JP7430480B2 - Conductive film with protective film - Google Patents

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Description

本発明は、保護フィルム付き導電性フィルムに関する。 The present invention relates to a conductive film with a protective film.

従来、樹脂フィルムの表面に導電層を形成した導電性フィルムが、フレキシブル回路基板、電磁波シールドフィルム、フラットパネルディスプレイ、タッチセンサ、非接触式ICカード、太陽電池等に用いられている。導電性フィルムの主な機能は電気伝導であり、樹脂フィルムの表面に設けられる導電層の組成や厚みは用途目的にあった電気伝導性を得られるように適宜選択される。 Conventionally, conductive films in which a conductive layer is formed on the surface of a resin film have been used for flexible circuit boards, electromagnetic shielding films, flat panel displays, touch sensors, non-contact IC cards, solar cells, and the like. The main function of the conductive film is electrical conduction, and the composition and thickness of the conductive layer provided on the surface of the resin film are appropriately selected so as to obtain electrical conductivity suitable for the purpose of use.

導電性フィルムを取り扱う際には、長尺の導電性フィルムをロール状に巻き取り、運搬や次工程への移行を容易にすることが多い。ロール状にすると導電層が半径方向で隣接する層と密着することから、導電層保護のために樹脂フィルムの導電層形成面とは反対側に保護フィルムを設けることがある。ただし、導電層と保護フィルムとが過度に密着するとブロッキングや外観欠点が生じる場合がある。これに対し、保護フィルムの表面に所定の突起を設けることで外観欠点を抑制する技術も提案されている。(特許文献1)。 When handling conductive films, long conductive films are often wound up into rolls to facilitate transportation and transfer to the next process. When rolled, the conductive layer comes into close contact with the layer adjacent to it in the radial direction, so a protective film may be provided on the side of the resin film opposite to the surface on which the conductive layer is formed to protect the conductive layer. However, excessive contact between the conductive layer and the protective film may cause blocking or appearance defects. On the other hand, a technique has also been proposed in which the appearance defects are suppressed by providing predetermined protrusions on the surface of the protective film. (Patent Document 1).

特許第5876892号公報Patent No. 5876892

しかしながら、表面を粗くすることでブロッキングや外観欠点を抑制することができるものの、粗さの増大により保護フィルムの摩擦係数が低下してしまい、ロールの自重やロール端面に力がかかった際に巻き取り層がロールの軸方向と平行な方向にずれる現象(以下、「巻きズレ」ともいう。)が生じてしまうおそれがある。巻きズレが生じると導電層に傷が生じて抵抗が増大したり、場合によっては導電層のパターン化後に断線したりする。また、保護フィルムを剥離する際にはフィルムが僅かながらも斜めに走行することになり、保護フィルムの剥離方向とフィルムの走行方向とがずれてしまって剥離不良が生じる場合がある。 However, although blocking and appearance defects can be suppressed by making the surface rough, the friction coefficient of the protective film decreases due to the increase in roughness, and when force is applied to the roll's own weight or the roll end surface, There is a possibility that a phenomenon in which the removal layer shifts in a direction parallel to the axial direction of the roll (hereinafter also referred to as "winding shift") may occur. If the winding misalignment occurs, the conductive layer may be damaged, resulting in increased resistance, or in some cases, the conductive layer may be disconnected after patterning. Furthermore, when the protective film is peeled off, the film runs diagonally, albeit slightly, and the peeling direction of the protective film is misaligned with the running direction of the film, which may result in poor peeling.

本発明の目的は、ロール状に巻き取った際の巻きズレの発生を抑制可能な保護フィルム付き導電性フィルムを提供することにある。 An object of the present invention is to provide a conductive film with a protective film that can suppress occurrence of winding misalignment when wound into a roll.

本発明者らは、前記課題を解決すべく鋭意検討したところ、下記構成を採用することにより上記目的を達成し得ることを見出し本発明を完成するにいたった。 The inventors of the present invention have made extensive studies to solve the above problems, and have found that the above objects can be achieved by employing the following configuration, and have completed the present invention.

本発明は、一実施形態において、
樹脂フィルムと、
前記樹脂フィルムの一方の面側の最外層として配置された導電層と、
前記樹脂フィルムの他方の面側の最外層として配置された保護フィルムと
を備える保護フィルム付き導電性フィルムであって、
前記導電層の最表面の表面粗さRaが0.1nm以上10nm以下であり、
前記保護フィルムの最表面の表面粗さRaが100nm以上500nm以下である保護フィルム付き導電性フィルムに関する。
In one embodiment, the present invention provides:
resin film,
a conductive layer disposed as the outermost layer on one side of the resin film;
A conductive film with a protective film, comprising: a protective film disposed as the outermost layer on the other side of the resin film,
The surface roughness Ra of the outermost surface of the conductive layer is 0.1 nm or more and 10 nm or less,
The present invention relates to a conductive film with a protective film, in which the outermost surface of the protective film has a surface roughness Ra of 100 nm or more and 500 nm or less.

当該保護フィルム付き導電性フィルムでは、保護フィルムの最表面の表面粗さRaと導電層の最表面の表面粗さRaとをそれぞれ上記特定範囲としているので、巻きズレを防止することができ、ひいては導電層への傷による抵抗増加や剥離不良を防止して導電性フィルムの高品質化や導電性フィルムを組み込むデバイスの生産効率の向上を図ることができる。保護フィルム付き導電性フィルムの巻きズレが防止されるメカニズムは定かではないものの、以下のように推測される。まず、巻きズレは、導電層と保護フィルムの接触面積の低下による摩擦抵抗の低下に起因すると考えられる。保護フィルムの表面の粗さを大きくすることにより保護フィルムと導電層との間に隙間(エア)が入り込み、それによって接触面積が低下し摩擦抵抗が低下して巻きズレが生じると推測される。これに対し、保護フィルムの表面粗さRaをあえて上記範囲のように比較的大きい値とするのと同時に、導電層の表面粗さRaも僅かに大きくすることで、エアの抜けが促進されて接触面積が一定程度維持され巻きズレが防止されると推察される。なお、表面粗さRaの測定方法は、実施例の記載による。 In the conductive film with a protective film, the surface roughness Ra of the outermost surface of the protective film and the surface roughness Ra of the outermost surface of the conductive layer are each within the above specific ranges, so that winding misalignment can be prevented, and It is possible to prevent an increase in resistance and poor peeling due to scratches on the conductive layer, thereby increasing the quality of the conductive film and improving the production efficiency of devices incorporating the conductive film. Although the mechanism by which winding misalignment of the conductive film with a protective film is prevented is not clear, it is presumed as follows. First, it is thought that the winding misalignment is caused by a decrease in frictional resistance due to a decrease in the contact area between the conductive layer and the protective film. It is presumed that by increasing the surface roughness of the protective film, a gap (air) enters between the protective film and the conductive layer, which reduces the contact area, reduces frictional resistance, and causes winding misalignment. On the other hand, by deliberately setting the surface roughness Ra of the protective film to a relatively large value within the above range, and at the same time slightly increasing the surface roughness Ra of the conductive layer, air escape is promoted. It is presumed that the contact area is maintained to a certain extent and winding misalignment is prevented. Note that the method for measuring the surface roughness Ra is as described in Examples.

一実施形態において、前記保護フィルムの最表面の十点平均粗さRzが1500nm以上12000nm以下であることが好ましい。十点平均粗さRzを上記範囲とすることで、保護フィルムと導電層との間のエアの抜けをより促進して、接触面積の維持を図ることができ、巻きズレを効率的に防止することができる。なお、十点平均粗さRzの測定方法は、実施例の記載による。 In one embodiment, it is preferable that the ten-point average roughness Rz of the outermost surface of the protective film is 1500 nm or more and 12000 nm or less. By setting the ten-point average roughness Rz within the above range, it is possible to further promote the release of air between the protective film and the conductive layer, maintain the contact area, and effectively prevent winding misalignment. be able to. Note that the method for measuring the ten-point average roughness Rz is as described in Examples.

一実施形態において、前記保護フィルム付き導電性フィルムは、前記樹脂フィルムと前記保護フィルムとの間に配置された導電層をさらに備えていてもよい。 In one embodiment, the conductive film with a protective film may further include a conductive layer disposed between the resin film and the protective film.

一実施形態において、前記保護フィルム付き導電性フィルムの厚みが50μm以上200μm以下であり、
前記保護フィルムの厚みが5μm以上35μm以下であることが好ましい。
In one embodiment, the thickness of the conductive film with a protective film is 50 μm or more and 200 μm or less,
It is preferable that the thickness of the protective film is 5 μm or more and 35 μm or less.

保護フィルム付き導電性フィルムの厚みを上記範囲とすることで、ロール・トゥ・ロール法での取り扱いを容易にすることができる。また、保護フィルムの厚みを上記範囲とすることでエア抜けの促進と接触面積の維持をより効率的に達成することができる。これらにより、取扱い性が良好で巻きズレの防止が可能な保護フィルム付き導電性フィルムを得ることができる。 By setting the thickness of the conductive film with a protective film within the above range, handling in the roll-to-roll method can be facilitated. Further, by setting the thickness of the protective film within the above range, it is possible to promote air release and maintain the contact area more efficiently. With these, it is possible to obtain a conductive film with a protective film that has good handling properties and can prevent winding misalignment.

一実施形態において、前記導電層がスパッタ膜であることが好ましい。導電層としてスパッタリングにより得られるスパッタ膜を採用することで、均一性が高く表面粗さの小さい低抵抗の導電層を形成することができる。 In one embodiment, the conductive layer is preferably a sputtered film. By employing a sputtered film obtained by sputtering as the conductive layer, it is possible to form a conductive layer with high uniformity, low surface roughness, and low resistance.

一実施形態において、前記保護フィルムの形成材料がポリオレフィン系樹脂であることが好ましい。これにより、保護フィルムに所定の表面粗さRaやエア抜け性を好適に付与することができる。 In one embodiment, it is preferable that the material forming the protective film is a polyolefin resin. Thereby, a predetermined surface roughness Ra and air release properties can be suitably imparted to the protective film.

一実施形態において、前記保護フィルムの隣接層と接する側の面は粘着性を有し、
前記保護フィルムと前記隣接層との間の剥離力が0.01N/50mm以上1N/50mm以下であることが好ましい。
In one embodiment, the surface of the protective film in contact with the adjacent layer has adhesiveness,
It is preferable that the peeling force between the protective film and the adjacent layer is 0.01 N/50 mm or more and 1 N/50 mm or less.

保護フィルムと隣接層との間の剥離力を上記範囲とすることで、意図しない保護フィルムの剥離を防止しつつ剥離工程での保護フィルムのスムーズな剥離を達成することができる。 By setting the peeling force between the protective film and the adjacent layer within the above range, smooth peeling of the protective film in the peeling process can be achieved while preventing unintended peeling of the protective film.

本発明は、一実施形態において、当該保護フィルム付き導電性フィルムと、
前記保護フィルム付き導電性フィルムの前記導電層側の最外層に配置された保護フィルムと
を備える両面保護フィルム付き導電性フィルムに関する。
In one embodiment, the present invention provides a conductive film with a protective film;
A protective film disposed on the outermost layer of the conductive film on the conductive layer side of the conductive film with a protective film.

導電性フィルムの流通形態として、片面に保護フィルムを配置した形態だけでなく、両面に保護フィルムを配置した形態が採用されることもある。当該両面保護フィルム付き導電性フィルムは、その製造過程で片面に保護フィルムを配置した保護フィルム付き導電性フィルムを用いているので、高品質の導電性フィルムを歩留まり良く製造することができる。 As a distribution form of the conductive film, not only a form in which a protective film is disposed on one side, but also a form in which a protective film is disposed on both sides may be adopted. Since the conductive film with a protective film on both sides uses a conductive film with a protective film in which a protective film is disposed on one side in the manufacturing process, a high-quality conductive film can be manufactured with a good yield.

本発明の一実施形態に係る保護フィルム付き導電性フィルムの模式的断面図である。1 is a schematic cross-sectional view of a conductive film with a protective film according to an embodiment of the present invention. 巻きズレの評価手順を模式的に示す保護フィルム付き導電性フィルムの巻回体の断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a rolled body of a conductive film with a protective film, schematically showing a procedure for evaluating winding misalignment.

本発明の保護フィルム付き導電性フィルムの実施形態について、図面を参照しながら以下に説明する。ただし、図の一部又は全部において、説明に不要な部分は省略し、また説明を容易にするために拡大又は縮小等して図示した部分がある。上下等の位置関係を示す用語は、単に説明を容易にするために用いられており、本発明の構成を限定する意図は一切ない。 Embodiments of the conductive film with a protective film of the present invention will be described below with reference to the drawings. However, in some or all of the figures, parts unnecessary for explanation are omitted, and some parts are shown enlarged or reduced in order to facilitate explanation. Terms indicating positional relationships such as up and down are used simply to facilitate explanation, and are not intended to limit the configuration of the present invention.

<保護フィルム付き導電性フィルム>
図1は、本発明の一実施形態に係る保護フィルム付き導電性フィルムの模式的断面図である。図1に示す保護フィルム付き導電性フィルム100は、樹脂フィルム1と、樹脂フィルム1の一方の面側の最外層として配置された導電層2と、樹脂フィルム1の他方の面側の最外層として配置された保護フィルム3とを備える。
<Conductive film with protective film>
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a conductive film with a protective film according to an embodiment of the present invention. The conductive film 100 with a protective film shown in FIG. A protective film 3 is provided.

さらに、本実施形態の保護フィルム付き導電性フィルム100は、樹脂フィルム1と保護フィルム3との間に配置された導電層2aを備えている。また、樹脂フィルム1と導電層2との間、及び樹脂フィルム1と導電層2aとの間に、それぞれ下地層4a、4bが設けられている。導電層2a及び下地層4a、4bは任意の構成である。なお、導電層2、2a及び下地層41、42は、それぞれ1層からなる構成を図示しているが、それぞれが2層以上の多層構成であってもよい。導電層2と保護フィルム3とがそれぞれ最外層として配置されている限り、それらの下層に配置される層は特に限定されない。なお、導電層2aや下地層4a、4bが配置されずに、樹脂フィルム1の一方の面側に導電層2が配置され、他方の面側に保護フィルム3が配置される場合であっても、導電層2及び保護フィルム3は最外層という。 Further, the conductive film with protective film 100 of this embodiment includes a conductive layer 2a disposed between the resin film 1 and the protective film 3. Furthermore, base layers 4a and 4b are provided between the resin film 1 and the conductive layer 2, and between the resin film 1 and the conductive layer 2a, respectively. The conductive layer 2a and the base layers 4a and 4b have arbitrary configurations. Note that although the conductive layers 2, 2a and the base layers 41, 42 each have a single layer structure, they may each have a multilayer structure of two or more layers. As long as the conductive layer 2 and the protective film 3 are each arranged as the outermost layer, the layer arranged below them is not particularly limited. Note that even in the case where the conductive layer 2 is arranged on one side of the resin film 1 and the protective film 3 is arranged on the other side without the conductive layer 2a and the base layers 4a and 4b being arranged. , the conductive layer 2 and the protective film 3 are referred to as outermost layers.

保護フィルム付き導電性フィルム100の厚みは50μm以上200μm以下であることが好ましく、60μm以上180μm以下であることが好ましく、80μm以上150μm以下であることが好ましい。保護フィルム付き導電性フィルム100の厚みを上記範囲とすることで、ロール・トゥ・ロール法での取り扱いを容易にすることができる。 The thickness of the conductive film 100 with a protective film is preferably 50 μm or more and 200 μm or less, preferably 60 μm or more and 180 μm or less, and preferably 80 μm or more and 150 μm or less. By setting the thickness of the protective film-attached conductive film 100 within the above range, handling in the roll-to-roll method can be facilitated.

(樹脂フィルム)
樹脂フィルム1としては、絶縁性を確保できるものであれば特に制限されず、各種のプラスチックフィルムが用いられる。樹脂フィルムの材料としては、ポリエチレンテレフタレート(PET),ポリブチレンテレフタレート(PBT),ポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル系樹脂、ポリイミド(PI)等のポリイミド系樹脂、ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)等のポリオレフィン系樹脂、アセテート系樹脂、ポリエーテルスルホン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリアミド系樹脂、シクロオレフィン系樹脂、(メタ)アクリル系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリ塩化ビニリデン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリビニルアルコール系樹脂、ポリアリレート系樹脂、ポリフェニレンサルファイド系樹脂等が挙げられる。これらの中でも、耐熱性、耐久性、柔軟性、生産効率、コスト等の観点から、ポリエチレンテレフタレート(PET),ポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル系樹脂、ポリイミド(PI)等のポリイミド系樹脂が好ましい。特に、コストパフォーマンスの観点から、ポリエチレンテレフタレート(PET)が好ましい。
(resin film)
The resin film 1 is not particularly limited as long as it can ensure insulation, and various plastic films can be used. Materials for the resin film include polyester resins such as polyethylene terephthalate (PET), polybutylene terephthalate (PBT), and polyethylene naphthalate (PEN), polyimide resins such as polyimide (PI), polyethylene (PE), and polypropylene (PP). ), etc., polyolefin resins, acetate resins, polyethersulfone resins, polycarbonate resins, polyamide resins, cycloolefin resins, (meth)acrylic resins, polyvinyl chloride resins, polyvinylidene chloride resins, polystyrene Examples include polyvinyl alcohol-based resins, polyarylate-based resins, polyphenylene sulfide-based resins, and the like. Among these, polyester resins such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN), and polyimide resins such as polyimide (PI) are preferred from the viewpoint of heat resistance, durability, flexibility, production efficiency, cost, etc. preferable. In particular, from the viewpoint of cost performance, polyethylene terephthalate (PET) is preferred.

樹脂フィルムには、表面に予めスパッタリング、コロナ放電、火炎、紫外線照射、電子線照射、化成、酸化などのエッチング処理や下塗り処理を施して、樹脂フィルム上に形成される導電層との密着性を担保させるようにしてもよい。また、導電層を形成する前に、必要に応じて溶剤洗浄や超音波洗浄などにより、樹脂フィルム表面を除塵、清浄化してもよい。 The surface of the resin film is subjected to etching treatments such as sputtering, corona discharge, flame, ultraviolet irradiation, electron beam irradiation, chemical conversion, oxidation, etc., and undercoating treatments in advance to improve adhesion with the conductive layer formed on the resin film. It may also be guaranteed. Furthermore, before forming the conductive layer, the surface of the resin film may be cleaned and cleaned by solvent cleaning, ultrasonic cleaning, or the like, if necessary.

樹脂フィルムの厚みは、50~250μmの範囲内であることが好ましく、80~200μmの範囲内であることがより好ましく、100~180μmの範囲内であることが更に好ましい。一般的には、樹脂フィルムの厚みが厚い方が、加熱時の熱収縮等の影響を受けにくくなるため望ましい。しかし、電子部品等のコンパクト化により、樹脂フィルムの厚みもある程度薄くすることが望ましい。一方、樹脂フィルムの厚みが薄すぎると、樹脂フィルムの透湿性や透過性が上昇して、水分やガス等を透過させてしまい、導電層が酸化されやすくなる。従って、本実施形態では、樹脂フィルムの厚みをある程度の厚みをもたしつつ薄くすることで、導電性フィルム自体も薄くでき、電磁波シールドシートやセンサ等に用いた場合の厚みを抑えることが可能となる。そのため、電磁波シールドシートやセンサ等の薄型化に対応できる。さらに、樹脂フィルムの厚みが前記の範囲内であると、樹脂フィルムの柔軟性を確保できつつ機械的強度が十分であり、フィルムをロール状にして下地層層や導電層を連続的に形成する操作が可能である。 The thickness of the resin film is preferably within the range of 50 to 250 μm, more preferably within the range of 80 to 200 μm, and even more preferably within the range of 100 to 180 μm. Generally, it is desirable that the resin film be thicker because it is less susceptible to effects such as thermal shrinkage during heating. However, as electronic components and the like become more compact, it is desirable to reduce the thickness of the resin film to some extent. On the other hand, if the thickness of the resin film is too thin, the moisture permeability and permeability of the resin film will increase, allowing moisture, gas, etc. to pass through, and the conductive layer will be easily oxidized. Therefore, in this embodiment, by reducing the thickness of the resin film while maintaining a certain level of thickness, the conductive film itself can be made thinner, making it possible to reduce the thickness when used in electromagnetic shielding sheets, sensors, etc. becomes. Therefore, it is possible to reduce the thickness of electromagnetic shielding sheets, sensors, etc. Furthermore, when the thickness of the resin film is within the above range, the flexibility of the resin film can be ensured while the mechanical strength is sufficient, and the film can be rolled into a roll to form a base layer and a conductive layer continuously. Operation is possible.

(導電層)
樹脂フィルム1の一方の面側の最外層として配置された導電層2及び樹脂フィルム1と保護フィルム3との間に配置された導電層2aは、電磁波シールド効果やセンサ機能等を充分に得るため、電気抵抗率が100μΩcm以下であることが好ましい。導電層2、2aの構成材料としては、このような電気抵抗率を満足し導電性を有するものであれば特に限定されないが、例えば、Cu,Al,Fe,Cr,Ti,Si,Nb,In,Zn,Sn,Au,Ag,Co,Cr,Ni,Pb,Pd,Pt,W,Zr,Ta,Hf、Mo,Mn,Mg,V等の金属が好適に用いられる。また、これらの金属の2種以上を含有するものや、これらの金属を主成分とする合金や酸化物等も用いることができる。透明性が求められる場合、インジウム-スズ複合酸化物(ITO)も好ましく用いられる。これらの導電性化合物の中でも、電磁波シールド特性やセンサ機能に寄与する導電率が高く、比較的低価格である観点から、Cu,Alを含むことが好ましい。特に、コストパフォーマンスと生産効率の観点から、Cuを含むことが好ましいが、Cu以外の元素が不純物程度含まれていても良い。これにより、電気抵抗率が充分に小さく導電率が高いため、電磁波シールド特性やセンサ機能を向上できる。
(conductive layer)
The conductive layer 2 disposed as the outermost layer on one side of the resin film 1 and the conductive layer 2a disposed between the resin film 1 and the protective film 3 are used in order to obtain sufficient electromagnetic shielding effect, sensor function, etc. , the electrical resistivity is preferably 100 μΩcm or less. The material constituting the conductive layers 2 and 2a is not particularly limited as long as it satisfies the electrical resistivity and has conductivity, but examples include Cu, Al, Fe, Cr, Ti, Si, Nb, and In. , Zn, Sn, Au, Ag, Co, Cr, Ni, Pb, Pd, Pt, W, Zr, Ta, Hf, Mo, Mn, Mg, V, and other metals are preferably used. Further, materials containing two or more of these metals, alloys and oxides containing these metals as main components, etc. can also be used. When transparency is required, indium-tin composite oxide (ITO) is also preferably used. Among these conductive compounds, it is preferable to contain Cu and Al from the viewpoints of high conductivity contributing to electromagnetic shielding properties and sensor functions and relatively low cost. In particular, from the viewpoint of cost performance and production efficiency, it is preferable to include Cu, but elements other than Cu may be included to the extent of impurities. As a result, the electrical resistivity is sufficiently low and the conductivity is high, so that electromagnetic shielding characteristics and sensor functions can be improved.

導電層2、2aの形成方法は特に限定されず、従来公知の方法を採用することができる。具体的には、例えば、膜厚の均一性や成膜効率の観点から、スパッタリング法、化学気相成長法(CVD)や物理気相成長法(PVD)等の真空成膜法や、イオンプレーティング法、メッキ法(電解メッキ、無電解メッキ)、ホットスタンプ法、コーティング法等により成膜されることが好ましい。また、これらの製膜方法の複数を組み合わせてもよいし、必要とする膜厚に応じて適宜の方法を採用することもできる。中でも、スパッタリング法、真空成膜法が好ましく、スパッタリング法により得られるスパッタ膜であることが特に好ましい。これにより、ロール・トゥ・ロール製法により連続生産でき生産効率を高めるとともに、成膜時の膜厚や表面粗さを制御することができるため、導電性フィルムの表面抵抗値の上昇を抑制できる。また、薄くて膜厚が均一で、緻密な導電層を形成することができる。 The method of forming the conductive layers 2, 2a is not particularly limited, and conventionally known methods can be employed. Specifically, from the viewpoint of film thickness uniformity and film-forming efficiency, vacuum film-forming methods such as sputtering, chemical vapor deposition (CVD), and physical vapor deposition (PVD), and ion spray It is preferable that the film be formed by a coating method, a plating method (electrolytic plating, electroless plating), a hot stamping method, a coating method, or the like. Further, a plurality of these film forming methods may be combined, or an appropriate method may be adopted depending on the required film thickness. Among these, sputtering method and vacuum film forming method are preferable, and a sputtered film obtained by sputtering method is particularly preferable. This allows continuous production using the roll-to-roll manufacturing method, increasing production efficiency, and controlling the film thickness and surface roughness during film formation, thereby suppressing an increase in the surface resistance value of the conductive film. In addition, a thin conductive layer with uniform thickness and density can be formed.

導電層2、2aの厚みは特に限定されないものの、それぞれ独立して10nm以上250nm以下であることが好ましい。導電層2、2aの厚みの下限値は、20nmが好ましく、50nmがより好ましい。一方、導電層2、2aの厚みの上限値は、200nmが好ましい。導電層2、2aの厚みが上記上限値を超えると、加熱後の導電性フィルムのカールが発生しやすくなったり、デバイスの薄型化が困難になったりする。厚みが上記下限値より小さいと、加湿熱条件下で導電性フィルムの表面抵抗値が高抵抗化しやすくなり目標とする加湿熱信頼性が得られなかったり、導電層の強度の低下によるパターン配線の剥離が生じたりする。 Although the thickness of the conductive layers 2 and 2a is not particularly limited, it is preferably independently 10 nm or more and 250 nm or less. The lower limit of the thickness of the conductive layers 2 and 2a is preferably 20 nm, more preferably 50 nm. On the other hand, the upper limit of the thickness of the conductive layers 2 and 2a is preferably 200 nm. If the thickness of the conductive layers 2, 2a exceeds the above upper limit, curling of the conductive film after heating is likely to occur, and it becomes difficult to reduce the thickness of the device. If the thickness is smaller than the above lower limit, the surface resistance of the conductive film tends to become high under humid heat conditions, and the target humid heat reliability may not be achieved, or pattern wiring may deteriorate due to a decrease in the strength of the conductive layer. Peeling may occur.

最外層として配置された導電層2の最表面Sの表面粗さRaは、1nm以上10nm以下である。表面粗さRaの下限値は1.5nmが好ましく、2nmがより好ましく、2nm超がさらに好ましい。表面粗さRaの上限値は8nmが好ましく、5nmがより好ましい。最外層として配置された導電層2の最表面Sの表面粗さRaを上記範囲とすることで、導電層の低抵抗化を図ることができる。これと同時に、保護フィルムの表面粗さRaを所定範囲とすることで、巻きズレを効率的に防止することができる。なお、導電層2aの樹脂フィルム1と反対側の表面の表面粗さRaは特に限定されないものの、導電層2の最表面Sの表面粗さRaと同様の範囲内にあることが好ましい。 The surface roughness Ra of the outermost surface SC of the conductive layer 2 disposed as the outermost layer is 1 nm or more and 10 nm or less. The lower limit of the surface roughness Ra is preferably 1.5 nm, more preferably 2 nm, and even more preferably more than 2 nm. The upper limit of the surface roughness Ra is preferably 8 nm, more preferably 5 nm. By setting the surface roughness Ra of the outermost surface SC of the conductive layer 2 disposed as the outermost layer within the above range, it is possible to reduce the resistance of the conductive layer. At the same time, by setting the surface roughness Ra of the protective film within a predetermined range, winding misalignment can be efficiently prevented. Although the surface roughness Ra of the surface of the conductive layer 2a opposite to the resin film 1 is not particularly limited, it is preferably within the same range as the surface roughness Ra of the outermost surface SC of the conductive layer 2.

(保護層)
保護層は、例えば導電層2が大気中の酸素の影響を受けて自然に酸化することを防止するために、導電層2の最表面S側に形成することができる(図示せず)。保護層は、導電層2の錆び防止効果を示すものである限り特に限定されないが、スパッタできる金属が好ましく、Ni,Cu,Ti,Si、Zn,Sn,Cr,Fe、インジウム、ガリウム、アンチモン、ジルコニウム、マグネシウム、アルミニウム、金、銀、パラジウム、タングステンからなる中から選ばれるいずれか1種類以上の金属又はこれらの酸化物が用いられる。Ni,Cu,Tiは,不動態層を形成するため腐食されにくく、Siは耐食性が向上するため腐食されにくく、Zn,Crは表面に緻密な酸化被膜を形成するため腐食されにくい金属であるため好ましい。
(protective layer)
The protective layer can be formed on the outermost surface SC side of the conductive layer 2 (not shown), for example, in order to prevent the conductive layer 2 from being naturally oxidized under the influence of oxygen in the atmosphere. The protective layer is not particularly limited as long as it exhibits a rust-preventing effect on the conductive layer 2, but metals that can be sputtered are preferred, such as Ni, Cu, Ti, Si, Zn, Sn, Cr, Fe, indium, gallium, antimony, One or more metals selected from zirconium, magnesium, aluminum, gold, silver, palladium, and tungsten or oxides thereof are used. Ni, Cu, and Ti are metals that are difficult to corrode because they form a passive layer, Si is hard to corrode because they have improved corrosion resistance, and Zn and Cr are metals that are hard to corrode because they form a dense oxide film on the surface. preferable.

保護層の材料としては、導電層2との密着性を担保させて確実に導電層2の錆びを防止する観点から、2種の金属からなる合金を用いることはできるが、3種以上の金属からなる合金が好ましい。合金3種以上の金属からなる合金としては、Ni-Cu-Ti、Ni-Cu-Fe,Ni-Cu-Cr等が挙げられ、防錆機能と生産効率の観点から、Ni-Cu-Tiが好ましい。なお、導電層2との密着性を担保させる観点から、導電層2の形成材料を含む合金であることが好ましい。これにより、導電層2の酸化を確実に防ぐことができる。 As the material for the protective layer, from the viewpoint of ensuring adhesion with the conductive layer 2 and reliably preventing the conductive layer 2 from rusting, an alloy consisting of two types of metals can be used, but an alloy consisting of three or more types of metals can be used. An alloy consisting of is preferred. Alloys consisting of three or more metals include Ni-Cu-Ti, Ni-Cu-Fe, Ni-Cu-Cr, etc. From the viewpoint of rust prevention function and production efficiency, Ni-Cu-Ti is preferred. preferable. Note that from the viewpoint of ensuring adhesion with the conductive layer 2, an alloy containing the material for forming the conductive layer 2 is preferable. Thereby, oxidation of the conductive layer 2 can be reliably prevented.

また、保護層の材料としては、例えば、インジウムドープ酸化スズ(ITO)、アンチモンを含有する酸化スズ(ATO)、アルミドープ酸化亜鉛(AZO)、ガリウムドープ酸化亜鉛(GZO)、インジウムドープ酸化亜鉛(IZO)が含まれていても良い。導電性フィルムの初期の表面抵抗値の上昇を抑制するだけでなく、加湿熱条件下の表面抵抗値の上昇を抑制することができ、表面抵抗値の安定化を最適にできるため、好ましい。 In addition, examples of materials for the protective layer include indium-doped tin oxide (ITO), antimony-containing tin oxide (ATO), aluminum-doped zinc oxide (AZO), gallium-doped zinc oxide (GZO), and indium-doped zinc oxide ( IZO) may be included. This is preferable because it not only suppresses an increase in the initial surface resistance value of the conductive film, but also suppresses an increase in the surface resistance value under humidified heat conditions, thereby optimizing the stabilization of the surface resistance value.

前記金属の酸化物とは、SiO(x=1.0~2.0)、酸化銅、酸化銀、酸化チタン等の酸化物が好ましい。なお、前述の金属、合金、酸化物等の代わりに、導電層2上にアクリル系樹脂やエポキシ系樹脂のような樹脂層を形成することで防錆効果をもたらすことも可能である。 The metal oxide is preferably an oxide such as SiO x (x=1.0 to 2.0), copper oxide, silver oxide, titanium oxide, or the like. Note that instead of the metal, alloy, oxide, etc. described above, a resin layer such as an acrylic resin or an epoxy resin may be formed on the conductive layer 2 to provide a rust prevention effect.

保護層の膜厚は、1~50nmが好ましく、2~30nmがより好ましく、3~20nmが好ましい。これにより、耐久性が向上し表面層から酸化を防ぐことができるため、加湿熱条件下での表面抵抗値は上昇を抑制できる。 The thickness of the protective layer is preferably 1 to 50 nm, more preferably 2 to 30 nm, and preferably 3 to 20 nm. This improves durability and prevents oxidation from the surface layer, thereby suppressing an increase in surface resistance under humid heat conditions.

樹脂フィルム1と保護フィルム3との間に配置される導電層2aの保護フィルム3側の表面にも同様の保護層を設けてもよい。 A similar protective layer may also be provided on the surface of the conductive layer 2a disposed between the resin film 1 and the protective film 3 on the protective film 3 side.

(保護フィルム)
保護フィルム3の材質及び構造としては特に限定されるものではないが、ポリオレフィン系樹脂を含有する基材層と、熱可塑性エラストマーを含有する粘着層とを有することが望ましい。保護フィルム3は、粘着層が隣接層(樹脂フィルム1や下地層4a、導電層2a等)側と対向するように配置される。粘着層を形成する材料として、再剥離可能なアクリル系粘着剤等の公知の粘着剤も用いることができる。
(Protective film)
Although the material and structure of the protective film 3 are not particularly limited, it is desirable to have a base layer containing a polyolefin resin and an adhesive layer containing a thermoplastic elastomer. The protective film 3 is arranged such that the adhesive layer faces the adjacent layer (resin film 1, base layer 4a, conductive layer 2a, etc.) side. As a material for forming the adhesive layer, a known adhesive such as a removable acrylic adhesive can also be used.

前記基材層を形成するポリオレフィン系樹脂は特に制限されず、例えば、ポリプロピレン又はプロピレン成分とエチレン成分からなるブロック系、ランダム系等のプロピレン系ポリマー;低密度、高密度、リニア低密度ポリエチレン等のエチレン系ポリマー;エチレン-αオレフィン共重合体などのオレフィン系ポリマー、エチレン-酢酸ビニル共重合体、エチレン-メタクリル酸メチル共重合体などのエチレン成分と他モノマーとのオレフィン系ポリマー等を例示できる。これらポリオレフィン系樹脂は1種を単独で又は2種以上を用いることができる。これらの材料を含むフィルムを一軸延伸又は二軸延伸させてもよい。 The polyolefin resin forming the base layer is not particularly limited, and includes, for example, polypropylene or block-based or random-based propylene polymers consisting of a propylene component and an ethylene component; low-density, high-density, linear low-density polyethylene, etc. Ethylene-based polymers; examples include olefin-based polymers such as ethylene-α-olefin copolymers, olefin-based polymers of ethylene components and other monomers such as ethylene-vinyl acetate copolymers, and ethylene-methyl methacrylate copolymers. These polyolefin resins can be used alone or in combination of two or more. Films containing these materials may be uniaxially or biaxially stretched.

前記基材層はオレフィン系樹脂を主成分として含有するが、劣化防止等を目的に、例えば、酸化防止剤、紫外線吸収剤、ヒンダードアミン系光安定剤等の光安定剤、帯電防止剤、その他に、例えば、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、シリカ、酸化亜鉛、酸化チタン等の充填剤、顔料、目ヤニ防止剤、滑剤、アンチブロッキング剤等の添加剤を適宜に配合することができる。 The base material layer contains an olefin resin as a main component, but for the purpose of preventing deterioration, it may also contain antioxidants, ultraviolet absorbers, light stabilizers such as hindered amine light stabilizers, antistatic agents, and others. For example, additives such as fillers such as calcium oxide, magnesium oxide, silica, zinc oxide, and titanium oxide, pigments, eye stain preventive agents, lubricants, and antiblocking agents may be appropriately blended.

基材層の厚みは、特に制限されないが、好ましくは18μm以上、さらに好ましく20μm以上である。一方、基材層の厚みは30μm以下が好ましく、25μm以下がより好ましい。また、基材層1は、単層でもよく二層以上の多層からなっていてもよい。 The thickness of the base material layer is not particularly limited, but is preferably 18 μm or more, more preferably 20 μm or more. On the other hand, the thickness of the base material layer is preferably 30 μm or less, more preferably 25 μm or less. Further, the base material layer 1 may be a single layer or may be composed of two or more layers.

なお、基材層の粘着層付設面と反対面には、例えば、コロナ放電処理、火炎処理、プラズマ処理や、パッタエッチング処理、プライマー等の下塗り処理などの、表面処理を必要に応じて施すこともできる。 The surface of the base material layer opposite to the adhesive layer may be subjected to surface treatment, such as corona discharge treatment, flame treatment, plasma treatment, patter etching treatment, or undercoating treatment such as primer, as necessary. You can also do it.

粘着層を形成する熱可塑性エラストマーとしては、スチレン系エラストマー、ウレタン系エラストマー、エステル系エラストマー、オレフィン系エラストマーなどの粘着剤のベースポリマーとして用いられているものを特に制限なく使用できる。より具体的には、スチレン・ブタジエン・スチレン(SBS)、スチレン・イソプレン・スチレン(SIS)、スチレン・エチレン-ブチレン共重合体・スチレン(SEBS)、スチレン・エチレン-プロピレン共重合体・スチレン(SEPS)等のA-B-A型ブロックポリマー;スチレン・ブタジエン(SB)、スチレン・イソプレン(SI)、スチレン・エチレン-ブチレン共重合体(SEB)、スチレン・エチレン-プロピレン共重合体(SEP)等のA-B型ブロックポリマー;スチレン・ブタジエンラバー(SBR)等のスチレン系ランダム共重合体;スチレン・エチレン-ブチレン共重合体・オレフィン結晶(SEBC)等のA-B-C型のスチレン・オレフィン結晶系ブロックポリマー;オレフィン結晶・エチレン-ブチレン共重合体・オレフィン結晶(CEBC)等のC-B-C型のオレフィン結晶系ブロックポリマー;エチレン-αオレフィン、エチレン-プロピレン-αオレフィン、プロピレン-αオレフィン等のオレフィン系エラストマー、さらにはこれらの水添物等があげられる。これら熱可塑性エラストマーは1種を単独で又は2種以上を用いることができる。 As the thermoplastic elastomer forming the adhesive layer, those used as base polymers for adhesives, such as styrene elastomers, urethane elastomers, ester elastomers, and olefin elastomers, can be used without particular limitation. More specifically, styrene-butadiene-styrene (SBS), styrene-isoprene-styrene (SIS), styrene-ethylene-butylene copolymer-styrene (SEBS), styrene-ethylene-propylene copolymer-styrene (SEPS) ), etc.; styrene-butadiene (SB), styrene-isoprene (SI), styrene-ethylene-butylene copolymer (SEB), styrene-ethylene-propylene copolymer (SEP), etc. AB type block polymer; Styrenic random copolymer such as styrene-butadiene rubber (SBR); ABC type styrene/olefin such as styrene/ethylene-butylene copolymer/olefin crystal (SEBC) Crystalline block polymer; C-B-C type olefin crystalline block polymer such as olefin crystal, ethylene-butylene copolymer, olefin crystal (CEBC); ethylene-α olefin, ethylene-propylene-α olefin, propylene-α Examples include olefin elastomers such as olefins, and hydrogenated products thereof. These thermoplastic elastomers can be used alone or in combination of two or more.

粘着層の形成に際しては、前記熱可塑性エラストマーに、粘着特性の制御等を目的に、必要に応じて、例えば、軟化剤、オレフィン系樹脂、シリコーン系ポリマー、液状アクリル系共重合体、リン酸エステル系化合物、粘着付与剤、老化防止剤、ヒンダードアミン系光安定剤、紫外線吸収剤、その他に、例えば、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、シリカ、酸化亜鉛、酸化チタン等の充填剤や顔料などの添加剤を適宜に配合することができる。 When forming the adhesive layer, for example, a softener, an olefin resin, a silicone polymer, a liquid acrylic copolymer, a phosphate ester, etc. may be added to the thermoplastic elastomer as necessary for the purpose of controlling adhesive properties. additives such as fillers and pigments such as calcium oxide, magnesium oxide, silica, zinc oxide, titanium oxide, etc. They can be blended as appropriate.

粘着層の厚みは、特に制限定されず、要求される密着力などに応じて適宜に決定すればよいが、通常0.1μm程度であり、好ましくは0.2μm以上であり、さらに好ましく0.3μm以上である。粘着層の厚みは、20μm以下が好ましく、10μm以下がより好ましく、5μm以下がさらに好ましい。 The thickness of the adhesive layer is not particularly limited and may be appropriately determined depending on the required adhesion strength, etc., but it is usually about 0.1 μm, preferably 0.2 μm or more, and more preferably 0.1 μm or more. It is 3 μm or more. The thickness of the adhesive layer is preferably 20 μm or less, more preferably 10 μm or less, and even more preferably 5 μm or less.

なお、粘着層の表面には、例えば、コロナ放電処理、紫外線照射処理、火炎処理、プラズマ処理やスパッタエッチング処理などの、粘着性の制御や貼付作業性等を目的とした表面処理を必要に応じて施すこともできる。さらに、粘着層には必要に応じて、実用に供されるまでの間、セパレータなどを仮着して保護することもできる。 In addition, the surface of the adhesive layer may be subjected to surface treatments, such as corona discharge treatment, ultraviolet irradiation treatment, flame treatment, plasma treatment, or sputter etching treatment, as necessary for the purpose of controlling adhesion and pasting workability. It can also be applied. Furthermore, if necessary, a separator or the like can be temporarily attached to the adhesive layer to protect it until it is put into practical use.

また、基材層の粘着層の付設面と反対の面(すなわち、保護フィルム3の最表面S)には必要に応じて、離型性を付与するための離型層を形成することができる。離型層は基材層及び粘着層と共に共押し出しにより形成してもよいし、塗布により形成してもよい。 Furthermore, if necessary, a release layer may be formed on the surface of the base material layer opposite to the surface on which the adhesive layer is attached (i.e., the outermost surface SP of the protective film 3) to impart release properties. can. The release layer may be formed by coextrusion together with the base material layer and the adhesive layer, or may be formed by coating.

離型層を共押し出しにより形成する際は2種以上のポリオレフィン系樹脂からなる混合物を用いて形成することが好ましい。2種以上のポリオレフィン系樹脂からなる混合物を用いることにより、2種のポリオレフィン系樹脂の相溶性を制御することにより、適度な表面粗さを形成し、適度な離型性が付与されるためである。離型層を共押し出しにより形成する際、その厚みは通常1~30μm程度であり、好ましくは2~20μm、さらに好ましく3~10μmである。 When forming the release layer by coextrusion, it is preferable to use a mixture of two or more types of polyolefin resins. By using a mixture of two or more polyolefin resins, the compatibility of the two polyolefin resins can be controlled to form an appropriate surface roughness and provide appropriate mold releasability. be. When the release layer is formed by coextrusion, its thickness is usually about 1 to 30 μm, preferably 2 to 20 μm, and more preferably 3 to 10 μm.

離型層を塗布により形成する際の離型剤としては、離型性を付与しうるものを特に制限なく使用できる。例えば、離型剤としては、シリコーン系ポリマーや長鎖アルキル系ポリマーからなるものがあげられる。離型剤は、無溶剤型、有機溶剤に溶解させ溶剤型、水中で乳化した乳化型のいずれであってもよいが、溶剤型、乳化型の離型剤は安定して離型層3を基材層1に付設することができる。その他に、離型剤としては紫外線硬化型のものなどがあげられる。離型剤の具体的としては、ピーロイル(一方社油脂社製)、信越シリコーン(信越化学工業社製)等が入手可能である。 As a mold release agent when forming a mold release layer by coating, any agent capable of imparting mold release properties can be used without particular limitation. For example, the mold release agent may be one made of silicone polymer or long chain alkyl polymer. The mold release agent may be of a non-solvent type, a solvent type dissolved in an organic solvent, or an emulsion type that is emulsified in water, but solvent type or emulsion type mold release agents can stably form the mold release layer 3. It can be attached to the base material layer 1. In addition, as the mold release agent, there may be mentioned an ultraviolet curing type. As specific examples of the mold release agent, Pearoyl (manufactured by Ippo Sha Yushi Co., Ltd.), Shin-Etsu Silicone (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), and the like are available.

離型層の厚みは、特に制限定されないが、前述の通り、薄膜化形成した場合に汚染低減効果が大きいことから、通常1~1000nm程度、さらには5~500nm、特に10~100nmであるのが好ましい。 The thickness of the release layer is not particularly limited, but as mentioned above, since the contamination reduction effect is greater when formed into a thin film, it is usually about 1 to 1000 nm, more preferably 5 to 500 nm, particularly 10 to 100 nm. is preferred.

保護フィルム3の厚み(粘着層や離型層が配置されている場合はそれらの厚みを含む。)は5μm以上35μm以下であることが好ましい。保護フィルム3の厚みの下限値は、8μmがより好ましく、10μmがさらに好ましく、15μmが特に好ましい。保護フィルム3の厚みの上限値は、32μmがより好ましく、30μmがさらに好ましく、25μmが特に好ましい。保護フィルム3の厚みを上記範囲とすることでエア抜けの促進と接触面積の維持をより効率的に達成することができる。 The thickness of the protective film 3 (including the thickness of an adhesive layer or a release layer, if any) is preferably 5 μm or more and 35 μm or less. The lower limit of the thickness of the protective film 3 is more preferably 8 μm, even more preferably 10 μm, and particularly preferably 15 μm. The upper limit of the thickness of the protective film 3 is more preferably 32 μm, even more preferably 30 μm, and particularly preferably 25 μm. By setting the thickness of the protective film 3 within the above range, it is possible to promote air release and maintain the contact area more efficiently.

保護フィルム3の最表面Sの表面粗さRaは100nm以上500nm以下である。前記表面粗さRaの下限値は、150nmが好ましく、200nmがより好ましく、250nmがさらに好ましい。前記表面粗さRaの上限値は、450nmが好ましく、420nmがより好ましく、400nmがさらに好ましい。本実施形態に係る保護フィルム付き導電性フィルム100では、保護フィルム3の最表面Sの表面粗さRaと導電層2の最表面Sの表面粗さRaとをそれぞれ上記特定範囲としているので、巻きズレを防止することができ、ひいては導電層への傷による抵抗増加や剥離不良を防止して導電性フィルムの高品質化や導電性フィルムを組み込むデバイスの生産効率の向上を図ることができる。 The surface roughness Ra of the outermost surface SP of the protective film 3 is 100 nm or more and 500 nm or less. The lower limit of the surface roughness Ra is preferably 150 nm, more preferably 200 nm, and even more preferably 250 nm. The upper limit of the surface roughness Ra is preferably 450 nm, more preferably 420 nm, and even more preferably 400 nm. In the conductive film with a protective film 100 according to the present embodiment, the surface roughness Ra of the outermost surface SP of the protective film 3 and the surface roughness Ra of the outermost surface SC of the conductive layer 2 are each set within the above specific ranges. , it is possible to prevent winding misalignment, and in turn prevent increased resistance and peeling defects due to scratches on the conductive layer, thereby improving the quality of conductive films and the production efficiency of devices incorporating conductive films. .

保護フィルム3の最表面Sの十点平均粗さRzが1500nm以上12000nm以下であることが好ましい。前記山-谷間距離の平均値は、1800nm以上がより好ましく、2000nm以上がさらに好ましく、一方、10000nm以下がより好ましく、8000nm以下がさらに好ましい。十点平均粗さRzを上記範囲とすることで、保護フィルムと導電層との間のエアの抜けをより促進して、接触面積の維持を図ることができ、巻きズレを効率的に防止することができる。 It is preferable that the ten-point average roughness Rz of the outermost surface SP of the protective film 3 is 1500 nm or more and 12000 nm or less. The average value of the peak-trough distance is more preferably 1,800 nm or more, even more preferably 2,000 nm or more, while it is more preferably 10,000 nm or less, and even more preferably 8,000 nm or less. By setting the ten-point average roughness Rz within the above range, it is possible to further promote the release of air between the protective film and the conductive layer, maintain the contact area, and effectively prevent winding misalignment. be able to.

上述のように、保護フィルムの隣接層と接する側の面は粘着性を有することが好ましい。具体的には、保護フィルム3と隣接層との間の剥離力が0.01N/50mm以上1N/50mm以下であることが好ましく、0.02N/50mm以上0.8N/50mm以下であることがより好ましく、0.04N/50mm以上0.6N/50mm以下であることがさらに好ましい。保護フィルムと隣接層との間の剥離力を上記範囲とすることで、意図しない保護フィルムの剥離を防止しつつ剥離工程での保護フィルムのスムーズな剥離を達成することができる。 As mentioned above, it is preferable that the surface of the protective film in contact with the adjacent layer has adhesive properties. Specifically, the peeling force between the protective film 3 and the adjacent layer is preferably 0.01 N/50 mm or more and 1 N/50 mm or less, and preferably 0.02 N/50 mm or more and 0.8 N/50 mm or less. More preferably, it is 0.04 N/50 mm or more and 0.6 N/50 mm or less. By setting the peeling force between the protective film and the adjacent layer within the above range, smooth peeling of the protective film in the peeling process can be achieved while preventing unintended peeling of the protective film.

(下地層)
本実施形態の導電性フィルムは、樹脂フィルム1と導電層2との間、及び樹脂フィルム1と導電層2aとの間に、それぞれ下地層4a、4bが設けられている。導電層2、2aの樹脂フィルム1への密着性や保護フィルム付き導電性フィルム100への強度付与、電気的特性の制御等、目的に応じた下地層を設けることで保護フィルム付き導電性フィルム100の高機能化を図ることができる。下地層4a、4bとしては特に限定されず、易接着層、ハードコート層(アンチブロッキング層等として機能するものを含む。)、誘電体層等が挙げられる。
(base layer)
In the conductive film of this embodiment, base layers 4a and 4b are provided between the resin film 1 and the conductive layer 2, and between the resin film 1 and the conductive layer 2a, respectively. The conductive film 100 with a protective film can be improved by providing a base layer according to the purpose, such as adhesion of the conductive layers 2 and 2a to the resin film 1, imparting strength to the conductive film 100 with a protective film, and controlling electrical characteristics. It is possible to improve the functionality of. The base layers 4a and 4b are not particularly limited, and examples thereof include an easy-adhesion layer, a hard coat layer (including one that functions as an anti-blocking layer, etc.), a dielectric layer, and the like.

(易接着層)
易接着層は、接着性樹脂組成物の硬化膜である。易密着層は、導電層に対して良好な密着性を有する。
(Easy adhesive layer)
The easily adhesive layer is a cured film of an adhesive resin composition. The easy adhesion layer has good adhesion to the conductive layer.

接着性樹脂組成物としては、易密着層形成後の硬化膜として十分な接着性と強度とを持つものを特に制限なく使用できる。用いる樹脂としては熱硬化型樹脂、熱可塑型樹脂、紫外線硬化型樹脂、電子線硬化型樹脂、二液混合型樹脂、及びこれらの混合物などがあげられるが、これらのなかでも紫外線照射による硬化処理にて、簡単な加工操作にて効率よく易密着層を形成することができる紫外線硬化型樹脂が好適である。紫外線硬化型樹脂を含むことで、紫外線硬化性を有する接着性樹脂組成物が容易に得られる。 As the adhesive resin composition, those having sufficient adhesion and strength as a cured film after forming an easy-to-adhesion layer can be used without particular limitation. Examples of resins used include thermosetting resins, thermoplastic resins, ultraviolet curable resins, electron beam curable resins, two-component mixed resins, and mixtures thereof, among which curing treatment by ultraviolet irradiation is used. In this case, an ultraviolet curable resin is preferred because it can efficiently form an easy-to-adhesion layer through simple processing operations. By including the ultraviolet curable resin, an adhesive resin composition having ultraviolet curable properties can be easily obtained.

接着性樹脂組成物としては、硬化の際に架橋構造を形成する材料が好ましい。易密着層での架橋構造が促進されると、それまで緩やかだった膜内部構造が強固となり、膜強度が向上される。こうした膜強度の向上が密着性の向上に寄与していると推察されるからである。 The adhesive resin composition is preferably a material that forms a crosslinked structure upon curing. When the crosslinking structure in the easy-adhesion layer is promoted, the internal structure of the membrane, which had been loose until then, becomes stronger, and the strength of the membrane is improved. This is because it is presumed that such improvement in film strength contributes to improvement in adhesion.

接着性樹脂組成物は、(メタ)アクリレートモノマー及び(メタ)アクリレートオリゴマーのうちの少なくとも1種を含むことが好ましい。これにより、アクリロイル基に含まれるC=C二重結合に起因する架橋構造の形成が容易となり、膜強度の向上を効率的に図ることができる。なお、本明細書において、(メタ)アクリレートとは、アクリレート又はメタクリレートを意味する。 The adhesive resin composition preferably contains at least one of a (meth)acrylate monomer and a (meth)acrylate oligomer. This facilitates the formation of a crosslinked structure due to the C═C double bond contained in the acryloyl group, making it possible to efficiently improve the film strength. In addition, in this specification, (meth)acrylate means acrylate or methacrylate.

本実施形態で用いる、主成分としての(メタ)アクリロイル基を有する(メタ)アクリレートモノマー及び/又はアクリレートオリゴマーは塗膜を形成させる役目を有し、具体的にはトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、エチレンオキサイド変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、プロピレンオキサイド変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、トリス(アクリロキシエチル)イソシアヌレート、カプロラクトン変性トリス(アクリロキシエチル)イソシアヌレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、アルキル変性ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、アルキル変性ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、アルキル変性ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、及びこれら2種以上の混合物が挙げられる。 The (meth)acrylate monomer and/or acrylate oligomer having a (meth)acryloyl group as a main component used in this embodiment has the role of forming a coating film, and specifically, trimethylolpropane tri(meth)acrylate , ethylene oxide-modified trimethylolpropane tri(meth)acrylate, propylene oxide-modified trimethylolpropane tri(meth)acrylate, trimethylolpropane tetra(meth)acrylate, tris(acryloxyethyl)isocyanurate, caprolactone-modified tris(acryloxyethyl) ) isocyanurate, pentaerythritol tri(meth)acrylate, pentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol penta(meth)acrylate, dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, alkyl-modified dipentaerythritol tri(meth)acrylate, alkyl Examples include modified dipentaerythritol tetra(meth)acrylate, alkyl-modified dipentaerythritol penta(meth)acrylate, caprolactone-modified dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, and mixtures of two or more of these.

前記の(メタ)アクリレートの中でも、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、或いはこれらの混合物が、耐摩耗性、硬化性の点からとりわけ好ましい。 Among the above-mentioned (meth)acrylates, pentaerythritol tri(meth)acrylate, dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, dipentaerythritol penta(meth)acrylate, or a mixture thereof is preferred in terms of wear resistance and hardenability. Particularly preferred.

また、ウレタンアクリレートオリゴマーを用いることもできる。ウレタン(メタ)アクリレートオリゴマーは、ポリオールと、ポリイソシアネートとを反応させた後に、水酸基を有する(メタ)アクリレートを反応させる方法や、ポリイソシアネートと、水酸基を有する(メタ)アクリレートとを反応させた後に、ポリオールを反応させる方法や、ポリイソシアネート、ポリオール、水酸基を有する(メタ)アクリレートを反応させる方法などが挙げられるが特に限定はない。 Moreover, urethane acrylate oligomers can also be used. Urethane (meth)acrylate oligomers can be produced by reacting a polyol with a polyisocyanate and then reacting a (meth)acrylate having a hydroxyl group, or by reacting a polyisocyanate with a (meth)acrylate having a hydroxyl group. Examples include a method of reacting a polyol, a method of reacting a polyisocyanate, a polyol, and a (meth)acrylate having a hydroxyl group, but there is no particular limitation.

ポリオールとしては、例えば、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリテトラメチレンエーテルグリコール及びこれらの共重合物、エチレングリコール、プロピレングリコール、1,4-ブタンジオール、2,2’-チオジエタノール等が挙げられる。 Examples of the polyol include polyethylene glycol, polypropylene glycol, polytetramethylene ether glycol, copolymers thereof, ethylene glycol, propylene glycol, 1,4-butanediol, 2,2'-thiodiethanol, and the like.

ポリイソシアネートとしては、例えば、イソホロンジイソシアネート、2,4-トリレンジイソシアネート、2,6-トリレンジイソシアネート、m-フェニレンジイソシアネート、p-フェニレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、4,4’-ジフェニルメタンジイソシアネート、水添ジフェニルメタンジイソシアネート、1,3-キシリレンジイソシアネート、1,4-キシリレンジイソシアネート等が挙げられる。 Examples of the polyisocyanate include isophorone diisocyanate, 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate, m-phenylene diisocyanate, p-phenylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, trimethylhexamethylene diisocyanate, 4,4'- Examples include diphenylmethane diisocyanate, hydrogenated diphenylmethane diisocyanate, 1,3-xylylene diisocyanate, 1,4-xylylene diisocyanate, and the like.

架橋密度が高すぎるとプライマーとしての性能が落ち導電層密着性が低下しやすくなるため、水酸基を有する低官能(メタ)アクリレート(以下、水酸基含有(メタ)アクリレートという)を用いても良い。水酸基含有(メタ)アクリレートとしては、例えば、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、1,4-シクロヘキサンジメタノールモノ(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、4-ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシ-3-フェノキシプロピル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシ-3-アクリロイロキシプロキル(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートなどがあげられる。上述した(メタ)アクリレートモノマー成分及び/又は(メタ)アクリレートオリゴマー成分は単独で用いても2種以上を用いても良い。 If the crosslink density is too high, the performance as a primer deteriorates and the adhesion of the conductive layer tends to decrease, so a low functional (meth)acrylate having a hydroxyl group (hereinafter referred to as a hydroxyl group-containing (meth)acrylate) may be used. Examples of hydroxyl group-containing (meth)acrylates include 2-hydroxyethyl (meth)acrylate, 1,4-cyclohexanedimethanol mono(meth)acrylate, 2-hydroxypropyl (meth)acrylate, and 2-hydroxybutyl (meth)acrylate. , 4-hydroxybutyl (meth)acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl (meth)acrylate, 2-hydroxy-3-acryloyloxyprokyl (meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate, etc. . The above-mentioned (meth)acrylate monomer component and/or (meth)acrylate oligomer component may be used alone or in combination of two or more.

本実施形態の紫外線硬化性を有する接着性樹脂組成物は、(メタ)アクリル基含有シランカップリング剤を配合することによりアンチブロッキング性が向上する。(メタ)アクリル基含有シランカップリング剤としては、3-アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3-メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3-メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、3-メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン等が挙げられ、市販品としては、KR-513、KBM-5103(信越化学株式会社製、商品名)が挙げられる。 The UV-curable adhesive resin composition of this embodiment has improved anti-blocking properties by incorporating a (meth)acrylic group-containing silane coupling agent. As the (meth)acrylic group-containing silane coupling agent, 3-acryloxypropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropylmethyldimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropylmethyldiethoxysilane, Examples include 3-methacryloxypropyltriethoxysilane, and commercially available products include KR-513 and KBM-5103 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., trade name).

シランカップリング剤の配合量は、前記(メタ)アクリレートモノマー及び/又は(メタ)アクリレートオリゴマー100重量部に対して、0.1重量部~50重量部、より好ましくは1~20重量部とする。この範囲であると導電層との密着性が向上し、塗膜物性を維持することができる。 The blending amount of the silane coupling agent is 0.1 to 50 parts by weight, more preferably 1 to 20 parts by weight, based on 100 parts by weight of the (meth)acrylate monomer and/or (meth)acrylate oligomer. . Within this range, the adhesion with the conductive layer is improved and the physical properties of the coating film can be maintained.

本実施形態の易密着層は、ナノシリカ微粒子を含んでいてもよい。ナノシリカ微粒子としては、アルキルシランから合成されたオルガノシリカゾルあるいはプラズマアークにより合成されたナノシリカを用いることができる。市販品としては前者であればPL-7-PGME(扶桑化学製、商品名)、後者であればSIRMIBK15WT%-M36(CIKナノテック製、商品名)などが挙げられる。ナノシリカ微粒子の配合割合は前記(メタ)アクリロイル基を有する(メタ)アクリレートモノマー及び/又はアクリレートオリゴマーとシランカップリング剤との総重量100重量部に対し、5~30重量部が好ましく、5~10重量部がより好ましい。下限以上とすることで表面凹凸が形成されてアンチブロッキング性を付与可能となり、ロール・トゥ・ロールでの生産が可能となる。上限以下とすることで導電層との密着性の低下を防止することができる。 The easy adhesion layer of this embodiment may contain nano silica particles. As nanosilica particles, organosilica sol synthesized from alkylsilane or nanosilica synthesized by plasma arc can be used. Commercially available products include PL-7-PGME (manufactured by Fuso Chemical, trade name) for the former, and SIRMIBK15WT%-M36 (manufactured by CIK Nanotech, trade name) for the latter. The blending ratio of the nanosilica fine particles is preferably 5 to 30 parts by weight, and 5 to 10 parts by weight, based on 100 parts by weight of the total weight of the (meth)acrylate monomer and/or acrylate oligomer having the (meth)acryloyl group and the silane coupling agent. Parts by weight are more preferred. By setting the value above the lower limit, surface irregularities are formed and anti-blocking properties can be imparted, and roll-to-roll production becomes possible. By setting it below the upper limit, deterioration in adhesiveness with the conductive layer can be prevented.

ナノシリカ微粒子の平均粒径は100~500nmが好ましい。平均粒径100nm未満では表面に凹凸を形成するのに必要な添加量が多くなるために導電層との密着性が得られないのに対し、500nmを越えると表面凹凸が大きくなり、ピンホールの問題が発生する。 The average particle size of nano silica particles is preferably 100 to 500 nm. If the average particle size is less than 100 nm, the amount of addition required to form irregularities on the surface will be large, making it impossible to obtain adhesion with the conductive layer, whereas if it exceeds 500 nm, the surface irregularities will become large and pinholes will be formed. A problem occurs.

接着性樹脂組成物は紫外線硬化性を付与するために光重合開始剤を含むことが好ましい。光重合開始剤としては、ベンゾインノルマルブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル類、ベンジルジメチルケタール、ベンジルジエチルケタール等のベンジルケタール類、2,2-ジメトキシアセトフェノン、2,2-ジエトキシアセトフェノン等のアセトフェノン類、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、[2-ヒドロキシ-2-メチル-1-(4-エチレンフェニル)プロパン-1-オン]、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニルプロパン-1-オン、1-[4-(2-ヒドロキシエトキシ)フェニル]-2-ヒドロキシ-2-メチル-1-プロパン-1-オン、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-(4-イソプロピルフェニル)プロパン-1-オン等のα-ヒドロキシアルキルフェノン類、2-メチル-1-[4-(メチルチオ)フェニル]-1-モルフォリノプロパン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)-1-ブタノン等のα-アミノアルキルフェノン類、2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、2,4,6-トリメチルベンゾイルフェニルエトキシホスフィンオキサイド等のモノアシルホスフィンオキサイド類、ビス(2,6-ジメトキシベンゾイル)-2,4,4-トリメチルペンチルホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6-トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィンオキサイド等のモノアシルホスフィンオキサイド類などが挙げられる。 The adhesive resin composition preferably contains a photopolymerization initiator to impart ultraviolet curability. Examples of photopolymerization initiators include benzoin ethers such as benzoin normal butyl ether and benzoin isobutyl ether, benzyl ketals such as benzyl dimethyl ketal and benzyl diethyl ketal, and acetophenones such as 2,2-dimethoxyacetophenone and 2,2-diethoxyacetophenone. 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, [2-hydroxy-2-methyl-1-(4-ethylenephenyl)propan-1-one], 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 1-[4-(2-hydroxyethoxy)phenyl]-2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one, 2-hydroxy-2-methyl-1-(4-isopropylphenyl)propan-1- α-hydroxyalkylphenones such as 2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-1-morpholinopropane, 2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)- α-Aminoalkylphenones such as 1-butanone, monoacylphosphine oxides such as 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoylphenylethoxyphosphine oxide, bis(2,6- Examples include monoacylphosphine oxides such as dimethoxybenzoyl)-2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide and bis(2,4,6-trimethylbenzoyl)phenylphosphine oxide.

樹脂の硬化性、光安定性、樹脂との相溶性、低揮発、低臭気という点から、アルキルフェノン系光重合開始剤が好ましく、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニル-プロパン-1-オン、(2-ヒドロキシ-1-{4-[4-(2-ヒドロキシ-2-メチル-プロピオニル)-ベンジル]フェニル}-2-メチル-プロパン-1-オン、1-[4-(2-ヒドロキシエトキシ)-フェニル]-2-ヒドロキシ-2-メチル-1-プロパン-1-オンがより好ましい。市販品としてはIrgacure127、184、369、651、500、891、907、2959、Darocure1173、TPO(BASFジャパン株式会社製、商品名)などが挙げられる。光重合開始剤は(メタ)アクリロイル基を有する(メタ)アクリレートモノマー及び/又はアクリレートオリゴマー100重量部に対して、固形分3~10重量部配合する。 From the viewpoint of resin curability, photostability, compatibility with resin, low volatility, and low odor, alkylphenone photopolymerization initiators are preferred, such as 1-hydroxycyclohexylphenylketone, 2-hydroxy-2-methyl-1 -Phenyl-propan-1-one, (2-hydroxy-1-{4-[4-(2-hydroxy-2-methyl-propionyl)-benzyl]phenyl}-2-methyl-propan-1-one, 1 -[4-(2-hydroxyethoxy)-phenyl]-2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one is more preferred. Commercially available products include Irgacure 127, 184, 369, 651, 500, 891, 907. , 2959, Darocure 1173, TPO (manufactured by BASF Japan Co., Ltd., trade name), etc.The photopolymerization initiator is based on 100 parts by weight of a (meth)acrylate monomer and/or acrylate oligomer having a (meth)acryloyl group, Add 3 to 10 parts by weight of solids.

易密着層の形成の際には、分子内に(メタ)アクリロイル基を有する(メタ)アクリレート及び/あるいは(メタ)アクリレートオリゴマーを主成分とする接着性樹脂組成物を、トルエン、酢酸ブチル、イソブタノール、酢酸エチル、シクロヘキサン、シクロヘキサノン、メチルシクロヘキサノン、ヘキサン、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジエチルエーテル、エチレングリコールなどの溶剤に希釈し、固形分が30~50%のワニスとして調製する。 When forming an easy-to-adhesion layer, an adhesive resin composition containing (meth)acrylate and/or (meth)acrylate oligomer having a (meth)acryloyl group in the molecule as a main component is mixed with toluene, butyl acetate, and isopropyl alcohol. Prepared as a varnish with a solid content of 30-50% by diluting it with a solvent such as butanol, ethyl acetate, cyclohexane, cyclohexanone, methylcyclohexanone, hexane, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, propylene glycol monomethyl ether, diethyl ether, ethylene glycol, etc. do.

易密着層は、樹脂フィルム1上に、上記ワニスを塗布することにより形成される。ワニスの塗布方法は、ワニス及び塗装工程の状況に応じて適時選択することができ、例えばディップコート法、エアーナイフコート法、カーテンコート法、ローラーコート法、ワイヤーバーコート法、グラビアコート法、ダイコート法やエクストルージョンコート法などにより塗布することができる。 The easy adhesion layer is formed by applying the above varnish onto the resin film 1. The varnish application method can be selected as appropriate depending on the situation of the varnish and painting process, such as dip coating, air knife coating, curtain coating, roller coating, wire bar coating, gravure coating, and die coating. It can be applied by a method such as a coating method or an extrusion coating method.

ワニスを塗布後、塗膜を硬化させることによって、易密着層を形成することができる。紫外線硬化性を有する接着性樹脂組成物の硬化処理としては、ワニスが溶剤を含む場合は乾燥(例えば80℃で1分間)による溶媒除去後、紫外線照射機を用いて500mW/cm~3000mW/cmの照射強度で、仕事量が50~400mJ/cmの紫外線処理を行い硬化させるという手順が挙げられる。紫外線発生源としては一般的に紫外線ランプが用いられており、具体的には、低圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ、超高圧水銀ランプ、キセノンランプ、メタルハライドランプなどが挙げられ、照射する場合は空気中でもよいし、窒素、アルゴンなどの不活性ガス中でもよい。 After applying the varnish, an easily adhesive layer can be formed by curing the coating film. As for the curing treatment of the adhesive resin composition having ultraviolet curable properties, if the varnish contains a solvent, after removing the solvent by drying (for example, at 80°C for 1 minute), using an ultraviolet irradiation machine, 500 mW/cm 2 - 3000 mW/ An example of the procedure is to perform ultraviolet treatment with an irradiation intensity of cm 2 and a work amount of 50 to 400 mJ/cm 2 for curing. Ultraviolet lamps are generally used as sources of ultraviolet light, and specific examples include low-pressure mercury lamps, high-pressure mercury lamps, ultra-high-pressure mercury lamps, xenon lamps, and metal halide lamps. It may be carried out in an inert gas such as nitrogen or argon.

紫外線硬化処理の際に加熱を行うことが好ましい。紫外線照射により接着性樹脂組成物の硬化反応が進行し、同時に架橋構造が形成される。このとき加熱を行うことにより、低紫外線量でも十分に架橋構造の形成を促進させることができる。加熱温度は、架橋度に応じて設定可能であり、好ましくは50℃~80℃である。加熱手段は特に限定されず、温風乾燥機、輻射熱乾燥機、フィルム搬送ロールの加熱等を適宜採用することができる。 It is preferable to perform heating during the ultraviolet curing treatment. The curing reaction of the adhesive resin composition progresses by UV irradiation, and at the same time a crosslinked structure is formed. By heating at this time, the formation of a crosslinked structure can be sufficiently promoted even with a low amount of ultraviolet rays. The heating temperature can be set depending on the degree of crosslinking, and is preferably 50°C to 80°C. The heating means is not particularly limited, and a hot air dryer, a radiant heat dryer, heating of a film transport roll, etc. can be appropriately employed.

易密着層の厚みとしては特に限定されないものの、0.2μm~2μmであることが好ましく、0.4μm~1.5μmであることがより好ましく、0.6μm~1.2μmであることがさらに好ましい。易密着層の厚みを上記範囲とすることで、導電層の密着性とフィルムの柔軟性とを向上させることができる。 Although the thickness of the easy adhesion layer is not particularly limited, it is preferably 0.2 μm to 2 μm, more preferably 0.4 μm to 1.5 μm, and even more preferably 0.6 μm to 1.2 μm. . By setting the thickness of the easy adhesion layer within the above range, the adhesion of the conductive layer and the flexibility of the film can be improved.

(ハードコート層)
下地層として、ハードコート層を設けてもよい。さらに、導電層2aと保護フィルム3と間やロール状に巻き取った際の導電層2と保護フィルム3との間でのブロッキングを防止してロール・トゥ・ロール法による製造を可能にするために、ハードコート層に粒子を配合してもよい。
(Hard coat layer)
A hard coat layer may be provided as the base layer. Further, in order to prevent blocking between the conductive layer 2a and the protective film 3 or between the conductive layer 2 and the protective film 3 when wound into a roll, manufacturing by the roll-to-roll method is possible. Additionally, particles may be added to the hard coat layer.

ハードコート層の形成には、易密着層と同様の接着性組成物を好適に用いることができる。アンチブロッキング性を付与するには、前記接着性組成物に粒子を配合することが好ましい。これによりハードコート層の表面に凹凸を形成することができ、保護フィルム付き導電性フィルム100にアンチブロッキング性を好適に付与することができる。 For forming the hard coat layer, the same adhesive composition as that for the easy adhesion layer can be suitably used. In order to impart anti-blocking properties, it is preferable to incorporate particles into the adhesive composition. Thereby, unevenness can be formed on the surface of the hard coat layer, and anti-blocking properties can be suitably imparted to the conductive film 100 with a protective film.

上記粒子としては、各種金属酸化物、ガラス、プラスチックなどの透明性を有するものを特に制限なく使用することができる。例えばシリカ、アルミナ、チタニア、ジルコニア、酸化カルシウム等の無機系粒子、ポリメチルメタクリレート、ポリスチレン、ポリウレタン、アクリル系樹脂、アクリル-スチレン共重合体、ベンゾグアナミン、メラミン、ポリカーボネート等の各種ポリマーからなる架橋又は未架橋の有機系粒子やシリコーン系粒子などがあげられる。前記粒子は、1種又は2種以上を適宜に選択して用いることができる。 As the particles, transparent materials such as various metal oxides, glass, plastics, etc. can be used without particular limitation. For example, inorganic particles such as silica, alumina, titania, zirconia, and calcium oxide, crosslinked or uncrosslinked polymers such as polymethyl methacrylate, polystyrene, polyurethane, acrylic resin, acrylic-styrene copolymer, benzoguanamine, melamine, and polycarbonate. Examples include crosslinked organic particles and silicone particles. The particles may be used alone or in combination of two or more.

上記粒子の平均粒径や配合量は、表面凹凸の程度を考慮しつつ、適宜設定することができる。平均粒径としては、0.5μm~2.0μmが好ましく、配合量としては、組成物の樹脂固形分100重量部に対して0.2~5.0重量部が好ましい。 The average particle diameter and blending amount of the particles can be appropriately set while taking into consideration the degree of surface unevenness. The average particle size is preferably 0.5 μm to 2.0 μm, and the amount incorporated is preferably 0.2 to 5.0 parts by weight based on 100 parts by weight of resin solid content of the composition.

(誘電体層)
下地層として、1層以上の誘電体層を備えていてもよい。誘電体層は、無機物、有機物、あるいは無機物と有機物との混合物により形成される。誘電体層を形成する材料としては、NaF、NaAlF、LiF、MgF、CaF、SiO、LaF、CeF、Al、TiO、Ta、ZrO、ZnO、ZnS、SiO(xは1.5以上2未満)などの無機物や、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、メラミン樹脂、アルキド樹脂、シロキサン系ポリマーなどの有機物が挙げられる。特に、有機物として、メラミン樹脂とアルキド樹脂と有機シラン縮合物の混合物からなる熱硬化型樹脂を使用することが好ましい。誘電体層は、上記の材料を用いて、グラビアコート法やバーコート法などの塗工法、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法などにより形成できる。
(dielectric layer)
One or more dielectric layers may be provided as the base layer. The dielectric layer is formed of an inorganic material, an organic material, or a mixture of an inorganic material and an organic material. Materials for forming the dielectric layer include NaF, Na 3 AlF 6 , LiF, MgF 2 , CaF 2 , SiO 2 , LaF 3 , CeF 3 , Al 2 O 3 , TiO 2 , Ta 2 O 5 , ZrO 2 , Examples include inorganic materials such as ZnO, ZnS, and SiO x (x is 1.5 or more and less than 2), and organic materials such as acrylic resins, urethane resins, melamine resins, alkyd resins, and siloxane polymers. In particular, it is preferable to use a thermosetting resin made of a mixture of a melamine resin, an alkyd resin, and an organic silane condensate as the organic material. The dielectric layer can be formed using the above-mentioned materials by a coating method such as a gravure coating method or a bar coating method, a vacuum evaporation method, a sputtering method, an ion plating method, or the like.

誘電体層の厚みは、10nm~250nmであることが好ましく、20nm~200nmであることがより好ましく、20nm~170nmであることがさらに好ましい。誘電体層の厚みが過度に小さいと連続被膜となりにくい。また、誘電体層の厚みが過度に大きいと、誘電体層にクラックが生じ易くなったりする傾向がある。 The thickness of the dielectric layer is preferably 10 nm to 250 nm, more preferably 20 nm to 200 nm, even more preferably 20 nm to 170 nm. If the thickness of the dielectric layer is too small, it will be difficult to form a continuous film. Furthermore, if the thickness of the dielectric layer is excessively large, cracks tend to occur in the dielectric layer.

誘電体層は、平均粒径が1nm~500nmのナノ微粒子を有していてもよい。誘電体層中のナノ微粒子の含有量は0.1重量%~90重量%であることが好ましい。誘電体層に用いられるナノ微粒子の平均粒径は、上述のように1nm~500nmの範囲であることが好ましく、5nm~300nmであることがより好ましい。また、誘電体層中のナノ微粒子の含有量は10重量%~80重量%であることがより好ましく、20重量%~70重量%であることがさらに好ましい。 The dielectric layer may have nanoparticles with an average particle size of 1 nm to 500 nm. The content of nanoparticles in the dielectric layer is preferably 0.1% to 90% by weight. The average particle size of the nanoparticles used in the dielectric layer is preferably in the range of 1 nm to 500 nm, more preferably 5 nm to 300 nm, as described above. Further, the content of nanoparticles in the dielectric layer is more preferably 10% to 80% by weight, and even more preferably 20% to 70% by weight.

ナノ微粒子を形成する無機酸化物としては、例えば、酸化ケイ素(シリカ)、中空ナノシリカ、酸化チタン、酸化アルミニウム、酸化亜鉛、酸化錫、酸化ジルコニウム、酸化ニオブ等の微粒子があげられる。これらの中でも、酸化ケイ素(シリカ)、酸化チタン、酸化アルミニウム、酸化亜鉛、酸化錫、酸化ジルコニウム、酸化ニオブの微粒子が好ましい。これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。 Examples of inorganic oxides forming nanoparticles include fine particles of silicon oxide (silica), hollow nanosilica, titanium oxide, aluminum oxide, zinc oxide, tin oxide, zirconium oxide, niobium oxide, and the like. Among these, fine particles of silicon oxide (silica), titanium oxide, aluminum oxide, zinc oxide, tin oxide, zirconium oxide, and niobium oxide are preferred. These may be used alone or in combination of two or more.

(保護フィルム付き導電性フィルムの製造方法)
保護フィルム付き導電性フィルムは、必要に応じて下地層を形成した樹脂フィルムの一方の面上に導電層を形成した後、ロール状に巻き取り、次いでロールからフィルムを繰り出しながら樹脂フィルムの他方の面上に保護フィルムを貼り合わせしていくロール・トゥ・ロール法で製造することができる。あるいは、導電層を形成するラインの下流にて保護フィルムを貼り合わせた後、ロール状に巻き取ってもよい。導電層を両面に形成する場合は、樹脂フィルムの一方の面上に導電層を形成した後、ロール状に巻き取り、その後フィルムを繰り出しながら形成した導電層上に保護フィルムを貼り合わせて、再度フィルム状に巻き取る。次いで、フィルムを繰り出しながら、保護フィルムを貼り合わせた面とは反対側の面に導電層を形成することで保護フィルム付き導電性フィルムを製造することができる。
(Production method of conductive film with protective film)
A conductive film with a protective film is produced by forming a conductive layer on one side of a resin film on which a base layer is formed if necessary, then winding it up into a roll, and then rolling it out from the roll while rolling the other side of the resin film. It can be manufactured using the roll-to-roll method, in which a protective film is laminated onto the surface. Alternatively, the protective film may be attached downstream of the line for forming the conductive layer and then wound up into a roll. When forming a conductive layer on both sides, after forming the conductive layer on one side of the resin film, wind it up into a roll, then roll out the film and attach the protective film on the formed conductive layer, and then re-roll it. Roll up into a film. Next, a conductive film with a protective film can be manufactured by forming a conductive layer on the surface opposite to the surface to which the protective film is attached while unrolling the film.

例えば、スパッタリング法により、銅からなる導電層2を成膜する場合には、ターゲットとして銅(無酸素銅が好ましい)を用い、まず、スパッタ装置内の真空度(到達真空度)を好ましくは1×10-3Pa以下となるまで排気して、スパッタ装置内の水分や樹脂フィルム1から発生する有機ガスなどの不純物を取り除いた雰囲気とすることが好ましい。 For example, when forming the conductive layer 2 made of copper by sputtering, copper (preferably oxygen-free copper) is used as the target, and the degree of vacuum (ultimate vacuum) in the sputtering device is preferably set to 1. It is preferable to exhaust the atmosphere until the pressure is below ×10 −3 Pa to remove impurities such as moisture in the sputtering apparatus and organic gas generated from the resin film 1.

このように排気したスパッタ装置内に、Ar等の不活性ガスを導入して、好ましくは張力付与下で樹脂フィルムを搬送させながら、減圧下でスパッタ成膜を行う。導電層成膜時の樹脂フィルムの温度は、10℃~100℃であることが好ましく、15℃~80℃であることがより好ましく、20℃~60℃であることがさらに好ましい。成膜時の圧力は0.05Pa~1.0Paであることが好ましく、0.1Pa~0.7Paであることがより好ましい。成膜圧力が高すぎると成膜速度が低下する傾向があり、逆に圧力が低すぎると放電が不安定となる傾向がある。 An inert gas such as Ar is introduced into the thus evacuated sputtering apparatus, and sputtering film formation is performed under reduced pressure, preferably while conveying the resin film under tension. The temperature of the resin film during formation of the conductive layer is preferably 10°C to 100°C, more preferably 15°C to 80°C, even more preferably 20°C to 60°C. The pressure during film formation is preferably 0.05 Pa to 1.0 Pa, more preferably 0.1 Pa to 0.7 Pa. If the film-forming pressure is too high, the film-forming rate tends to decrease, while if the pressure is too low, the discharge tends to become unstable.

保護フィルムの貼り合わせの圧力は特に限定されないものの、0.05MPa以上3MPa以下が好ましく、0.1MPa以上2MPa以下がより好ましく、0.15MPa以上1MPa以下がさらに好ましい。 Although the pressure for bonding the protective film is not particularly limited, it is preferably 0.05 MPa or more and 3 MPa or less, more preferably 0.1 MPa or more and 2 MPa or less, and even more preferably 0.15 MPa or more and 1 MPa or less.

(保護フィルム付き導電性フィルムの特性)
導電層2、2aの表面抵抗値R1は、0.001Ω/□~20Ω/□であることが好ましく、0.01Ω/□~10Ω/□であることがより好ましく、0.1Ω/□~5Ω/□であることが更に好ましい。これにより生産効率に優れた実用的な保護フィルム付き導電性フィルムを提供できる。
(Characteristics of conductive film with protective film)
The surface resistance value R1 of the conductive layers 2 and 2a is preferably 0.001Ω/□ to 20Ω/□, more preferably 0.01Ω/□ to 10Ω/□, and 0.1Ω/□ to 5Ω /□ is more preferable. This makes it possible to provide a practical conductive film with a protective film that is highly efficient in production.

保護フィルム付き導電性フィルム100は、搬送性や取扱いの観点からロール状に巻回されていてもよい。樹脂フィルムに下地層や導電層をロール・トゥ・ロール法で連続的に形成することで、効率良く導電性フィルムを製造することができる。 The conductive film 100 with a protective film may be wound into a roll from the viewpoint of transportability and handling. By continuously forming a base layer and a conductive layer on a resin film using a roll-to-roll method, a conductive film can be efficiently manufactured.

(保護フィルム付き導電性フィルムの用途)
保護フィルム付き導電性フィルムは様々な用途に適用可能であり、例えば、電磁波シールドシートや面状センサ、表示ディスプレイ等に応用され得る。これらのデバイスの組み込み前に保護フィルムは剥離される。電磁波シールドシートは、保護フィルムを剥離した導電性フィルムを用いたものであり、タッチパネル等の形態で好適に使用することができる。前記電磁波シールドシートの厚みは、20μm~300μmであることが好ましい。
(Applications of conductive film with protective film)
The conductive film with a protective film can be applied to various uses, such as electromagnetic shielding sheets, planar sensors, displays, etc. The protective film is removed before installation of these devices. The electromagnetic shielding sheet uses a conductive film with a protective film peeled off, and can be suitably used in the form of a touch panel or the like. The thickness of the electromagnetic shielding sheet is preferably 20 μm to 300 μm.

また電磁波シールドシートの形状は、特には限定されず、設置する対象物の形状などに応じて、積層方向(シートの厚み方向と同じ方向)からみた形状が方形状、円形状、三角形状、多角形状など、適宜の形状に選択できる。 In addition, the shape of the electromagnetic shielding sheet is not particularly limited, and depending on the shape of the object to be installed, etc., the shape viewed from the stacking direction (the same direction as the thickness direction of the sheet) may be rectangular, circular, triangular, or polygonal. The shape can be selected as appropriate.

面状センサは、導電性フィルムを用いたものであり、モバイル機器のタッチパネルやコントローラ等のユーザーインターフェースに荷重測定用のフォースセンサや、対象物のセンシング領域、例えば自動車の外表面、ロボットや人形の表面に加わる外力を初めとする様々な物理量等をセンシングするセンサを含む。面状センサは、フォースセンサ、シールド等の形態で好適に使用することができる。前記面状センサの厚みは、20μm~300μmであることが好ましい。 Planar sensors use conductive films, and are used as force sensors for measuring loads in user interfaces such as touch panels and controllers of mobile devices, and in sensing areas of objects, such as the outer surface of automobiles, robots, and dolls. It includes sensors that sense various physical quantities such as external forces applied to the surface. The planar sensor can be suitably used in the form of a force sensor, a shield, or the like. The thickness of the planar sensor is preferably 20 μm to 300 μm.

<両面保護フィルム付き導電性フィルム>
上記保護フィルム付き導電性フィルムの保護フィルム配置側とは反対側にさらに別の保護フィルムを配置して両面保護フィルム付き導電性フィルムとすることもできる。さらに配置される保護フィルムとしては、上記保護フィルム付き導電性フィルムの保護フィルムと同じ又は異なる保護フィルムを用いることができる。両面保護フィルム付き導電性フィルムの製造方法は、保護フィルム付き導電性フィルムの巻回体からフィルムを繰り出しながら、導電層側の最外層として別の保護フィルムを貼り合わせ、最後に巻き取る手順を好適に採用することができる。
<Conductive film with double-sided protective film>
A conductive film with double-sided protective films can also be obtained by further disposing another protective film on the side opposite to the side on which the protective film is disposed of the conductive film with a protective film. As the protective film further disposed, a protective film that is the same as or different from the protective film of the conductive film with a protective film can be used. The preferred method for producing a conductive film with a double-sided protective film is to unwind the film from a roll of the conductive film with a protective film, attach another protective film as the outermost layer on the conductive layer side, and finally wind it up. can be adopted.

以下、本発明に関して実施例を用いて詳細に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。 EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in detail using Examples, but the present invention is not limited to the following Examples unless it exceeds the gist thereof.

<実施例1:片面保護フィルム付き両面導電性フィルムの作製>
(導電層(図1中の導電層2a)の形成)
樹脂フィルムとして、厚み150μm、幅1100mmのアニールPETフィルム(東レフィルム加工社製、「150-TT00A」)を用い、その片面にスパッタ成膜を行ない、導電層を形成した。スパッタ条件としては以下のとおりであった。スパッタ装置内を3.0×10-3Torr以下(0.4Pa以下)の高真空にし、その状態で、長尺状樹脂フィルムを送り出しロールから巻き取りロールへ送りながら、スパッタ成膜を行った。Arガス100体積%からなる3.0×10-3Torrの雰囲気中で、Cuターゲット材料を用いて、焼結体DCマグネトロンスパッタ法により、導電層を150nmの厚みで片面にスパッタ成膜をした。成膜後のフィルムを巻取りロールに巻き取ることで、一方の面に導電層(図1中の導電層2aに相当)を形成した片面導電性フィルムの巻回体を作製した。
<Example 1: Production of double-sided conductive film with one-sided protective film>
(Formation of conductive layer (conductive layer 2a in FIG. 1))
An annealed PET film (manufactured by Toray Film Processing Co., Ltd., "150-TT00A") having a thickness of 150 μm and a width of 1100 mm was used as the resin film, and a conductive layer was formed on one side of the film by sputtering. The sputtering conditions were as follows. The inside of the sputtering device was made into a high vacuum of 3.0×10 −3 Torr or less (0.4 Pa or less), and in that state, sputter film formation was performed while feeding the long resin film from the delivery roll to the take-up roll. . In an atmosphere of 3.0 × 10 -3 Torr consisting of 100% by volume of Ar gas, a conductive layer was sputtered to a thickness of 150 nm on one side using a sintered body DC magnetron sputtering method using a Cu target material. . By winding up the film after film formation onto a take-up roll, a rolled body of a single-sided conductive film in which a conductive layer (corresponding to conductive layer 2a in FIG. 1) was formed on one side was produced.

(保護フィルム(図1中の保護フィルム3)の貼り合わせ)
スパッタ成膜により形成した導電層上に保護フィルム(東レ社製、「MS05改良品3」(市販品の「MS05」の成膜温度及び張力の調整により表面粗さを調整したもの))を貼り合せた。貼り合わせ条件としては以下のとおりであった。作製した片面導電性フィルムを送りだしロールから巻取りロールへ送りながら、その間に、導電層面(スパッタ面)に保護フィルムを0.3MPaの圧力で貼り合せ、巻取りロールにフィルムを巻取りことで、片面導電性フィルムの導電面(スパッタ面)へ最外層としての保護フィルムを貼り合せた積層体の巻回体を作製した。
(Launching of protective film (protective film 3 in Figure 1))
A protective film (manufactured by Toray Industries, Inc., "MS05 improved product 3" (commercial product "MS05" whose surface roughness was adjusted by adjusting the film-forming temperature and tension)) was pasted on the conductive layer formed by sputter film deposition. Combined. The bonding conditions were as follows. While sending the produced single-sided conductive film from the delivery roll to the take-up roll, in the meantime, a protective film was attached to the conductive layer surface (sputtered surface) with a pressure of 0.3 MPa, and the film was wound up on the take-up roll. A rolled body of a laminate was prepared by laminating a protective film as the outermost layer to the conductive surface (sputtered surface) of a single-sided conductive film.

(導電層(図1中の導電層2)の形成)
作製した片面導電性フィルムの巻回体の導電層2a配設面とは反対側に導電層2aと同条件で導電層2を150nmの厚みでスパッタ成膜することで、樹脂フィルムの両面に導電層が形成され、片面に保護フィルムが貼り合わされた片面保護フィルム付き両面導電性フィルムの巻回体を作製した。
(Formation of conductive layer (conductive layer 2 in FIG. 1))
By sputtering the conductive layer 2 to a thickness of 150 nm under the same conditions as the conductive layer 2a on the side opposite to the surface on which the conductive layer 2a is disposed in the wound body of the produced single-sided conductive film, conductive layer 2 is formed on both sides of the resin film. A rolled body of a double-sided conductive film with a protective film on one side, in which layers were formed and a protective film was pasted on one side, was produced.

(切断加工)
片面保護フィルム付き両面導電性フィルムの巻回体を繰り出しながらMD方向に半裁(スリット)加工を行った。6インチ芯に250m×幅500mmのサイズに巻き取りを実施し、片面保護フィルム付き両面導電性フィルムの半栽巻回体(芯から最表面までの厚み(半径)62mm)を作製した。
(cutting process)
A roll of a double-sided conductive film with a single-sided protective film was unrolled and slitted in half in the MD direction. It was wound around a 6-inch core to a size of 250 m x width 500 mm to produce a semi-rolled body (thickness (radius) from the core to the outermost surface of the film: 62 mm) of a double-sided conductive film with a protective film on one side.

<実施例2>
保護フィルムとしてフタムラ社製、「FSA020M」を用いたこと以外は、実施例1と同様の製法にて片面保護フィルム付き両面導電性フィルムの半栽巻回体を作製した。
<Example 2>
A semi-rolled body of a double-sided conductive film with a single-sided protective film was produced in the same manner as in Example 1, except that "FSA020M" manufactured by Futamura Co., Ltd. was used as the protective film.

<実施例3>
保護フィルムとしてトレデガー社製、「FF2830」を用いたこと以外は、実施例1と同様の製法にて片面保護フィルム付き両面導電性フィルムの半栽巻回体を作製した。
<Example 3>
A half-plant roll of a double-sided conductive film with a single-sided protective film was produced in the same manner as in Example 1, except that "FF2830" manufactured by Tredegar was used as the protective film.

<比較例1>
保護フィルムとして東レ社製、「MS05改良品1」(市販品の「MS05」の成膜温度及び張力の調整により表面粗さを調整したもの)を用いたこと以外は、実施例1と同様の製法にて片面保護フィルム付き両面導電性フィルムの半栽巻回体を作製した。
<Comparative example 1>
The same procedure as in Example 1 was used except that "MS05 improved product 1" manufactured by Toray Industries (the surface roughness was adjusted by adjusting the film formation temperature and tension of the commercially available "MS05") was used as the protective film. A semi-rolled body of a double-sided conductive film with a protective film on one side was produced using the manufacturing method.

<比較例2>
保護フィルムとして東レ社製、「MS05改良品2」(市販品の「MS05」の成膜温度及び張力の調整により表面粗さを調整したもの)を用いたこと以外は、実施例1と同様の製法にて片面保護フィルム付き両面導電性フィルムの半栽巻回体を作製した。
<Comparative example 2>
The same procedure as in Example 1 was used, except that "MS05 improved product 2" manufactured by Toray Industries (the surface roughness was adjusted by adjusting the film formation temperature and tension of the commercially available "MS05") was used as the protective film. A semi-rolled body of a double-sided conductive film with a protective film on one side was produced using the manufacturing method.

<評価>
作製した保護フィルム付き導電性フィルムについて、以下の評価を行った。それぞれの結果を表1に示す。
<Evaluation>
The produced conductive film with protective film was evaluated as follows. The results are shown in Table 1.

(1)厚みの測定
導電層の厚みは、透過型電子顕微鏡(日立製作所製、「H-7650」)を用いて、保護フィルム付き導電性フィルムの断面を観察して測定した。
(1) Measurement of Thickness The thickness of the conductive layer was measured by observing the cross section of the conductive film with a protective film using a transmission electron microscope (manufactured by Hitachi, Ltd., "H-7650").

(2)導電層及び保護フィルムの表面粗さRa及び十点平均粗さRzの測定
表面粗さRa及び十点平均粗さRzは市販の光学式表面性状測定機(キャノンマーケティングジャパン社製、「Zygo NewView7300」)を用いて、所定のモードで2.90μm×2.18μm四方の範囲の画像を取得し、取得した画像についてMetroProの解析ソフトウェア(Zygo corporation製)を用いてそれらの値を求めた。表面粗さRa(算術平均粗さRaともいう。)は、基準長さにおけるZ(x)の絶対値の平均を表したものである。十点平均粗さRz(Rzjis)は、粗さ曲線で最高の山頂から高い順に5番目までの山高さの平均と、最深の谷底から深い順に5番目までの谷深さの平均との和である。
(2) Measurement of surface roughness Ra and ten-point average roughness Rz of conductive layer and protective film Surface roughness Ra and ten-point average roughness Rz were measured using a commercially available optical surface texture measuring device (manufactured by Canon Marketing Japan Co., Ltd., " Zygo NewView 7300'') was used to acquire images in a 2.90 μm x 2.18 μm square area in a predetermined mode, and the values of the acquired images were determined using MetroPro analysis software (manufactured by Zygo corporation). . The surface roughness Ra (also referred to as arithmetic mean roughness Ra) represents the average of the absolute values of Z(x) in the reference length. The ten-point average roughness Rz (Rzjis) is the sum of the average height of the 5th peak from the highest peak on the roughness curve and the average depth of the 5th valley from the deepest valley bottom. be.

(3)巻きズレの評価
図2に示すように、作製した半裁巻回体の端部に負荷をかけた際のズレを測定した。図2は、巻きズレの評価手順を模式的に示す保護フィルム付き導電性フィルムの巻回体の断面図である。半栽巻回体の軸から半径方向で60mm離れた位置に軸と平行な方向で10Nの荷重を負荷し、定常状態となった際の巻回体の端部の変位量を測定した。元の位置からの変位量が2mm以下の場合を巻きズレなしと評価し、変位量が2mmを超えた場合を巻きズレありと評価した。
(3) Evaluation of winding misalignment As shown in FIG. 2, the misalignment when a load was applied to the end of the produced half-cut wound body was measured. FIG. 2 is a cross-sectional view of a rolled body of a conductive film with a protective film, schematically showing a procedure for evaluating winding misalignment. A load of 10 N was applied in a direction parallel to the axis at a position 60 mm away from the axis of the half-planted rolled body in the radial direction, and the amount of displacement of the end of the rolled body when a steady state was reached was measured. When the amount of displacement from the original position was 2 mm or less, it was evaluated that there was no winding shift, and when the amount of displacement exceeded 2 mm, it was evaluated that there was winding shift.

(4)剥離力測定
作製した半栽の保護フィルム付き導電性フィルムを30分以上常温(25℃)で放置した後、サンプルを50mm×200mmのサイズにカットした。カットしたサンプルの保護フィルムとは反対面を両面テープを用いてSUS板(SUS430BA)に固定した。その環境下で万能引張試験機(NMBミネベア株式会社社製、「TCM-1kNB」)を用いて、剥離速度300mm/分、剥離角度180°の条件で保護フィルム付き導電性フィルムから保護フィルムを剥離し、このときの剥離力(N/50mm)を測定し密着力とした。
(4) Peeling Force Measurement After the prepared conductive film with a protective film for a half-plant was left at room temperature (25°C) for 30 minutes or more, the sample was cut into a size of 50 mm x 200 mm. The opposite side of the cut sample from the protective film was fixed to an SUS plate (SUS430BA) using double-sided tape. Under this environment, the protective film was peeled from the conductive film with the protective film using a universal tensile testing machine (manufactured by NMB Minebea Co., Ltd., "TCM-1kNB") at a peeling speed of 300 mm/min and a peeling angle of 180°. The peeling force (N/50mm) at this time was measured and defined as the adhesion force.

Figure 0007430480000001
Figure 0007430480000001

(結果)
表1より、実施例の保護フィルム付き導電性フィルムでは、巻きズレが生じなかった。一方、比較例では巻きズレが生じていた。以上より、実施例の保護フィルム付き導電性フィルムでは、保護フィルムの表面粗さRaをエア抜けを生じさせることが可能な程度に適度に大きくし、導電層と保護フィルムとの接触面積を維持して摩擦係数を保ったことに起因すると推察される。
(result)
From Table 1, no winding misalignment occurred in the conductive film with a protective film of the example. On the other hand, in the comparative example, winding misalignment occurred. From the above, in the conductive film with a protective film of the example, the surface roughness Ra of the protective film is appropriately increased to the extent that air escape can occur, and the contact area between the conductive layer and the protective film is maintained. This is thought to be due to the fact that the friction coefficient was maintained.

1 樹脂フィルム
2、2a 導電層
3 保護フィルム
4a、4b 下地層
100 保護フィルム付き導電性フィルム
1 Resin film 2, 2a Conductive layer 3 Protective film 4a, 4b Base layer 100 Conductive film with protective film

Claims (8)

樹脂フィルムと、
前記樹脂フィルムの一方の面側の最外層として配置された導電層と、
前記樹脂フィルムの他方の面側の最外層として配置された保護フィルムと
を備える、保護フィルム付き導電性フィルム巻回体であって、
前記導電層の最表面の表面粗さRaが0.1nm以上10nm以下であり、
前記導電層の厚みが10nm以上250nm以下であり、
前記保護フィルムの最表面の表面粗さRaが100nm以上500nm以下である保護フィルム付き導電性フィルム巻回体。
resin film,
a conductive layer disposed as the outermost layer on one side of the resin film;
A conductive film roll with a protective film, comprising: a protective film disposed as the outermost layer on the other side of the resin film,
The surface roughness Ra of the outermost surface of the conductive layer is 0.1 nm or more and 10 nm or less,
The thickness of the conductive layer is 10 nm or more and 250 nm or less,
A conductive film roll with a protective film, wherein the outermost surface of the protective film has a surface roughness Ra of 100 nm or more and 500 nm or less.
前記保護フィルムの最表面の十点平均粗さRzが1500nm以上12000nm以下である請求項1に記載の保護フィルム付き導電性フィルム巻回体。 The conductive film roll with a protective film according to claim 1, wherein the outermost surface of the protective film has a ten-point average roughness Rz of 1,500 nm or more and 12,000 nm or less. 前記樹脂フィルムと前記保護フィルムとの間に配置された導電層をさらに備える請求項1又は2に記載の保護フィルム付き導電性フィルム巻回体。 The conductive film roll with a protective film according to claim 1 or 2, further comprising a conductive layer disposed between the resin film and the protective film. 前記保護フィルム付き導電性フィルムの厚みが50μm以上200μm以下であり、
前記保護フィルムの厚みが5μm以上35μm以下である請求項1~3のいずれか1項に記載の保護フィルム付き導電性フィルム巻回体。
The thickness of the conductive film with a protective film is 50 μm or more and 200 μm or less,
The conductive film roll with a protective film according to any one of claims 1 to 3, wherein the protective film has a thickness of 5 μm or more and 35 μm or less.
前記導電層がスパッタ膜である請求項1~4のいずれか1項に記載の保護フィルム付き導電性フィルム巻回体。 The conductive film roll with a protective film according to any one of claims 1 to 4, wherein the conductive layer is a sputtered film. 前記保護フィルムの形成材料がポリオレフィン系樹脂である請求項1~5のいずれか1項に記載の保護フィルム付き導電性フィルム巻回体。 The conductive film roll with a protective film according to any one of claims 1 to 5, wherein the material forming the protective film is a polyolefin resin. 前記保護フィルムの隣接層と接する側の面は粘着性を有し、
前記保護フィルムと前記隣接層との間の剥離力が0.01N/50mm以上1N/50mm以下である請求項1~6のいずれか1項に記載の保護フィルム付き導電性フィルム巻回体。
The surface of the protective film in contact with the adjacent layer has adhesiveness,
The conductive film roll with a protective film according to any one of claims 1 to 6, wherein the peeling force between the protective film and the adjacent layer is 0.01 N/50 mm or more and 1 N/50 mm or less.
樹脂フィルムと、resin film,
前記樹脂フィルムの一方の面側の最外層として配置された導電層と、a conductive layer disposed as the outermost layer on one side of the resin film;
前記樹脂フィルムの他方の面側の最外層として配置された保護フィルムとa protective film disposed as the outermost layer on the other side of the resin film;
を備える、保護フィルム付き導電性フィルム巻回体であって、A conductive film roll with a protective film, comprising:
前記導電層がスパッタ膜であり、the conductive layer is a sputtered film,
前記導電層の最表面の表面粗さRaが0.1nm以上10nm以下であり、The surface roughness Ra of the outermost surface of the conductive layer is 0.1 nm or more and 10 nm or less,
前記保護フィルムの最表面の表面粗さRaが100nm以上500nm以下である保護フィルム付き導電性フィルム巻回体。A conductive film roll with a protective film, wherein the outermost surface of the protective film has a surface roughness Ra of 100 nm or more and 500 nm or less.
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