JP7450954B2 - 圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置 - Google Patents
圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7450954B2 JP7450954B2 JP2022033740A JP2022033740A JP7450954B2 JP 7450954 B2 JP7450954 B2 JP 7450954B2 JP 2022033740 A JP2022033740 A JP 2022033740A JP 2022033740 A JP2022033740 A JP 2022033740A JP 7450954 B2 JP7450954 B2 JP 7450954B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capture
- conduit
- trap device
- pressure measurement
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims description 70
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 title claims description 34
- 230000002265 prevention Effects 0.000 title description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 57
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 51
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 35
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 23
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 21
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 11
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 6
- 238000007743 anodising Methods 0.000 claims description 4
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 30
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 11
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 3
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000012809 cooling fluid Substances 0.000 description 2
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- DIZPMCHEQGEION-UHFFFAOYSA-H aluminium sulfate (anhydrous) Chemical compound [Al+3].[Al+3].[O-]S([O-])(=O)=O.[O-]S([O-])(=O)=O.[O-]S([O-])(=O)=O DIZPMCHEQGEION-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 239000013618 particulate matter Substances 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 230000005676 thermoelectric effect Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Separating Particles In Gases By Inertia (AREA)
Description
本発明は、先行技術の問題点を解決するためのものであって、下記のような目的を有する。
12:測定導管
15:圧力測定手段
16:熱電素子モジュール
21a、21b:フィルターケース
23_1ないし24_K:多孔板
31:基材ブロック
32:アルミニウムベース
51a、51b:チャンバケース
53:多孔捕獲チャンバ
431:流動ブロック
432:多孔板
531:捕獲胴体
532:流入多孔板
Claims (6)
- 圧力測定手段15と、
工程チャンバ11と圧力測定手段15とを連結する測定導管12と、
測定導管12に結合されるか、測定導管12の一部を形成しながら測定導管12に沿って流動する流体に含まれた粒子を捕獲する捕獲手段と、を含み、
捕獲手段は、粒子の捕獲のためのフィルターブロックを含み、
フィルターブロックは、それぞれが中空のハーフシリンダー状になる一対のフィルターケース21a、21b;及び一対のフィルターケース21a、21bの内部に配される複数の多孔板23_1ないし23_K;を含み、それぞれのフィルターケース21a、21bの内部の周面に長手方向に沿って互いに分離されて連続して配列された固定タブ22_1ないし22_Nに多孔板23_1ないし24_Nが配置され、それぞれの多孔板23_1ないし24_Nに多数個の気孔P_1ないしP_Kが形成され、互いに隣接する多孔板23_1ないし24_Kの気孔P_1ないしP_Kがガスの流動方向に対して交互に位置しうる
ことを特徴とする圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置。 - 捕獲手段は、流体の温度を調節する温度調節手段を含む
請求項1に記載の圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置。 - 多孔板はアノダイジングによって形成されたアルミニウム多孔板を含む
請求項1に記載の圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置。 - 圧力測定手段15と、
工程チャンバ11と圧力測定手段15とを連結する測定導管12と、
測定導管12に結合されるか、測定導管12の一部を形成しながら測定導管12に沿って流動する流体に含まれた粒子を捕獲する捕獲手段と、を含み、
捕獲手段は、互いに分離されて垂直方向に積層された多数個の多孔板432と、互いに積層された多孔板432の中心部分に垂直方向に分離板431及び、分離板431の上側部分に突出し、分離板431と結合する蓋44を含み、多数個の多孔板432及び、分離板431が内部に配置される流動フィルターケース41の一面に工程チャンバと連結される流入導管42aが形成され、流動フィルターケース41の他面に圧力測定手段15と連結されるフィルター導管42bが形成され、蓋44が外側に形成された入口45a及び出口45bと連結された冷却経路(CL)が分離板431に形成される
ことを特徴とする圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置。
- 冷却水の流動のための流動ブロック431を含む
請求項1に記載の圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置。 - 圧力測定手段15と、
工程チャンバ11と圧力測定手段15とを連結する測定導管12と、
測定導管12に結合されるか、測定導管12の一部を形成しながら測定導管12に沿って流動する流体に含まれた粒子を捕獲する捕獲手段と、を含み、
捕獲手段は、多孔捕獲チャンバ53を含み、多孔捕獲チャンバ53は、シリンダー状に延びる捕獲胴体531と、
捕獲胴体531の前面及び裏面を形成する流入多孔板532及び排出多孔板と、
捕獲胴体531の前端部及び後端部に形成された固定フレーム533a、533bを含み、捕獲チャンバ531は、表面に均一に形成された多数個の気孔を含み、内部表面に均一に形成された捕集ホールを含む
ことを特徴とする圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022033740A JP7450954B2 (ja) | 2022-03-04 | 2022-03-04 | 圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022033740A JP7450954B2 (ja) | 2022-03-04 | 2022-03-04 | 圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023129007A JP2023129007A (ja) | 2023-09-14 |
JP7450954B2 true JP7450954B2 (ja) | 2024-03-18 |
Family
ID=87973073
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022033740A Active JP7450954B2 (ja) | 2022-03-04 | 2022-03-04 | 圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7450954B2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002148130A (ja) | 2000-11-08 | 2002-05-22 | Anelva Corp | 活性種除外部材及び真空処理装置用計測器 |
JP2002336628A (ja) | 2001-05-17 | 2002-11-26 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 排ガス中の浮遊微粒子除去装置 |
JP2004204824A (ja) | 2002-12-26 | 2004-07-22 | Tokyo Shosen Univ | 排ガス中の微粒子除去装置 |
JP2013084833A (ja) | 2011-10-12 | 2013-05-09 | Mitsubishi Electric Corp | 炭酸ガスレーザ発振器 |
JP2020062641A (ja) | 2015-03-27 | 2020-04-23 | 株式会社デンソー | 排ガス浄化フィルタ及び排ガス浄化装置 |
-
2022
- 2022-03-04 JP JP2022033740A patent/JP7450954B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002148130A (ja) | 2000-11-08 | 2002-05-22 | Anelva Corp | 活性種除外部材及び真空処理装置用計測器 |
JP2002336628A (ja) | 2001-05-17 | 2002-11-26 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 排ガス中の浮遊微粒子除去装置 |
JP2004204824A (ja) | 2002-12-26 | 2004-07-22 | Tokyo Shosen Univ | 排ガス中の微粒子除去装置 |
JP2013084833A (ja) | 2011-10-12 | 2013-05-09 | Mitsubishi Electric Corp | 炭酸ガスレーザ発振器 |
JP2020062641A (ja) | 2015-03-27 | 2020-04-23 | 株式会社デンソー | 排ガス浄化フィルタ及び排ガス浄化装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2023129007A (ja) | 2023-09-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4855497B2 (ja) | 処理装置 | |
TWI630652B (zh) | 基板處理裝置及使用基板處理裝置之基板處理方法 | |
KR100564272B1 (ko) | 반도체 부산물 트랩장치 | |
KR101433774B1 (ko) | 3중층으로 구성된 먼지포집용 여과체 | |
JP2007536503A (ja) | 半導体処理システム内のフッ素またはハロゲン種を感知するニッケルコーティング自立炭化ケイ素シリコン構造ならびに、その作製および使用方法 | |
KR101116585B1 (ko) | 3차원 집적 회로를 제조하는 방법, 장치, 및 시스템 | |
JP7450954B2 (ja) | 圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置 | |
US20220178617A1 (en) | Heat exchanger with multistaged cooling | |
CN212342579U (zh) | 去除晶圆表面汞残留处理装置 | |
CN105637625A (zh) | 用于连续制造多孔硅层的装置和方法 | |
US20120174773A1 (en) | Gas purification apparatus and method | |
CN1774618A (zh) | 耐蚀金属制热式质量流量传感器及采用它的流体供给设备 | |
TW201734425A (zh) | 毫秒退火系統的漏液偵測 | |
KR102395539B1 (ko) | 압력 측정 오차 방지를 위한 입자 트랩 장치 | |
FR2673708A1 (fr) | Separateur fonctionnant en apesanteur. | |
KR100923265B1 (ko) | 배기가스 데포지션 장치 및 방법 | |
JP2005279632A (ja) | 蓄熱式移動顆粒ベッドを具える気体加熱、高温浄化装置 | |
CN116920530A (zh) | 用于防止压力测量误差的粒子捕获装置 | |
TW202338310A (zh) | 用於防止壓力測量誤差的粒子捕獲裝置 | |
TW202407088A (zh) | 藥液及藥液收容體 | |
TW200528391A (en) | Ozone processing method and ozone processing apparatus | |
JPH1022263A (ja) | プラズマエッチング装置 | |
JPH0218894B2 (ja) | ||
KR20010012924A (ko) | 정전 척 | |
TWI668045B (zh) | 高純度氣體純化器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220304 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230502 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230801 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231107 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231116 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240213 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240228 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7450954 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |