JP7422035B2 - 光電面電子源 - Google Patents
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Description
再び図1を参照する。ベース20は、ベース主面20aとベース裏面20bとを有する。ベース20は、ベース主面20aからベース裏面20bにまで貫通するベース孔20Hを有する。ベース孔20Hは、ベース裏面20b側から照射されるレーザ光101をベース主面20a側に導く。ベース主面20a側には、光電面電子源ユニット10が配置されている。ベース主面20a側に導かれた光は、光電面電子源ユニット10に入射する。
包囲電極30は、ベース主面20aに配置される。包囲電極30の包囲電極主面30aは、引出電極60の電極主面62aと面一である。換言すると、引出電極60及び包囲電極30の法線方向Nに沿った方向の断面において、引出電極60及び包囲電極30の一方が他方より実質的に突出することがない。本実施形態の包囲電極30は、引出電極60を露出させる引出電極配置部31と、固定用部材42を露出させる固定用部材露出部32と、通電留め具49A、49Bを露出させる留め具露出部33と、を含む。つまり、包囲電極30は、引出電極60、固定用部材42、通電留め具49A、49Bを除くベース主面20aの大部分の領域を覆っている。
光電面電子源1は、基板受光面50aから入射するレーザ光101を受けて、基板受光面50aとは逆側の基板主面43からレーザ光101を出射するガラス基板40と、基板主面43に設けられると共に、レーザ光101を受けて光電子102を放出する光電面50と、基板主面43に固定されると共に、光電面50から放出された光電子102を引き出す引出電極60と、を備える。引出電極60は、基板主面43側において光電面50から離間して配置されると共に、光電子102を通過させる電極孔62Hが設けられた電極部62と、基板主面43において光電面50を囲む領域に固定された枠部61と、を有する。
本発明の光電面電子源は、上記の態様に限定されない。
Claims (10)
- 基板受光面から入射する光を受けて、前記基板受光面とは逆側の基板主面から前記光を出射する基板と、
前記基板主面に設けられると共に、前記光を受けて光電子を放出する光電面と、
前記基板主面に固定されると共に、前記光電面から前記光電子を引き出す引出電極と、を備え、
前記引出電極は、
前記基板主面側において前記光電面から離間して配置されると共に、前記光電子を通過させる孔が設けられた電極部と、
前記基板主面において前記光電面を囲む領域に固定された枠部と、を有し、
前記電極部と前記枠部とは、互いに電気的に接続されている、光電面電子源。 - 前記光を前記光電面に向けて収束させるためのレンズ部が、前記基板受光面側に配置された、請求項1記載の光電面電子源。
- 前記電極部と前記枠部とは、一体に形成された部材である、請求項1又は2に記載の光電面電子源。
- 基板受光面から入射する光を受けて、前記基板受光面とは逆側の基板主面から前記光を出射する基板と、
前記基板主面に設けられると共に、前記光を受けて光電子を放出する光電面と、
前記基板主面側において前記光電面から離間して配置されると共に、前記光電子を通過させる孔が設けられた電極部と、前記基板主面において前記光電面を囲む領域に固定された枠部と、を有し、前記基板主面に固定されると共に、前記光電面から前記光電子を引き出す引出電極と、
前記引出電極の前記電極部を露出させるように前記引出電極の周囲を囲む包囲電極と、を備える、光電面電子源。 - 前記包囲電極の主面は、前記電極部が前記光電子を出射する側の面である電極主面と面一である、請求項4に記載の光電面電子源。
- 前記包囲電極は、前記引出電極と同電位である、請求項4又は5に記載の光電面電子源。
- 前記包囲電極は、金属材料により形成されている、請求項4~6の何れか一項に記載の光電面電子源。
- 基板受光面から入射する光を受けて、前記基板受光面とは逆側の基板主面から前記光を出射する基板と、
前記基板主面に設けられると共に、前記光を受けて光電子を放出する光電面と、
前記基板主面に固定されると共に、前記光電面から前記光電子を引き出す引出電極と、を備え、
前記引出電極は、
前記基板主面側において前記光電面から離間して配置されると共に、前記光電子を通過させる孔が設けられた電極部と、
前記基板主面において前記光電面を囲む領域に固定された枠部と、を有し、
前記引出電極は、半導体材料により形成された電極本体と、前記電極本体の表面を覆う導電膜と、を含む、光電面電子源。 - 基板受光面から入射する光を受けて、前記基板受光面とは逆側の基板主面から前記光を出射する基板と、
前記基板主面に設けられると共に、前記光を受けて光電子を放出する光電面と、
前記基板主面に固定されると共に、前記光電面から前記光電子を引き出す引出電極と、を備え、
前記引出電極は、
前記基板主面側において前記光電面から離間して配置されると共に、前記光電子を通過させる孔が設けられた電極部と、
前記基板主面において前記光電面を囲む領域に固定された枠部と、を有し、
前記基板は、
前記基板主面に設けられ、前記引出電極の前記枠部を機械的及び電気的に接続する電極接合部と、
前記電極接合部を介して前記引出電極に電圧を印加する電圧印加部と、を有する、光電面電子源。 - 基板受光面から入射する光を受けて、前記基板受光面とは逆側の基板主面から前記光を出射する基板と、
前記基板主面に設けられると共に、前記光を受けて光電子を放出する光電面と、
前記基板主面に固定されると共に、前記光電面から前記光電子を引き出す引出電極と、を備え、
前記引出電極は、
前記基板主面側において前記光電面から離間して配置されると共に、前記光電子を通過させる孔が設けられた電極部と、
前記基板主面において前記光電面を囲む領域に固定された枠部と、を有し、
前記枠部は、前記基板主面に固定される枠接合部を有し、
前記枠部の内壁面は、前記電極部側から前記枠接合部に向かって広がるように傾斜する、光電面電子源。
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