JP7453784B2

JP7453784B2 - Pushers, substrate transfer equipment, and substrate processing equipment

Info

Publication number: JP7453784B2
Application number: JP2019228056A
Authority: JP
Inventors: 昭尋谷澤; 賢一小林
Original assignee: Ebara Corp
Current assignee: Ebara Corp
Priority date: 2019-12-18
Filing date: 2019-12-18
Publication date: 2024-03-21
Anticipated expiration: 2039-12-18
Also published as: JP2021094660A

Description

本願は、プッシャ、基板搬送装置、および基板処理装置に関する。 The present application relates to a pusher, a substrate transport device, and a substrate processing device.

半導体デバイスの製造に、基板の表面を平坦化するために化学機械研磨（ＣＭＰ）装置が使用されている。半導体デバイスの製造に使用される基板は、多くの場合、円板形状である。また、半導体デバイスに限らず、ＣＣＬ基板（Copper Clad Laminate基板）やＰＣＢ（Printed Circuit Board）基板、フォトマスク基板、ディスプレイパネルなどの四角形の基板の表面を平坦化する際の平坦度の要求も高まっている。また、ＰＣＢ基板などの電子デバイスが配置されたパッケージ基板の表面を平坦化することへの要求も高まっている。 Chemical mechanical polishing (CMP) equipment is used in the manufacture of semiconductor devices to planarize the surface of a substrate. Substrates used in the manufacture of semiconductor devices are often disk-shaped. In addition, there is an increasing demand for flatness when flattening the surface of rectangular substrates such as CCL substrates (Copper Clad Laminate substrates), PCB (Printed Circuit Board) substrates, photomask substrates, and display panels, not just semiconductor devices. ing. Furthermore, there is an increasing demand for flattening the surface of a package substrate such as a PCB substrate on which electronic devices are disposed.

ＣＭＰ装置は、研磨前の基板をトップリングに受け渡したり、研磨後の基板をトップリングから受け取ったりするためのプッシャを備えている。例えば特許文献１には、研磨前の基板を支持してトップリングに受け渡すための複数の基板支えピンと、研磨後の基板をトップリングから受け取るための複数の柱状の基板支え部材と、を備えるプッシャが開示されている。 The CMP apparatus includes a pusher for delivering a substrate before polishing to the top ring and receiving a substrate after polishing from the top ring. For example, Patent Document 1 includes a plurality of substrate support pins for supporting the substrate before polishing and delivering it to the top ring, and a plurality of columnar substrate support members for receiving the substrate after polishing from the top ring. Pusher is disclosed.

特開２００８－１１０４７１号公報Japanese Patent Application Publication No. 2008-110471

処理対象の基板には配線や機能性チップなどが形成される領域（パターン領域）があり、このパターン領域にプッシャが接触するのは好ましくない。この点、特許文献１に記載されているプッシャは、研磨前の基板に対して基板支えピンが接触し、研磨後の基板に対して基板支え部材が接触するので、プッシャと基板との接触面積が増加し得る。これは、基板のパターン領域の自由度を広げるという観点では好ましくない。 The substrate to be processed has an area (pattern area) where wiring, functional chips, etc. are formed, and it is not preferable for the pusher to come into contact with this pattern area. In this regard, in the pusher described in Patent Document 1, the substrate support pin contacts the substrate before polishing, and the substrate support member contacts the substrate after polishing, so the contact area between the pusher and the substrate is can increase. This is not preferable from the viewpoint of increasing the degree of freedom in the pattern area of the substrate.

また、プッシャがトップリングから基板を受け取る方法として、基板の近傍までプッシャを上昇させた状態でトップリングの基板吸着を解除することによって基板をプッシャに落下させることが知られているが、この場合、落下の衝撃で基板が破損するおそれがある。これに対して、プッシャを基板に接触するまで上昇させて、プッシャが基板に接触した状態でトップリングの基板吸着を解除することにより、基板を破損させず安全に受け取ることも考えられる。しかしながら、この方法では、基板がトップリングに張り付くことによってプッシャが確実に基板を受け取れないおそれがある。 In addition, it is known that a method for the pusher to receive the board from the top ring is to raise the pusher close to the board, release the top ring's board adsorption, and then drop the board to the pusher. , the board may be damaged by the impact of a fall. On the other hand, it may be possible to safely receive the substrate without damaging it by raising the pusher until it contacts the substrate and releasing the top ring from adhering to the substrate while the pusher is in contact with the substrate. However, with this method, the pusher may not be able to reliably receive the substrate due to the substrate sticking to the top ring.

そこで、本願は、基板とプッシャとの接触面積を抑え、かつ、基板の受け取りの安全性および確実性を向上させることを１つの目的としている。 Therefore, one object of the present application is to reduce the contact area between the substrate and the pusher and to improve the safety and reliability of receiving the substrate.

一実施形態によれば、プッシャが開示される。プッシャは、基板を支持するための支持面を一方の端部に有する複数の第１支持柱と、前記複数の第１支持柱の他方の端部と連結される第１ベースと、前記第１ベースを昇降させる第１昇降機構と、を含み、前記支持面は、前記基板をトップリングに受け渡す際および前記基板を前記トップリングから受け取る際に前記基板を支持するように構成され、前記複数の第１支持柱の少なくとも１つには
、真空源に連通し前記支持面に開口する吸引路が形成される。 According to one embodiment, a pusher is disclosed. The pusher includes a plurality of first support columns having a support surface for supporting a substrate at one end thereof, a first base connected to the other end of the plurality of first support columns, and the first support column. a first lifting mechanism for lifting and lowering the base; the supporting surface is configured to support the substrate when delivering the substrate to the top ring and receiving the substrate from the top ring; At least one of the first support pillars is formed with a suction path that communicates with a vacuum source and opens to the support surface.

一実施形態による、基板処理装置の全体構成を示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing the overall configuration of a substrate processing apparatus according to an embodiment. 一実施形態による、処理対象物である基板を概略的に示す平面図である。1 is a plan view schematically showing a substrate as a processing target according to one embodiment. FIG. 一実施形態による、研磨ユニットを概略的に示す斜視図である。1 is a perspective view schematically illustrating a polishing unit according to one embodiment; FIG. 一実施形態による、トップリングの構造を模式的に示す側面断面図である。FIG. 3 is a side cross-sectional view schematically showing the structure of a top ring according to one embodiment. 一実施形態による、搬送ユニットを模式的に示す側面図である。FIG. 2 is a side view schematically showing a transport unit according to an embodiment. 一実施形態による、搬送ユニットを示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of a transport unit, according to one embodiment. 一実施形態による、プッシャを示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of a pusher, according to one embodiment. 図７に示されるプッシャを矢印８の方に見た部分断面図である。8 is a partial cross-sectional view of the pusher shown in FIG. 7, looking in the direction of arrow 8; FIG. 一実施形態による、第２ステージの支持柱の１つを示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of one of the second stage support columns, according to one embodiment. 一実施形態による、第１ステージの支持柱の１つを示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of one of the first stage support columns, according to one embodiment. 第１ステージおよび第２ステージが上位置にあるときを示す部分断面図である。It is a partial sectional view showing when the first stage and the second stage are in the upper position. 第１ステージおよび第２ステージが上位置にあり、さらに第１ステージが、第２ステージに対して上昇した位置にあるときを示す部分断面図である。FIG. 3 is a partial cross-sectional view showing the first stage and the second stage in the upper position, and the first stage in a raised position relative to the second stage. 一実施形態による、搬送ユニットを模式的に示す側面図である。FIG. 2 is a side view schematically showing a transport unit according to an embodiment. 図１３に示される搬送ユニットを矢印１４の方に見た図である。14 is a view of the transport unit shown in FIG. 13 as seen in the direction of arrow 14. FIG.

以下に、本発明に係るプッシャ、基板搬送装置、および基板処理装置の実施形態を添付図面とともに説明する。添付図面において、同一または類似の要素には同一または類似の参照符号が付され、各実施形態の説明において同一または類似の要素に関する重複する説明は省略することがある。また、各実施形態で示される特徴は、互いに矛盾しない限り他の実施形態にも適用可能である。 Embodiments of a pusher, a substrate transport device, and a substrate processing device according to the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. In the accompanying drawings, the same or similar elements are denoted by the same or similar reference numerals, and redundant description of the same or similar elements may be omitted in the description of each embodiment. Further, features shown in each embodiment can be applied to other embodiments as long as they do not contradict each other.

図１は、一実施形態による基板処理装置１０００の全体構成を示す平面図である。図１に示される基板処理装置１０００は、ロードユニット１００、搬送ユニット２００、研磨ユニット３００、乾燥ユニット５００、およびアンロードユニット６００を有する。図示の実施形態において、搬送ユニット２００は、２つの搬送ユニット２００Ａ、２００Ｂを有し、研磨ユニット３００は、２つの研磨ユニット３００Ａ、３００Ｂを有する。一実施形態において、これらの各ユニットは、独立に形成することができる。これらのユニットを独立して形成することで、各ユニットの数を任意に組み合わせることで異なる構成の基板処理装置１０００を簡易に形成することができる。また、基板処理装置１０００は、制御装置９００を備え、基板処理装置１０００の各構成要素は制御装置９００により制御される。一実施形態において、制御装置９００は、入出力装置、演算装置、記憶装置などを備える一般的なコンピュータから構成することができる。 FIG. 1 is a plan view showing the overall configuration of a substrate processing apparatus 1000 according to an embodiment. The substrate processing apparatus 1000 shown in FIG. 1 includes a loading unit 100, a transport unit 200, a polishing unit 300, a drying unit 500, and an unloading unit 600. In the illustrated embodiment, the transport unit 200 has two transport units 200A, 200B, and the polishing unit 300 has two polishing units 300A, 300B. In one embodiment, each of these units can be formed independently. By forming these units independently, substrate processing apparatuses 1000 with different configurations can be easily formed by arbitrarily combining the number of each unit. Further, the substrate processing apparatus 1000 includes a control device 900, and each component of the substrate processing apparatus 1000 is controlled by the control device 900. In one embodiment, the control device 900 can be configured from a general computer including an input/output device, an arithmetic device, a storage device, and the like.

＜ロードユニット＞

ロードユニット１００は、研磨および洗浄などの処理が行われる前の基板ＷＦを基板処理装置１０００内へ導入するためのユニットである。一実施形態において、ロードユニット１００は、ＳＭＥＭＡ（Surface Mount Equipment Manufacturers Association）の機械装置インタフェース規格（IPC-SMEMA-9851）に準拠するように構成される。 <Load unit>

The load unit 100 is a unit for introducing the substrate WF into the substrate processing apparatus 1000 before being subjected to processing such as polishing and cleaning. In one embodiment, the load unit 100 is configured to comply with the Surface Mount Equipment Manufacturers Association (SMEMA) mechanical device interface standard (IPC-SMEMA-9851).

図示の実施形態において、ロードユニット１００の搬送機構は、複数の搬送ローラ２０２（第１搬送ローラ）と、搬送ローラ２０２が取り付けられる複数のローラシャフト２０４とを有する。図１に示される実施形態においては、各ローラシャフト２０４には３つの
搬送ローラ２０２が取り付けられている。基板ＷＦは、搬送ローラ２０２上に配置され、搬送ローラ２０２が回転することで基板ＷＦが搬送される。ローラシャフト２０４上の搬送ローラ２０２の取り付け位置は、基板ＷＦを安定的に搬送することができる位置であれば任意とすることができる。ただし、搬送ローラ２０２は基板ＷＦに接触するので、処理対象である基板ＷＦに接触しても問題の無い領域に搬送ローラ２０２が接触するように配置すべきである。一実施形態において、ロードユニット１００の搬送ローラ２０２は、導電性ポリマーから構成することができる。一実施形態において、搬送ローラ２０２は、ローラシャフト２０４などを介して電気的に接地される。これは、基板ＷＦが帯電して基板ＷＦ上の電子デバイス等を損傷することを防止するためである。また、一実施形態において、ロードユニット１００に、基板ＷＦの帯電を防止するためにイオナイザー（図示せず）を設けてもよい。 In the illustrated embodiment, the transport mechanism of the load unit 100 includes a plurality of transport rollers 202 (first transport rollers) and a plurality of roller shafts 204 to which the transport rollers 202 are attached. In the embodiment shown in FIG. 1, three transport rollers 202 are attached to each roller shaft 204. The substrate WF is placed on a conveyance roller 202, and the substrate WF is conveyed as the conveyance roller 202 rotates. The mounting position of the transport roller 202 on the roller shaft 204 can be any position as long as the substrate WF can be stably transported. However, since the transport roller 202 contacts the substrate WF, it should be arranged so that the transport roller 202 contacts an area where there is no problem even if it contacts the substrate WF to be processed. In one embodiment, the transport rollers 202 of the load unit 100 can be constructed from a conductive polymer. In one embodiment, transport roller 202 is electrically grounded, such as via roller shaft 204. This is to prevent the substrate WF from being charged and damaging electronic devices and the like on the substrate WF. Furthermore, in one embodiment, the load unit 100 may be provided with an ionizer (not shown) to prevent the substrate WF from being charged.

図２は、一実施形態による、処理対象物である基板ＷＦを概略的に示す平面図である。図２に示されるように、一実施形態において、基板ＷＦは略長方形（正方形を含む）の薄い板状の基板である。図２に示される基板ＷＦは、パターン領域１０および非パターン領域２０を備えている。「パターン領域」は、配線や機能性チップなどを備えた領域であり、基板上に形成されるデバイスとして使用される領域であり、デバイスの機能に意味のある配線や機能性チップなどが備えられている。また、「非パターン領域」とは、基板上のデバイスとして使用されない領域である。図２に示される実施形態においては、基板ＷＦは２つのパターン領域１０を備え、それぞれパターン領域１０が非パターン領域２０に囲まれている。また、一実施形態において、基板ＷＦは、非パターン領域２０に基板ＷＦのＩＤ情報を含むものとすることができ、たとえば、ＩＤタグ１２などを備えるものとすることができる。基板ＷＦのＩＤは、ロードユニット１００に設けたＩＤリーダーで読み取り可能とすることができる。 FIG. 2 is a plan view schematically showing a substrate WF, which is an object to be processed, according to one embodiment. As shown in FIG. 2, in one embodiment, the substrate WF is a substantially rectangular (including square) thin plate-like substrate. The substrate WF shown in FIG. 2 includes a pattern area 10 and a non-pattern area 20. The "pattern area" is an area that is equipped with wiring, functional chips, etc., and is an area that is used as a device formed on a substrate. ing. Furthermore, the "non-pattern area" is an area on the substrate that is not used as a device. In the embodiment shown in FIG. 2, the substrate WF comprises two patterned areas 10, each of which is surrounded by a non-patterned area 20. In the embodiment shown in FIG. Further, in one embodiment, the substrate WF may include ID information of the substrate WF in the non-pattern area 20, and may include, for example, an ID tag 12. The ID of the substrate WF can be read by an ID reader provided in the load unit 100.

ロードユニット１００は、図２に示される基板ＷＦのパターン領域１０が形成されている面が下面となるように基板ＷＦを受け入れ、搬送する。そのため、搬送ローラ２０２は、基板ＷＦの非パターン領域２０にのみ接触するように配置されている。具体的には、搬送ローラ２０２は、基板ＷＦの端部の非パターン領域２０に接触する位置、および基板ＷＦの中央の非パターン領域２０に接触する位置に設けられている。搬送ローラ２０２の位置は、処理対象である基板ＷＦに応じて変更することができる。そのため、図示の実施形態によれば、搬送ローラ２０２のローラシャフト２０４への取り付け位置を変更することで、異なる寸法や異なるパターンを備える基板ＷＦの搬送に用いることができる。四角形の基板は、円形の半導体基板のように規格により寸法が決まっていないので、本開示の実施形態による搬送機構は、わずかな変更で様々な寸法の基板を搬送できるようになるので有利である。 The load unit 100 receives and transports the substrate WF so that the surface of the substrate WF on which the pattern region 10 shown in FIG. 2 is formed is the lower surface. Therefore, the transport roller 202 is arranged so as to contact only the non-pattern area 20 of the substrate WF. Specifically, the transport roller 202 is provided at a position where it contacts the non-pattern area 20 at the end of the substrate WF, and at a position where it contacts the non-pattern area 20 at the center of the substrate WF. The position of the transport roller 202 can be changed depending on the substrate WF to be processed. Therefore, according to the illustrated embodiment, by changing the attachment position of the transport roller 202 to the roller shaft 204, it can be used to transport substrates WF having different dimensions or different patterns. Since square substrates do not have dimensions determined by standards like circular semiconductor substrates, the transport mechanism according to embodiments of the present disclosure is advantageous because it can transport substrates of various sizes with only a few changes. .

＜研磨ユニット＞
図３は一実施形態による、研磨ユニット３００を概略的に示す斜視図である。図１に示される基板処理装置１０００は、２つの研磨ユニット３００Ａ、３００Ｂを備えている。２つの研磨ユニット３００Ａ、３００Ｂは同一の構成とすることができるので、以下において、一括して研磨ユニット３００として説明する。 <Polishing unit>
FIG. 3 is a perspective view schematically illustrating a polishing unit 300, according to one embodiment. The substrate processing apparatus 1000 shown in FIG. 1 includes two polishing units 300A and 300B. Since the two polishing units 300A and 300B can have the same configuration, they will be collectively referred to as the polishing unit 300 below.

図３に示されるように、研磨ユニット３００は、研磨テーブル３５０と、トップリング３０２と、を備える。研磨テーブル３５０は、テーブルシャフト３５１に支持される。研磨テーブル３５０は、図示していない駆動部によって、矢印ＡＣで示すように、テーブルシャフト３５１の軸心周りに回転するようになっている。研磨テーブル３５０には、研磨パッド３５２が貼り付けられる。トップリング３０２は、基板ＷＦを保持して研磨パッド３５２に押圧する。トップリング３０２は、図示していない駆動源によって回転駆動される。基板ＷＦは、トップリング３０２に保持されて研磨パッド３５２に押圧されることによって研磨される。 As shown in FIG. 3, polishing unit 300 includes a polishing table 350 and a top ring 302. Polishing table 350 is supported by table shaft 351. The polishing table 350 is configured to rotate around the axis of a table shaft 351 as indicated by an arrow AC by a drive unit (not shown). A polishing pad 352 is attached to the polishing table 350. Top ring 302 holds substrate WF and presses it against polishing pad 352. The top ring 302 is rotationally driven by a drive source (not shown). The substrate WF is held by the top ring 302 and pressed against the polishing pad 352 to be polished.

図３に示されるように、研磨ユニット３００は、研磨パッド３５２に研磨液又はドレッシング液を供給するための研磨液供給ノズル３５４を備える。研磨液は、例えば、スラリである。ドレッシング液は、例えば、純水である。また、図３に示されるように、研磨テーブル３５０およびテーブルシャフト３５１には、研磨液を供給するための通路３５３が設けられている。通路３５３は、研磨テーブル３５０の表面の開口部３５５に連通している。研磨テーブル３５０の開口部３５５に対応する位置において研磨パッド３５２は貫通孔３５７が形成されており、通路３５３を通る研磨液は、研磨テーブル３５０の開口部３５５および研磨パッド３５２の貫通孔３５７から研磨パッド３５２の表面に供給される。また、研磨ユニット３００は、研磨パッド３５２のコンディショニングを行うためのドレッサ３５６を備える。また、研磨ユニット３００は、液体、又は、液体と気体との混合流体、を研磨パッド３５２に向けて噴射するためのアトマイザ３５８を備える。アトマイザ３５８から噴射される液体は、例えば、純水であり、気体は、例えば、窒素ガスである。 As shown in FIG. 3, polishing unit 300 includes a polishing liquid supply nozzle 354 for supplying polishing liquid or dressing liquid to polishing pad 352. As shown in FIG. The polishing liquid is, for example, a slurry. The dressing liquid is, for example, pure water. Further, as shown in FIG. 3, the polishing table 350 and the table shaft 351 are provided with a passage 353 for supplying polishing liquid. Passage 353 communicates with an opening 355 in the surface of polishing table 350. A through hole 357 is formed in the polishing pad 352 at a position corresponding to the opening 355 of the polishing table 350, and the polishing liquid passing through the passage 353 is removed from the opening 355 of the polishing table 350 and the through hole 357 of the polishing pad 352. It is supplied to the surface of pad 352. The polishing unit 300 also includes a dresser 356 for conditioning the polishing pad 352. The polishing unit 300 also includes an atomizer 358 for jetting a liquid or a mixed fluid of liquid and gas toward the polishing pad 352 . The liquid injected from the atomizer 358 is, for example, pure water, and the gas is, for example, nitrogen gas.

トップリング３０２は、トップリングシャフト３０４によって支持される。トップリング３０２は、図示していない駆動部によって、矢印ＡＢで示すように、トップリングシャフト３０４の軸心周りに回転するようになっている。また、トップリングシャフト３０４は、図示しない駆動機構により、上下方向に移動可能である。 Top ring 302 is supported by top ring shaft 304. The top ring 302 is configured to rotate around the axis of the top ring shaft 304 as indicated by an arrow AB by a drive unit (not shown). Furthermore, the top ring shaft 304 is movable in the vertical direction by a drive mechanism (not shown).

基板ＷＦは、トップリング３０２の研磨パッド３５２と対向する面に真空吸着によって保持される。研磨時には、研磨液供給ノズル３５４から、および／または研磨パッド３５２の貫通孔３５７から研磨パッド３５２の研磨面に研磨液が供給される。また、研磨時には、研磨テーブル３５０及びトップリング３０２が回転駆動される。基板ＷＦは、トップリング３０２によって研磨パッド３５２の研磨面に押圧されることによって研磨される。 The substrate WF is held on the surface of the top ring 302 facing the polishing pad 352 by vacuum suction. During polishing, polishing liquid is supplied to the polishing surface of polishing pad 352 from polishing liquid supply nozzle 354 and/or through hole 357 of polishing pad 352 . Further, during polishing, the polishing table 350 and top ring 302 are rotationally driven. The substrate WF is polished by being pressed against the polishing surface of the polishing pad 352 by the top ring 302.

図３に示されるように、トップリングシャフト３０４は、アーム３６０に連結されており、アーム３６０は、回転軸３６２を中心に揺動可能である。基板ＷＦの研磨中に、トップリング３０２が研磨パッド３５２の中心を通過するように、アーム３６０を固定あるいは揺動させてもよい。また、基板ＷＦの研磨中に、基板ＷＦが研磨パッド３５２の貫通孔３５７を覆うようにアーム３６０を固定または揺動させてもよい。図１に示されるように、揺動可能なアーム３６０により、トップリング３０２は、搬送ユニット２００の方へ移動可能である。トップリング３０２が、後述する搬送ユニット２００の基板受け渡し位置に移動することで、トップリング３０２は、後述するプッシャ２３０から基板ＷＦを受け取ることができる。また、研磨ユニット３００での基板ＷＦの研磨後に、トップリング３０２からプッシャ２３０に基板ＷＦを受け渡すことができる。 As shown in FIG. 3, the top ring shaft 304 is connected to an arm 360, and the arm 360 is swingable about a rotation axis 362. The arm 360 may be fixed or oscillated so that the top ring 302 passes through the center of the polishing pad 352 during polishing of the substrate WF. Further, during polishing of the substrate WF, the arm 360 may be fixed or swung so that the substrate WF covers the through hole 357 of the polishing pad 352. As shown in FIG. 1, the swingable arm 360 allows the top ring 302 to move towards the transport unit 200. By moving the top ring 302 to the substrate transfer position of the transport unit 200, which will be described later, the top ring 302 can receive the substrate WF from the pusher 230, which will be described later. Further, after polishing the substrate WF in the polishing unit 300, the substrate WF can be transferred from the top ring 302 to the pusher 230.

図４は、一実施形態による、トップリング３０２の構造を模式的に示す側面断面図である。トップリング３０２は、トップリングシャフト３０４の下端に連結されている。トップリング３０２は、略四角形状のヘッド本体３０６と、ヘッド本体３０６の下部に配置されたリテーナ部材３０８と、を備えている。ヘッド本体３０６は金属やセラミックス等の強度および剛性が高い材料から形成することができる。また、リテーナ部材３０８は、剛性の高い樹脂材またはセラミックス等から形成することができる。 FIG. 4 is a side cross-sectional view schematically showing the structure of the top ring 302, according to one embodiment. Top ring 302 is connected to the lower end of top ring shaft 304. The top ring 302 includes a substantially rectangular head body 306 and a retainer member 308 disposed below the head body 306. The head body 306 can be formed from a material with high strength and rigidity, such as metal or ceramics. Further, the retainer member 308 can be formed from a highly rigid resin material, ceramics, or the like.

ヘッド本体３０６およびリテーナ部材３０８の内側に形成された空間内には、基板ＷＦに当接する弾性パッド３１０が収容されている。弾性パッド３１０とヘッド本体３０６との間には、圧力室（エアバッグ）Ｐ１が設けられている。圧力室Ｐ１は弾性パッド３１０とヘッド本体３０６とによって形成されている。圧力室Ｐ１には流体路３１２を介して加圧空気等の加圧流体が供給され、あるいは真空引きがされるようになっている。図４に示される実施形態において、圧力室Ｐ１は保持する基板ＷＦの全面に渡って形成される。 An elastic pad 310 that contacts the substrate WF is housed in a space formed inside the head body 306 and the retainer member 308. A pressure chamber (airbag) P1 is provided between the elastic pad 310 and the head main body 306. The pressure chamber P1 is formed by the elastic pad 310 and the head body 306. Pressurized fluid such as pressurized air is supplied to the pressure chamber P1 via a fluid path 312, or the pressure chamber P1 is evacuated. In the embodiment shown in FIG. 4, the pressure chamber P1 is formed over the entire surface of the substrate WF to be held.

基板ＷＦの周端部はリテーナ部材３０８に囲まれており、研磨中に基板ＷＦがヘッド本体３０６から飛び出さないようになっている。リテーナ部材３０８とヘッド本体３０６との間には弾性バッグ３１４が配置されており、その弾性バッグ３１４の内部には圧力室Ｐｒが形成されている。リテーナ部材３０８は、弾性バッグ３１４の膨張／収縮によりヘッド本体３０６に対して相対的に上下動可能となっている。圧力室Ｐｒには流体路３１６が連通しており、加圧空気等の加圧流体が流体路３１６を通じて圧力室Ｐｒに供給されるようになっている。圧力室Ｐｒの内部圧力は調整可能となっている。したがって、基板ＷＦの研磨パッド３５２に対する押圧力とは独立してリテーナ部材３０８の研磨パッド３５２に対する押圧力を調整することができる。 The peripheral end of the substrate WF is surrounded by a retainer member 308 to prevent the substrate WF from jumping out from the head body 306 during polishing. An elastic bag 314 is arranged between the retainer member 308 and the head main body 306, and a pressure chamber Pr is formed inside the elastic bag 314. The retainer member 308 is movable up and down relative to the head body 306 by expansion/contraction of the elastic bag 314. A fluid path 316 communicates with the pressure chamber Pr, and pressurized fluid such as pressurized air is supplied to the pressure chamber Pr through the fluid path 316. The internal pressure of the pressure chamber Pr is adjustable. Therefore, the pressing force of the retainer member 308 against the polishing pad 352 can be adjusted independently of the pressing force of the substrate WF against the polishing pad 352.

＜乾燥ユニット＞
乾燥ユニット５００は、基板ＷＦを乾燥させるための装置である。図１に示される基板処理装置１０００においては、乾燥ユニット５００は、研磨ユニット３００で研磨された後に、搬送ユニット２００の洗浄部で洗浄された基板ＷＦを乾燥させる。図１に示されるように、乾燥ユニット５００は、搬送ユニット２００の下流に配置される。
<Drying unit>
Drying unit 500 is a device for drying substrate WF. In the substrate processing apparatus 1000 shown in FIG. 1, the drying unit 500 dries the substrate WF that has been polished by the polishing unit 300 and then cleaned by the cleaning section of the transport unit 200. As shown in FIG. 1, the drying unit 500 is arranged downstream of the transport unit 200.

乾燥ユニット５００は、搬送ローラ２０２上を搬送される基板ＷＦに向けて気体を噴射するためのノズル５３０を有する。気体は、たとえば圧縮された空気または窒素とすることができる。搬送される基板ＷＦ上の水滴を乾燥ユニット５００によって吹き飛ばすことで、基板ＷＦを乾燥させることができる。 The drying unit 500 has a nozzle 530 for injecting gas toward the substrate WF being transported on the transport roller 202. The gas can be, for example, compressed air or nitrogen. The substrate WF can be dried by blowing away water droplets on the substrate WF being transported by the drying unit 500.

＜アンロードユニット＞
アンロードユニット６００は、研磨および洗浄などの処理が行われた後の基板ＷＦを基板処理装置１０００の外へ搬出するためのユニットである。図１に示される基板処理装置１０００においては、アンロードユニット６００は、乾燥ユニット５００で乾燥された後の基板を受け入れる。図１に示されるように、アンロードユニット６００は、乾燥ユニット５００の下流に配置される。一実施形態において、アンロードユニット６００は、ＳＭＥＭＡ（Surface Mount Equipment Manufacturers Association）の機械装置インタフェース規格（IPC-SMEMA-9851）に準拠するように構成される。 <Unload unit>
The unload unit 600 is a unit for transporting the substrate WF, which has been subjected to processing such as polishing and cleaning, out of the substrate processing apparatus 1000. In the substrate processing apparatus 1000 shown in FIG. 1, the unload unit 600 receives the substrate after being dried in the drying unit 500. As shown in FIG. 1, the unloading unit 600 is located downstream of the drying unit 500. In one embodiment, the unload unit 600 is configured to comply with the Surface Mount Equipment Manufacturers Association (SMEMA) Mechanical Equipment Interface Standard (IPC-SMEMA-9851).

＜搬送ユニット＞
図５は一実施形態による、搬送ユニット２００を模式的に示す側面図である。図１に示される基板処理装置１０００は、２つの搬送ユニット２００Ａ、２００Ｂを備えている。２つの搬送ユニット２００Ａ、２００Ｂは同一の構成とすることができるので、以下において、一括して搬送ユニット２００として説明する。 <Transport unit>
FIG. 5 is a side view schematically showing the transport unit 200 according to one embodiment. The substrate processing apparatus 1000 shown in FIG. 1 includes two transport units 200A and 200B. Since the two transport units 200A and 200B can have the same configuration, they will be collectively referred to as the transport unit 200 below.

図６は、一実施形態による搬送ユニット２００を示す斜視図である。なお、図６においては、図示の明瞭化のために、後述する上搬送ローラ（第２搬送ローラ）２９０およびその駆動機構は省略している。図示の搬送ユニット２００は、基板ＷＦを搬送するための複数の搬送ローラ（第１搬送ローラ）２０２を備えている。搬送ローラ２０２を回転させることで、搬送ローラ２０２上の基板ＷＦを所定の方向に搬送することができる。搬送ユニット２００の搬送ローラ２０２は、導電性ポリマーから形成されても、導電性のないポリマーから形成されてもよい。搬送ローラ２０２は、ローラシャフト（第１ローラシャフト）２０４に取り付けられており、ギア２０６を介して、モータ２０８により駆動される。一実施形態において、モータ２０８はサーボモータとすることができ、ギア２０６は、歯車式とすることができるが、マグネットギアとすることもできる。また、図示の搬送ユニット２００は、搬送中の基板ＷＦの側面を支持するガイドローラ２１２を備える。図示の搬送ユニット２００は、搬送ローラ２０２上の所定の位置における基板ＷＦの存在の有無を検知するためのセンサ２１６を有する。センサ２１６は任意の形式のセンサとすることができ、たとえば光学式のセンサとすることができる。図５に示される実施形態において
は、センサ２１６は搬送ユニット２００に７個（２１６ａ～２１６ｇ）設けられている。一実施形態において、これらのセンサ２１６ａ～２１６ｇによる基板ＷＦの検知に応じて、搬送ユニット２００の動作を制御することができる。これらのそれぞれのセンサ２１６ａ～２１６ｇの位置および役割は後述する。図５に示されるように、搬送ユニット２００は、搬送ユニット２００内に基板ＷＦを受け入れるために開閉可能な入口シャッタ２１８を有する。 FIG. 6 is a perspective view of a transport unit 200 according to one embodiment. Note that in FIG. 6, for clarity of illustration, an upper conveyance roller (second conveyance roller) 290 and its drive mechanism, which will be described later, are omitted. The illustrated transport unit 200 includes a plurality of transport rollers (first transport rollers) 202 for transporting the substrate WF. By rotating the transport roller 202, the substrate WF on the transport roller 202 can be transported in a predetermined direction. The transport roller 202 of the transport unit 200 may be formed from a conductive polymer or a non-conductive polymer. The conveyance roller 202 is attached to a roller shaft (first roller shaft) 204 and is driven by a motor 208 via a gear 206. In one embodiment, motor 208 may be a servo motor and gear 206 may be geared, but may also be a magnetic gear. Further, the illustrated transport unit 200 includes guide rollers 212 that support the side surfaces of the substrate WF being transported. The illustrated transport unit 200 includes a sensor 216 for detecting the presence or absence of the substrate WF at a predetermined position on the transport roller 202. Sensor 216 may be any type of sensor, such as an optical sensor. In the embodiment shown in FIG. 5, seven sensors 216 (216a to 216g) are provided in the transport unit 200. In one embodiment, the operation of the transport unit 200 can be controlled in response to the detection of the substrate WF by these sensors 216a-216g. The positions and roles of each of these sensors 216a to 216g will be described later. As shown in FIG. 5, the transport unit 200 has an entrance shutter 218 that can be opened and closed to receive the substrate WF into the transport unit 200.

図５に示されるように、搬送ユニット２００は、ストッパ２２０を有する。ストッパ２２０は、ストッパ移動機構２２２に接続されており、ストッパ２２０は搬送ローラ２０２上を移動する基板ＷＦの搬送経路内に進入可能である。ストッパ２２０が基板ＷＦの搬送経路内に位置しているときは、搬送ローラ２０２上を移動する基板ＷＦの側面がストッパ２２０に接触し、移動中の基板ＷＦをストッパ２２０の位置で停止させることができる。また、ストッパ２２０が基板ＷＦの搬送経路から退避した位置にあるときは、基板ＷＦは、搬送ローラ２０２上を移動することができる。ストッパ２２０による基板ＷＦの停止位置は、後述のプッシャ２３０が搬送ローラ２０２上の基板ＷＦを受け取ることができる位置（基板受け渡し位置）である。 As shown in FIG. 5, the transport unit 200 has a stopper 220. The stopper 220 is connected to a stopper moving mechanism 222, and the stopper 220 can enter into the transport path of the substrate WF moving on the transport rollers 202. When the stopper 220 is located within the transport path of the substrate WF, the side surface of the substrate WF moving on the transport roller 202 contacts the stopper 220, and the moving substrate WF can be stopped at the position of the stopper 220. can. Further, when the stopper 220 is in a position retracted from the transport path of the substrate WF, the substrate WF can move on the transport roller 202. The stop position of the substrate WF by the stopper 220 is a position (substrate transfer position) where a pusher 230, which will be described later, can receive the substrate WF on the transport roller 202.

センサ２１６ａは、搬送ユニット２００の入口側に設けられる。センサ２１６ａによって基板ＷＦの後ろが通過したことが確認されると、入口シャッタ２１８を閉じるようにすることができる。その後、センサ２１６ａの下流側に配置されたセンサ２１６ｂにより基板ＷＦの位置を監視しながら、搬送ローラ２０２で基板ＷＦが搬送される。このときストッパ移動機構２２２によりストッパ２２０が基板ＷＦの搬送経路内に移動されている。搬送ローラ２０２上を搬送されてきた基板ＷＦは、ストッパ２２０に接触して基板ＷＦが停止される。また、センサ２１６ｃはストッパ２２０の位置に配置されており、センサ２１６ｃにより基板ＷＦを検知すると搬送ローラ２０２の動作を停止する。ストッパ２２０の位置（基板受け渡し位置）で停止した基板ＷＦは、後述のプッシャ２３０を介して、トップリング３０２に受け渡される。 The sensor 216a is provided on the entrance side of the transport unit 200. When the sensor 216a confirms that the back of the substrate WF has passed, the entrance shutter 218 can be closed. Thereafter, the substrate WF is transported by the transport roller 202 while the position of the substrate WF is monitored by a sensor 216b arranged downstream of the sensor 216a. At this time, the stopper 220 is moved into the transport path of the substrate WF by the stopper moving mechanism 222. The substrate WF conveyed on the conveyance roller 202 comes into contact with the stopper 220 and is stopped. Further, the sensor 216c is arranged at the position of the stopper 220, and when the sensor 216c detects the substrate WF, the operation of the conveyance roller 202 is stopped. The substrate WF stopped at the position of the stopper 220 (substrate transfer position) is transferred to the top ring 302 via a pusher 230, which will be described later.

＜プッシャ＞
図５、６に示されるように、搬送ユニット２００はプッシャ２３０を有する。プッシャ２３０は、複数の搬送ローラ２０２の上にある基板ＷＦを、複数の搬送ローラ２０２から離れるように持ち上げることができるように構成される。またプッシャ２３０は、保持している基板ＷＦを搬送ユニット２００の搬送ローラ２０２に受け渡すことができるように構成される。 <Pusher>
As shown in FIGS. 5 and 6, the transport unit 200 has a pusher 230. The pusher 230 is configured to be able to lift the substrate WF placed on the plurality of transport rollers 202 away from the plurality of transport rollers 202 . Further, the pusher 230 is configured to be able to transfer the substrate WF held thereto to the transport roller 202 of the transport unit 200.

図７は、一実施形態によるプッシャ２３０を示す斜視図である。図８は、図７に示されるプッシャ２３０を矢印８の方に見た部分断面図である。図８は、プッシャ２３０とともに、搬送ローラ２０２、搬送ローラ２０２上の基板受け渡し位置に配置された基板ＷＦ、および基板ＷＦを受け取るトップリング３０２を概略的に示している。図７、８に示される実施形態において、プッシャ２３０は、第１ステージ２７０および第２ステージ２３２を備える。 FIG. 7 is a perspective view of pusher 230 according to one embodiment. FIG. 8 is a partial cross-sectional view of the pusher 230 shown in FIG. 7 as viewed in the direction of arrow 8. As shown in FIG. FIG. 8 schematically shows, together with the pusher 230, the transport roller 202, the substrate WF disposed on the transport roller 202 at a substrate transfer position, and the top ring 302 that receives the substrate WF. In the embodiment shown in FIGS. 7 and 8, pusher 230 includes a first stage 270 and a second stage 232. In the embodiment shown in FIGS.

第２ステージ２３２は、基板ＷＦをプッシャ２３０から後述するトップリング３０２に受け渡す時に、トップリング３０２のリテーナ部材３０８を支持するためのステージである。第２ステージ２３２は、複数の支持柱（第２支持柱）２３４を備える。図９は、一実施形態による、第２ステージ２３２の支持柱の１つを示す断面図である。図９に示されるように、支持柱２３４の一方の端部は、基板ＷＦをトップリング３０２に受け渡す際および基板ＷＦをトップリング３０２から受け取る際にトップリング３０２のリテーナ部材３０８を支持する平坦な支持面２３４ａ、およびトップリング３０２を案内するための傾斜面２３４ｂを備える。一実施形態において、複数の支持柱２３４のうちの４つの角部にあ
る支持柱２３４が図９に示されるような支持面２３４ａおよび傾斜面２３４ｂを備えるようにしてもよい。４つの角部の支持柱２３４により形成される凹部でリテーナ部材３０８を位置合わせできる。４つの角部以外の支持柱２３４は支持面２３４ａのみを備えていてもよい。各支持柱２３４の他方の端部は、共通のベース（第２ベース）２３６に連結されている。また、各支持柱２３４は、搬送ローラ２０２に干渉しない位置に設けられ、図８に示される実施形態においては、各支持柱２３４は、搬送ローラ２０２の間に配置されている。 The second stage 232 is a stage for supporting the retainer member 308 of the top ring 302 when transferring the substrate WF from the pusher 230 to the top ring 302, which will be described later. The second stage 232 includes a plurality of support columns (second support columns) 234. FIG. 9 is a cross-sectional view of one of the support columns of the second stage 232, according to one embodiment. As shown in FIG. 9, one end of the support column 234 is a flat surface that supports the retainer member 308 of the top ring 302 when transferring the substrate WF to the top ring 302 and when receiving the substrate WF from the top ring 302. A supporting surface 234a and an inclined surface 234b for guiding the top ring 302 are provided. In one embodiment, the support columns 234 at four corners of the plurality of support columns 234 may include a support surface 234a and an inclined surface 234b as shown in FIG. Recesses formed by the four corner support posts 234 allow the retainer member 308 to be aligned. The support columns 234 other than the four corners may include only the support surfaces 234a. The other end of each support column 234 is connected to a common base (second base) 236. Further, each support column 234 is provided at a position that does not interfere with the conveyance roller 202, and in the embodiment shown in FIG. 8, each support column 234 is arranged between the conveyance rollers 202.

第１ステージ２７０は、搬送ローラ２０２上の基板ＷＦを受け取るように構成される。第１ステージ２７０は、複数の支持柱（第１支持柱）２７２を備える。図１０は、一実施形態による、第１ステージ２７０の支持柱２７２の１つを示す断面図である。図１０に示されるように、支持柱２７２の一方の端部は、基板ＷＦをトップリング３０２に受け渡す際および基板ＷＦをトップリング３０２から受け取る際に基板ＷＦを支持する平坦な支持面２７２ａを備える。また、複数の支持柱２７２の少なくとも１つには、支持面２７２ａに開口する吸引路２７２ｂが形成される。吸引路２７２ｂは、真空源２６０に連通するようになっている。これにより、複数の支持柱２７２の少なくとも１つは、基板ＷＦをトップリング３０２から受け取る際に吸引路２７２ｂを介して基板ＷＦを吸引することができるように構成される。各支持柱２７２の他方の端部は共通のベース（第１ベース）２７４に連結されている。また、各支持柱２７２は、搬送ローラ２０２に干渉しない位置に設けられ、図８に示される実施形態においては、各支持柱２７２は、搬送ローラ２０２の間に配置されている。また、各支持柱２７２は、基板ＷＦの非パターン領域２０を支持するように配置される。第１ステージ２７０および第２ステージ２３２は、以下で詳述するように、それぞれ昇降機構に連結されており、それぞれ高さ方向（ｚ方向）に移動可能である。 The first stage 270 is configured to receive the substrate WF on the transport roller 202. The first stage 270 includes a plurality of support columns (first support columns) 272. FIG. 10 is a cross-sectional view of one of the support columns 272 of the first stage 270, according to one embodiment. As shown in FIG. 10, one end of the support column 272 has a flat support surface 272a that supports the substrate WF when transferring the substrate WF to the top ring 302 and when receiving the substrate WF from the top ring 302. Be prepared. Further, at least one of the plurality of support columns 272 is formed with a suction path 272b that opens to the support surface 272a. The suction path 272b communicates with the vacuum source 260. Thereby, at least one of the plurality of support columns 272 is configured to be able to suck the substrate WF through the suction path 272b when receiving the substrate WF from the top ring 302. The other end of each support column 272 is connected to a common base (first base) 274. Further, each support column 272 is provided at a position that does not interfere with the conveyance roller 202, and in the embodiment shown in FIG. 8, each support column 272 is arranged between the conveyance rollers 202. Moreover, each support pillar 272 is arranged so as to support the non-pattern area 20 of the substrate WF. The first stage 270 and the second stage 232 are each connected to a lifting mechanism and are each movable in the height direction (z direction), as will be described in detail below.

第２ステージ２３２は、高さ方向（ｚ方向）に移動可能に構成される。一実施形態において、プッシャ２３０は第２昇降機構２３１を有する。一実施形態において、図７、８に示されるように、プッシャ２３０の第２昇降機構２３１は、空圧式の昇降機構であり、シリンダ２４０およびピストン２４２を備える。ピストン２４２の端部は、可動台座２４４に連結されている。シリンダ２４０は、固定台座２４６に連結されている。固定台座２４６は、搬送ユニット２００の全体を覆う筐体２０１または搬送ユニット２００を設置する床面などに固定される。シリンダ２４０内の空気圧を調整することにより、ピストン２４２が移動し、可動台座２４４を高さ方向（ｚ方向）に移動させることができる。可動台座２４４が高さ方向に移動することで、第１ステージ２７０および第２ステージ２３２が高さ方向に移動することができる。図示の実施形態において、可動台座２４４の上には、第１ステージ２７０および第２ステージ２３２を水平面内で移動させることが可能なＸＹステージ２４８が搭載されている。ＸＹステージ２４８は、直動ガイドなどにより直交する２方向に移動可能に構成される公知のＸＹステージとすることができる。図示の実施形態において、ＸＹステージ２４８の上には、回転ステージ２５０が搭載されている。回転ステージ２５０は、ＸＹ平面（水平面）において回転可能に構成される。換言すれば、回転ステージ２５０はｚ軸を中心に回転可能に構成される。回転ステージ２５０は、回転軸受などで構成される公知の回転ステージ２５０を採用することができる。 The second stage 232 is configured to be movable in the height direction (z direction). In one embodiment, the pusher 230 has a second lifting mechanism 231. In one embodiment, as shown in FIGS. 7 and 8, the second elevating mechanism 231 of the pusher 230 is a pneumatic elevating mechanism and includes a cylinder 240 and a piston 242. An end of the piston 242 is connected to a movable base 244. Cylinder 240 is connected to fixed pedestal 246. The fixed pedestal 246 is fixed to the casing 201 that covers the entire transport unit 200 or the floor surface on which the transport unit 200 is installed. By adjusting the air pressure inside the cylinder 240, the piston 242 moves, and the movable base 244 can be moved in the height direction (z direction). By moving the movable base 244 in the height direction, the first stage 270 and the second stage 232 can move in the height direction. In the illustrated embodiment, an XY stage 248 is mounted on the movable base 244 and is capable of moving the first stage 270 and the second stage 232 in a horizontal plane. The XY stage 248 can be a known XY stage configured to be movable in two orthogonal directions using a linear guide or the like. In the illustrated embodiment, a rotation stage 250 is mounted above the XY stage 248. Rotation stage 250 is configured to be rotatable in the XY plane (horizontal plane). In other words, the rotation stage 250 is configured to be rotatable around the z-axis. As the rotation stage 250, a known rotation stage 250 including a rotation bearing or the like can be adopted.

回転ステージ２５０の上には、第１昇降機構２３３が搭載されている。第１昇降機構２３３は、シリンダ２５２およびピストン２５４を有する。シリンダ２５２は第２ステージ２３２のベース２３６に連結されている。また、シリンダ２５２には移動可能なピストン２５４が連結されており、シリンダ２５２内の空気圧を調整することで、ピストン２５４を移動することができる。ピストン２５４の端部には、第１ステージ２７０のベース２７４が連結されている。そのため、シリンダ２５２内の空気圧を調整することで、ピストン２５４および第１ステージ２７０を高さ方向（ｚ方向）に移動させることができる。これ
により、第１昇降機構２３３は、基板ＷＦをトップリング３０２から受け取る際には、ベース２７４を上昇させて支持面２７２ａを基板ＷＦに接触させるとともに、吸引路２７２ｂを介して基板ＷＦを吸引している状態でベース２７４を下降させるように構成することができる。さらに、センサ２１６ｂは、支持面２７２ａ上の基板ＷＦの有無を検知するように構成することができる。この場合、第１昇降機構２３３は、基板ＷＦをトップリング３０２から受け取る際に、ベース２７４を下降させた状態においてセンサ２１６ｂにより基板ＷＦが無いと検知された場合には、ベース２７４の昇降を繰り返すように構成することができる。すなわち、トップリング３０２から基板ＷＦの受け取りが正常に行われなかった場合には、第１昇降機構２３３は、再度、ベース２７４を上昇させて支持面２７２ａを基板ＷＦに接触させ、吸引路２７２ｂを介して基板ＷＦを吸引している状態でベース２７４を下降させることができる。 A first elevating mechanism 233 is mounted on the rotation stage 250. The first elevating mechanism 233 has a cylinder 252 and a piston 254. Cylinder 252 is connected to base 236 of second stage 232. Further, a movable piston 254 is connected to the cylinder 252, and the piston 254 can be moved by adjusting the air pressure within the cylinder 252. A base 274 of a first stage 270 is connected to an end of the piston 254 . Therefore, by adjusting the air pressure within the cylinder 252, the piston 254 and the first stage 270 can be moved in the height direction (z direction). Thereby, when receiving the substrate WF from the top ring 302, the first elevating mechanism 233 raises the base 274 to bring the support surface 272a into contact with the substrate WF, and also sucks the substrate WF through the suction path 272b. The base 274 can be configured to be lowered while the base 274 is being held. Furthermore, the sensor 216b can be configured to detect the presence or absence of the substrate WF on the support surface 272a. In this case, when the first elevating mechanism 233 receives the substrate WF from the top ring 302, if the sensor 216b detects that there is no substrate WF while the base 274 is lowered, the first elevating mechanism 233 repeats elevating and lowering the base 274. It can be configured as follows. That is, if the substrate WF is not normally received from the top ring 302, the first lifting mechanism 233 raises the base 274 again to bring the support surface 272a into contact with the substrate WF and open the suction path 272b. The base 274 can be lowered while sucking the substrate WF through the base 274.

上述の構成によれば、第２昇降機構２３１は、第１ステージ２７０および第２ステージ２３２の両方を高さ方向（ｚ方向）に移動させ、第１昇降機構２３３は、第１ステージ２７０を第２ステージ２３２に対して高さ方向（ｚ方向）に移動させることができる。また、第１ステージ２７０および第２ステージ２３２は、ＸＹステージ２４８により、水平面内で直交する２方向（ｘｙ方向）に移動可能である。さらに、第１ステージ２７０および第２ステージ２３２は、回転ステージ２５０により、水平面内（ｚ軸を中心に）で回転可能である。そのため、プッシャ２３０と後述するトップリング３０２との間で基板ＷＦを授受するときに、プッシャ２３０とトップリング３０２との位置合わせを行うことができる。なお、図示の実施形態においては、第１昇降機構２３３および第２昇降機構２３１は、空圧式の昇降機構であるが、これらの昇降機構は液圧式でもよく、またモータおよびボールネジなどを使用した電動式の昇降機構としてもよい。第２昇降機構２３１により、第２ステージ２３２および第１ステージ２７０は下位置および上位置の間を移動することができる。 According to the above configuration, the second elevating mechanism 231 moves both the first stage 270 and the second stage 232 in the height direction (z direction), and the first elevating mechanism 233 moves the first stage 270 in the height direction (z direction). It can be moved in the height direction (z direction) relative to the second stage 232. Further, the first stage 270 and the second stage 232 are movable in two orthogonal directions (xy directions) within a horizontal plane by an XY stage 248. Further, the first stage 270 and the second stage 232 are rotatable in a horizontal plane (centered on the z-axis) by the rotation stage 250. Therefore, when transferring the substrate WF between the pusher 230 and the top ring 302, which will be described later, the pusher 230 and the top ring 302 can be aligned. In the illustrated embodiment, the first elevating mechanism 233 and the second elevating mechanism 231 are pneumatic elevating mechanisms, but these elevating mechanisms may be hydraulic, or electric powered using a motor, ball screw, etc. It is also possible to use a type lifting mechanism. The second lifting mechanism 231 allows the second stage 232 and the first stage 270 to move between the lower position and the upper position.

次に、プッシャ２３０による基板ＷＦの受け渡しについて説明する。図８は、第１ステージ２７０および第２ステージ２３２が下位置にあるときを示している。第１ステージ２７０および第２ステージ２３２が下位置にあるときは、図８に示されるように第２ステージ２３２の支持柱２３４の端部および第１ステージ２７０の支持柱２７２の端部は、搬送ローラ２０２の基板ＷＦを支持する面より低い位置にある。基板ＷＦをトップリング３０２に受け渡す場合、プッシャ２３０は、図８に示す状態から第２昇降機構２３１により第１ステージ２７０および第２ステージ２３２を上昇させることにより、支持柱２７２の支持面２７２ａを基板ＷＦに接触させて基板ＷＦを持ち上げ、図１１に示す状態になる。 Next, the transfer of the substrate WF by the pusher 230 will be explained. FIG. 8 shows the first stage 270 and the second stage 232 in the lower position. When the first stage 270 and the second stage 232 are in the lower position, the ends of the support columns 234 of the second stage 232 and the ends of the support columns 272 of the first stage 270 are It is located at a lower position than the surface of the roller 202 that supports the substrate WF. When transferring the substrate WF to the top ring 302, the pusher 230 raises the support surface 272a of the support column 272 by raising the first stage 270 and the second stage 232 from the state shown in FIG. The substrate WF is brought into contact with the substrate WF and lifted, and the state shown in FIG. 11 is obtained.

図１１は、第１ステージ２７０および第２ステージ２３２が上位置にあるときを示している。第１ステージ２７０および第２ステージ２３２が上位置にあるときは、第２ステージ２３２の支持柱２３４の端部および第１ステージ２７０の支持柱２７２の端部は、搬送ローラ２０２の基板を支持する面より高い位置にある。すなわち、第２ステージ２３２および第１ステージ２７０が下位置から上位置に移動するときに、搬送ローラ２０２上に配置された基板ＷＦを第１ステージ２７０で持ち上げて受け取ることができる。図１１に示す状態では、支持柱２３４の支持面２３４ａがトップリング３０２のリテーナ部材３０８を支持する。プッシャ２３０は、図１１に示す状態から第１昇降機構２３３によって第１ステージ２７０を第２ステージ２３２に対して上昇させることによって、図１２に示す状態になる。 FIG. 11 shows the first stage 270 and the second stage 232 in the upper position. When the first stage 270 and the second stage 232 are in the upper position, the end of the support column 234 of the second stage 232 and the end of the support column 272 of the first stage 270 support the substrate of the transport roller 202. It is located higher than the surface. That is, when the second stage 232 and the first stage 270 move from the lower position to the upper position, the substrate WF placed on the transport roller 202 can be lifted and received by the first stage 270. In the state shown in FIG. 11, the support surface 234a of the support column 234 supports the retainer member 308 of the top ring 302. The pusher 230 enters the state shown in FIG. 12 by raising the first stage 270 from the state shown in FIG. 11 with respect to the second stage 232 using the first elevating mechanism 233.

図１２は、第１ステージ２７０および第２ステージ２３２が上位置にあり、さらに第１ステージ２７０が、第２ステージ２３２に対して上昇した位置にあるときを示している。基板ＷＦをプッシャ２３０からトップリング３０２に受け渡すときは、図１２に示されるように、プッシャ２３０は基板ＷＦを保持する第１ステージ２７０を第２ステージ２３２
に対して上昇させる。これにより、図１２に示すように、基板ＷＦがトップリング３０２に接触する。この状態でトップリング３０２の圧力室Ｐ１に対する真空引きを行うことによって基板ＷＦはトップリング３０２に吸着され、基板ＷＦはトップリング３０２に受け渡される。基板ＷＦをトップリング３０２に受け渡した後、プッシャ２３０は図８に示す状態に戻る。基板ＷＦをトップリング３０２に受け渡す際には、真空源２６０による真空引きは停止されている。 FIG. 12 shows a state in which the first stage 270 and the second stage 232 are in the upper position, and the first stage 270 is in a raised position relative to the second stage 232. When transferring the substrate WF from the pusher 230 to the top ring 302, the pusher 230 transfers the first stage 270 holding the substrate WF to the second stage 232, as shown in FIG.
increase against. Thereby, as shown in FIG. 12, the substrate WF comes into contact with the top ring 302. In this state, by evacuating the pressure chamber P1 of the top ring 302, the substrate WF is attracted to the top ring 302, and the substrate WF is transferred to the top ring 302. After transferring the substrate WF to the top ring 302, the pusher 230 returns to the state shown in FIG. When transferring the substrate WF to the top ring 302, evacuation by the vacuum source 260 is stopped.

一方、プッシャ２３０がトップリング３０２から基板ＷＦを受け取る際には、プッシャ２３０は、図８に示す状態から図１１に示す状態に移行し、その後図１１に示す状態から図１２に示す状態に移行する。すなわち、プッシャ２３０は、図１２に示すように、第１昇降機構２３３によってベース２７４を上昇させて支持面２７２ａを基板ＷＦに接触させる。図１２の状態において、トップリング３０２の圧力室Ｐ１に対する真空引きを停止するとともに、真空源２６０による真空引きを開始する。これにより、吸引路２７２ｂを介して基板ＷＦが支持面２７２ａに吸着される。プッシャ２３０は、基板ＷＦを支持面２７２ａに吸着している状態で第１昇降機構２３３によってベース２７４を下降させることにより、図１１に示す状態になる。 On the other hand, when the pusher 230 receives the substrate WF from the top ring 302, the pusher 230 shifts from the state shown in FIG. 8 to the state shown in FIG. 11, and then shifts from the state shown in FIG. 11 to the state shown in FIG. do. That is, as shown in FIG. 12, the pusher 230 uses the first lifting mechanism 233 to raise the base 274 and bring the support surface 272a into contact with the substrate WF. In the state shown in FIG. 12, evacuation of the pressure chamber P1 of the top ring 302 is stopped, and evacuation by the vacuum source 260 is started. As a result, the substrate WF is attracted to the support surface 272a via the suction path 272b. The pusher 230 enters the state shown in FIG. 11 by lowering the base 274 using the first elevating mechanism 233 while holding the substrate WF on the support surface 272a.

図１１に示す状態において、センサ２１６ｂによって支持面２７２ａ上の基板ＷＦの有無を検知する。プッシャ２３０は、支持面２７２ａ上に基板ＷＦが無いと判定された場合には、再度、第１昇降機構２３３によってベース２７４を上昇させて、基板ＷＦの受け取り動作を行う。プッシャ２３０は、支持面２７２ａ上に基板ＷＦが無いと判定された場合の基板ＷＦの受け取り動作の再試行を、あらかじめ設定された回数繰り返すことができる。基板ＷＦの受け取り動作の再試行をあらかじめ設定された回数繰り返しても支持面２７２ａ上に基板ＷＦが無いと判定された場合には、基板処理装置１０００にアラームを発生させて、基板処理装置１０００を停止することができる。 In the state shown in FIG. 11, the sensor 216b detects the presence or absence of the substrate WF on the support surface 272a. When it is determined that there is no substrate WF on the support surface 272a, the pusher 230 raises the base 274 again by the first elevating mechanism 233 and performs the operation of receiving the substrate WF. The pusher 230 can repeat the retry of the substrate WF receiving operation a preset number of times when it is determined that there is no substrate WF on the support surface 272a. If it is determined that there is no substrate WF on the support surface 272a even after retrying the substrate WF receiving operation a preset number of times, an alarm is generated in the substrate processing apparatus 1000, and the substrate processing apparatus 1000 is restarted. Can be stopped.

一方、プッシャ２３０は、支持面２７２ａ上に基板ＷＦが有ると判定された場合には、真空源２６０による真空引きを停止するとともに、第２昇降機構２３１を用いて第１ステージ２７０および第２ステージ２３２を下降させることによって、基板ＷＦを搬送ローラ２０２上に置き、その後図８に示す状態になる。 On the other hand, when it is determined that there is a substrate WF on the support surface 272a, the pusher 230 stops evacuation by the vacuum source 260 and moves the first stage 270 and the second stage using the second elevating mechanism 231. By lowering 232, the substrate WF is placed on the transport roller 202, and then the state shown in FIG. 8 is achieved.

本実施形態によれば、トップリング３０２に対する基板ＷＦの受け渡しおよび受け取りの際に、プッシャ２３０における支持柱２７２の支持面２７２ａのみが基板ＷＦに接触するので、プッシャ２３０と基板ＷＦとの接触面積を抑えることができる。これにより、基板ＷＦのパターン領域の自由度を広げることができる。また、プッシャ２３０を基板ＷＦに接触するまで上昇させた状態でトップリング３０２から基板ＷＦを受け取るので、基板ＷＦをプッシャ２３０に落下させる場合に比べて、基板ＷＦを破損させず安全に受け取ることができる。さらに、基板ＷＦを受け取る際に、支持柱２７２に形成された吸引路２７２ｂを介して基板ＷＦを吸引するので、プッシャ２３０が確実に基板ＷＦを受け取ることができる。 According to this embodiment, only the support surface 272a of the support column 272 in the pusher 230 comes into contact with the substrate WF when the substrate WF is delivered to and received from the top ring 302, so that the contact area between the pusher 230 and the substrate WF can be reduced. It can be suppressed. Thereby, the degree of freedom in the pattern area of the substrate WF can be increased. Furthermore, since the substrate WF is received from the top ring 302 while the pusher 230 is raised until it contacts the substrate WF, the substrate WF can be received safely without being damaged, compared to the case where the substrate WF is dropped onto the pusher 230. can. Further, when receiving the substrate WF, the substrate WF is sucked through the suction path 272b formed in the support column 272, so that the pusher 230 can reliably receive the substrate WF.

図５、６に示される搬送ユニット２００は、洗浄部を有する。図５、６に示されるように、洗浄部は洗浄ノズル２８４を有する。洗浄ノズル２８４は、搬送ローラ２０２の上側に配置される上洗浄ノズル２８４ａと、下側に配置される下洗浄ノズル２８４ｂとを有する。上洗浄ノズル２８４ａおよび下洗浄ノズル２８４ｂは、図示しない洗浄液の供給源に接続される。上洗浄ノズル２８４ａは、搬送ローラ２０２上を搬送される基板ＷＦの上面に洗浄液を供給するように構成される。下洗浄ノズル２８４ｂは、搬送ローラ２０２上を搬送される基板ＷＦの下面に洗浄液を供給するように構成される。上洗浄ノズル２８４ａおよび下洗浄ノズル２８４ｂは、搬送ローラ２０２上を搬送される基板ＷＦの幅と同程度、またはそれ以上の幅を備え、基板ＷＦが搬送ローラ２０２上を搬送されることで、基板
ＷＦの全面が洗浄されるように構成される。図５、図６に示されるように、洗浄部は、搬送ユニット２００の基板受け渡し領域よりも下流側に位置している。 The transport unit 200 shown in FIGS. 5 and 6 has a cleaning section. As shown in FIGS. 5 and 6, the cleaning section includes a cleaning nozzle 284. The cleaning nozzle 284 includes an upper cleaning nozzle 284a arranged above the conveyance roller 202 and a lower cleaning nozzle 284b arranged below. The upper cleaning nozzle 284a and the lower cleaning nozzle 284b are connected to a cleaning liquid supply source (not shown). The upper cleaning nozzle 284a is configured to supply cleaning liquid to the upper surface of the substrate WF being conveyed on the conveying roller 202. The lower cleaning nozzle 284b is configured to supply cleaning liquid to the lower surface of the substrate WF being conveyed on the conveying roller 202. The upper cleaning nozzle 284a and the lower cleaning nozzle 284b have a width approximately equal to or larger than the width of the substrate WF conveyed on the conveyance roller 202, and as the substrate WF is conveyed on the conveyance roller 202, the substrate WF is conveyed on the conveyance roller 202. The entire surface of the WF is configured to be cleaned. As shown in FIGS. 5 and 6, the cleaning section is located downstream of the substrate transfer area of the transport unit 200.

図５に示されるように、洗浄部において、搬送ローラ２０２の上には上搬送ローラ２９０が配置されている。上搬送ローラ２９０は、動力源に接続されており、回転可能に構成されている。一実施形態において、上搬送ローラ２９０は、搬送ローラ２０２と同様にギア２０６およびモータ２０８により駆動されるように構成される。 As shown in FIG. 5, an upper conveyance roller 290 is arranged above the conveyance roller 202 in the cleaning section. The upper conveyance roller 290 is connected to a power source and is configured to be rotatable. In one embodiment, upper transport roller 290 is configured to be driven by gear 206 and motor 208, similar to transport roller 202.

図１３は、一実施形態による、搬送ユニットを模式的に示す側面図である。図１４は、図１３に示される搬送ユニットを矢印１４の方から見た図である。図１３、図１４に示すように、上搬送ローラ２９０は、上ローラシャフト（第２ローラシャフト）２９１に取り付けられている。図１４に示される実施形態において、上ローラシャフト２９１に３個の上搬送ローラ２９０が取り付けられている。一実施形態において、上搬送ローラ２９０は、搬送ローラ２０２の上に所定の間隔を空けて配置される。所定の間隔は、搬送される基板ＷＦの厚さと同程度とすることができる。この所定の間隔は、後述するように調整可能である。上搬送ローラ２９０の寸法は任意であり、搬送ローラ２０２と同じ寸法でもよく、異なる寸法でもよい。一実施形態において、図１３、１４に示されるように、上搬送ローラ２９０の直径は、搬送ローラ２０２の直径よりも小さい。上搬送ローラ２９０の直径を小さくすることで、搬送ユニット２００の全体の寸法を小さくすることができる。 FIG. 13 is a side view schematically showing a transport unit according to one embodiment. FIG. 14 is a diagram of the transport unit shown in FIG. 13 viewed from the direction of arrow 14. As shown in FIGS. 13 and 14, the upper conveyance roller 290 is attached to an upper roller shaft (second roller shaft) 291. In the embodiment shown in FIG. 14, three upper conveyance rollers 290 are attached to an upper roller shaft 291. In one embodiment, the upper transport roller 290 is disposed above the transport roller 202 at a predetermined distance. The predetermined interval can be approximately the same as the thickness of the substrate WF to be transported. This predetermined interval can be adjusted as described below. The dimensions of the upper conveyance roller 290 are arbitrary, and may be the same dimensions as the conveyance roller 202 or different dimensions. In one embodiment, the diameter of upper transport roller 290 is smaller than the diameter of transport roller 202, as shown in FIGS. By reducing the diameter of the upper transport roller 290, the overall dimensions of the transport unit 200 can be reduced.

図１３、１４に示されるように、ローラシャフト２０４にはギア２８２ａが取り付けられており、上ローラシャフト２９１にはギア２８２ｂが取り付けられている。ローラシャフト２０４の回転力は、ギア２８２ａ、２８２ｂを介して上ローラシャフト２９１に伝達される。一実施形態において、ギア２８２ａ、２８２ｂはマグネットギアとすることができ、また、機械式のギアとしてもよい。搬送ローラ２０２および上搬送ローラ２９０の寸法に応じて、搬送ローラ２０２および上搬送ローラ２９０の回転速度が適切になるようにギア２８２ａ、２８２ｂを調整したり、各ギアのサイズや仕様を変更したりことができる。 As shown in FIGS. 13 and 14, a gear 282a is attached to the roller shaft 204, and a gear 282b is attached to the upper roller shaft 291. The rotational force of the roller shaft 204 is transmitted to the upper roller shaft 291 via gears 282a and 282b. In one embodiment, gears 282a, 282b may be magnetic gears or may be mechanical gears. Depending on the dimensions of the conveyance roller 202 and the upper conveyance roller 290, the gears 282a and 282b may be adjusted so that the rotational speed of the conveyance roller 202 and the upper conveyance roller 290 is appropriate, or the size and specifications of each gear may be changed. be able to.

上ローラシャフト２９１の両端部は、支持部材２９２に連結されている。また、複数の上ローラシャフト２９１の両側には、基板ＷＦの搬送方向に伸びるベース２９５が設けられている。ベース２９５の上面と支持部材２９２の下面との間にはバネなどの弾性部材２９６が設けられており、弾性部材２９６により支持部材２９２はベース２９５に向けて付勢されている。そのため、支持部材２９２は、弾性部材２９６によりベース２９５に向けて付勢されているが、上方向に移動可能である。 Both ends of the upper roller shaft 291 are connected to a support member 292. Moreover, bases 295 extending in the transport direction of the substrate WF are provided on both sides of the plurality of upper roller shafts 291. An elastic member 296 such as a spring is provided between the upper surface of the base 295 and the lower surface of the support member 292, and the support member 292 is urged toward the base 295 by the elastic member 296. Therefore, the support member 292 is urged toward the base 295 by the elastic member 296, but is movable upward.

また、図５に示すように、搬送ユニット２００は、基板ＷＦの厚みを測定する厚みセンサ２１７を含む。厚みセンサ２１７は、搬送ユニット２００の入口付近に配置され、搬送ユニット２００に搬入された基板ＷＦの厚みを測定するように構成される。また、搬送ユニット２００は、厚みセンサ２１７による測定結果に応じて、搬送ローラ２０２および上搬送ローラ２９０の少なくとも一方の位置を動かせて、互いに対向する搬送ローラ２０２と上搬送ローラ２９０との間の間隔を調整する駆動装置２１１を含む。図１３、図１４の実施形態では、駆動装置２１１は、ベース２９５にねじ込まれたねじ軸２１０と、ねじ軸２１０を回転駆動するモータ２０９と、を含む。駆動装置２１１は、厚みセンサ２１７によって測定された基板ＷＦの厚みに応じてモータ２０９を回転駆動することによってベース２９５の位置を上下に駆動することができ、これによって搬送ローラ２０２と上搬送ローラ２９０との間の間隔を調整することができる。 Further, as shown in FIG. 5, the transport unit 200 includes a thickness sensor 217 that measures the thickness of the substrate WF. The thickness sensor 217 is arranged near the entrance of the transport unit 200 and is configured to measure the thickness of the substrate WF carried into the transport unit 200. Further, the conveyance unit 200 can move the position of at least one of the conveyance roller 202 and the upper conveyance roller 290 according to the measurement result by the thickness sensor 217, thereby increasing the distance between the conveyance roller 202 and the upper conveyance roller 290 that face each other. It includes a drive device 211 that adjusts the. In the embodiment shown in FIGS. 13 and 14, the drive device 211 includes a screw shaft 210 screwed into a base 295, and a motor 209 that rotationally drives the screw shaft 210. The drive device 211 can drive the base 295 up and down by rotationally driving the motor 209 according to the thickness of the substrate WF measured by the thickness sensor 217, thereby moving the transport roller 202 and the upper transport roller 290. You can adjust the spacing between.

たとえば、駆動装置２１１は、厚みセンサ２１７によって測定された基板ＷＦの厚みが薄い場合には、ベース２９５の位置を下げて搬送ローラ２０２と上搬送ローラ２９０との
間の間隔を狭くする。一方、駆動装置２１１は、厚みセンサ２１７によって測定された基板ＷＦの厚みが厚い場合には、ベース２９５の位置を上げて搬送ローラ２０２と上搬送ローラ２９０との間の間隔を広くする。本実施形態によれば、様々な厚みを有する多種多様の基板ＷＦを取り扱う場合、または、基板ＷＦに反りがある場合であっても、上搬送ローラ２９０を基板ＷＦに常に適切な応力で接触させて上搬送ローラ２９０の回転力を基板ＷＦに伝達でき、搬送ローラ２０２と上搬送ローラ２９０とで基板ＷＦを安定的に搬送することができる。 For example, if the thickness of the substrate WF measured by the thickness sensor 217 is thin, the drive device 211 lowers the position of the base 295 to narrow the distance between the transport roller 202 and the upper transport roller 290. On the other hand, if the thickness of the substrate WF measured by the thickness sensor 217 is thick, the drive device 211 raises the position of the base 295 to widen the distance between the transport roller 202 and the upper transport roller 290. According to this embodiment, even when handling a wide variety of substrates WF having various thicknesses, or even when the substrate WF is warped, the upper conveyance roller 290 can always be brought into contact with the substrate WF with appropriate stress. The rotational force of the upper transport roller 290 can be transmitted to the substrate WF, and the transport roller 202 and the upper transport roller 290 can stably transport the substrate WF.

これに加えて、支持部材２９２は、弾性部材２９６によりベース２９５に向けて付勢された状態で、上方向に移動可能である。そのため、搬送する基板ＷＦに凹凸がある場合や、基板ＷＦに反りがある場合にでも、上搬送ローラ２９０を基板ＷＦに常に接触させて上搬送ローラ２９０の回転力を基板ＷＦに伝達でき、搬送ローラ２０２と上搬送ローラ２９０とで基板ＷＦを安定的に搬送することができる。なお、上搬送ローラ２９０の上ローラシャフト２９１への取り付け位置は、搬送ローラ２０２とともに搬送する基板ＷＦの寸法に応じて変更することができる。 In addition, the support member 292 is movable upward while being urged toward the base 295 by the elastic member 296. Therefore, even if the substrate WF to be transported has unevenness or is warped, the upper transport roller 290 can be kept in constant contact with the substrate WF, and the rotational force of the upper transport roller 290 can be transmitted to the substrate WF. The substrate WF can be stably transported by the roller 202 and the upper transport roller 290. Note that the attachment position of the upper transport roller 290 to the upper roller shaft 291 can be changed depending on the dimensions of the substrate WF to be transported together with the transport roller 202.

一実施形態において、上述の上搬送ローラ２９０は、基板受け渡し領域以外の領域に設けることができる。たとえば、上搬送ローラ２９０を基板受け渡し領域の下流にある洗浄部に設けることができ、また、基板受け渡し領域の上流側に設けてもよい。さらに、上搬送ローラ２９０は、上述したロードユニット１００、後述する乾燥ユニット５００、およびアンロードユニット６００に設けてもよい。 In one embodiment, the above-mentioned upper transport roller 290 can be provided in an area other than the substrate transfer area. For example, the upper transport roller 290 can be provided in a cleaning section downstream of the substrate transfer area, or may be provided upstream of the substrate transfer area. Further, the upper conveyance roller 290 may be provided in the load unit 100 described above, the drying unit 500 described later, and the unload unit 600.

図５に示されるように、センサ２１６ｄは、洗浄部の入口付近に配置されている。一実施形態において、センサ２１６ｄにより基板ＷＦを検知したら、洗浄ノズル２８４から洗浄液を噴射して基板ＷＦの洗浄を開始することができる。また、基板ＷＦの洗浄中は、搬送ローラ２０２の回転数を洗浄用の速度にしてもよい。センサ２１６ｅは洗浄部内に配置されており、センサ２１６ｅにより基板ＷＦの位置を監視しながら、基板ＷＦを洗浄しながら基板ＷＦが搬送される。図５の実施形態において、センサ２１６ｆは洗浄部出口点付近に配置される。一実施形態において、センサ２１６ｆにより基板ＷＦを検知したら、洗浄ノズル２８４からの洗浄液の噴射を終了することができる。基板ＷＦの洗浄中は、搬送ローラ２０２および上搬送ローラ２９０により基板ＷＦが挟まれて搬送されるので、洗浄液の噴射中であっても基板ＷＦを安定的に搬送することができる。 As shown in FIG. 5, the sensor 216d is placed near the entrance of the cleaning section. In one embodiment, once the substrate WF is detected by the sensor 216d, a cleaning liquid can be ejected from the cleaning nozzle 284 to begin cleaning the substrate WF. Further, while cleaning the substrate WF, the rotation speed of the transport roller 202 may be set to a cleaning speed. The sensor 216e is disposed in the cleaning section, and the substrate WF is transported while the sensor 216e monitors the position of the substrate WF and cleans the substrate WF. In the embodiment of FIG. 5, sensor 216f is located near the washer exit point. In one embodiment, the spraying of the cleaning liquid from the cleaning nozzle 284 may end once the substrate WF is detected by the sensor 216f. During cleaning of the substrate WF, the substrate WF is conveyed while being sandwiched between the conveyance roller 202 and the upper conveyance roller 290, so that the substrate WF can be stably conveyed even while the cleaning liquid is being sprayed.

図５に示されるように、搬送ユニット２００は、開閉可能な出口シャッタ２８６を有する。また、搬送ユニット２００は、出口付近にセンサ２１６ｇを備える。一実施形態において、センサ２１６ｇにより基板ＷＦを検知したら、出口シャッタ２８６を開き、次のユニットに基板ＷＦを搬送するようにしてもよい。一実施形態において、センサ２１６ｇにより基板ＷＦを検知したら、出口シャッタ２８６を開かずに、搬送ローラ２０２での基板ＷＦの搬送を停止し、次のユニットの処理を待ち、次のユニットの基板受け入れ準備が整った後に、出口シャッタ２８６を開き、基板ＷＦを次のユニットへ搬送するようにしてもよい。 As shown in FIG. 5, the transport unit 200 has an exit shutter 286 that can be opened and closed. The transport unit 200 also includes a sensor 216g near the exit. In one embodiment, once the substrate WF is detected by the sensor 216g, the exit shutter 286 may be opened to transport the substrate WF to the next unit. In one embodiment, when the sensor 216g detects the substrate WF, the conveyance of the substrate WF by the conveyance roller 202 is stopped without opening the exit shutter 286, the process of the next unit is waited, and the next unit is ready to receive the substrate. After the preparation is completed, the exit shutter 286 may be opened and the substrate WF may be transported to the next unit.

以上、いくつかの本発明の実施形態について説明してきたが、上記した発明の実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明にはその等価物が含まれることは勿論である。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、特許請求の範囲および明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、または、省略が可能である。 Although several embodiments of the present invention have been described above, the embodiments of the invention described above are for facilitating understanding of the present invention, and do not limit the present invention. The present invention may be modified and improved without departing from its spirit, and it goes without saying that the present invention includes equivalents thereof. In addition, any combination or omission of each component described in the claims and specification is possible within the scope of solving at least part of the above-mentioned problems or achieving at least part of the effect. It is.

上述の実施形態から少なくとも以下の技術的思想が把握される。
［形態１］形態１によれば、プッシャが提供され、プッシャは、基板を支持するための支持面を一方の端部に有する複数の第１支持柱と、前記複数の第１支持柱の他方の端部と連結される第１ベースと、前記第１ベースを昇降させる第１昇降機構と、を含み、前記支持面は、前記基板をトップリングに受け渡す際および前記基板を前記トップリングから受け取る際に前記基板を支持するように構成され、前記複数の第１支持柱の少なくとも１つには、真空源に連通し前記支持面に開口する吸引路が形成される。 At least the following technical idea can be understood from the above-described embodiments.
[Form 1] According to Form 1, a pusher is provided, and the pusher includes a plurality of first support columns having a support surface for supporting a substrate at one end thereof, and the other of the plurality of first support columns. a first base connected to an end of the base, and a first elevating mechanism for elevating the first base; The substrate is configured to support the substrate upon receiving, and at least one of the plurality of first support columns is formed with a suction path that communicates with a vacuum source and opens to the support surface.

［形態２］形態２によれば、前記複数の第１支持柱の少なくとも１つは、前記基板を前記トップリングから受け取る際に前記吸引路を介して前記基板を吸引するように構成される。 [Embodiment 2] According to embodiment 2, at least one of the plurality of first support columns is configured to suck the substrate through the suction path when receiving the substrate from the top ring.

［形態３］形態３によれば、前記第１昇降機構は、前記基板を前記トップリングから受け取る際に、前記第１ベースを上昇させて前記支持面を前記基板に接触させ、前記吸引路を介して前記基板を吸引している状態で前記第１ベースを下降させるように構成される。 [Embodiment 3] According to embodiment 3, when receiving the substrate from the top ring, the first elevating mechanism raises the first base to bring the support surface into contact with the substrate and opens the suction path. The first base is configured to be lowered while sucking the substrate through the first base.

［形態４］形態４によれば、プッシャは、前記支持面上の基板の有無を検知するためのセンサをさらに含み、前記第１昇降機構は、前記基板を前記トップリングから受け取る際に、前記第１ベースを下降させた状態において前記センサにより基板が無いと検知された場合には、前記第１ベースの昇降を繰り返すように構成される。 [Form 4] According to Form 4, the pusher further includes a sensor for detecting the presence or absence of the substrate on the support surface, and the first elevating mechanism If the sensor detects that there is no substrate while the first base is lowered, the first base is repeatedly raised and lowered.

［形態５］形態５によれば、プッシャは、前記基板を前記トップリングに受け渡す際および前記基板を前記トップリングから受け取る際に前記トップリングを支持するための支持面を一方の端部に有する複数の第２支持柱と、前記複数の第２支持柱の他方の端部と連結される第２ベースと、前記第１ベースおよび前記第２ベースを昇降させる第２昇降機構と、をさらに含む。 [Embodiment 5] According to embodiment 5, the pusher has a support surface on one end for supporting the top ring when delivering the substrate to the top ring and receiving the substrate from the top ring. a second base connected to the other end of the plurality of second support columns; and a second elevating mechanism for elevating the first base and the second base. include.

［形態６］形態６によれば、基板を搬送するための基板搬送装置が提供される。基板搬送装置は、基板の下面を支持するように構成される複数の第１搬送ローラと、前記複数の搬送ローラが取り付けられる複数の第１ローラシャフトと、前記複数の第１ローラシャフトを回転させるためのモータと、前記複数の第１搬送ローラの上にある基板を持ち上げて前記トップリングに受け渡すとともに前記トップリングから受け取った基板を前記複数の第１搬送ローラの上に置くための上記のいずれかに記載のプッシャと、を有し、前記プッシャは、前記複数の第１支持柱が前記複数の第１ローラシャフトの間の隙間を通過するように配置される。 [Embodiment 6] According to Embodiment 6, a substrate transport device for transporting a substrate is provided. The substrate transport device rotates a plurality of first transport rollers configured to support a lower surface of a substrate, a plurality of first roller shafts to which the plurality of transport rollers are attached, and a plurality of first roller shafts. a motor for lifting a substrate placed on the plurality of first transport rollers and delivering it to the top ring, and placing the substrate received from the top ring on the plurality of first transport rollers; It has the pusher according to any one of the above, and the pusher is arranged such that the plurality of first support columns pass through gaps between the plurality of first roller shafts.

［形態７］形態７によれば、前記プッシャは、前記複数の第１支持柱とともに前記複数の第２支持柱が前記複数の第１ローラシャフトの間の隙間を通過するように配置される。 [Embodiment 7] According to embodiment 7, the pusher is arranged such that the plurality of first support columns and the plurality of second support columns pass through gaps between the plurality of first roller shafts.

［形態８］形態８によれば、基板搬送装置は、前記基板の上面を支持するように構成される複数の第２搬送ローラと、前記複数の第２搬送ローラが取り付けられる複数の第２ローラシャフトと、をさらに含み、前記モータは、前記第１ローラシャフトとともに前記第２ローラシャフトを回転させるように構成される。 [Embodiment 8] According to Embodiment 8, the substrate transport device includes a plurality of second transport rollers configured to support the upper surface of the substrate, and a plurality of second rollers to which the plurality of second transport rollers are attached. a shaft, the motor configured to rotate the second roller shaft together with the first roller shaft.

［形態９］形態９によれば、基板搬送装置は、前記基板の厚みを測定する厚みセンサと、前記厚みセンサによる測定結果に応じて、前記複数の第１搬送ローラおよび前記複数の第２搬送ローラの少なくとも一方の位置を動かせて前記複数の第１搬送ローラと前記複数の第２搬送ローラとの間の間隔を調整する駆動装置と、をさらに含む。 [Embodiment 9] According to embodiment 9, the substrate conveyance device includes a thickness sensor that measures the thickness of the substrate, and a plurality of first conveyance rollers and a plurality of second conveyance rollers according to a measurement result by the thickness sensor. The apparatus further includes a drive device that adjusts the distance between the plurality of first conveyance rollers and the plurality of second conveyance rollers by moving the position of at least one of the rollers.

［形態１０］形態１０によれば、基板搬送装置は、前記第２搬送ローラを前記第１搬送ローラの方向に向けて付勢するように構成された弾性部材をさらに含む。 [Embodiment 10] According to Embodiment 10, the substrate transport device further includes an elastic member configured to bias the second transport roller in the direction of the first transport roller.

［形態１１］形態１１によれば、基板処理装置が提供され、基板処理装置は、基板を研磨するための研磨ユニットと、基板を搬送するための搬送ユニットと、基板を乾燥させるための乾燥ユニットと、を含み、前記搬送ユニットは、上記のいずれかに記載の基板搬送装置を含む。 [Embodiment 11] According to embodiment 11, a substrate processing apparatus is provided, and the substrate processing apparatus includes a polishing unit for polishing a substrate, a transport unit for transporting the substrate, and a drying unit for drying the substrate. and, the transport unit includes the substrate transport device according to any one of the above.

２００搬送ユニット
２０２搬送ローラ（第１搬送ローラ）
２０４ローラシャフト（第１ローラシャフト）
２０８モータ
２０９モータ
２１１駆動装置
２１６センサ
２１７厚みセンサ
２３０プッシャ
２３１第２昇降機構
２３３第１昇降機構
２３４支持柱（第２支持柱）
２３４ａ支持面
２３６ベース（第２ベース）
２６０真空源
２７２支持柱（第１支持柱）
２７２ａ支持面
２７２ｂ吸引路
２７４ベース（第１ベース）
２９０上搬送ローラ（第２搬送ローラ）
２９１上ローラシャフト（第２ローラシャフト）
２９６弾性部材
３００研磨ユニット
３０２トップリング
５００乾燥ユニット
１０００基板処理装置
ＷＦ基板 200 Conveyance unit 202 Conveyance roller (first conveyance roller)
204 Roller shaft (first roller shaft)
208 Motor 209 Motor 211 Drive device 216 Sensor 217 Thickness sensor 230 Pusher 231 Second lifting mechanism 233 First lifting mechanism 234 Support column (second support column)
234a Support surface 236 Base (second base)
260 Vacuum source 272 Support column (first support column)
272a Support surface 272b Suction path 274 Base (first base)
290 Upper conveyance roller (second conveyance roller)
291 Upper roller shaft (second roller shaft)
296 Elastic member 300 Polishing unit 302 Top ring 500 Drying unit 1000 Substrate processing apparatus WF Substrate

Claims

a plurality of first support pillars each having a support surface at one end for supporting a rectangular substrate;
a first base connected to the other end of the plurality of first support columns;
a first lifting mechanism that lifts and lowers the first base;
including;
the support surface is configured to support the substrate during transfer of the substrate to the top ring and upon receipt of the substrate from the top ring;
A suction path that communicates with a vacuum source and opens to the support surface is formed in at least one of the plurality of first support columns ,
The plurality of first support columns are configured to become thinner toward the support surface,
moreover,
a plurality of second support columns each having a support surface at one end for supporting the top ring when transferring the substrate to the top ring and receiving the substrate from the top ring;
a second base connected to the other end of the plurality of second support columns;
a second lifting mechanism that lifts and lowers the first base and the second base;
including;
At one end of each of the second support pillars at four corners of the plurality of second support pillars, the support surface of the second support pillar is configured to support the support surface of the second support pillar when receiving a substrate from the top ring. a flat support surface for supporting a top ring, further comprising an inclined surface for guiding the top ring;
Pusha.

at least one of the plurality of first support columns is configured to suction the substrate via the suction path when receiving the substrate from the top ring;
The pusher according to claim 1.

When receiving the substrate from the top ring, the first lifting mechanism raises the first base to bring the support surface of the first support column into contact with the substrate, and lifts the substrate through the suction path. configured to lower the first base while suctioning the first base;
The pusher according to claim 1 or 2.

further comprising a sensor for detecting the presence or absence of a substrate on the support surface of the first support column ,
When receiving the substrate from the top ring, the first lifting mechanism repeats lifting and lowering of the first base if the sensor detects that there is no substrate while the first base is lowered. configured as,
The pusher according to claim 3.

A substrate transport device for transporting a board,
a plurality of first transport rollers configured to support the lower surface of the substrate;
a plurality of first roller shafts to which the plurality of conveyance rollers are attached;
a motor for rotating the plurality of first roller shafts;
5. Any one of claims 1 to 4 , wherein the substrate placed on the plurality of first conveyance rollers is lifted and delivered to the top ring, and the substrate received from the top ring is placed on the plurality of first conveyance rollers. or the pusher according to item 1,
The pusher is arranged such that the plurality of first support columns pass through gaps between the plurality of first roller shafts.
Substrate transport device.

The pusher is arranged such that the plurality of first support columns and the plurality of second support columns pass through gaps between the plurality of first roller shafts.
The substrate transport device according to claim 5 .

a plurality of second transport rollers configured to support the upper surface of the substrate;
a plurality of second roller shafts to which the plurality of second conveyance rollers are attached;
further including;
the motor is configured to rotate the second roller shaft together with the first roller shaft;
The substrate transport device according to claim 5 or 6 .

The diameter of the second conveyance roller is smaller than the diameter of the first conveyance roller.
The substrate transport device according to claim 7 .

a first gear attached to the first roller shaft;
a second gear attached to the second roller shaft and rotating in conjunction with rotation of the first gear;
The substrate transport device according to claim 7 or 8 .

a thickness sensor that measures the thickness of the substrate;
The position of at least one of the plurality of first transport rollers and the plurality of second transport rollers can be moved according to the measurement result by the thickness sensor, so that the position of the plurality of first transport rollers and the plurality of second transport rollers can be moved. a drive device that adjusts the distance between the
further including,
The substrate transport device according to any one of claims 7 to 9 .

further comprising an elastic member configured to bias the second conveyance roller toward the first conveyance roller;
The substrate transport device according to claim 10 .

Both ends of the second roller shaft are each connected to a support member,
Bases extending in the substrate conveyance direction are provided on both sides of the second roller shaft,
the elastic member is disposed between the upper surface of the base and the lower surface of the support member;
The substrate transport device according to claim 11 .

a polishing unit for polishing the substrate;
a transport unit for transporting the substrate;
a drying unit for drying the substrate;
The transport unit includes the substrate transport device according to any one of claims 5 to 12 .
Substrate processing equipment.