記移送装置は、前記被検査体、前記第１の回転部材及び第２の回転部材を前記水平方向に移動させる水平移動部材を更に含んでよい。

一方、前記移送装置は、被検査体を前記移送装置に固定させる固定部材を更に含んでよい。

一方、前記Ｘ線検査装置は、少なくとも１つの被検査体を収容するキャリアを更に含み、前記移送装置は、前記キャリアを前記検査位置に移送してよい。

この場合、前記Ｘ線検査装置は、前記キャリアに複数の被検査体が収容される場合、各被検査体の間に配置されるスペーサを更に含んでよい。

一方、前記移送装置は、前記少なくとも２つの被検査体を把持し、複数の関節を通して前記少なくとも２つの被検査体を回転させる多関節ロボットで実現されてよい。

この場合、前記移送装置は、ベースと、複数のリンクと、前記少なくとも２つの被検査体を把持するための手首部と、前記ベース、前記複数のリンク及び前記手首部を順次に接続し、前記複数のリンク及び前記手首部がそれぞれ回転できるように接続する複数の関節とを含んでよい。

この場合、前記手首部は、少なくとも１つの被検査体を把持するためのグリッパを含んでよい。

一方、前記移送装置は、第１の移送装置、第２の移送装置、及び第３の移送装置を含み、前記第１ないし第３の移送装置は、それぞれ少なくとも１つの被検査体を前記検査位置に移送してよい。

一方、前記ディテクタは、第１のディテクタ及び第２のディテクタを含み、前記移送装置は、前記Ｘ線チューブと前記第１のディテクタとの間の第１検査位置、及び前記Ｘ線チューブと前記第２のディテクタとの間の第２の検査位置に被検査体をそれぞれ移送してよい。

一方、本開示の一実施例に係るＸ線検査システムは、Ｘ線チューブと、前記Ｘ線チューブに対向するように配置されるディテクタと、それぞれ少なくとも１つの被検査体を収容可能な少なくとも２つのキャリアと、前記キャリアに前記被検査体を積載する積載装置と、前記少なくとも２つのキャリア及び被検査体を前記Ｘ線チューブと前記ディテクタとの間の検査位置に移送する移送装置と、前記キャリアで検査完了した被検査体が分離された後、前記キャリアを被検査体の積載される初期位置に回収するキャリア回収装置とを含み、前記移送装置は、少なくとも２つのキャリアにそれぞれ収容された被検査体を同時にＸ線検査するために、前記少なくとも２つのキャリアを前記Ｘ線チューブと前記ディテクタとの間の検査位置に移送する。

この場合、前記移送装置は、第１の移送装置及び第２の移送装置を含み、前記第１及び第２の移送装置は、それぞれ少なくとも１つの被検査体を前記検査位置に同時に移送してよい。

一方、前記移送装置は、前記少なくとも２つのキャリアを同時に回転させるための回転部材を更に含んでよい。

一方、前記Ｘ線検査システムは、被検査体の収容されたキャリアを前記移送装置に積載する第１の運搬装置と、被検査体のＸ線検査結果に基づいて、被検査体を分類する分類装置と、検査完了した被検査体を収容する前記キャリアを前記移送装置から前記分類装置に移動させる第２の運搬装置とを含んでよい。

この場合、前記分類装置は、検査完了した被検査体の分離されたキャリアを前記キャリア回収装置に取り出してよい。

一方、前記ディテクタは、被検査体に対するＸ線検査画像を生成し、前記分類装置は、前記被検査体に対して生成された前記Ｘ線検査画像を基にし、前記被検査体をＸ線検査結果に対応するラインに分類して取り出してよい。

この場合、前記Ｘ線検査システムは、良品分類ライン及び不良品分類ラインを更に含み、前記分類装置は、前記Ｘ線検査画像を基にし、良品に識別された被検査体を前記良品分類ラインに配置し、不良品に識別された被検査体を前記不良品分類ラインに配置してよい。

一方、前記Ｘ線検査システムは、前記キャリアに複数の被検査体が収容される場合、各被検査体との間に配置されるスペーサと、前記スペーサを回収するスペーサ回収装置とを含み、前記分類装置は、前記キャリアに積載されたスペーサを前記スペーサ回収装置に取り出し、前記スペーサ回収装置は、キャリアにスペーサの積載される位置に前記スペーサを回収してよい。

本開示の一実施例に係るＸ線検査システムを概略に示す斜視図である。 本開示の一実施例に係る積載装置を説明するための斜視図である。 本開示の一実施例に係る積載装置の動作を説明するための斜視図である。 本開示の一実施例に係るキャリアに被検査体及びスペーサが収容される構成を説明するための図である。 本開示の一実施例に係るキャリアに被検査体のみが収容される構成を説明するための図である。 本開示の一実施例に係る第１の運搬装置の動作を説明するための斜視図である。 本開示の一実施例に係る第１の運搬装置の動作を説明するための斜視図である。 本開示の一実施例に係る第１の運搬装置の動作を説明するための斜視図である。 本開示の一実施例に係るＸ線検査装置を概略に示す斜視図である。 本開示の一実施例に係る移送装置を説明するための斜視図である。 本開示の一実施例に係る移送装置の動作を説明するための図である。 本開示の一実施例に係る移送装置の動作を説明するための図である。 本開示の一実施例に係る移送装置の動作を説明するための図である。 本開示の一実施例に係るＸ線検査装置の二次電池の検査動作を説明するための図である。 本開示の一実施例に係るＸ線検査装置の二次電池の検査動作を説明するための図である。 本開示の一実施例に係る複数のディテクタを含むＸ線検査装置の検査動作を説明するための図である。 本開示の一実施例に係るＸ線検査装置の検査動作を説明するための図である。 本開示の一実施例に係るＸ線検査装置の検査方法の中の面検査方法を説明するための側面図である。 本開示の一実施例に係るＸ線検査装置の検査方法の中のライン検査方法を説明するための側面図である。 本開示の一実施例に係るＸ線検査装置の二次電池の検査動作を説明するための図である。 本開示の一実施例に係るＸ線検査装置の二次電池の検査動作を説明するための図である。 本開示の一実施例に係る第２の運搬装置の動作を説明するための斜視図である。 本開示の一実施例に係る第２の運搬装置の動作を説明するための斜視図である。 本開示の一実施例に係る分類装置の動作を説明するための斜視図である。 本開示の別の実施例に係る移送装置を説明するための図である。 本開示の別の実施例に係る移送装置を含むＸ線検査装置の検査動作を説明するための図である。 本開示の別の実施例に係るＸ線検査システムを示す斜視図である。

以下で説明される実施例は、本開示の理解を促すために、例示的に示すものであり、本開示は、ここで説明される実施例と違って、多様に変形されて実施され得ることが理解されるべきである。ただ、以下において、本開示を説明するうえで、関連する公知機能或いは構成要素に対する具体的な説明が、本開示の要旨を不要に曖昧にすると判断される場合、その詳細な説明及び具体的な図示を省略する。なお、添付図面は、開示の理解を促すために、実際の寸法通りに示されたものではなく、一部の構成要素の寸法が拡張されて示されてよい。

本明細書及び請求範囲で使用される用語は、本開示の機能を考慮して通常の用語を選択している。しかし、このような用語は、当分野に携わる技術者の意図や法律的或いは技術的解釈、及び新たな技術の登場などによって変わることがある。なお、一部の用語は、出願人の任意に選定した用語もある。このような用語に対しては、本明細書で定義された意味として解釈されてよく、具体的な用語の定義が定められていなければ、本明細書の内容の全般及び当該技術分野の通常の技術常識を基に解釈されてよい。

本開示の説明において、各段階の順番は、先行段階が論理的及び時間的に必ずしも後行段階の前に行われなければならない場合を除いては、各段階の順番は非制限的に理解されるべきである。即ち、上記のような例外的な場合を除いては、後行段階として説明された過程が先行段階として説明された過程より前に行われるとしても、開示の本質には影響がなく、権利範囲も段階の順番によらず定義されるべきである。

本明細書において、「有する」、「有してよい」、「含む」、又は「含んでよい」などの表現は、当該特徴（例：数値、機能、動作又は部品などの構成要素）の存在を指し、更なる特徴を排除しない。

第１、第２などの用語は、多様な構成要素を説明するのに使用されてよいが、前記構成要素は、前記用語によって限定されるべきではない。前記用語は、１つの構成要素を別の構成要素から区別する目的として使用されてよい。例えば、本開示の権利範囲を逸脱しないと同時に、第１の構成要素は第２の構成要素と称されてよく、同様に、第２の構成要素も第１の構成要素と称されてよい。

なお、本開示で使用している「正面」、「背面」、「上面」、「下面」、「側面」、「左側」、「右側」、「上部」、「下部」などの用語は、図面を基準に定義しているものであり、この用語によって各構成要素の形状及び位置が限定されるわけではない。

そして、本明細書では、本開示の各実施例の説明に必要な構成要素を説明するものであるため、必ずしもそれに限るものではない。よって、一部の構成要素は、変形又は省略されてよく、別の構成要素が追加されてよい。なお、相互異なる独立した装置に分散されて配置されてよい。

更に、以下の添付図面及び添付図面に記載された内容を参照し、本開示の実施例について詳細に説明しているが、本開示が実施例によって制限されたり限定されるわけではない。

以下、図１ないし図２７を参照し、本開示を詳細に説明する。

図１は、本開示の一実施例に係るＸ線検査システムを概略に示す斜視図である。

Ｘ線検査システム１は、被検査体に対する非破壊検査を行うために、被検査体を検査位置まで移送し、被検査体に対するＸ線検査を行い、検査結果に基づいて良品及び不良品を分類する一連の動作を行えるシステムである。

図１を参照すると、本開示の一実施例に係るＸ線検査システム１は、Ｘ線チューブ１１（図９を参照）、ディテクタ１２（図９を参照）及び移送装置１００を含むＸ線検査装置１０、外部から被検査体を供給する供給ライン４１、供給された被検査体をキャリア１５０に積載する積載装置４０、被検査体を収容するキャリア１５０を移送装置１００に伝達する第１の運搬装置２０、Ｘ線検査が完了した被検査体を移送装置１００から分類装置５０に移送させる第２の運搬装置３０、Ｘ検査が完了した被検査体を分類する分類装置５０、良品に分類される被検査体が取り出される良品分類ライン６０、不良品に分類される被検査体が取り出される不良品分類ライン７０、キャリア１５０及びスペーサ１５４がＸ線検査システム１内で循環するように移動させるキャリア回収装置８０及びスペーサ回収装置９０を含んでよい。

供給ライン４１、第１の運搬装置２０、第２の運搬装置３０、良品分類ライン６０、不良品分類ライン７０、キャリア回収装置８０及びスペーサ回収装置９０のように、物流を移送する構成は、コンベアシステム、Ｌｉｎｅａｒ Ｍｏｔｉｏｎ Ｓｙｓｔｅｍ（ＬＭＳ）、Ｍａｇｎｅｔ ｍｏｔｉｏｎ、Ｍｕｌｔｉ Ｃａｒｒｉｅｒ Ｓｙｓｔｅｍ（ＭＣＳ）又はその他のＬｉｎｅａｒ ａｃｔｕａｔｏｒなどで実現されてよい。

移送装置１００は、被検査体をＸ線チューブ１１のＸ線放射経路に配置されるように移送し、被検査体を複数の方向に回転させることができる装置として、このような動作により、Ｘ線検査装置１０は、被検査体に対する３次元検査画像を生成してよい。移送装置１００を含むＸ線検査装置１０に対する詳細な説明は、図８ないし図１３を参照して後述する。

以下、図２ないし図２１を参照し、本開示の多様な実施例に係るＸ線検査システム１に含まれるそれぞれの構成について詳細に説明する。

図２及び図３は、本開示の一実施例に係る積載装置４０の動作を説明するための斜視図である。

積載装置４０は、キャリア１５０に被検査体１８０及びスペーサ１５４を積載するための装置である。

図２を参照すると、積載装置４０は、供給ライン４１を介して外部から供給された被検査体１８０をキャリア１５０に積載するために移動させてよい。例えば、供給ライン４１は、被検査体生産ラインと接続され、被検査体生産ラインで生産された被検査体１８０をＸ線検査システム１に供給してよい。

積載装置４０は、被検査体１８０を握って移動させることができるグリッパ４２を含んでよい。例えば、積載装置４０は、グリッパ４２から突出形成された複数の突出部４３を介して被検査体１８０の側面に圧力をかける方式で、被検査体１８０をグリッパ４２に固定させて持ち上げたり、位置を移動させてよい。

ただ、積載装置４０の構造はそれに限定されるわけではなく、被検査体１８０を移動させることができる多様な構造で実現されてよい。

図３を参照すると、積載装置４０は、グリッパ４２を駆動し、供給ライン４１及びスペーサ回収装置９０に隣接配置されたキャリア１５０に被検査体１８０及びスペーサ１５４を積載してよい。

この場合、被検査体１８０及びスペーサ１５４を積載するためのキャリア１５０は、キャリア回収装置８０から供給されてよい。図３に示していないものの、キャリア回収装置８０と積載装置４０との間には、キャリア１５０を移動させるための構成が配置されてよい。例えば、キャリア回収装置８０と積載装置４０との間には、ディバータコンベアが配置されたり、Ｌｉｎｅａｒ Ｍｏｔｉｏｎ Ｓｙｓｔｅｍ（ＬＭＳ）、Ｍａｇｎｅｔ ｍｏｔｉｏｎ、Ｍｕｌｔｉ Ｃａｒｒｉｅｒ Ｓｙｓｔｅｍ（ＭＣＳ）又はその他のＬｉｎｅａｒ ａｃｔｕａｔｏｒなどを介して、キャリア１５０を移動させてよい。それにより、積載装置４０が被検査体１８０及びスペーサ１５４を積載する位置にキャリア１５０が移動されてよい。

一方、キャリア１５０は、積載位置に２列に配列されるように配置されてよい。この場合、積載装置４０は、それぞれのキャリア１５０に被検査体１８０及びスペーサ１５４を積載してよい。

キャリア回収装置８０及びスペーサ回収装置９０が、キャリア１５０及びスペーサ１５４を回収し、Ｘ線検査システム１内で循環させる動作に関する詳細な説明は、図１９を参照して後述する。

積載装置４０は、供給ライン４１から被検査体１８０を取り出してキャリア１５０に積載してよく、スペーサ回収装置９０からスペーサ１５４を取り出してキャリア１５０に積載してよい。

以下、図４を参照し、積載装置４００によってキャリア１５０に被検査体１８０及びスペーサ１５４が積載される構造について説明する。

図４は、本開示の一実施例に係るキャリアに被検査体及びスペーサが収容される構成を説明するための図である。

キャリア１５０は、少なくとも１つの被検査体１８１、１８２及びスペーサ１５４が配置され得るスペースである収容部１５３及び少なくとも１つの溝１５２を含む外壁１５１を含んでよい。

キャリア１５０には、複数の被検査体１８１、１８２が積載されてよい。この場合、各被検査体１８１、１８２の間には、複数の被検査体１８１、１８２を区分するためのスペーサ１５４が配置されてよい。被検査体１８１、１８２の間にスペーサ１５４が配置されることで、複数の被検査体１８１、１８２に対して獲得したＸ線検査画像からそれぞれの被検査体１８１、１８２に対する画像を区分してよい。

この場合、積載装置４０は、キャリア１５０に第１の被検査体１８２を積載してからスペーサ１５４を積載し、その上に第２の被検査体１８１を順次に積載する方式で、キャリア１５０に被検査体１８１、１８２及びスペーサ１５４を積載してよい。

スペーサ１５４は、移送装置１００から分離されてよく、Ｘ線検査システム１を循環して再使用されてよい。

ただ、それぞれの被検査体１８１、１８２に対する画像区分のために、スペーサ１５４が必須な構成に該当するわけではなく、スペーサ１５４を使用しない場合、Ｘ線検査装置１０は、Ｘ線検査画像に示された形状を通じてそれぞれの被検査体を識別したり、Ｘ線検査画像に示された形状のサイズを通じて電極数を算出し、それぞれの被検査体を分離して認識することができる。この場合、図５に示すように、キャリア１５０には、複数の被検査体１８１、１８２、１８３が順次に積載されてよい。それにより、スペーサ１５４を使用する場合に比べて、より多くの被検査体をキャリア１５０に積載することができる。

一方、図４では、キャリア１５０に２つの被検査体１８１、１８２及び１つのスペーサ１５４が収容されるものとして示しているが、キャリア１５０に積載される被検査体及びスペーサ１５４の数は、それに限らない。

例えば、３つ以上の被検査体がキャリア１５０に収容されてよく、それぞれの被検査体の間にスペーサ１５４が配置されてよい。

一方、キャリア１５０の収容部１５３の長さ（Ｌ）及び幅（Ｗ）は、キャリア１５０に収容される被検査体の種類に応じて、変更可能であってよい。この場合、検査を行おうとする被検査体のサイズに対応する長さ（Ｌ）及び幅（Ｗ）を有するキャリア１５０をＸ線検査システム１に適用することで、同じＸ線検査システム１を使用して多様な種類の被検査体に対するＸ線検査を行うことができる。

なお、キャリア１５０は、側壁１５１の配置が変更可能な構造であってよい。この場合、キャリア１５０の側壁１５１の配置を変更し、収容部１５３の長さ（Ｌ）及び幅（Ｗ）を変更することで、多様な種類の被検査体を収容することができる。

以下、図６ないし図８を参照し、被検査体１８０及びスペーサ１５４が積載されたキャリア１５０を移送装置１００に積載する第１の運搬装置２０について説明する。

図６ないし図８は、本開示の一実施例に係る第１の運搬装置２０の動作を説明するための斜視図である。

図６を参照すると、第１の運搬装置２０は、積載装置４０によって被検査体の積載されたキャリア１５０、２５０を移送装置１００、２００に移動させ、移送装置１００、２００にキャリア１５０、２５０を積載してよい。

例えば、図７を参照すると、第１の運搬装置２０は上部にキャリア１５０、２５０を積載した状態で＋Ｘ軸方向に移動し、移送装置１００、２００に積載してよい。

この場合、第１の運搬装置２０は、２列に配列された２つのキャリア１５０、２５０を同時に運搬してよく、それぞれのキャリア１５０、２５０を第１の移送装置１００及び第２の移送装置２００にそれぞれ積載してよい。

一方、図８を参照すると、第１の運搬装置２０は移送装置１００、２００にキャリアを積載した後、－Ｘ軸方向に移動し、次の順番で運搬するキャリア１５０、２５０が積載されてよい。

一方、先に第１の運搬装置２０は被検査体１８０及びスペーサ１５４の積載された状態のキャリア１５０を移動させるものとして説明したが、それに限らずに、第１の運搬装置２０はキャリア１５０なしに被検査体１８０を直接運搬し、移送装置１００、２００に積載する形態で実現されてよい。

図９は、本開示の一実施例に係るＸ線検査装置を概略に示す斜視図である。

図９を参照すると、Ｘ線検査装置１０は、Ｘ線チューブ１１、ディテクタ１２及び移送装置１００、２００を含んでよい。

Ｘ線検査装置１０は、Ｘ線が物体を透過する性質を用いて、被検査体の内部状態を検査する装置である。Ｘ線検査装置１０によって検査される被検査体は、二次電池のような電子部品であってよいが、それに限らない。

図９を参照すると、Ｘ線チューブ１１は、予め設定された方向にＸ線を放射してよく、ディテクタ１２は、Ｘ線チューブ１１に対向するように配置されてよい。例えば、Ｘ線チューブ１１は、＋Ｚ軸方向にＸ線を放射してよく、ディテクタ１２は、Ｘ線チューブ１１の上部に配置されてＸ線チューブ１１から放射されたＸ線を受信してよい。ただ、Ｘ線チューブ１１の配置及びＸ線放射方向はそれに限らず、多方向にＸ線を放射してよく、Ｘ線チューブ１１の位置が移動されたり、Ｘ線放射方向を調節してよい。

移送装置１００、２００は、被検査体１８０、２８０がＸ線チューブ１１のＸ線放射経路に配置されるように被検査体１８０、２８０を移送してよい。

移送装置１００、２００は、第１の移送装置１００及び第２の移送装置２００を含んでよい。第１の移送装置１００と第２の移送装置２００とは、それぞれ少なくとも１つの被検査体が配置されるステージ１１０、１２０を移送し、第１の移送装置１００及び第２の移送装置２００のそれぞれによるステージ１１０、１２０の移送は同時に行われてよい。

それにより、１つのＸ線チューブ１１で複数の被検査体に対する検査を同時に行うことができる。

第１の移送装置１００と第２の移送装置とは対称的に配置されて相互平行に移動してよい。第１の移送装置１００と第２の移送装置２００とは、同様の構造を有してよい。

移送装置１００、２００は、被検査体１８０、２８０の配置されるステージ１１０、２１０と、ステージ１１０、２１０に接続される移送部材１４０、２４０及び移送ライン１７０、２７０を含んでよい。

図９を参照すると、移送ライン１７０、２７０は、Ｘ軸方向に沿って配置されてよい。移送部材１４０、２４０は、それぞれの移送ライン１７０、２７０に沿って移動できるように移送ライン１７０、２７０に接続されてよい。

この場合、移送部材１４０、２４０は、被検査体１８０、２８０の配置されるステージ１１０、２１０に接続されてよい。それにより、移送部材１４０、２４０は、ステージ１１０、２１０を＋Ｘ軸方向に移送し、ステージ１１０、２１０に配置された被検査体１８０、２８０がＸ線チューブ１１のＸ線放射経路に配置されるように移送してよい。

移送装置１００、２００のステージ１１０、２１０の移送動作に対する詳細な設恵美は、図１１ないし図１３を参照して後述する。

一方、移送装置１００、２００は、ステージ１１０、２１０に配置される被検査体１８０、２８０をＸ線チューブ１１のＸ線放射経路と平行した方向を軸に回転させる第１の回転部材１２０、２２０と、Ｘ線放射経路及びステージ１１０、２１０の移送方向に垂直した水平方向を軸に回転させる第２の回転部材１３０、２３０とを含んでよい。

第１の回転部材１２０、２２０は、ステージ１１０、２１０上に配置されてよい。被検査体１８０、２８０は、第１の回転部材１２０、２２０上に配置され、第１の回転部材１２０、２２０の回転によって回転してよい。

例えば、図８を参照すると、第１の回転部材１２０、２２０は、Ｚ軸方向を軸に回転してよい。それにより、被検査体１８０、２８０は、角のいずれか１つがＸ線チューブ１１のＸ線放射経路に配置されるように回転してよい。

ただ、ステージ１１０、２１０と、第１の回転部材１２０、２２０及び被検査体１８０、２８０の配置がそれに限られるわけではなく、ステージ上に被検査体が配置され、第１の回転部材によって被検査体及び被検査体の配置されるステージの一部を回転させる形態で実現されてよい。

第２の回転部材１３０、２３０は、Ｘ線放射経路及びステージ１１０、２１０の移送方向に垂直した水平方向を軸として回転してよい。

例えば、図８を参照すると、第２の回転部材１３０、２３０は、ステージ１１０、２１０の側面に接続され、ステージ１１０、２１０と、ステージ１１０、２１０上に配置される第１の回転部材１２０、２２０、及び被検査体１８０、２８０をＹ軸方向を軸に回転させてよい。

この場合、第２の回転部材１３０、２３０は、Ｙ軸方向を軸に一定の角度以上３６０度以上に回転してよい。例えば、第２の回転部材１３０、２３０は、１８０度以上回転してよく、検査画像を獲得できるなら、１８０度より小さい角度で回転してよい。更に、高い品質の３次元検査画像を獲得するために、第２の回転部材１３０、２３０は３６０度以上、好適には３７０度前後の角度で回転してよい。それにより、ディテクタ１２は被検査体を多方向に透過したＸ線検査画像を獲得し、３次元検査画像を生成してよい。

第１の回転部材１２０、２２０及び第２の回転部材１３０、２３０の回転動作と、それによる検査画像生成に関連する詳細な説明は、後述する。

図１０は、本開示の一実施例に係る移送装置を説明するための斜視図である。

以下では、説明の便宜上、第１の移送装置１００の構造を例えて説明する。第１の移送装置１００に対する説明は、第２の移送装置２００にも適用されてよい。

移送装置１００は、ステージ１１０、第１の回転部材１２０、第２の回転部材１３０、移送部材１４０、キャリア１５０及び固定部材１６０を含んでよい。

図１０を参照すると、ステージ１１０は、側面プレート１１２、側面プレート１１２の下段に水平方向に伸長形成された下部プレート１１１、及び側面プレート１１２の上段に水平方向に伸長形成された上部プレート１１３を含んでよい。

第１の回転部材１２０は、ステージ１１０の下部プレート１１１上に回転できるように配置されてよい。

被検査体１８０は、第１の回転部材１２０上に配置されてよい。この場合、被検査体１８０は、被検査体１８０を収容するための空間を有するキャリア１５０に収容された状態で、第１の回転部材１２０上に配置されてよい。

キャリア１５０は、移送装置１００から分離されてよく、Ｘ線検査システム１を循環して再使用されてよい。キャリア１５０は、少なくとも１つの被検査体１８０を収容すると同時に、第１の運搬装置２０を介して移送装置１００に積載される方式で被検査体１８０が移送装置１００によって移送されるようにしてよい。

固定部材１６０は、被検査体１８０の上部に接触するように配置されてよく、上下に移動できる構造であってよい。例えば、固定部材１６０は、ステージ１１０の上部プレート１１３に接続され、下部プレート１１１及び第１の回転部材１２０上に配置される被検査体１８０の上部に接触するように配置されてよい。この場合、固定部材１６０は、被検査体１８０がステージ１１０に配置された後、被検査体１８０の上部に接触するように移動し、被検査体１８０をステージ１１０に固定させてよい。

それにより、ステージ１１０が第１の回転部材１２０及び第２の回転部材１３０によって回転するか、移送部材１４０によって移送される間、被検査体１８０がステージ１１０上に配置されるように固定し、検査の途中、被検査体１８０がステージ１１０から離脱することを防止することができる。

図１１ないし図１３は、本開示の一実施例に係る移送装置の動作を説明するための図である。

図１１ないし図１３は、本開示の一実施例に係る移送装置１００、２００をＺ軸方向から眺めたものとして、被検査体１８０、２８０の移送動作を説明するのに不要な構成は省略して示している。

図１１は、移送装置１００、２００のステージ１１０、２１０に被検査体１８０、２８０が積載される位置にステージ１１０、２１０が配置された状態を示す図である。

図１１には示していないものの、被検査体１８０、２８０は、それぞれキャリア１５０、２５０に収容された状態で、ステージ１１０、２１０に積載されてよい。このような積載動作は、移送装置１００、２００の移送経路が始まる地点に配置される第１の運搬装置２０によって行われてよい。

図１２は、被検査体１８０、２８０に対するＸ線検査が行われる位置にステージ１１０、２１０が配置された状態を示す図である。

移送部材１４０、２４０は、ステージ１１０、２１０を被検査体１８０、２８０が積載される位置（図１１を参考）から＋Ｘ軸方向に移送してよい。ただ、被検査体１８０、２８０を＋Ｘ軸方向に移送するための構成はそれに限らずに、被検査体１８０、２８０は第１及び第２の運搬装置２０、３０（図２７を参考）によって、＋Ｘ軸方向に移送されてよい。それに関連する詳細な説明は、図２７を参照して後述する。

図１２を参照すると、被検査体１８０、２８０の一部の領域は、検査位置（Ａ）上に配置されてよい。例えば、第１の回転部材１２０、２２０は、検査位置（Ａ）に被検査体１８０、２８０の角のいずれか１つが配置されるように被検査体１８０、２８０をＺ軸方向を軸に回転させてよい。

それにより、１つのＸ線チューブ１１から放射されるＸ線を使用し、第１の移送装置１００によって移送される被検査体１８０及び第２の移送装置２００によって移送される被検査体２８０を同時に検査することができる。

なお、第１の回転部材１２０、２２０によって被検査体１８０、２８０が回転することにより、被検査体１８０、２８０の角領域を検査位置（Ａ）に配置し、Ｘ線検査を行ってよい。

なお、第１の回転部材１２０、２２０によって被検査体１８０、２８０が回転することにより、被検査体１８０、２８０の角領域又は側面を検査位置（Ａ）に配置し、Ｘ線検査を行ってよい。

例えば、被検査体１８０、２８０が二次電池である場合、被検査体１８０、２８０の一部の領域、例えば、角領域に対する３次元検査画像を獲得することで、二次電池の負極と正極との段差、及び曲がった程度を測定することができ、それにより、被検査体の良品検査を行うことができる。

更に、被検査体１８０、２８０の側面に対して獲得した検査画像を介して、被検査体１８０、２８０の側面に配置される端子１８０－４、１８０－５、２８０－４、２８０－５（図１５を参考）の状態、例えば、端子の溶接具合などを判断し、被検査体の良品検査を行うことができる。

一方、図１２には示していないものの、移送装置１００、２００はステージ１１０、１２０を移送方向に垂直した水平方向、即ち、Ｙ軸方向に移動させる水平移動部材（図示せず）を含んでよい。それにより、検査位置（Ａ）と近づくように被検査体１８０、２８０を移動してよい。

例えば、図１２を参照すると、第１の移送装置１００の水平移動部材は、ステージ１１０を－Ｙ軸方向に移動させてよく、第２の移送装置２００の水平移動部材は、ステージ２１０を＋Ｙ軸方向に移動させてよい。

水平移動部材は、ステージ１１０、２１０に接続された別途の構成であってよいが、移送部材１４０、２４０がステージ１１０、２１０に接続された状態で水平方向に移動できるように構成することで、同じ効果を有するように実現してよい。

図１３は、移送装置１００、２００のステージ１１０、２１０から被検査体１８０、２８０が移動される位置にステージ１１０、２１０が配置された状態を示す図である。

図１３には示していないものの、被検査体１８０、２８０は、それぞれキャリア１５０、２５０に収容された状態でステージ１１０、２１０から移動されてよい。このような移動動作は、移送装置１００、２００の移送経路が終了する地点に配置される第２の運搬装置２０によって行われてよい。

この場合、第２の運搬装置３０は、被検査体１８０、２８０の積載されたキャリア１５０、２５０を分類装置５０に移動させてよい。第２の運搬装置３０のキャリア１５０、２５０の移動動作に関する詳細な説明は、図２２ないし図２３を参照して後述する。

図１４及び図１５は、本開示の一実施例に係るＸ線検査装置の二次電池の検査動作を説明するための図である。

具体的に、図１４ないし図１５を参照し、移送装置１００、２００の第２の回転部材１３０、２３０の回転動作によって、被検査体１８０、２８０を多方向から検査するＸ線検査の動作について説明する。

図１４は、移送装置１００、２００の一部の構成をＸ軸方向から眺めたものとして、説明の便宜上、Ｘ線チューブ１１、ディテクタ１２及び被検査体１８０、２８０のみを示し、概略に示す図である。

図１５は、図１４の構成において、第２の回転部材１３０、２３０によって被検査体１８０、２８０がＹ軸方向を軸に９０度回転した状態を示す図である。

図１２及び図１３を参照すると、被検査体１８０、２８０はＸ線チューブ１１のＸ線放射経路上に配置された状態で、第２の回転部材１３０、２３０（図９を参照）によって、Ｙ軸方向を軸に３６０度回転されてよい。それにより、ディテクタ１２は、被検査体１８０、２８０を多方向に透過したＸ線検査画像を獲得し、被検査体１８０、２８０の一側に対する３次元検査画像を生成することができる。

一方、第２の回転部材１３０、２３０によって被検査体１８０、２８０のぞれぞれの角のいずれか１つ、又は側面のいずれか１つの領域に対するＸ検査が完了すると、第１の回転部材１２０、２２０によって被検査体１８０、２８０をＺ軸方向を基準に回転してよい。それにより、被検査体１８０、２８０の角又は側面のうち、Ｘ線検査が行われていない角又は側面領域に対し、順次にＸ線検査を行うことができる。

被検査体１８０、２８０が長方形である場合、４つの角に対し、全てＸ線検査を行うことができ、相互対角線方向に配置される２つの角に対する検査のみを行うことができる。

例えば、被検査体１８０、２８０は、第１の回転部材１２０、２２０によってＺ軸方向を軸に１８０度回転された後、第２の回転部材１３０、２３０によってＹ軸方向を軸に３６０度回転することで、Ｘ線検査装置１０は被検査体１８０、２８０で検査が行われた領域の反対側の角又は側面領域に対するＸ線検査を行うことができる。

一方、本開示に係るＸ線検査装置は、１つ以上のディテクタを含むように実現されてよい。

図１６は、複数のディテクタを含むＸ線検査装置の検査動作を説明するための図である。

図１６を参照すると、Ｘ線検査装置は、Ｘ線チューブ１１及び複数のディテクタ１２－１、１２－２を含み、Ｘ線チューブ１１では、それぞれのディテクタ１２－１、１２－２に向かってＸ線を放射してよい。

移送装置１００、２００は、それぞれのＸ線放射経路に位置する検査位置に被検査体を移送してよい。例えば、移送装置１００は、Ｘ線チューブ１１から第１のディテクタ１２－１に向かってＸ線が放射される経路に位置する第１の検査位置に被検査体１８０を移送してよく、それと同時に移送装置２００は、Ｘ線チューブ１１から第２のディテクタ１２－２に向かってＸ線が放射される経路に位置する第２の検査位置に被検査体２８０を移送してよい。

この場合、それぞれの被検査体１８０、２８０は、Ｘ線チューブ１１のＸ線放射経路上にそれぞれ配置された状態で回転されてよい。それにより、それぞれのディテクタ１２－１、１２－２は被検査体１８０、２８０を多方向に透過したＸ線検査画像を獲得し、被検査体１８０、２８０に対する３次元検査画像を生成することができる。

図１７ないし図１９は、本開示の一実施例に係るＸ線検査装置の別の検査動作を説明するための図である。

図１７を参照すると、移送装置１００、２００は、被検査体１８０、２８０の側面がＸ線放射経路に垂直に配置されるように被検査体１８０、２８０を回転させた後、検査位置に移送してよい。それにより、被検査体１８０、２８０に対する３次元検査画像ではない２次元検査画像を獲得することができる。

図１８は、本開示の一実施例に係るＸ線検査装置の２次元検査方法の中の面検査（ａｒｅａ ｄｅｔｅｃｔｉｎｇ）方法を説明するための側面図であり、図１９は、本開示の一実施例に係るＸ線検査装置の２次元検査方法の中のライン検査（ｌｉｎｅ ｄｅｔｅｃｔｉｎｇ）方法を説明するための側面図である。

図１８を参照すると、被検査体１８０の側面の全領域がＸ線チューブ１１のＸ線放射経路、即ち、検査位置に配置されてよい。この場合、Ｘ線検査装置１０は、被検査体１８０の側面領域に対する２次元検査画像を獲得してよい。

一方、図１９を参照すると、被検査体１８０の側面領域の一部がＸ線チューブ１１のＸ線放射経路、即ち検査位置に配置されてよい。この場合、移送装置１００による被検査体１８０の移動又はＸ線チューブ１１及びディテクタ１２の位置移動に応じて、被検査体１８０の側面の全領域に対してＸ線検査が行われてよく、それにより、Ｘ線検査装置１０は被検査体１８０の側面領域に対する２次元検査画像を獲得することができる。

図２０ないし図２１は、本開示の一実施例に係るＸ線検査装置の二次電池の検査動作を説明するための図である。

図２０は、被検査体１８０が二次電池である場合、Ｘ線検査装置１０から生成され得る被検査体１８０の角領域の３次元検査画像を概略に示す図である。

図２０を参照すると、被検査体１８０の３次元検査画像には、正極１８０－１、負極１８０－２、及び正極１８０－１と負極１８０－２とを分離する分離膜１８０－３に対する３次元検査画像が含まれてよい。

Ｘ線検査装置１０は、被検査体１８０の３次元検査画像を分析し、被検査体１８０の良否を識別することができる。

例えば、３次元検査画像を通じて、正極１８０－１及び負極１８０－２の整列状態、数量、曲がり具合などを測定し、正常範囲内にあるかを識別し、識別結果に基づいて被検査体１８０を良品又は不良品に分類してよい。

更に、Ｘ線検査装置１０は、３次元検査画像に対する切断面を生成し、正極１８０－１と負極１８０－２との曲がり具合、正極１８０－１と負極１８０－２との間の段差などを測定し、被検査体１８０の良否を判断することができる。

具体的に、図２１を参照すると、Ｘ線検査装置１０は、被検査体１８０の３次元検査画像に対し、Ｉ－Ｉ及びＩＩ－ＩＩに沿って、それぞれ切断した切断面を生成してよい。この場合、Ｘ線検査装置１０は、各切断方向に対応する正極１８０－１と負極１８０－２との間の段差（Ｄ１、Ｄ２）を測定してよい。

一方、本開示の一実施例に係るＸ線検査装置１０を通じて、３次元検査画像を２次元画像に変換して検査を行ったり、３次元画像ではない２次元検査画像を撮影することも勿論できる。

図２２ないし図２３は、本開示の一実施例に係る第２の運搬装置３０の動作を説明するための斜視図である。

図２２を参照すると、第２の運搬装置３０は、移送装置１００、２００からＸ線検査の完了した被検査体が積載されたキャリア１５０、２５０を移動させてよい。この場合、第２の運搬装置３０は、キャリア１５０、２５０を分類装置５０（図２４を参照）に移動させてよい。

例えば、図２２及び図２３を参照すると、第２の運搬装置３０は、移送装置１００、２００に配置されたキャリア１５０、２５０の下部に移動し、第２の運搬装置３０の上部にキャリア１５０、２５０が配置された状態で、＋Ｘ軸方向に移動してよい。

この場合、第２の運搬装置３０は、第１の移送装置１００及び第２の移送装置２００にそれぞれ配置された２つのキャリア１５０、２５０を同時に積載して運搬してよい。

一方、既に第２の運搬装置３０は被検査体１８０及びスペーサ１５４が積載された状態のキャリア１５０を移動させるものとして説明したが、それに限定されるわけではなく、第２の運搬装置３０はキャリア１５０なしに被検査体１８０を移送装置１００、２００から直接伝達される形態で実現されてよい。

図２４は、本開示の一実施例に係る分類装置５０の動作を説明するための斜視図である。

図２４を参照すると、分類装置５０は第２の運搬装置３０によって移動されたキャリア１５０に積載された被検査体１８０及びスペーサ１５４をキャリア１５０から分離してよい。

分類装置５０は、被検査体１８０及びスペーサ１５４を移動させられる多様な構造で実現されてよい。例えば、分類装置５０は、既に積載装置４０で説明したように、突出部を含むグリッパの形態を含んでよいが、それに限定されるものではない。

図２４を参照すると、分類装置５０は、被検査体１８０を取り出して良品分類ライン６０又は不良品分類ライン７０に移動させてよく、スペーサ１５４を取り出してスペーサ回収装置９０に移動させてよい。

一方、被検査体１８０及びスペーサ１５４の取り出された空キャリア１５０は、キャリア回収装置８０に移動してよい。図１９には示していないものの、第２の運搬装置３０によってキャリア１５０が運搬される位置とキャリア回収装置８０との間には、ディバータコンベアが配置されてよい。それにより、キャリア１５０がキャリア回収装置８０に移動してよい。

キャリア回収装置８０は、回収されたキャリア１５０を第１の運搬装置２０の位置に移動させてよく、スペーサ回収装置９０は、回収されたスペーサ１５４を積載装置４０の位置に移動させてよい。この場合、積載装置４０は、回収されたキャリア１５０に新たな被検査体及び回収されたスペーサ１５４を積載してよい。それにより、キャリア１５０及びスペーサ１５４は、Ｘ線検査システム１を循環して再使用されてよい。

一方、分類装置５０は、Ｘ線検査が完了した被検査体１８０のＸ線検査結果を基に、被検査体１８０をＸ線検査結果に対応するラインに分類して取り出してよい。

Ｘ線検査装置１０は、ディテクタ１２を介して受信したＸ線を基に被検査体に対するＸ線検査画像を生成してよく、Ｘ検査画像を基に被検査体の良否を判断することができる。

例えば、被検査体が二次電池である場合、Ｘ線検査装置１０は被検査体の角領域に対して生成した３次元検査画像を分析し、正極及び負極の整列状態、数量、曲がり具合などを測定し、正常範囲内にあるかを識別し、識別結果に基づいて被検査体を良品又は不良品に分類することができる。

上記のようなＸ線検査画像を基に、分類装置５０は良品に識別された被検査体１８０ａを良品分類ライン６０に配置し、不良品に識別された被検査体１８０ｂを不良品分類ライン７０に配置してよい。

図２５は、本開示の別の実施例に係る移送装置を説明するための図である。

図２５を参照すると、本開示の別の実施例に係る移送装置３００、４００は、被検査体を把持して移送してよく、複数の関節を通じて被検査体を回転できる多関節ロボットであってよい。

この場合、移送装置３００、４００は、位置の固定されたベース３１０、４１０、順次に接続される複数のリンク３１１、３１２、３１３、１３４、３１５、４１１、４１２、４１３、４１４、４１５、それぞれの接続部位に配置される複数の関節３２１、３２２、３２３、３２４、３２５、３２６、４２１、４２２、４２３、４２４、４２５、４２６及び被検査体３８０、４８０を把持するための手首部３３０、４３０を含んでよい。

第１の関節３２１、４２１は、ベース３１０、４１０と第１のリンク３１１、４１１とを接続し、第１のリンク３１１、４１１がベース３１０、４１０上に回転できるように接続してよい。第２の関節３２２、４２２は、第２のリンク３１２、４１２が第１のリンク３１１、４１１に対して回転できるように接続してよく、第３の関節３２３、４２３は、第３のリンク３１３、４１３が第２のリンク３１２、４１２に対して回転できるように接続してよく、第４の関節３２４、４２４は、第５のリンク３１５、４１５が第４のリンク３１４、４１４に対して回転できるように接続してよい。

一方、第５の関節３２５、４２５は、手首部３３０、４３０が第５のリンク３１５、４１５に対して回転できるように接続してよく、第６の関節３２６、４２６は、手首部３３０、４３０が第５のリンク３１５、４１５に対して、第５の関節３２５、４２５と異なる軸を中心に回転できるように接続してよく、それぞれの関節３２１、３２２、３２３、３２４、３２５、３２６、４２１、４２２、４２３、４２４、４２５、４２６は、モータ（図示せず）を介して駆動力を受けて回転運動を行ってよい。

手首部３３０、４３０は、被検査体３８０、４８０を把持するためのグリッパ３３１、４３１を含んでよい。

それにより、移送装置３００、４００は、被検査体３８０、４８０を供給ライン４１からＸ線チューブ１１とディテクタ１２との間の検査位置に移送し、被検査体３８０、４８０を多方向に回転させた後、検査結果によって被検査体３８０、４８０を良品分類ライン６０又は不良品分類ライン７０に配置する一連の動作を行ってよい。

図２６は、本開示の別の実施例に係る移送装置を含むＸ線検査装置の検査動作を説明するための図である。

図２６は、３つの被検査体３８０、４８０、５８０が検査位置（A）上に同時に配置された状態を示す図である。この場合、移送装置は、それぞれの被検査体３８０、４８０、５８０を移送するための第１の移送装置、第２の移送装置及び第３の移送装置を含んでよい。第１ないし第３の移送装置は、それぞれ図２０で示すものと同様の多関節ロボットであってよい。

図２６を参照すると、第１の移送装置の手首部３１０に含まれたグリッパ３１１、第２の移送装置の手首部４１０に含まれたグリッパ４１１、及び第３の移送装置の手首部５１０に含まれたグリッパ５１１は、それぞれ被検査体３８０、４８０、５８０を把持し、それぞれの被検査体３８０、４８０、５８０の一部の領域が検査位置（Ａ）上に配置されるように移送してよい。この場合、被検査体３８０、４８０、５８０の側面領域が検査位置（Ａ）に配置され得ることは勿論であり、被検査体３８０、４８０、５８０の角領域が検査位置に配置されてよい。

それにより、１つのＸ線チューブ１１から放射されるＸ線を使用し、第１ないし第３の移送装置によって移送される複数の被検査体３８０、４８０、５８０を同時に検査してよい。

図２６には、３つの被検査体３８０、４８０、５８０が同時に検査位置（A）に配置されるものとして示しているが、検査位置（A）に配置される被検査体の数はそれに限定されるものではなく、移送装置が被検査体を配置する角度及び検査位置におけるＸ線放射面積を異ならせて、４以上の被検査体を同時に検査することもできる。

図２７は、本開示の別の実施例に係るＸ線検査システムを示す斜視図である。

図２７を参照すると、Ｘ線検査システムは、第１の運搬装置２０－１、２０－２及び第２の運搬装置３０－１、３０－２を介して、被検査体をＸ軸方向に移送してよい。

なお、図１のスペーサ回収装置９０に対応する位置にキャリア回収装置８０－２を配置することで、２つのキャリア回収装置８０－１、８０－２を介してキャリア回収動作が素早く進められるように実現してよい。

それにより、Ｘ線検査システムの全体的な構造をより単純化して実現することも可能である。

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は以上の実施形態に限定されない。本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的趣旨の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、これらについても、当然に本発明の技術的範囲に属するものと解される。

本開示は、Ｘ線検査装置及びそれを含むＸ線検査システムを提供することが可能である。

Claims (8)

1. 二次電池被検査体のためのＸ線検査装置において、
   Ｘ線チューブと、
   前記Ｘ線チューブに対向するように配置されるディテクタと、
   少なくとも２つの被検査体を同時にＸ線検査するために、前記少なくとも２つの被検査
   体を前記Ｘ線チューブと前記ディテクタとの間の検査位置に移送する移送装置と
   を含み、
   前記移送装置は、
   第１の移送装置及び第２の移送装置を含み、
   前記第１及び第２の移送装置は、それぞれ少なくとも１つの被検査体を前記検査位置に同時に移送し、
   前記少なくとも２つの被検査体を同時に回転させるための回転部材を更に含み、
   被検査体を前記Ｘ線チューブのＸ線放射経路に垂直した移送方向に移送可能であり、前記放射経路を軸に回転可能であり、前記放射経路及び前記移送方向に垂直した水平方向を軸に回転可能である、Ｘ線検査装置。
2. 前記回転部材は、
   前記検査位置に前記被検査体の角のいずれか１つ、又は側面のいずれか１つが配置され
   るように、前記被検査体を回転させる、請求項１に記載のＸ線検査装置。
3. 前記移送装置は、
   被検査体を前記放射経路を軸に回転させる第１の回転部材と、
   前記被検査体と前記第１の回転部材とを前記水平方向を軸に回転させる第２の回転部材
   と、
   前記被検査体、前記第１の回転部材及び前記第２の回転部材を前記移送方向に移送する
   移送部材と、
   前記被検査体、前記第１の回転部材及び第２の回転部材を前記水平方向に移動させる水
   平移動部材と
   を含む、請求項１に記載のＸ線検査装置。
4. 少なくとも１つの被検査体を収容するキャリアと、
   前記キャリアに複数の被検査体が収容される場合、各被検査体の間に配置されるスペー
   サと
   を更に含み、
   前記移送装置は、前記キャリアを前記検査位置に移送する、請求項１に記載のＸ線検査
   装置。
5. 前記移送装置は、
   前記少なくとも２つの被検査体を把持し、複数の関節を通して前記少なくとも２つの被
   検査体を回転させる多関節ロボットである、請求項１に記載のＸ線検査装置。
6. 前記移送装置は、
   ベースと、
   複数のリンクと、
   前記少なくとも２つの被検査体を把持するためのグリッパを備える手首部と、
   前記ベース、前記複数のリンク及び前記手首部を順次に接続し、前記複数のリンク及び前記手首部がそれぞれ回転できるように接続する複数の関節と
   を含む、請求項５に記載のＸ線検査装置。
7. 前記移送装置は、
   第１の移送装置、第２の移送装置、及び第３の移送装置を含み、
   前記第１ないし第３の移送装置は、それぞれ少なくとも１つの被検査体を前記検査位置
   に移送する、請求項５に記載のＸ線検査装置。
8. 前記ディテクタは、第１のディテクタ及び第２のディテクタを含み、
   前記移送装置は、
   前記Ｘ線チューブと前記第１のディテクタとの間の第１検査位置、及び前記Ｘ線チュー
   ブと前記第２のディテクタとの間の第２の検査位置に被検査体をそれぞれ移送する、請求
   項１に記載のＸ線検査装置。

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