JP7401613B2 - 荷電粒子線装置の画像をデコンボリューションして復元する方法、画像処理装置および画像処理装備を備えた荷電粒子線装置 - Google Patents
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- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 68
- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims description 65
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 61
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 25
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 16
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 12
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 11
- 238000005457 optimization Methods 0.000 claims description 7
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 6
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 5
- 238000011478 gradient descent method Methods 0.000 claims description 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 24
- 230000006870 function Effects 0.000 description 18
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 11
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 10
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 8
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 3
- 238000001433 helium-ion microscopy Methods 0.000 description 3
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000011160 research Methods 0.000 description 3
- 238000001350 scanning transmission electron microscopy Methods 0.000 description 3
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 238000005430 electron energy loss spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 238000002149 energy-dispersive X-ray emission spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010606 normalization Methods 0.000 description 2
- 238000004626 scanning electron microscopy Methods 0.000 description 2
- 238000000682 scanning probe acoustic microscopy Methods 0.000 description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 239000012472 biological sample Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce] GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008570 general process Effects 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- -1 helium ion Chemical class 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001338 liquidmetal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002071 nanotube Substances 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000008520 organization Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
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- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
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- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T5/00—Image enhancement or restoration
- G06T5/20—Image enhancement or restoration using local operators
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01J37/22—Optical, image processing or photographic arrangements associated with the tube
- H01J37/222—Image processing arrangements associated with the tube
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- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/244—Detectors; Associated components or circuits therefor
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- H—ELECTRICITY
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- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
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- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/10—Image acquisition modality
- G06T2207/10056—Microscopic image
- G06T2207/10061—Microscopic image from scanning electron microscope
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Description
Claims (11)
- 画像処理装置が入力画像として荷電粒子線装置の検出器が取得した観測画像のみの入力を受ける段階、
前記画像処理装置がPSF(Point Spread Function)を演算する段階、
前記画像処理装置が前記観測画像および前記PSFを利用してデコンボリューション(Deconvolution)で前記観測画像を復元する段階、
前記画像処理装置が前記観測画像を復元する段階に適用される媒介変数に対する評価関数を演算する段階、および
前記画像処理装置が前記評価関数の結果を基準として前記媒介変数を自動で調整して最適な媒介変数を設定し、前記最適な媒介変数を使って画像を復元する段階を含み、
前記画像処理装置は前記デコンボリューションの過程にCLSF(Constrained least square filter)を適用して前記観測画像を復元し、
前記媒介変数は最適化媒介変数を含む、荷電粒子線装置の画像をデコンボリューションして復元する方法。 - 前記画像処理装置はGradient descent(勾配降下)法またはRobust regression(ロバスト回帰)法を利用して前記媒介変数を調整する、請求項1に記載の荷電粒子線装置の画像をデコンボリューションして復元する方法。
- 前記画像処理装置が前記復元された画像に対して像シャープネス(sharpness)およびCNR(Contrast-To-Noise-Ratio)情報を提供する段階をさらに含む、請求項1に記載の荷電粒子線装置の画像をデコンボリューションして復元する方法。
- 前記画像処理装置は前記デコンボリューションの過程に下記の数式のように前記CLSFを適用して前記観測画像を復元し、
- 入力画像として荷電粒子線装置の検出器が取得した観測画像の入力を受ける入力装置、
PSF(Point Spread Function)演算プログラムおよび画像復元プログラムを保存する保存装置、および
前記PSF演算プログラムを利用してPSFを演算し、演算されたPSFと前記観測画像に対するデコンボリューション(Deconvolution)をして前記観測画像を復元し、評価関数を演算した結果を基準として媒介変数を自動で調整して最適な媒介変数を設定し、前記最適な媒介変数を使って前記観測画像を復元する演算装置を含み、
前記演算装置は前記デコンボリューションの過程にCLSF(Constrained least square filter)を適用して前記観測画像を復元し、
前記媒介変数は最適化媒介変数を含む、荷電粒子線装置の画像を復元する画像処理装置。 - 前記演算装置はGradient descent(勾配降下)法またはRobust regression(ロバスト回帰)法を利用して前記媒介変数を調整する、請求項5に記載の荷電粒子線装置の画像を復元する画像処理装置。
- 前記復元された画像、前記復元された画像に対して像シャープネス(sharpness)およびCNR(Contrast-To-Noise-Ratio)情報を出力する出力装置をさらに含む、請求項5に記載の荷電粒子線装置の画像を復元する画像処理装置。
- 請求項1から4のいずれか一項に記載された荷電粒子線装置の画像をデコンボリューションして復元する方法を使って試料に対する観測画像を復元する、荷電粒子線装置。
- 前記荷電粒子線装置は光源として電子源またはイオン源を使用し、それぞれ電子ビームまたはイオンビームを前記試料に走査して前記試料から放出される信号を前記検出器で検出する、請求項8に記載の荷電粒子線装置。
- 請求項5から7のいずれか一項に記載された画像処理装置を含む、荷電粒子線装置。
- 前記荷電粒子線装置は光源として電子源またはイオン源を使用し、それぞれ電子ビームまたはイオンビームで試料を走査して前記試料から放出される信号を前記検出器で検出する、請求項10に記載の荷電粒子線装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020210133534A KR102635483B1 (ko) | 2021-10-07 | 2021-10-07 | 하전입자선 장치의 영상을 디컨볼루션하여 복원하는 방법, 영상 처리 장치 및 영상 처리 장비를 구비한 하전입자선 장치 |
KR10-2021-0133534 | 2021-10-07 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023056474A JP2023056474A (ja) | 2023-04-19 |
JP7401613B2 true JP7401613B2 (ja) | 2023-12-19 |
Family
ID=85798580
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022130753A Active JP7401613B2 (ja) | 2021-10-07 | 2022-08-18 | 荷電粒子線装置の画像をデコンボリューションして復元する方法、画像処理装置および画像処理装備を備えた荷電粒子線装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20230109872A1 (ja) |
JP (1) | JP7401613B2 (ja) |
KR (1) | KR102635483B1 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004038362A (ja) | 2002-07-01 | 2004-02-05 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 電子顕微鏡観察像の画像処理方法および画像処理プログラム並びに記録媒体 |
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US20200294204A1 (en) | 2019-03-14 | 2020-09-17 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Method for deconvolving image data |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10122946B2 (en) | 2015-11-11 | 2018-11-06 | Fei Company | Method for detecting particulate radiation |
JP6097863B2 (ja) | 2016-05-16 | 2017-03-15 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置、試料画像取得方法、およびプログラム記録媒体 |
-
2021
- 2021-10-07 KR KR1020210133534A patent/KR102635483B1/ko active IP Right Grant
-
2022
- 2022-08-15 US US17/887,619 patent/US20230109872A1/en active Pending
- 2022-08-18 JP JP2022130753A patent/JP7401613B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004038362A (ja) | 2002-07-01 | 2004-02-05 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 電子顕微鏡観察像の画像処理方法および画像処理プログラム並びに記録媒体 |
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Title |
---|
S SHRUTHI et al.,"Constrained least squares filtering followed by denoising of decomposed images using wave atom and wavelet transform",Procedia Computer Science,2017年,Vol. 115,p.526-532,DOI: 10.1016/j.procs.2017.09.110 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
KR20230050181A (ko) | 2023-04-14 |
JP2023056474A (ja) | 2023-04-19 |
KR102635483B1 (ko) | 2024-02-08 |
US20230109872A1 (en) | 2023-04-13 |
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