JP7448241B2 - 斜めの衝突部分を有する電子コレクタ - Google Patents
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Description
電子ビームを相互作用領域に向けること610;
電子コレクタの衝突部分に電子ビームを衝突させること620;
衝突する電子ビームによって発生した電流を測定すること630;
電子ビームによって送達される吸収電力密度を計算すること;
吸収電力密度を所定の閾値未満に保つために、電子ビームの集束角及び電力のうちの少なくとも1つを調整すること640;
電子ビームを液体ターゲット上で移動させること650;
衝突する電子ビームによって発生した電流を測定すること660;及び
移動させること及び測定することに基づいて、電子ビームのスポットサイズを計算すること670。
Claims (15)
- X線源(100)であって、
前記X線源の相互作用領域(I)内に液体ターゲット(J)を提供するように構成された液体ターゲット源(110)と、
電子ビームが前記液体ターゲットと相互作用してX線放射を発生させるように、前記相互作用領域に向けられた電子ビーム(122)を提供するように構成された電子源(120)と、
前記電子ビームの進行方向に沿って見たときに、前記相互作用領域の下流に距離を置いて配置された電子コレクタ(130)と
を備え
前記電子コレクタは、衝突する前記電子ビームの電子を吸収するように構成された衝突部分(132)を備え、
前記衝突部分は、前記衝突部分における前記電子ビームの前記進行方向に対して斜めになるように配置され、
前記衝突部分は、前記電子コレクタ内に延在する凹部の内面の一部を形成し、
前記凹部は、前記電子ビームが前記凹部の底部に直接衝突することを防ぐように方向付けされている、
X線源。 - 前記衝突部分は、前記衝突部分における前記電子ビームの前記進行方向に対して斜めの法線を有する面から形成されている、請求項1に記載のX線源。
- 前記衝突部分は、前記衝突する電子ビームによって伝達される吸収電力密度を低減するための表面構造を備える、請求項1に記載のX線源。
- 前記衝突部分は、前記衝突部分が前記衝突部分における前記進行方向に直交する場合と比較して、吸収電力密度が少なくとも低減係数だけ低減されるように選択された入射角で前記電子ビームが衝突することができるように配置されている、請求項1乃至3のいずれか一項に記載のX線源。
- 前記低減係数は、少なくとも5、例えば少なくとも10である、請求項4に記載のX線源。
- 前記入射角は、1.5度~30度、例えば3度~20度、例えば3度~10度の範囲である、請求項4又は5に記載のX線源。
- 前記衝突部分は、前記電子ビームの断面全体を収容するように構成されている、請求項1乃至6のいずれか一項に記載のX線源。
- 前記凹部は、前記電子コレクタ内に止まり孔を形成するボアである、請求項1乃至7のいずれか一項に記載のX線源。
- 前記凹部は、そのような凹部を有さない電子コレクタと比較して、入射電子が前記電子コレクタから逃げる確率が低くなるように配置されている、請求項1乃至8のいずれか一項に記載のX線源。
- 前記凹部の入口の上流に配置されたアパーチャ(140)を更に備え、前記アパーチャの断面は、前記凹部の断面よりも小さい、請求項1乃至9のいずれか一項に記載のX線源。
- 前記電子コレクタから熱を運び去るための冷却装置を更に備え、前記冷却装置は、前記電子コレクタを通って冷却流体を導くための冷却チャネルを備える、請求項1乃至10のいずれか一項に記載のX線源。
- 前記電子コレクタによって吸収される電流を測定するための構成(150)を更に備える、請求項1乃至11のいずれか一項に記載のX線源。
- 相互作用領域における、電子ビームと液体ターゲットとの間の相互作用によってX線放射を発生させるように構成されたX線源における方法であって、
前記電子ビームを前記相互作用領域に向けること(610)と、
前記電子ビームの進行方向に沿って見たときに、前記相互作用領域の下流に距離を置いて配置された電子コレクタの衝突部分に前記電子ビームを衝突させること(620)と
を備え、
前記衝突部分は、前記衝突部分における前記電子ビームの前記進行方向に対して傾めであり、前記電子コレクタ内に延在する凹部の内面の一部を形成し、
前記凹部は、前記電子ビームが前記凹部の底部に直接衝突することを防ぐように方向付けされている、
方法。 - 前記衝突する電子ビームによって発生した電流を測定すること(630)と、
前記電子ビームによって送達される吸収電力密度を計算することと、
前記吸収電力密度を所定の閾値未満に保つために、前記電子ビームの集束角及び電力のうちの少なくとも1つを調整すること(640)と
を更に備える、請求項13に記載の方法。 - 前記電子ビームを前記液体ターゲット上で移動させること(650)と、
前記衝突する電子ビームによって発生した電流を測定すること(660)と、
前記移動させること及び測定することに基づいて、前記電子ビームのスポットサイズを計算すること(670)と
を更に備える、請求項13又は14に記載の方法。
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