JP7410497B2 - Follow-up inspection device and follow-up inspection method - Google Patents

Follow-up inspection device and follow-up inspection method Download PDF

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Description

本発明は、追従型検査装置、及び、追従型検査方法に関する。 The present invention relates to a follow-up inspection device and a follow-up inspection method.

検査対象物が支持され、中心軸を中心として回転可能な検査テーブルと、検査装置及び照明装置のうちの一方の装置が支持され、前記中心軸を中心として回転可能な内側テーブルと、検査装置及び照明装置のうちの他方の装置が支持され、前記中心軸を中心として回転可能な外側テーブルと、これらのテーブルを駆動する駆動モーターを有する追従型検査装置は、既によく知られている。このような追従型装置では、検査テーブルの回転に応じて内側テーブル及び外側テーブルを回転させ、検査装置や照明装置を検査対象物の移動に追従させて移動させることにより、検査が行われる。 an inspection table that supports an object to be inspected and is rotatable about a central axis; an inner table that supports one of an inspection device and an illumination device and is rotatable about the central axis; BACKGROUND OF THE INVENTION Tracking inspection devices having an outer table on which the other of the illumination devices is supported and rotatable about said central axis and a drive motor for driving these tables are already well known. In such a follow-up type device, an inspection is performed by rotating the inner table and the outer table in accordance with the rotation of the inspection table, and moving the inspection device and illumination device to follow the movement of the inspection target.

特開平９－２９４９６４号公報Japanese Patent Application Publication No. 9-294964

近年、追従型検査装置の検査精度の要求が厳しくなってきている。そして、検査精度を向上させるためには、検査処理が実行される際に、追従型検査装置になるべく振動が生じないようにすることが要請される。 In recent years, requirements for inspection accuracy of follow-up inspection devices have become stricter. In order to improve the inspection accuracy, it is required that the follow-up inspection device generate as little vibration as possible when the inspection process is executed.

本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、検査処理が実行される際に追従型検査装置の振動をなるべく抑えて、追従型検査装置の検査精度を向上させることにある。 The present invention has been made in view of such problems, and its purpose is to improve the inspection accuracy of the tracking type inspection device by suppressing vibrations of the tracking type inspection device as much as possible when inspection processing is executed. It's about letting people know.

上記目的を達成するための主たる発明は、
検査対象物が支持され、中心軸を中心として回転可能な検査テーブルと、
前記検査テーブルを回転させるための検査テーブル駆動モーターと、
検査装置及び照明装置のうちの一方の装置が支持され、かつ、前記検査テーブルの径方向における内側において前記検査テーブルに軸受を介して取り付けられ、前記中心軸を中心として回転可能な内側テーブルと、
前記内側テーブルを回転させるための内側テーブル駆動モーターと、
検査装置及び照明装置のうちの他方の装置が支持され、かつ、前記検査テーブルの径方向における外側において前記検査テーブルに軸受を介して取り付けられ、前記中心軸を中心として回転可能な外側テーブルと、
前記外側テーブルを回転させるための外側テーブル駆動モーターと、
前記検査テーブル駆動モーターを駆動させ、かつ、前記内側テーブル駆動モーター及び前記外側テーブル駆動モーターを停止させることにより、前記検査テーブルと前記外側テーブルと前記内側テーブルとを一体的に回転させ、前記照明装置に照らされた前記検査対象物を前記検査装置で検査する検査処理と、
前記内側テーブル駆動モーター及び前記外側テーブル駆動モーターを駆動させて、前記検査テーブルに対し前記内側テーブル及び前記外側テーブルを相対移動させて前記検査装置で検査する検査対象物を変更する変更処理と、
を繰り返す制御部と、
を有することを特徴とする追従型検査装置である。 The main invention for achieving the above purpose is:
an inspection table on which an object to be inspected is supported and rotatable about a central axis;
an inspection table drive motor for rotating the inspection table;
an inner table that supports one of the inspection device and the illumination device, is attached to the inspection table via a bearing inside the inspection table in the radial direction, and is rotatable about the central axis;
an inner table drive motor for rotating the inner table;
an outer table that supports the other of the inspection device and the illumination device, is attached to the inspection table via a bearing on the outside in the radial direction of the inspection table, and is rotatable about the central axis;
an outer table drive motor for rotating the outer table;
By driving the inspection table drive motor and stopping the inner table drive motor and the outer table drive motor, the inspection table, the outer table, and the inner table are rotated integrally, and the lighting device an inspection process of inspecting the inspection object illuminated by the inspection device;
a change process of driving the inner table drive motor and the outer table drive motor to move the inner table and the outer table relative to the inspection table to change the inspection object to be inspected by the inspection apparatus;
a control unit that repeats
This is a follow-up inspection device characterized by having the following.

本発明の他の特徴については、本明細書及び添付図面の記載により明らかにする。 Other features of the present invention will become apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

追従型検査装置１０の上面図である。FIG. 2 is a top view of the follow-up inspection device 10. FIG. 追従型検査装置１０の縦断面図である。FIG. 2 is a longitudinal cross-sectional view of the follow-up inspection device 10. FIG. 追従型検査装置１０の概略ブロック図である。1 is a schematic block diagram of a follow-up inspection device 10. FIG. 経過時間と内側テーブル駆動モーター６１（外側テーブル駆動モーター６２）の回転角との関係を示した模式図である。FIG. 7 is a schematic diagram showing the relationship between elapsed time and the rotation angle of the inner table drive motor 61 (outer table drive motor 62).

本明細書及び添付図面の記載により、少なくとも、以下の事項が明らかとなる。 At least the following matters will become clear from the description of this specification and the accompanying drawings.

検査対象物が支持され、中心軸を中心として回転可能な検査テーブルと、
前記検査テーブルを回転させるための検査テーブル駆動モーターと、
検査装置及び照明装置のうちの一方の装置が支持され、かつ、前記検査テーブルの径方向における内側において前記検査テーブルに軸受を介して取り付けられ、前記中心軸を中心として回転可能な内側テーブルと、
前記内側テーブルを回転させるための内側テーブル駆動モーターと、
検査装置及び照明装置のうちの他方の装置が支持され、かつ、前記検査テーブルの径方向における外側において前記検査テーブルに軸受を介して取り付けられ、前記中心軸を中心として回転可能な外側テーブルと、
前記外側テーブルを回転させるための外側テーブル駆動モーターと、
前記検査テーブル駆動モーターを駆動させ、かつ、前記内側テーブル駆動モーター及び前記外側テーブル駆動モーターを停止させることにより、前記検査テーブルと前記外側テーブルと前記内側テーブルとを一体的に回転させ、前記照明装置に照らされた前記検査対象物を前記検査装置で検査する検査処理と、
前記内側テーブル駆動モーター及び前記外側テーブル駆動モーターを駆動させて、前記検査テーブルに対し前記内側テーブル及び前記外側テーブルを相対移動させて前記検査装置で検査する検査対象物を変更する変更処理と、
を繰り返す制御部と、
を有することを特徴とする追従型検査装置。 an inspection table on which an object to be inspected is supported and rotatable about a central axis;
an inspection table drive motor for rotating the inspection table;
an inner table that supports one of the inspection device and the illumination device, is attached to the inspection table via a bearing inside the inspection table in the radial direction, and is rotatable about the central axis;
an inner table drive motor for rotating the inner table;
an outer table that supports the other of the inspection device and the illumination device, is attached to the inspection table via a bearing on the outside in the radial direction of the inspection table, and is rotatable about the central axis;
an outer table drive motor for rotating the outer table;
By driving the inspection table drive motor and stopping the inner table drive motor and the outer table drive motor, the inspection table, the outer table, and the inner table are rotated integrally, and the lighting device an inspection process of inspecting the inspection object illuminated by the inspection device;
a change process of driving the inner table drive motor and the outer table drive motor to move the inner table and the outer table relative to the inspection table to change the inspection object to be inspected by the inspection apparatus;
a control unit that repeats
A follow-up inspection device characterized by having:

かかる場合には、検査処理が実行される際に追従型検査装置の振動をなるべく抑えて、追従型検査装置の検査精度を向上させることが可能となる。 In such a case, it is possible to suppress the vibration of the follow-up type inspection device as much as possible when the inspection process is executed, thereby improving the inspection accuracy of the follow-up type inspection device.

また、前記内側テーブルには、前記内側テーブル駆動モーターが設けられており、
前記検査テーブルには、内側テーブル用ギア歯が備えられており、
前記内側テーブル用ギア歯と噛合する内側テーブル用駆動ギアと、
前記内側テーブル駆動モーターに連結され、かつ、前記内側テーブル用駆動ギアが設けられた内側テーブル用入力軸と、を有することとしてもよい。 Further, the inner table is provided with the inner table drive motor,
The inspection table is equipped with inner table gear teeth,
an inner table drive gear that meshes with the inner table gear teeth;
The input shaft for the inner table may be connected to the inner table drive motor and provided with the inner table drive gear.

かかる場合には、追従型検査装置の振動をより一層抑えることができ、追従型検査装置の検査精度をより向上させることが可能となる。 In such a case, the vibration of the follow-up type inspection device can be further suppressed, and the inspection accuracy of the follow-up type inspection device can be further improved.

また、前記外側テーブルには、前記外側テーブル駆動モーターが設けられており、
前記検査テーブルには、外側テーブル用ギア歯が備えられており、
前記外側テーブル用ギア歯と噛合する外側テーブル用駆動ギアと、
前記外側テーブル駆動モーターに連結され、かつ、前記外側テーブル用駆動ギアが設けられた外側テーブル用入力軸と、を有することとしてもよい。 Further, the outer table is provided with the outer table drive motor,
The inspection table is equipped with outer table gear teeth,
an outer table drive gear that meshes with the outer table gear teeth;
The input shaft for the outer table may be connected to the outer table drive motor and provided with the outer table drive gear.

かかる場合には、追従型検査装置の振動をより一層抑えることができ、追従型検査装置の検査精度をより向上させることが可能となる。 In such a case, the vibration of the follow-up type inspection device can be further suppressed, and the inspection accuracy of the follow-up type inspection device can be further improved.

次に、検査対象物が支持され、中心軸を中心として回転可能な検査テーブルを、回転させるための検査テーブル駆動モーターを駆動させ、かつ、
検査装置及び照明装置のうちの一方の装置が支持され、かつ、前記検査テーブルの径方向における内側において前記検査テーブルに軸受を介して取り付けられ、前記中心軸を中心として回転可能な内側テーブルを、回転させるための内側テーブル駆動モーター、及び、検査装置及び照明装置のうちの他方の装置が支持され、かつ、前記検査テーブルの径方向における外側において前記検査テーブルに軸受を介して取り付けられ、前記中心軸を中心として回転可能な外側テーブル、を回転させるための外側テーブル駆動モーターを停止させることにより、
前記検査テーブルと前記外側テーブルと前記内側テーブルとを一体的に回転させ、前記照明装置に照らされた前記検査対象物を前記検査装置で検査する検査工程と、
前記内側テーブル駆動モーター及び前記外側テーブル駆動モーターを駆動させて、前記検査テーブルに対し前記内側テーブル及び前記外側テーブルを相対移動させて前記検査装置で検査する検査対象物を変更する変更工程と、
を有することを特徴とする追従型検査方法。 Next, drive an inspection table drive motor for rotating an inspection table on which the inspection target is supported and is rotatable around a central axis, and
an inner table on which one of an inspection device and an illumination device is supported, which is attached to the inspection table via a bearing inside the inspection table in the radial direction and is rotatable about the central axis; An inner table drive motor for rotating the inner table, and the other of the inspection device and the lighting device are supported and attached to the inspection table via a bearing on the outside in the radial direction of the inspection table, and the center By stopping the outer table drive motor for rotating the outer table, which is rotatable about the axis
an inspection step of rotating the inspection table, the outer table, and the inner table integrally, and inspecting the inspection target illuminated by the illumination device with the inspection device;
a changing step of driving the inner table drive motor and the outer table drive motor to move the inner table and the outer table relative to the inspection table to change the inspection object to be inspected by the inspection apparatus;
A follow-up inspection method characterized by having the following.

かかる場合には、検査処理が実行される際に追従型検査装置の振動をなるべく抑えて、追従型検査装置の検査精度を向上させることが可能となる。 In such a case, it is possible to suppress the vibration of the follow-up type inspection device as much as possible when the inspection process is executed, thereby improving the inspection accuracy of the follow-up type inspection device.

＝＝＝本実施の形態に係る追従型検査装置１０及び追従型検査方法について＝＝＝
ここでは、追従型検査装置１０及び追従型検査方法の一例について、図１乃至図４を参照しながら説明する。図１は、追従型検査装置１０の上面図である。図２は、追従型検査装置１０の縦断面図である。図３は、追従型検査装置１０の概略ブロック図である。図４については、後述する。 ===About the follow-up type inspection device 10 and follow-up type inspection method according to the present embodiment===
Here, an example of a follow-up inspection device 10 and a follow-up inspection method will be described with reference to FIGS. 1 to 4. FIG. 1 is a top view of the follow-up inspection device 10. FIG. 2 is a longitudinal cross-sectional view of the follow-up inspection device 10. FIG. 3 is a schematic block diagram of the follow-up inspection device 10. FIG. 4 will be described later.

＜＜＜追従型検査装置１０の構成例について＞＞＞
追従型検査装置１０は、検査対象物１（例えば、バイアル、アンプル、シリンジ等の液体充填装置）を検査する装置である。すなわち、追従型検査装置１０は、検査対象物１について品質上必要とされる項目、すなわち、外観上の傷、変形、割れ、欠け、液中の異物、液量の異常、液の変色等を検査する。 <<<About the configuration example of the follow-up inspection device 10>>>
The follow-up inspection device 10 is a device that inspects the inspection object 1 (for example, a liquid filling device such as a vial, ampoule, or syringe). That is, the follow-up inspection device 10 inspects the inspection object 1 for items required for quality, such as external scratches, deformations, cracks, chips, foreign objects in the liquid, abnormality in the amount of liquid, discoloration of the liquid, etc. inspect.

追従型検査装置１０は、固定部１２と、検査テーブル２０と、キャップ設置テーブル２５と、メイン入力軸５０と、検査テーブル駆動モーター６０と、内側テーブル３０と、内側テーブル用入力軸５３と、内側テーブル駆動モーター６１と、外側テーブル４０と、外側テーブル用入力軸５５と、外側テーブル駆動モーター６２と、スピン駆動部７３と、供給部８０と、排出部８２と、制御部９０と、を備えている。 The follow-up inspection device 10 includes a fixed part 12, an inspection table 20, a cap installation table 25, a main input shaft 50, an inspection table drive motor 60, an inner table 30, an input shaft 53 for the inner table, and an inner It includes a table drive motor 61, an outer table 40, an outer table input shaft 55, an outer table drive motor 62, a spin drive section 73, a supply section 80, a discharge section 82, and a control section 90. There is.

固定部１２は、検査が実行される際に、検査対象物１を固定するためのもの（検査対象物１が固定された状態を維持するためのもの）である。この固定部１２は、設置部１３とキャップ部１５とを備えている。 The fixing part 12 is for fixing the inspection object 1 (for maintaining the inspection object 1 in a fixed state) when an inspection is performed. This fixing part 12 includes an installation part 13 and a cap part 15.

設置部１３は、検査対象物１が設置される部分である。この設置部１３は、後述する検査テーブル２０の上面に複数設けられている。そして、複数の設置部１３は、検査テーブル２０の周方向において並ぶように備えられている。 The installation part 13 is a part where the inspection object 1 is installed. A plurality of the installation parts 13 are provided on the upper surface of the inspection table 20, which will be described later. The plurality of installation parts 13 are provided so as to be lined up in the circumferential direction of the inspection table 20.

キャップ部１５は、設置部１３に設置された検査対象物１を上方から押さえつけて、検査対象物１の固定をより適切にするためのものである。このキャップ部１５は、後述するキャップ設置テーブル２５に複数設置されている。そして、複数のキャップ部１５は、キャップ設置テーブル２５の周方向において並ぶように備えられている。 The cap part 15 is for pressing down the inspection object 1 installed in the installation part 13 from above, and fixing the inspection object 1 more appropriately. A plurality of cap portions 15 are installed on a cap installation table 25, which will be described later. The plurality of cap parts 15 are arranged so as to be lined up in the circumferential direction of the cap installation table 25.

検査テーブル２０は、中心軸Ｃを中心として回転可能であり、検査対象物１が前記固定部１２（設置部１３）を介して支持されるテーブルである。そして、当該検査テーブル２０は、連続的に回転することにより設置部１３に設置された検査対象物１を連続的に回転させるようになっている。この検査テーブル２０は、上面視において円形状を有しており、ベース部７０に取り付けられた固定軸１８に検査テーブル軸受２２を介して回転自在に取り付けられている。 The inspection table 20 is rotatable around a central axis C, and is a table on which the inspection object 1 is supported via the fixing section 12 (installation section 13). The inspection table 20 is configured to continuously rotate the inspection object 1 installed in the installation section 13 by continuously rotating it. The inspection table 20 has a circular shape when viewed from above, and is rotatably attached to a fixed shaft 18 attached to the base portion 70 via an inspection table bearing 22.

また、当該検査テーブル２０の径方向における最も外側には、ギア歯（便宜上、検査テーブル外ギア歯２０ａ（外側テーブル用ギア歯に相当）と呼ぶ）が設けられており、当該検査テーブル外ギア歯２０ａは、後述する検査テーブル用駆動ギア５１及び外側テーブル用駆動ギア５６と噛合している。また、検査テーブル外ギア歯２０ａよりも内側には、検査テーブル外ギア歯２０ａとは異なるギア歯（便宜上、検査テーブル内ギア歯２０ｂ（内側テーブル用ギア歯に相当）と呼ぶ）が設けられており、当該検査テーブル内ギア歯２０ｂは、後述する内側テーブル用駆動ギア５４と噛合している。 Further, gear teeth (for convenience, referred to as inspection table outer gear teeth 20a (corresponding to outer table gear teeth)) are provided at the outermost side in the radial direction of the inspection table 20. 20a meshes with an inspection table drive gear 51 and an outer table drive gear 56, which will be described later. In addition, gear teeth different from the outer inspection table gear teeth 20a (for convenience, referred to as inspection table inner gear teeth 20b (corresponding to inner table gear teeth)) are provided inside the outer inspection table gear teeth 20a. The inspection table inner gear teeth 20b mesh with an inner table drive gear 54, which will be described later.

キャップ設置テーブル２５は、中心軸Ｃを中心として回転可能であり、検査対象物１が前記固定部１２（キャップ部１５）を介して支持されるテーブルである。そして、当該キャップ設置テーブル２５は、検査テーブル２０に同期して（検査テーブル２０と同様の速度で）連続的に回転する。そして、このことにより、検査テーブル２０と協働して、設置部１３に設置された検査対象物１を連続的に回転させるようになっている。この検査テーブル２０は、上面視において円形状を有しており、固定軸１８に固定された固定部材７１にキャップ設置テーブル軸受２７を介して回転自在に取り付けられている。 The cap installation table 25 is rotatable around the central axis C, and is a table on which the inspection object 1 is supported via the fixing part 12 (cap part 15). Then, the cap installation table 25 continuously rotates in synchronization with the inspection table 20 (at the same speed as the inspection table 20). As a result, in cooperation with the inspection table 20, the inspection object 1 installed on the installation section 13 is continuously rotated. The inspection table 20 has a circular shape when viewed from above, and is rotatably attached to a fixing member 71 fixed to the fixed shaft 18 via a cap installation table bearing 27.

また、当該キャップ設置テーブル２５の径方向における最も外側には、ギア歯（便宜上、キャップ設置テーブルギア歯２５ａと呼ぶ）が設けられており、当該キャップ設置テーブルギア歯２５ａは、後述するキャップ設置テーブル用駆動ギア５２と噛合している。 Furthermore, gear teeth (referred to as cap installation table gear teeth 25a for convenience) are provided on the outermost side in the radial direction of the cap installation table 25. It meshes with the drive gear 52 for use.

なお、本実施の形態において設けられている上述したキャップ部１５、固定部材７１、キャップ設置テーブル２５、及び、キャップ設置テーブル軸受２７は、検査対象物１の固定をより適切にするためのものであり、必ずしも必要な部材ではない。特に、検査対象物１の上下方向の長さ（高さ）が小さい場合には、容易に省略することが可能である。 It should be noted that the above-mentioned cap portion 15, fixing member 71, cap installation table 25, and cap installation table bearing 27 provided in this embodiment are for more appropriately fixing the inspection object 1. Yes, but it is not necessarily a necessary part. In particular, when the length (height) of the inspection object 1 in the vertical direction is small, it can be easily omitted.

メイン入力軸５０は、後述する検査テーブル駆動モーター６０に連結され、かつ、検査テーブル外ギア歯２０ａと噛合する検査テーブル用駆動ギア５１及びキャップ設置テーブルギア歯２５ａと噛合するキャップ設置テーブル用駆動ギア５２が設けられた（取り付けられた）軸である。このメイン入力軸５０は、固定軸１８に固定された固定アーム７２に、回転自在に取り付けられている。そして、メイン入力軸５０が回転すると、検査テーブル用駆動ギア５１及びキャップ設置テーブル用駆動ギア５２も一体的に回転し、検査テーブル２０とキャップ設置テーブル２５を回転させることができるようになっている。 The main input shaft 50 is connected to an inspection table drive motor 60, which will be described later, and includes an inspection table drive gear 51 that meshes with the inspection table outer gear teeth 20a and a cap installation table drive gear that meshes with the cap installation table gear teeth 25a. 52 is the provided (attached) shaft. The main input shaft 50 is rotatably attached to a fixed arm 72 fixed to the fixed shaft 18. When the main input shaft 50 rotates, the inspection table drive gear 51 and the cap installation table drive gear 52 also rotate together, making it possible to rotate the inspection table 20 and the cap installation table 25. .

検査テーブル駆動モーター６０は、検査テーブル２０を回転させるためのものである。また、検査テーブル駆動モーター６０は、本実施の形態のようにキャップ設置テーブル２５が設けられているときには、キャップ設置テーブル２５を回転させる役割も果たす。この検査テーブル駆動モーター６０は、サーボモーターであり、ベース部７０に設置されている。 The inspection table drive motor 60 is for rotating the inspection table 20. In addition, the inspection table drive motor 60 also plays the role of rotating the cap installation table 25 when the cap installation table 25 is provided as in this embodiment. This inspection table drive motor 60 is a servo motor and is installed on the base portion 70.

内側テーブル３０は、中心軸Ｃを中心として回転可能であり、検査装置の一例としてのカメラ６５及び照明装置６６のうちの一方の装置（本実施の形態においては、照明装置６６）が支持されるテーブルである。この内側テーブル３０は、検査テーブル２０の径方向における内側において検査テーブル２０に軸受（便宜上、内側テーブル軸受３２と呼ぶ）を介して取り付けられている。 The inner table 30 is rotatable around a central axis C, and supports one of a camera 65 and an illumination device 66 (in this embodiment, the illumination device 66) as an example of an inspection device. It's a table. This inner table 30 is attached to the inspection table 20 via a bearing (referred to as an inner table bearing 32 for convenience) on the inside of the inspection table 20 in the radial direction.

そして、当該内側テーブル３０は、回転することにより検査テーブル２０に対し周方向において相対移動する。このことにより、径方向において照明装置６６と正対する検査対象物１が変更される。つまり、照明装置６６で照らされる検査対象物１が別の検査対象物１に変わるようになっている。 The inner table 30 moves relative to the inspection table 20 in the circumferential direction by rotating. As a result, the inspection object 1 that directly faces the illumination device 66 in the radial direction is changed. In other words, the inspection object 1 illuminated by the illumination device 66 is changed to another inspection object 1.

なお、内側テーブル３０は、上面視において円形状を有している。 Note that the inner table 30 has a circular shape when viewed from above.

内側テーブル用入力軸５３は、内側テーブル駆動モーター６１に連結され、かつ、検査テーブル内ギア歯２０ｂと噛合する内側テーブル用駆動ギア５４が設けられた（取り付けられた）回転可能な軸である。 The inner table input shaft 53 is a rotatable shaft connected to the inner table drive motor 61 and provided with (attached to) an inner table drive gear 54 that meshes with the inspection table internal gear teeth 20b.

内側テーブル駆動モーター６１は、内側テーブル３０を回転させるためのものである。この内側テーブル駆動モーター６１は、サーボモーターであり、内側テーブル３０に設けられている。 The inner table drive motor 61 is for rotating the inner table 30. This inner table drive motor 61 is a servo motor, and is provided on the inner table 30.

そして、内側テーブル駆動モーター６１の駆動力により内側テーブル用入力軸５３が回転すると、内側テーブル用駆動ギア５４も一体的に回転する。そうすると、内側テーブル３０が、検査テーブル２０に対し周方向に相対移動する。そして、このことにより、検査テーブル２０上の照明装置６６（及び内側テーブル駆動モーター６１）も周方向に相対移動する。 When the inner table input shaft 53 rotates due to the driving force of the inner table drive motor 61, the inner table drive gear 54 also rotates integrally. Then, the inner table 30 moves relative to the inspection table 20 in the circumferential direction. As a result, the illumination device 66 on the inspection table 20 (and the inner table drive motor 61) also moves relatively in the circumferential direction.

外側テーブル４０は、中心軸Ｃを中心として回転可能であり、カメラ６５及び照明装置６６のうちの他方の装置（本実施の形態においては、カメラ６５）が支持されるテーブルである。この外側テーブル４０は、検査テーブル２０の径方向における外側において検査テーブル２０に軸受（便宜上、外側テーブル軸受４２と呼ぶ）を介して取り付けられている。 The outer table 40 is rotatable around the central axis C, and is a table on which the other of the camera 65 and the illumination device 66 (in this embodiment, the camera 65) is supported. This outer table 40 is attached to the inspection table 20 via a bearing (referred to as an outer table bearing 42 for convenience) on the outside of the inspection table 20 in the radial direction.

そして、当該外側テーブル４０は、回転することにより検査テーブル２０に対し周方向において相対移動する。このことにより、径方向においてカメラ６５と正対する検査対象物１が変更される。つまり、カメラ６５によって撮影される検査対象物１が別の検査対象物１に変わるようになっている。 The outer table 40 moves relative to the inspection table 20 in the circumferential direction by rotating. As a result, the inspection object 1 directly facing the camera 65 in the radial direction is changed. In other words, the inspection object 1 photographed by the camera 65 is changed to another inspection object 1.

なお、外側テーブル４０は、上面視において略半円形状を有している。円形状としなかったのは、後述する供給部８０及び排出部８２との物理的干渉を回避するためである。 Note that the outer table 40 has a substantially semicircular shape when viewed from above. The reason why it is not circular is to avoid physical interference with a supply section 80 and a discharge section 82, which will be described later.

外側テーブル用入力軸５５は、外側テーブル駆動モーター６２に連結され、かつ、検査テーブル外ギア歯２０ａと噛合する外側テーブル用駆動ギア５６が設けられた（取り付けられた）回転可能な軸である。 The outer table input shaft 55 is a rotatable shaft connected to the outer table drive motor 62 and provided with (attached to) an outer table drive gear 56 that meshes with the inspection table outer gear teeth 20a.

外側テーブル駆動モーター６２は、外側テーブル４０を回転させるためのものである。この外側テーブル駆動モーター６２は、サーボモーターであり、外側テーブル４０に設けられている。 The outer table drive motor 62 is for rotating the outer table 40. This outer table drive motor 62 is a servo motor and is provided on the outer table 40.

そして、外側テーブル駆動モーター６２の駆動力により外側テーブル用入力軸５５が回転すると、外側テーブル用駆動ギア５６も一体的に回転する。そうすると、外側テーブル４０が、検査テーブル２０に対し周方向に相対移動する。そして、このことにより、検査テーブル２０上のカメラ６５（及び外側テーブル駆動モーター６２）も周方向に相対移動する。 When the outer table input shaft 55 rotates due to the driving force of the outer table drive motor 62, the outer table drive gear 56 also rotates integrally. Then, the outer table 40 moves relative to the inspection table 20 in the circumferential direction. As a result, the camera 65 (and the outer table drive motor 62) on the inspection table 20 also moves relatively in the circumferential direction.

スピン駆動部７３は、検査が実行される際に、設置部１３に設置された検査対象物１をスピンさせるためのものである。このスピン駆動部７３は、スピンモーター７３ａと、スピンモーター７３ａに連結されたスピン軸７３ｂと、スピン軸７３ｂに架けられ、設置部１３と接触するベルト７３ｃと、を備えている。そして、スピンモーター７３ａの駆動力によりスピン軸７３ｂが回転するとベルト７３ｃも回転し、回転するベルト７３ｃが設置部１３（検査対象物１）をスピンさせるようになっている。なお、本実施の形態においては、図から明らかなように、３つの設置部１３（検査対象物１）を同時にスピンさせるようになっている。 The spin drive section 73 is for spinning the inspection object 1 installed in the installation section 13 when an inspection is performed. The spin drive section 73 includes a spin motor 73a, a spin shaft 73b connected to the spin motor 73a, and a belt 73c that is placed over the spin shaft 73b and comes into contact with the installation section 13. When the spin shaft 73b rotates due to the driving force of the spin motor 73a, the belt 73c also rotates, and the rotating belt 73c spins the installation part 13 (inspection object 1). In addition, in this embodiment, as is clear from the figure, three installation parts 13 (inspection object 1) are spun simultaneously.

供給部８０は、検査対象物１を検査テーブル２０に供給するためのものである。この供給部８０は、供給部駆動モーター８３（図３）の駆動力により回転して、検査対象物１を検査テーブル２０に送り込むようになっている。 The supply unit 80 is for supplying the inspection object 1 to the inspection table 20. This supply section 80 is rotated by the driving force of a supply section drive motor 83 (FIG. 3), and feeds the inspection object 1 to the inspection table 20.

排出部８２は、検査テーブル２０から受け取った検査対象物１を追従型検査装置１０外へ排出するためのものである。この排出部８２は、排出部駆動モーター８４（図３）の駆動力により回転して、検査対象物１を追従型検査装置１０外へ送り出すようになっている。 The discharge section 82 is for discharging the inspection object 1 received from the inspection table 20 to the outside of the follow-up inspection apparatus 10 . The discharge section 82 is rotated by the driving force of a discharge section drive motor 84 (FIG. 3) to send the inspection object 1 out of the follow-up inspection apparatus 10.

制御部９０は、追従型検査装置１０の動作を制御するためのもの（換言すれば、追従型検査方法を実現するためのもの）である。つまり、制御部９０は、各種モーター（すなわち、検査テーブル駆動モーター６０、内側テーブル駆動モーター６１、外側テーブル駆動モーター６２、スピンモーター７３ａ、供給部駆動モーター８３、排出部駆動モーター８４）を制御して、検査対象物１の検査を実行する。 The control unit 90 is for controlling the operation of the follow-up inspection device 10 (in other words, for realizing the follow-up inspection method). That is, the control unit 90 controls various motors (i.e., the inspection table drive motor 60, the inner table drive motor 61, the outer table drive motor 62, the spin motor 73a, the supply section drive motor 83, and the discharge section drive motor 84). , executes the inspection of the inspection object 1.

＜＜＜追従型検査装置１０の動作例について＞＞＞
次に、追従型検査装置１０の動作例について説明する。なお、以下に説明する追従型検査装置１０の各種動作は、主として制御部９０により実現される。 <<<About operation example of follow-up inspection device 10>>>
Next, an example of the operation of the follow-up inspection device 10 will be described. Note that various operations of the follow-up inspection device 10 described below are mainly realized by the control section 90.

追従型検査装置１０（制御部９０）は、以下で説明する処理（工程）、すなわち、照明装置６６に照らされた検査対象物１をカメラ６５で検査する検査処理（検査工程）とカメラ６５で検査する検査対象物１を変更する変更処理（変更工程）とを繰り返す。 The follow-up inspection device 10 (control unit 90) performs the processes (processes) described below, that is, an inspection process (inspection process) in which the inspection object 1 illuminated by the illumination device 66 is inspected with the camera 65; The change process (change step) of changing the inspection object 1 to be inspected is repeated.

検査処理の実行の際に、制御部９０は検査テーブル駆動モーター６０を駆動させる（駆動を継続する）。すると、メイン入力軸５０が回転し、メイン入力軸５０に取り付けられた検査テーブル用駆動ギア５１及びキャップ設置テーブル用駆動ギア５２も回転する。そして、これらの駆動ギアの回転により、検査テーブル２０が回転する。 When executing the inspection process, the control unit 90 drives the inspection table drive motor 60 (continues to drive). Then, the main input shaft 50 rotates, and the inspection table drive gear 51 and cap installation table drive gear 52 attached to the main input shaft 50 also rotate. The rotation of these drive gears causes the inspection table 20 to rotate.

一方で、検査処理の実行の際に、制御部９０は内側テーブル駆動モーター６１及び外側テーブル駆動モーター６２を停止させる（なお、駆動モーターへの通電は行っている）。そのため、内側テーブル３０や外側テーブル４０は、検査テーブル２０に対して相対移動を行わない。つまり、内側テーブル３０及び外側テーブル４０は、検査テーブル２０と一体的に回転することとなる。 On the other hand, when executing the inspection process, the control unit 90 stops the inner table drive motor 61 and the outer table drive motor 62 (although the drive motors are still energized). Therefore, the inner table 30 and the outer table 40 do not move relative to the inspection table 20. In other words, the inner table 30 and the outer table 40 rotate together with the inspection table 20.

例えば、図１において、符号Ａで示した検査対象物１には、カメラ６５と照明装置６６が正対（対向）している（換言すれば、カメラ６５、検査対象物１、照明装置６６が一直線上に配置されている）。そして、かかる状態で、内側テーブル３０、外側テーブル４０、検査テーブル２０が一体的に回転すると、カメラ６５と照明装置６６が検査対象物１に正対（対向）した状態（カメラ６５、検査対象物１、照明装置６６が一直線上に配置された状態）を維持しつつ、カメラ６５、照明装置６６、及び、検査対象物１が移動する（回転する）。すなわち、カメラ６５と照明装置６６が検査対象物１の移動に追従して移動する。そして、検査対象物１が符号Ｂで示した位置に、また、カメラ６５及び照明装置６６が点線で示された位置に移動するまで、内側テーブル３０、外側テーブル４０、検査テーブル２０が一体的に回転する。そして、この一体的な回転が行われている間に（つまり、検査対象物１が位置Ａから位置Ｂまで移動する間に）、照明装置６６に照らされた検査対象物１をカメラ６５で検査する検査処理が行われる。 For example, in FIG. 1, a camera 65 and an illumination device 66 are directly facing (facing each other) the inspection object 1 indicated by the symbol A (in other words, the camera 65, the inspection object 1, and the illumination device 66 are (located in a straight line). In this state, when the inner table 30, the outer table 40, and the inspection table 20 rotate integrally, the camera 65 and the illumination device 66 are in a state where they are directly facing (facing) the inspection target 1 (the camera 65, the inspection target 1. The camera 65, the lighting device 66, and the inspection object 1 move (rotate) while maintaining the state in which the lighting device 66 is arranged in a straight line. That is, the camera 65 and the illumination device 66 move following the movement of the inspection object 1. Then, the inner table 30, outer table 40, and inspection table 20 are integrally moved until the inspection object 1 moves to the position indicated by the symbol B, and the camera 65 and the illumination device 66 move to the positions indicated by the dotted line. Rotate. Then, while this integral rotation is being performed (that is, while the inspection object 1 is moving from position A to position B), the inspection object 1 illuminated by the illumination device 66 is inspected by the camera 65. Inspection processing is performed.

次に、変更処理が実行される。本実施の形態においては、当該変更処理の際に、制御部９０が検査テーブル駆動モーター６０の駆動を維持する。したがって、変更処理の際にも、メイン入力軸５０が回転し、メイン入力軸５０に取り付けられた検査テーブル用駆動ギア５１及びキャップ設置テーブル用駆動ギア５２も回転する。そして、これらの駆動ギアの回転により、検査テーブル２０が回転する（検査テーブル２０の回転が、検査処理に引き続いて維持される）。 Next, a change process is executed. In this embodiment, the control unit 90 maintains the drive of the inspection table drive motor 60 during the change process. Therefore, even during the change process, the main input shaft 50 rotates, and the inspection table drive gear 51 and the cap installation table drive gear 52 attached to the main input shaft 50 also rotate. The rotation of these drive gears rotates the inspection table 20 (the rotation of the inspection table 20 is maintained following the inspection process).

また、変更処理の実行の際には、制御部９０は内側テーブル駆動モーター６１及び外側テーブル駆動モーター６２を駆動させる。すると、内側テーブル用入力軸５３及び外側テーブル用入力軸５５が回転し、内側テーブル用入力軸５３及び外側テーブル用入力軸５５に取り付けられた内側テーブル用駆動ギア５４及び外側テーブル用駆動ギア５６も回転する。そして、これらの駆動ギアの回転により、内側テーブル３０及び外側テーブル４０が、検査テーブル２０に対し周方向に相対移動する。 Further, when executing the change process, the control unit 90 drives the inner table drive motor 61 and the outer table drive motor 62. Then, the inner table input shaft 53 and the outer table input shaft 55 rotate, and the inner table drive gear 54 and the outer table drive gear 56 attached to the inner table input shaft 53 and the outer table input shaft 55 also rotate. Rotate. The rotation of these drive gears causes the inner table 30 and the outer table 40 to move relative to the inspection table 20 in the circumferential direction.

例えば、図１において、検査対象物１が符号Ｂで示した位置に、また、カメラ６５及び照明装置６６が点線で示された位置に移動すると、変更処理が開始される。すなわち、内側テーブル３０及び外側テーブル４０が、検査テーブル２０に対し周方向に相対移動される。そのため、検査対象物１に対しカメラ６５及び照明装置６６が周方向に相対移動する。そして、当該相対移動が暫く行われると、やがて、カメラ６５及び照明装置６６は、次の検査対象となる検査対象物１（図１において、符号Ｘで示す）に正対（対向）した状態（カメラ６５、次の検査対象となる検査対象物１、照明装置６６が一直線上に配置された状態）となる。このように、カメラ６５で検査する検査対象物１が変更されることとなる。 For example, in FIG. 1, when the inspection object 1 moves to the position indicated by the symbol B and the camera 65 and the illumination device 66 move to the positions indicated by the dotted lines, the changing process is started. That is, the inner table 30 and the outer table 40 are moved relative to the inspection table 20 in the circumferential direction. Therefore, the camera 65 and the illumination device 66 move relative to the inspection object 1 in the circumferential direction. Then, after the relative movement is carried out for a while, the camera 65 and the illumination device 66 are in a state where they are directly facing (indicated by the symbol X in FIG. 1) the inspection object 1 (indicated by the symbol X in FIG. The camera 65, the inspection object 1 to be inspected next, and the illumination device 66 are arranged in a straight line). In this way, the inspection object 1 to be inspected by the camera 65 is changed.

なお、本実施の形態においては、上述した通り、当該変更処理の際に、検査テーブル２０が回転する。より具体的には、変更処理の際に、（検査済みの）検査対象物１が符号Ｂで示した位置に位置する状態から次の検査対象物Ｘが符号Ａで示した位置に位置する状態となるまで検査テーブル２０が回転する。そして、この検査テーブル２０の回転の間に、カメラ６５及び照明装置６６が、位置Ａの次の検査対象物Ｘに正対（対向）する位置（図２において実線で示された位置）まで戻るようになっている。つまり、内側テーブル３０及び外側テーブル４０は、検査テーブル２０の回転方向とは逆方向に回転して、図１の点線位置から実線位置へ戻ることとなる。 Note that in this embodiment, as described above, the inspection table 20 rotates during the change processing. More specifically, during the change process, the state in which the (inspected) inspection object 1 is located at the position indicated by the symbol B, and the state where the next inspection object X is located at the position indicated by the symbol A The inspection table 20 rotates until . During this rotation of the inspection table 20, the camera 65 and the illumination device 66 return to the position directly facing (opposing) the next inspection object X from position A (the position indicated by the solid line in FIG. 2). It looks like this. That is, the inner table 30 and the outer table 40 rotate in the opposite direction to the rotation direction of the inspection table 20, and return from the dotted line position in FIG. 1 to the solid line position.

そして、上述した検査処理及び変更処理が繰り返されることにより、周方向に並んだ複数の検査対象物１の各々を順次検査することができるようになっている。なお、図４に、経過時間と内側テーブル駆動モーター６１（外側テーブル駆動モーター６２）の回転角との関係を示している。図４に示されているように、検査処理が行われる毎にモーターが停止され、変更処理が行われる毎にモーターが駆動される。 By repeating the above-described inspection process and change process, each of the plurality of inspection objects 1 arranged in the circumferential direction can be sequentially inspected. Note that FIG. 4 shows the relationship between the elapsed time and the rotation angle of the inner table drive motor 61 (outer table drive motor 62). As shown in FIG. 4, the motor is stopped every time an inspection process is performed, and the motor is driven every time a change process is performed.

なお、検査対象物１は、供給部駆動モーター８３が駆動され供給部８０が回転することにより、検査テーブル２０に順次送り込まれる（セットされる）。また、検査済みの検査対象物１は、排出部駆動モーター８４が駆動され排出部８２が回転することにより、追従型検査装置１０外へ送り出される（排出される）。また、検査対象物１のスピン動作は、少なくとも検査処理が行われる際に、スピンモーター７３ａが駆動されベルト７３ｃが回転することにより実行される。 Note that the objects 1 to be inspected are sequentially fed (set) onto the inspection table 20 by driving the supply section drive motor 83 and rotating the supply section 80 . Furthermore, the inspected object 1 that has been inspected is sent out (ejected) to the outside of the follow-up inspection device 10 by driving the ejecting section drive motor 84 and rotating the ejecting section 82 . Further, the spin operation of the inspection object 1 is performed by driving the spin motor 73a and rotating the belt 73c at least when an inspection process is performed.

＝＝＝本実施の形態に係る追従型検査装置１０等の有効性について＝＝＝
上述した通り、本実施の形態に係る追従型検査装置１０は、検査対象物１が支持され、中心軸Ｃを中心として回転可能な検査テーブル２０と、検査テーブル２０を回転させるための検査テーブル駆動モーター６０と、検査装置（カメラ６５）及び照明装置６６のうちの一方の装置が支持され、かつ、検査テーブル２０の径方向における内側において検査テーブル２０に内側テーブル軸受３２を介して取り付けられ、中心軸Ｃを中心として回転可能な内側テーブル３０と、内側テーブル３０を回転させるための内側テーブル駆動モーター６１と、カメラ６５及び照明装置６６のうちの他方の装置が支持され、かつ、検査テーブル２０の径方向における外側において検査テーブル２０に外側テーブル軸受４２を介して取り付けられ、中心軸Ｃを中心として回転可能な外側テーブル４０と、外側テーブル４０を回転させるための外側テーブル駆動モーター６２と、検査テーブル駆動モーター６０を駆動させ、かつ、内側テーブル駆動モーター６１及び外側テーブル駆動モーター６２を停止させることにより、検査テーブル２０と外側テーブル４０と内側テーブル３０とを一体的に回転させ、照明装置６６に照らされた検査対象物１をカメラ６５で検査する検査処理と、内側テーブル駆動モーター６１及び外側テーブル駆動モーター６２を駆動させて、検査テーブル２０に対し内側テーブル３０及び外側テーブル４０を相対移動させてカメラ６５で検査する検査対象物１を変更する変更処理と、を繰り返す制御部９０と、を有することとした。そのため、検査処理が実行される際に追従型検査装置１０の振動をなるべく抑えて、追従型検査装置１０の検査精度を向上させることが可能となる。 ===About the effectiveness of the follow-up inspection device 10 etc. according to the present embodiment===
As described above, the follow-up inspection device 10 according to the present embodiment includes an inspection table 20 on which the inspection object 1 is supported and is rotatable about the central axis C, and an inspection table drive for rotating the inspection table 20. A motor 60, one of an inspection device (camera 65) and an illumination device 66 is supported, and is attached to the inspection table 20 via an inner table bearing 32 on the inside of the inspection table 20 in the radial direction, and An inner table 30 that is rotatable about an axis C, an inner table drive motor 61 for rotating the inner table 30, and the other of a camera 65 and an illumination device 66 are supported, and An outer table 40 that is attached to the inspection table 20 on the outside in the radial direction via an outer table bearing 42 and is rotatable about a central axis C, an outer table drive motor 62 for rotating the outer table 40, and an inspection table. By driving the drive motor 60 and stopping the inner table drive motor 61 and the outer table drive motor 62, the inspection table 20, outer table 40, and inner table 30 are rotated integrally, and the illumination device 66 is illuminated. The inspection process involves inspecting the inspected object 1 with the camera 65, and driving the inner table drive motor 61 and outer table drive motor 62 to move the inner table 30 and outer table 40 relative to the inspection table 20. The control unit 90 repeats a change process of changing the inspection object 1 to be inspected in step 65. Therefore, it is possible to suppress the vibration of the follow-up type inspection device 10 as much as possible when the inspection process is executed, and improve the inspection accuracy of the follow-up type inspection device 10.

すなわち、従来においても、検査対象物が支持され、中心軸を中心として回転可能な検査テーブルと、検査装置及び照明装置のうちの一方の装置が支持され、前記中心軸を中心として回転可能な内側テーブルと、検査装置及び照明装置のうちの他方の装置が支持され、前記中心軸を中心として回転可能な外側テーブルと、これらのテーブルを駆動する駆動モーターを有する追従型検査装置はあったが、以下の点で、本実施の形態に係る追従型検査装置１０とは異なっていた。 That is, conventionally, an inspection table that supports an object to be inspected and is rotatable about a central axis, and an inner side that supports one of an inspection device and an illumination device and that is rotatable about the central axis. There has been a follow-up inspection device having a table, an outer table on which the other of the inspection device and the illumination device is supported and rotatable about the central axis, and a drive motor for driving these tables. The following points differed from the follow-up inspection device 10 according to the present embodiment.

従来例においては、検査を実行する際に、検査テーブル（検査対象物）を検査テーブル用駆動モーターで駆動することにより移動（回転）させ、内側テーブル及び外側テーブル（検査装置及び照明装置）を検査テーブル用駆動モーターとは別の駆動モーターで駆動することにより検査テーブルの移動に応じて移動（揺動）させていた。そして、このような従来例においては、検査を実行する際に、検査テーブル用駆動モーターだけではなく、前記別の駆動モーターも駆動しなければならず、追従型検査装置の振動が顕著となり、追従型検査装置の検査精度が良好とは言えなかった。 In the conventional example, when performing an inspection, the inspection table (inspection object) is moved (rotated) by being driven by an inspection table drive motor, and the inner table and outer table (inspection device and lighting device) are inspected. It was moved (swung) in accordance with the movement of the inspection table by being driven by a drive motor separate from the table drive motor. In such a conventional example, when performing an inspection, it is necessary to drive not only the drive motor for the inspection table but also the other drive motor, which causes noticeable vibration of the tracking type inspection device and The inspection accuracy of the mold inspection device could not be said to be good.

これに対し、本実施の形態においては、検査テーブル２０を回転させるための検査テーブル駆動モーター６０とは別に、内側テーブル３０（外側テーブル４０）を回転させるための内側テーブル駆動モーター６１（外側テーブル駆動モーター６２）が用意されるものの、内側テーブル駆動モーター６１（外側テーブル駆動モーター６２）が駆動されるのは変更処理のときのみであり、検査処理の際には内側テーブル駆動モーター６１（外側テーブル駆動モーター６２）は停止される。そのため、検査を実行する際に、内側テーブル駆動モーター６１（外側テーブル駆動モーター６２）の駆動がない分、追従型検査装置１０の振動が、従来例に比べて抑えられることとなる。つまり、本実施の形態に係る追従型検査装置１０によれば、検査処理が実行される際に追従型検査装置１０の振動をなるべく抑えて、追従型検査装置１０の検査精度を向上させることが可能となる。 On the other hand, in this embodiment, in addition to the inspection table drive motor 60 for rotating the inspection table 20, the inner table drive motor 61 (outer table drive motor 61 for rotating the inner table 30 (outer table 40)) Although a motor 62) is prepared, the inner table drive motor 61 (outer table drive motor 62) is only driven during change processing, and the inner table drive motor 61 (outer table drive motor 62) is driven during inspection processing. Motor 62) is stopped. Therefore, when performing an inspection, the vibration of the tracking type inspection device 10 is suppressed compared to the conventional example since the inner table drive motor 61 (outer table drive motor 62) is not driven. In other words, according to the tracking type inspection device 10 according to the present embodiment, it is possible to suppress the vibration of the tracking type inspection device 10 as much as possible when the inspection process is executed, and improve the inspection accuracy of the tracking type inspection device 10. It becomes possible.

また、本実施の形態に係る追従型検査装置１０においては、内側テーブル３０には、内側テーブル駆動モーター６１が設けられており、検査テーブル２０には、検査テーブル内ギア歯２０ｂが備えられており、検査テーブル内ギア歯２０ｂと噛合する内側テーブル用駆動ギア５４と、内側テーブル駆動モーター６１に連結され、かつ、内側テーブル用駆動ギア５４が設けられた内側テーブル用入力軸５３と、を有することとした。 Furthermore, in the follow-up inspection device 10 according to the present embodiment, the inner table 30 is provided with an inner table drive motor 61, and the inspection table 20 is equipped with inspection table internal gear teeth 20b. , an inner table drive gear 54 that meshes with the inspection table inner gear teeth 20b, and an inner table input shaft 53 connected to an inner table drive motor 61 and provided with the inner table drive gear 54. And so.

そのため、検査処理が実行される際に、内側テーブル駆動モーター６１のみならず、内側テーブル用駆動ギア５４が設けられた内側テーブル用入力軸５３も停止されることとなる。したがって、追従型検査装置１０の振動をより一層抑えることができ、追従型検査装置１０の検査精度をより向上させることが可能となる。 Therefore, when the inspection process is executed, not only the inner table drive motor 61 but also the inner table input shaft 53 provided with the inner table drive gear 54 are stopped. Therefore, the vibration of the follow-up type inspection device 10 can be further suppressed, and the inspection accuracy of the follow-up type inspection device 10 can be further improved.

また、本実施の形態に係る追従型検査装置１０においては、外側テーブル４０には、外側テーブル駆動モーター６２が設けられており、検査テーブル２０には、検査テーブル外ギア歯２０ａが備えられており、検査テーブル外ギア歯２０ａと噛合する外側テーブル用駆動ギア５６と、外側テーブル駆動モーター６２に連結され、かつ、外側テーブル用駆動ギア５６が設けられた外側テーブル用入力軸５５と、を有することとした
そのため、検査処理が実行される際に、外側テーブル駆動モーター６２のみならず、外側テーブル用駆動ギア５６が設けられた外側テーブル用入力軸５５も停止されることとなる。したがって、追従型検査装置１０の振動をより一層抑えることができ、追従型検査装置１０の検査精度をより向上させることが可能となる。 Furthermore, in the follow-up inspection device 10 according to the present embodiment, the outer table 40 is provided with an outer table drive motor 62, and the inspection table 20 is provided with inspection table outer gear teeth 20a. , an outer table drive gear 56 that meshes with the inspection table outer gear teeth 20a, and an outer table input shaft 55 connected to an outer table drive motor 62 and provided with the outer table drive gear 56. Therefore, when the inspection process is executed, not only the outer table drive motor 62 but also the outer table input shaft 55 provided with the outer table drive gear 56 is stopped. Therefore, the vibration of the follow-up type inspection device 10 can be further suppressed, and the inspection accuracy of the follow-up type inspection device 10 can be further improved.

＝＝＝その他の実施の形態＝＝＝
以上、上記実施の形態に基づき本発明に係る追従型検査装置等を説明したが、上記した発明の実施の形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得ると共に、本発明にはその等価物が含まれることはもちろんである。 ===Other embodiments===
Although the tracking type inspection device and the like according to the present invention have been described above based on the above-described embodiments, the above-described embodiments of the present invention are intended to facilitate understanding of the present invention, and do not limit the present invention. It's not a thing. The present invention may be modified and improved without departing from its spirit, and it goes without saying that the present invention includes equivalents thereof.

上記実施の形態においては、変更処理の際に、カメラ６５及び照明装置６６を、次の検査対象となる検査対象物１に正対（対向）した状態とすることとしたが、当該次の検査対象は、一つ先の検査対象物であることとした（一本送り）。 In the above embodiment, during the change process, the camera 65 and the illumination device 66 are set to face directly (opposed to) the inspection object 1 to be inspected next. The target was the next object to be inspected (single feed).

しかしながら、これに限定されるものではなく、以下の例であってもよい。すなわち、カメラ６５や照明装置６６を、複数置いたり広範囲をカバーできるものとしたりすることにより、二つの検査対象物を同時に検査するようにしてもよい。そして、この場合には、変更処理の際に、カメラ６５及び照明装置６６を、次の検査対象となる検査対象物１に正対（対向）した状態とするが、この場合に、当該次の検査対象を、二つ先の二つの検査対象物とすることとしてもよい（二本送り）。 However, the present invention is not limited to this, and the following examples may be used. That is, two objects to be inspected may be inspected at the same time by providing a plurality of cameras 65 and illumination devices 66 or by providing a device capable of covering a wide range. In this case, during the change process, the camera 65 and the illumination device 66 are placed in a state where they are directly facing (facing) the inspection object 1 to be inspected next. The objects to be inspected may be two objects to be inspected two places ahead (two-piece feeding).

なお、同様にして、三本送りや四本送り以上としてもよい。 Note that, in the same way, three-line feed, four-line feed or more may be used.

１ 検査対象物
１０ 追従型検査装置
１２ 固定部
１３ 設置部
１５ キャップ部
１８ 固定軸
２０ 検査テーブル
２０ａ 検査テーブル外ギア歯
２０ｂ 検査テーブル内ギア歯
２２ 検査テーブル軸受
２５ キャップ設置テーブル
２５ａ キャップ設置テーブルギア歯
２７ キャップ設置テーブル軸受
３０ 内側テーブル
３２ 内側テーブル軸受
４０ 外側テーブル
４２ 外側テーブル軸受
５０ メイン入力軸
５１ 検査テーブル用駆動ギア
５２ キャップ設置テーブル用駆動ギア
５３ 内側テーブル用入力軸
５４ 内側テーブル用駆動ギア
５５ 外側テーブル用入力軸
５６ 外側テーブル用駆動ギア
６０ 検査テーブル駆動モーター
６１ 内側テーブル駆動モーター
６２ 外側テーブル駆動モーター
６５ カメラ
６６ 照明装置
７０ ベース部
７１ 固定部材
７２ 固定アーム
７３ スピン駆動部
７３ａ スピンモーター
７３ｂ スピン軸
７３ｃ ベルト
８０ 供給部
８２ 排出部
８３ 供給部駆動モーター
８４ 排出部駆動モーター
９０ 制御部 1 Inspection object 10 Follow-up inspection device 12 Fixed part 13 Installation part 15 Cap part 18 Fixed shaft 20 Inspection table 20a Inspection table outer gear teeth 20b Inspection table inner gear teeth 22 Inspection table bearing 25 Cap installation table 25a Cap installation table gear teeth 27 Cap installation table bearing 30 Inner table 32 Inner table bearing 40 Outer table 42 Outer table bearing 50 Main input shaft 51 Inspection table drive gear 52 Cap installation table drive gear 53 Inner table input shaft 54 Inner table drive gear 55 Outside Table input shaft 56 Outer table drive gear 60 Inspection table drive motor 61 Inner table drive motor 62 Outer table drive motor 65 Camera 66 Lighting device 70 Base part 71 Fixed member 72 Fixed arm 73 Spin drive part 73a Spin motor 73b Spin shaft 73c Belt 80 Supply section 82 Discharge section 83 Supply section drive motor 84 Discharge section drive motor 90 Control section

Claims (4)

検査対象物が支持され、中心軸を中心として回転可能な検査テーブルと、
前記検査テーブルを回転させるための検査テーブル駆動モーターと、
検査装置及び照明装置のうちの一方の装置が支持され、かつ、前記検査テーブルの径方向における内側において前記検査テーブルに軸受を介して取り付けられ、前記中心軸を中心として回転可能な内側テーブルと、
前記内側テーブルを回転させるための内側テーブル駆動モーターと、
検査装置及び照明装置のうちの他方の装置が支持され、かつ、前記検査テーブルの径方向における外側において前記検査テーブルに軸受を介して取り付けられ、前記中心軸を中心として回転可能な外側テーブルと、
前記外側テーブルを回転させるための外側テーブル駆動モーターと、
前記検査テーブル駆動モーターを駆動させ、かつ、前記内側テーブル駆動モーター及び前記外側テーブル駆動モーターを停止させることにより、前記検査テーブルと前記外側テーブルと前記内側テーブルとを一体的に回転させ、前記照明装置に照らされた前記検査対象物を前記検査装置で検査する検査処理と、
前記内側テーブル駆動モーター及び前記外側テーブル駆動モーターを駆動させて、前記検査テーブルに対し前記内側テーブル及び前記外側テーブルを相対移動させて前記検査装置で検査する検査対象物を変更する変更処理と、
を繰り返す制御部と、
を有することを特徴とする追従型検査装置。 an inspection table on which an object to be inspected is supported and rotatable about a central axis;
an inspection table drive motor for rotating the inspection table;
an inner table that supports one of the inspection device and the illumination device, is attached to the inspection table via a bearing inside the inspection table in the radial direction, and is rotatable about the central axis;
an inner table drive motor for rotating the inner table;
an outer table that supports the other of the inspection device and the illumination device, is attached to the inspection table via a bearing on the outside in the radial direction of the inspection table, and is rotatable about the central axis;
an outer table drive motor for rotating the outer table;
By driving the inspection table drive motor and stopping the inner table drive motor and the outer table drive motor, the inspection table, the outer table, and the inner table are rotated integrally, and the lighting device an inspection process of inspecting the inspection object illuminated by the inspection device;
a change process of driving the inner table drive motor and the outer table drive motor to move the inner table and the outer table relative to the inspection table to change the inspection object to be inspected by the inspection apparatus;
a control unit that repeats
A follow-up inspection device characterized by having: 請求項１に記載の追従型検査装置であって、
前記内側テーブルには、前記内側テーブル駆動モーターが設けられており、
前記検査テーブルには、内側テーブル用ギア歯が備えられており、
前記内側テーブル用ギア歯と噛合する内側テーブル用駆動ギアと、
前記内側テーブル駆動モーターに連結され、かつ、前記内側テーブル用駆動ギアが設けられた内側テーブル用入力軸と、を有することを特徴とする追従型検査装置。 The follow-up inspection device according to claim 1,
The inner table is provided with the inner table drive motor,
The inspection table is equipped with inner table gear teeth,
an inner table drive gear that meshes with the inner table gear teeth;
A follow-up type inspection device comprising: an inner table input shaft connected to the inner table drive motor and provided with the inner table drive gear. 請求項１又は請求項２に記載の追従型検査装置であって、
前記外側テーブルには、前記外側テーブル駆動モーターが設けられており、
前記検査テーブルには、外側テーブル用ギア歯が備えられており、
前記外側テーブル用ギア歯と噛合する外側テーブル用駆動ギアと、
前記外側テーブル駆動モーターに連結され、かつ、前記外側テーブル用駆動ギアが設けられた外側テーブル用入力軸と、を有することを特徴とする追従型検査装置。 A follow-up inspection device according to claim 1 or claim 2,
The outer table is provided with the outer table drive motor,
The inspection table is equipped with outer table gear teeth,
an outer table drive gear that meshes with the outer table gear teeth;
A follow-up type inspection device comprising: an input shaft for an outer table connected to the outer table drive motor and provided with the drive gear for the outer table. 検査対象物が支持され、中心軸を中心として回転可能な検査テーブルを、回転させるための検査テーブル駆動モーターを駆動させ、かつ、
検査装置及び照明装置のうちの一方の装置が支持され、かつ、前記検査テーブルの径方向における内側において前記検査テーブルに軸受を介して取り付けられ、前記中心軸を中心として回転可能な内側テーブルを、回転させるための内側テーブル駆動モーター、及び、検査装置及び照明装置のうちの他方の装置が支持され、かつ、前記検査テーブルの径方向における外側において前記検査テーブルに軸受を介して取り付けられ、前記中心軸を中心として回転可能な外側テーブル、を回転させるための外側テーブル駆動モーターを停止させることにより、
前記検査テーブルと前記外側テーブルと前記内側テーブルとを一体的に回転させ、前記照明装置に照らされた前記検査対象物を前記検査装置で検査する検査工程と、
前記内側テーブル駆動モーター及び前記外側テーブル駆動モーターを駆動させて、前記検査テーブルに対し前記内側テーブル及び前記外側テーブルを相対移動させて前記検査装置で検査する検査対象物を変更する変更工程と、
を有することを特徴とする追従型検査方法。 driving an inspection table drive motor for rotating an inspection table that supports an inspection object and is rotatable about a central axis, and
an inner table on which one of an inspection device and an illumination device is supported, which is attached to the inspection table via a bearing inside the inspection table in the radial direction and is rotatable about the central axis; An inner table drive motor for rotating the inner table, and the other of the inspection device and the lighting device are supported and attached to the inspection table via a bearing on the outside in the radial direction of the inspection table, and the center By stopping the outer table drive motor for rotating the outer table, which is rotatable about the axis
an inspection step of rotating the inspection table, the outer table, and the inner table integrally, and inspecting the inspection target illuminated by the illumination device with the inspection device;
a changing step of driving the inner table drive motor and the outer table drive motor to move the inner table and the outer table relative to the inspection table to change the inspection object to be inspected by the inspection apparatus;
A follow-up inspection method characterized by having the following.
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