JP7406766B2 - ガス分析装置 - Google Patents
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Description
すなわち、測定セルの両端に高反射率のミラーを配置して光共振器を構成する。当該光共振器に対して波長可変レーザ素子から発射されるレーザ光を入射して、特定の周波数で共振させ、光パワーが光共振器内に十分蓄えられた後にレーザ光を遮断し、前記ミラーから僅かに漏れる光の強度の時間的な減衰量を測定し、当該減衰量から測定対象のガス濃度を演算するようになっている。
10・・光共振器
11・・ガス導入口
12・・ガス導出口
20・・ペルチェ素子
21、22・・ミラー
30・・制御手段
31・・レーザ発振素子
32・・受光素子
S0・・吸収周波数
N0・・中心波数
Claims (2)
- 両端にミラーを配置した測定セルで構成される光共振器に、レーザ光を入射して共振させ、その漏れ光を検出することによって、ガス濃度を算出するキャビティリングダウン分光法によるガス濃度検出装置において、
前記測定セルの外側に配置した熱デバイスと、
前記熱デバイスでの測定セルへの給排熱量を、前記共振器のミラー間の長さが、ガス濃度測定時間に対応する周期でかつ自由スペクトル範囲を埋めるとともに、共振周波数を変更する長さとなるように制御する温度制御手段と
を備えたことを特徴とするガス濃度検出装置 - 前記熱デバイスがペルチェ素子である請求項1に記載のガス濃度検出装置。
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