JP7397369B2 - fiber cable cutting equipment - Google Patents

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本発明は、ファイバーケーブル切断装置に係り、特にファイバーケーブルの端部を切断するファイバーケーブル切断装置に関する。 The present invention relates to a fiber cable cutting device, and more particularly to a fiber cable cutting device for cutting an end portion of a fiber cable.

ファイバーケーブルは、主に基板と基板との間で信号を伝達するケーブルとして使用される。また、ファイバーケーブルは、その端部を基板のコネクタに挿入して使用するものなので、端部を高精度に切断加工する必要がある。 Fiber cables are primarily used to transmit signals between boards. Furthermore, since the fiber cable is used by inserting its end into a connector on a board, it is necessary to cut the end with high precision.

特許文献1には、ファイバーケーブル切断装置の一例が開示されている。この切断装置は、ファイバーケーブルを送り出す搬送手段と、ファイバーケーブルを切断する切断刃と、を備えており、搬送手段によってファイバーケーブルを送りつつ、切断刃によってファイバーケーブルの端部を切断する。 Patent Document 1 discloses an example of a fiber cable cutting device. This cutting device includes a conveyance means for sending out a fiber cable, and a cutting blade for cutting the fiber cable, and while the fiber cable is fed by the conveyance means, the end portion of the fiber cable is cut by the cutting blade.

特開2010-160207号公報Japanese Patent Application Publication No. 2010-160207

一方、特許文献1に開示されたファイバーケーブル切断装置とは別に、半導体ウェーハ等のワークを切削加工するダイシング装置やスライサー等の切削加工装置をファイバーケーブル切断装置に適用することが考えられる。 On the other hand, apart from the fiber cable cutting device disclosed in Patent Document 1, it is conceivable to apply a cutting device such as a dicing device or a slicer that cuts a work such as a semiconductor wafer to the fiber cable cutting device.

ここで、上記の切削加工装置は、一般的に、ワークに対して相対的にY方向にインデックス送りとZ方向に切り込み送りとがされるブレードと、ワークを載置してブレードに対し相対的にX方向の切削送りがされるテーブルとを有している。 Here, the above-mentioned cutting device generally includes a blade that performs index feed in the Y direction and cutting feed in the Z direction relative to the workpiece, and a blade that performs index feed in the Y direction and cutting feed in the Z direction relative to the workpiece, and a blade that performs index feed in the Y direction and cutting feed in the Z direction relative to the workpiece, and and a table on which cutting feed in the X direction is performed.

しかしながら、このような構成の切削加工装置をファイバーケーブル切断装置として適用した場合、加工対象物が板状のワークから長尺状のファイバーケーブルに変更されることに伴い、以下の問題点を改善する必要がある。 However, when a cutting device with such a configuration is applied as a fiber cable cutting device, the following problems must be solved as the workpiece is changed from a plate-like workpiece to a long fiber cable. There is a need.

切削加工装置のテーブルにファイバーケーブルの被切断部を固定して、ファイバーケーブルの他端部を切削加工装置の装置外に配置した場合、テーブルをX方向に切削送りしたときに、テーブルの移動に伴ってファイバーケーブルに垂れ下がりや捩じれが発生する。このような現象が発生すると、加工端部であるファイバーケーブルの被切断部に引っ張りや捩じれの力が加わるため、ブレードによる加工精度が悪化して加工品質が低下するという問題があった。 If the part of the fiber cable to be cut is fixed to the table of the cutting equipment and the other end of the fiber cable is placed outside the cutting equipment, when the table is fed for cutting in the X direction, the table will not move. This causes the fiber cable to sag or twist. When such a phenomenon occurs, a tensile or twisting force is applied to the cut end of the fiber cable, which is the processed end, resulting in a problem in that the processing accuracy by the blade deteriorates and the processing quality deteriorates.

上記の問題は、切削加工装置のテーブルに全長分のファイバーケーブルを載置すれば解消できるが、ファイバーケーブルの長さが例えば10メートルを超えるような場合には困難であった。 The above problem can be solved by placing the entire length of the fiber cable on the table of the cutting device, but this is difficult when the length of the fiber cable exceeds, for example, 10 meters.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ファイバーケーブルの被加工部をテーブルに固定し、テーブルを移動させながらファイバーケーブルの被加工部をブレードによって切断するファイバーケーブル切断装置において、ファイバーケーブルの加工品質を向上させることができるファイバーケーブル切断装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a fiber cable cutting device that fixes the processed portion of the fiber cable to a table and cuts the processed portion of the fiber cable with a blade while moving the table. An object of the present invention is to provide a fiber cable cutting device that can improve the processing quality of fiber cables.

本発明のファイバーケーブル切断装置は、本発明の目的を達成するために、ファイバーケーブルの被切断部が固定されて水平方向のうち第1方向に移動可能なテーブルと、水平方向のうち第1方向に直交する第2方向に回転軸を有するブレードと、テーブルに対して第2方向に離間した位置に配置され、ファイバーケーブルの被固定部を固定する固定部と、を備え、ブレード及び固定部に対してテーブルを第1方向に移動させながら、回転するブレードによって被切断部を切断するファイバーケーブル切断装置であって、テーブルと固定部と間に設けられ、ファイバーケーブルの被切断部と被固定部との間のケーブル領域を第1方向に摺動自在に支持した状態で鉛直方向下側から受け支える支持部材を有し、支持部材は、第2方向から見た場合、固定部からテーブルが離れる第1方向に沿って、テーブルに近づくように鉛直方向下方側に屈曲される。 In order to achieve the object of the present invention, the fiber cable cutting device of the present invention includes a table on which a portion of the fiber cable to be cut is fixed and movable in a first horizontal direction; a blade having a rotation axis in a second direction orthogonal to the table; and a fixing part that is arranged at a position spaced apart from the table in the second direction and fixes a part to be fixed of the fiber cable. A fiber cable cutting device that cuts a part to be cut with a rotating blade while moving a table in a first direction, the fiber cable cutting device being provided between the table and a fixed part, the part to be cut and the part to be fixed of the fiber cable. The support member includes a support member that supports the cable area from the vertically lower side while slidably supporting the cable area between the cable area in the first direction, and the support member is configured to separate the table from the fixed part when viewed from the second direction. It is bent vertically downward along the first direction so as to approach the table.

本発明の一形態は、支持部材は、第1方向と第2方向とに直交する第3方向の位置を調整する調整機構を有することが好ましい。 In one aspect of the present invention, it is preferable that the support member has an adjustment mechanism that adjusts the position in a third direction orthogonal to the first direction and the second direction.

本発明のファイバーケーブル切断装置は、本発明の目的を達成するために、ファイバーケーブルの被切断部が固定されて水平方向のうち第1方向に移動可能なテーブルと、水平方向のうち第1方向に直交する第2方向に回転軸を有するブレードと、テーブルに対して第2方向に離間した位置に配置され、ファイバーケーブルの被固定部を固定する固定部と、を備え、ブレード及び固定部に対してテーブルを第1方向に移動させながら、回転するブレードによって被切断部を切断するファイバーケーブル切断装置であって、テーブルと固定部と間に設けられ、ファイバーケーブルの被切断部と被固定部との間のケーブル領域を第1方向に摺動自在に支持した状態で鉛直方向下側から受け支える支持部材と、支持部材を鉛直方向下方側及び鉛直方向上側に移動させる移動機構と、第2方向から見た場合、固定部からテーブルが離れる動作に連動してテーブルに近づくように支持部材を鉛直方向下方側に移動させ、固定部にテーブルが近づく動作に連動してテーブルから離れるように支持部材を鉛直方向上側に移動させるように移動機構を制御する制御部と、を有する。 In order to achieve the object of the present invention, the fiber cable cutting device of the present invention includes a table on which a portion of the fiber cable to be cut is fixed and movable in a first horizontal direction; a blade having a rotation axis in a second direction orthogonal to the table; and a fixing part that is arranged at a position spaced apart from the table in the second direction and fixes a part to be fixed of the fiber cable. A fiber cable cutting device that cuts a part to be cut with a rotating blade while moving a table in a first direction, the fiber cable cutting device being provided between the table and a fixed part, the part to be cut and the part to be fixed of the fiber cable. a support member that receives and supports the cable area from the vertically lower side while slidably supporting the cable area between the cables in the first direction; a moving mechanism that moves the support member vertically downward and vertically upward; When viewed from the direction, the support member is moved vertically downward to move closer to the table as the table moves away from the fixed part, and supported to move away from the table as the table approaches the fixed part. and a control unit that controls the moving mechanism to move the member vertically upward.

本発明によれば、ファイバーケーブルの加工品質を向上させることができる。 According to the present invention, the processing quality of fiber cables can be improved.

本発明の第1実施形態に係るファイバーケーブル切断装置の正面図A front view of a fiber cable cutting device according to a first embodiment of the present invention 図1に示したファイバーケーブル切断装置の左側面図Left side view of the fiber cable cutting device shown in Figure 1 図1に示したファイバーケーブル切断装置の斜視図A perspective view of the fiber cable cutting device shown in Figure 1 本発明の第2実施形態に係るファイバーケーブル切断装置の左側面図Left side view of a fiber cable cutting device according to a second embodiment of the present invention

以下、添付図面に従って本発明に係るファイバーケーブル切断装置の好ましい実施形態について詳説する。 Hereinafter, preferred embodiments of a fiber cable cutting device according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

図1は、本発明の第1実施形態のファイバーケーブル切断装置10の正面図、図2は、図1に示したファイバーケーブル切断装置10の左側面図、図3は、ファイバーケーブル切断装置10の全体斜視図である。図1から図3に示すX方向は、水平方向のうちの第1方向であって後述するテーブル16の移動方向を指す。また、Y方向は、水平方向のうちX方向に直交する第2方向を指す。更に、Z方向は、鉛直方向であって、X方向及びY方向に直交する第3方向を指す。 1 is a front view of a fiber cable cutting device 10 according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a left side view of the fiber cable cutting device 10 shown in FIG. It is an overall perspective view. The X direction shown in FIGS. 1 to 3 is the first direction in the horizontal direction, and refers to the moving direction of the table 16, which will be described later. Further, the Y direction refers to a second direction orthogonal to the X direction among the horizontal directions. Furthermore, the Z direction is a vertical direction, and refers to a third direction orthogonal to the X direction and the Y direction.

実施形態においては、ファイバーケーブルとして、複数本のファイバーケーブルからなる帯状部材12を例示する。帯状部材12は、一例として、直径が200μmの100本のファイバーケーブルを有し、その幅寸法W(図3参照)は約80mmである。なお、図1から図3おいて、帯状部材12はその大きさを誇張して示している。 In the embodiment, a strip member 12 made of a plurality of fiber cables is illustrated as the fiber cable. The strip member 12 has, for example, 100 fiber cables each having a diameter of 200 μm, and its width W (see FIG. 3) is about 80 mm. In addition, in FIGS. 1 to 3, the size of the band-shaped member 12 is exaggerated.

ファイバーケーブル切断装置10は、一例として、半導体ウェーハ等のワークを切削加工するダイシング装置が適用されたものであり、その構成は、帯状部材12の加工端部である被切断部12Aが固定されるテーブル16と、帯状部材12の被切断部12Aを幅方向に切断するブレード18と、を有している。また、特有の構成部材として、帯状部材12の被固定部12Bを固定する固定部20と、帯状部材12を支持するガイドバー22と、有している。このガイドバー22は、本発明の構成要素である支持部材の一例である。 The fiber cable cutting device 10 is, for example, a dicing device that cuts a workpiece such as a semiconductor wafer, and has a configuration in which a portion to be cut 12A, which is a processed end of the strip member 12, is fixed. It has a table 16 and a blade 18 that cuts the cut portion 12A of the strip member 12 in the width direction. Further, as unique structural members, it has a fixing part 20 that fixes the fixed part 12B of the strip member 12, and a guide bar 22 that supports the strip member 12. This guide bar 22 is an example of a support member that is a component of the present invention.

テーブル16は、一例として円盤状に構成されており、その上面には水平方向に平坦な固定面24を備え、この固定面24に帯状部材12の被切断部12Aが固定される。固定面24に対する被切断部12Aの固定方式として、固定面24を真空吸着可能な吸引口を備えた吸着面として構成し、この固定面24に被切断部12Aを真空吸着する方式を例示する。また、真空吸着方式に代えてメカニカルな構造にて被切断部12Aを固定面24に固定する方式であってもよい。なお、実施形態では、被切断部12Aの下面に金属製又は樹脂製のプレート25を着脱自在に接着し、このプレート25を介して被切断部12Aを固定面24に固定している。 The table 16 has a disk shape, for example, and has a horizontally flat fixing surface 24 on its upper surface, to which the cut portion 12A of the strip member 12 is fixed. As a method of fixing the part to be cut 12A to the fixing surface 24, a method is illustrated in which the fixing surface 24 is configured as a suction surface equipped with a suction port capable of vacuum suction, and the part to be cut 12A is vacuum suctioned to the fixing surface 24. Furthermore, instead of the vacuum suction method, a method may be used in which the portion to be cut 12A is fixed to the fixing surface 24 using a mechanical structure. In the embodiment, a plate 25 made of metal or resin is removably adhered to the lower surface of the portion to be cut 12A, and the portion to be cut 12A is fixed to the fixing surface 24 via this plate 25.

テーブル16は、その下部に、テーブル16をX方向に沿って往復移動させるX移動機構部26を備えている。X移動機構部26は、X方向に沿って配設された一対のガイドレール28、28と、一対のガイドレール28、28の間に配置されたボールネジ装置30と、を備えている。このX移動機構部26によれば、ボールネジ装置30を正転又は反転駆動することにより、テーブル16を一対のガイドレール28、28に沿ってX(+)方向又はX(-)方向に移動させることができる。X移動機構部26として、上記のボールネジ装置30を使用することにより、端面研磨に要求される低速で高精細な送り速度(例えば、0.02~0.03mm/s)を実現することが可能となるので好ましい。 The table 16 includes, at its lower part, an X movement mechanism section 26 that reciprocates the table 16 along the X direction. The X movement mechanism section 26 includes a pair of guide rails 28, 28 arranged along the X direction, and a ball screw device 30 arranged between the pair of guide rails 28, 28. According to this X movement mechanism section 26, the table 16 is moved in the X (+) direction or the X (-) direction along the pair of guide rails 28, 28 by driving the ball screw device 30 in forward or reverse rotation. be able to. By using the above-mentioned ball screw device 30 as the X movement mechanism section 26, it is possible to realize the low speed and high precision feed rate (for example, 0.02 to 0.03 mm/s) required for end face polishing. This is preferable.

ここで、図2及び図3の実線で示すテーブル16の位置が切断開始位置であることを示しており、図2及び図3の二点鎖線で示すテーブル16の位置が切断終了位置であることが示されている。したがって、上記のX移動機構部26によりテーブル16を切断開始位置から切断終了位置に向けてX(-)方向に移動させることにより、帯状部材12の被切断部12Aを回転するブレード18によって切断することができる。また、切断終了位置からテーブル16をX(+)方向に移動させることにより切断開始位置にテーブル16を戻すことができる。なお、図2及び図3では、Y方向において被切断部12Aと被固定部12Bとが互いに対向した位置、つまり、XYZ座標において被切断部12Aと被固定部12Bとが最も近接した位置が切断開始位置に設定されているが、切断開始位置は任意の位置に設定可能である。 Here, the position of the table 16 shown by the solid line in FIGS. 2 and 3 is the cutting start position, and the position of the table 16 shown by the two-dot chain line in FIGS. 2 and 3 is the cutting end position. It is shown. Therefore, by moving the table 16 in the X (-) direction from the cutting start position to the cutting end position using the X moving mechanism section 26, the section to be cut 12A of the strip member 12 is cut by the rotating blade 18. be able to. Further, by moving the table 16 in the X (+) direction from the cutting end position, the table 16 can be returned to the cutting start position. In FIGS. 2 and 3, cutting is performed at a position where the section to be cut 12A and the section to be fixed 12B face each other in the Y direction, that is, at a position where the section to be cut 12A and the section to be fixed 12B are closest to each other in the XYZ coordinates. Although the cutting start position is set at the starting position, the cutting starting position can be set at any position.

ブレード18は、一例として、ダイヤモンド砥粒又はCBN(cubic boron nitride)砥粒をニッケルで電着した電着ブレードを例示することができる。また、電着ブレードの他、金属粉末を混入した樹脂で結合したメタルレジンボンドのブレードも使用することができる。このよう構成されたブレード18は、Y方向に沿って配置された高周波モータ内蔵型のスピンドル32に連結されており、このスピンドル32によって、例えば、6000rpm~80000rpmで高速回転される。また、スピンドル32は、図1に示すように、Z移動機構部34に取り付けられており、Z移動機構部34はY移動機構部36に取り付けられている。このような構成によりブレード18は、Z移動機構部34によってZ方向における切り込み量の調整と、Y移動機構部36によってY方向における切断位置の調整と、がなされる。なお、Z移動機構部34及びY移動機構部36においても、X移動機構部26と同様の構造(ガイドレールとボールネジ装置とを有する構造)を適用することができる。 The blade 18 can be, for example, an electrodeposited blade in which diamond abrasive grains or CBN (cubic boron nitride) abrasive grains are electrodeposited with nickel. In addition to the electrodeposited blade, a metal resin bonded blade bonded with a resin mixed with metal powder can also be used. The blade 18 configured in this manner is connected to a spindle 32 with a built-in high-frequency motor disposed along the Y direction, and is rotated at high speed by the spindle 32 at, for example, 6000 rpm to 80000 rpm. Further, as shown in FIG. 1, the spindle 32 is attached to a Z movement mechanism section 34, and the Z movement mechanism section 34 is attached to a Y movement mechanism section 36. With this configuration, the cutting amount of the blade 18 in the Z direction is adjusted by the Z moving mechanism section 34, and the cutting position in the Y direction is adjusted by the Y moving mechanism section 36. Note that the same structure as the X movement mechanism section 26 (a structure including a guide rail and a ball screw device) can be applied to the Z movement mechanism section 34 and the Y movement mechanism section 36 as well.

このように構成されたファイバーケーブル切断装置10のように、ワークに対して相対的にY方向にインデックス送りとZ方向に切り込み送りとがされるブレードと、ワークを載置してブレードに対し相対的にX方向の切削送りがされるテーブルとを有する構成の場合、図2及び図3に示した切断開始位置と切断終了位置との間でテーブル16が移動したときに、ケーブル領域13に垂れ下がりや捩じれが発生する。 The fiber cable cutting device 10 configured as described above has a blade that performs index feed in the Y direction and cutting feed in the Z direction relative to the workpiece, and a blade that performs index feed in the Y direction and cutting feed in the Z direction relative to the workpiece, and a blade that performs index feed in the Y direction and cutting feed in the Z direction relative to the workpiece, and When the table 16 is moved between the cutting start position and the cutting end position shown in FIGS. 2 and 3, when the table 16 is moved in the direction shown in FIGS. or twisting occurs.

そこで、実施形態のファイバーケーブル切断装置10は、上記の垂れ下がりと捩じれを防止するために、固定部20とガイドバー22とを備えている。 Therefore, the fiber cable cutting device 10 of the embodiment includes a fixing portion 20 and a guide bar 22 in order to prevent the above-mentioned hanging and twisting.

固定部20は、テーブル16に対してY(-)方向側に離間して配置される。固定部20は、テーブル16の外側に配置された台座部38と、台座部38の上面に着脱自在なクランプ部材40と、を有し、台座部38とクランプ部材40との間で被固定部12Bを挟持することにより、帯状部材12の被固定部12Bを固定することができる。 The fixing part 20 is arranged apart from the table 16 in the Y (-) direction. The fixing part 20 includes a pedestal part 38 disposed outside the table 16 and a clamp member 40 that is detachably attached to the upper surface of the pedestal part 38. By pinching 12B, the fixed portion 12B of the strip member 12 can be fixed.

ガイドバー22は、テーブル16と固定部20との間でX方向に沿って配置されている。このガイドバー22は、ファイバーケーブル12の被切断部12Aと被固定部12Bとの間のケーブル領域13(図1参照)をX方向に摺動自在に支持した状態でZ方向下側から受け支え可能に構成されている。これにより、ケーブル領域13の垂れ下がりが防止されている。 The guide bar 22 is arranged along the X direction between the table 16 and the fixed part 20. The guide bar 22 supports the cable region 13 (see FIG. 1) between the cut section 12A and the fixed section 12B of the fiber cable 12 so as to be slidable in the X direction, and supports it from below in the Z direction. configured to be possible. This prevents the cable region 13 from sagging.

ここで、ガイドバーがX方向に沿った直棒状の支持部材により構成された場合、次のような課題がある。すなわち、ケーブル領域13の長さは、固定部20からテーブル16が最も離れた位置、つまりテーブル16が切断終了位置に対応した長さに設定する必要がある。しかしながら、このような長さにケーブル領域13を設定すると、固定部20にテーブル16が最も接近した位置、つまりテーブル16が切断開始位置に位置したときにケーブル領域13の余長が大きくなり、その余長に応じてケーブル領域13が捩じれやすくなってしまうので、余長分の捩じれを防止する必要がある。 Here, when the guide bar is constituted by a straight rod-shaped support member along the X direction, the following problems occur. That is, the length of the cable region 13 needs to be set to a length corresponding to the position where the table 16 is farthest from the fixing part 20, that is, the position where the table 16 finishes cutting. However, if the cable area 13 is set to such a length, the excess length of the cable area 13 becomes large when the table 16 is closest to the fixing part 20, that is, when the table 16 is at the cutting start position. Since the cable region 13 becomes susceptible to twisting depending on the extra length, it is necessary to prevent twisting due to the extra length.

そこで、実施形態のガイドバー22は、上記の課題を解決するために、次のように構成されている。すなわち、ガイドバー22は、切断開始位置に対応した上位部22Aと、切断終了位置に対応した下位部22Bと、上位部22Aと下位部22Bとを連結する傾斜部22Cと、を有し、Y方向から見た場合、固定部20からテーブル16が離れるX(-)方向に沿って、テーブル16に近づくようにZ方向下方側に屈曲されている。ガイドバー22にZ方向下方側に傾斜した傾斜部22Cを備えることにより、ケーブル領域13の長さを、上記した直棒状の支持部材を適用した場合の長さよりも短くすることができる。これにより、テーブル16が切断開始位置に位置したときに生じるケーブル領域13の余長分の長さを短くすることができる。 Therefore, in order to solve the above problem, the guide bar 22 of the embodiment is configured as follows. That is, the guide bar 22 has an upper part 22A corresponding to the cutting start position, a lower part 22B corresponding to the cutting end position, and an inclined part 22C connecting the upper part 22A and the lower part 22B. When viewed from the direction, it is bent downward in the Z direction so as to approach the table 16 along the X (-) direction in which the table 16 separates from the fixing part 20. By providing the guide bar 22 with the slope portion 22C that slopes downward in the Z direction, the length of the cable region 13 can be made shorter than the length when the above-described straight rod-shaped support member is applied. This makes it possible to shorten the extra length of the cable region 13 that occurs when the table 16 is located at the cutting start position.

このような構成のガイドバー22を備えることにより、ケーブル領域13の垂れ下がりと余長分の捩じれを防止することができるので、被切断部12Aに引っ張りや捩じれの力が加わることを抑制することができる。よって、実施形態のファイバーケーブル切断装置10によれば、ブレード18による加工精度が良好となり加工品質が向上する。 By providing the guide bar 22 with such a configuration, it is possible to prevent the cable region 13 from hanging down and twisting due to the excess length, so it is possible to suppress the application of tensile or twisting force to the section to be cut 12A. can. Therefore, according to the fiber cable cutting device 10 of the embodiment, the processing accuracy by the blade 18 is good and the processing quality is improved.

なお、ガイドバー22の傾斜部22Cは、全体として角部の無い円弧状に構成されており、また、上位部22CAの連結部、及び下位部22Bとの連結部においても角部の無い形状に構成されている。 Incidentally, the inclined portion 22C of the guide bar 22 has an arc shape with no corners as a whole, and the connecting portion of the upper portion 22CA and the connecting portion with the lower portion 22B also have a shape without corners. It is configured.

次に、ファイバーケーブル切断装置10の作用について説明する。 Next, the operation of the fiber cable cutting device 10 will be explained.

まず、テーブル16を図2及び図3の切断開始位置に位置させる。次に、帯状部材12の被切断部12Aを、ガイドバー22の上方からテーブル16に向けて這わせてテーブル16の固定面24に固定する。このとき、図1に示すように、ガイドバー22の上位部22Aにケーブル領域13の下面13Aが、X方向に摺動自在に支持される。次に、図2に示すように帯状部材12の被固定部12Bを固定部20に固定する。これにより、ファイバーケーブル切断装置10に対する帯状部材12の取り付け作業が完了する。 First, the table 16 is positioned at the cutting start position shown in FIGS. 2 and 3. Next, the cut portion 12A of the strip member 12 is caused to extend toward the table 16 from above the guide bar 22 and is fixed to the fixing surface 24 of the table 16. At this time, as shown in FIG. 1, the lower surface 13A of the cable region 13 is supported by the upper portion 22A of the guide bar 22 so as to be slidable in the X direction. Next, as shown in FIG. 2, the fixed portion 12B of the strip member 12 is fixed to the fixed portion 20. This completes the work of attaching the strip member 12 to the fiber cable cutting device 10.

次に、Z移動機構部34によってブレード18のZ方向における切り込み量の調整と、Y移動機構部36によってブレード18のY方向における切断位置の調整と、を行う。これにより、切断準備が完了する。 Next, the Z movement mechanism section 34 adjusts the cutting amount of the blade 18 in the Z direction, and the Y movement mechanism section 36 adjusts the cutting position of the blade 18 in the Y direction. This completes the preparation for cutting.

次に、X移動機構部26によってテーブル16を図2及び図3の切断開始位置から切断終了位置に向けてX(-)方向に移動させて、被切断部12Aの切断を開始する。このテーブル16の移動に伴ってケーブル領域13の下面13Aは、上位部22Aから傾斜部22Cを摺動して傾斜部22Cに支持される。そして、テーブル16が切断終了位置に移動して被切断部12Aの切断が終了すると、上記の下面13Aは、傾斜部22Cから下位部22Bに支持される。 Next, the table 16 is moved in the X (-) direction from the cutting start position to the cutting end position in FIGS. 2 and 3 by the X moving mechanism section 26 to start cutting the part to be cut 12A. As the table 16 moves, the lower surface 13A of the cable area 13 slides from the upper part 22A to the inclined part 22C and is supported by the inclined part 22C. Then, when the table 16 moves to the cutting end position and the cutting of the portion to be cut 12A is completed, the lower surface 13A is supported by the lower portion 22B from the inclined portion 22C.

被切断部12Aの切断が終了すると、次の切断を開始するために、テーブル16を切断終了位置から切断開始位置に向けてX(+)方向に移動させる。このテーブル16の移動に伴ってケーブル領域13の下面13Aは、下位部22Bから傾斜部22Cを摺動して傾斜部22Cに支持される。そして、テーブル16が切断開始位置に移動されると、上記の下面13Aは、傾斜部22Cから上位部22Aに支持される。 When the cutting of the part to be cut 12A is completed, the table 16 is moved in the X (+) direction from the cutting end position to the cutting start position in order to start the next cutting. As the table 16 moves, the lower surface 13A of the cable region 13 slides from the lower part 22B to the inclined part 22C and is supported by the inclined part 22C. When the table 16 is moved to the cutting start position, the lower surface 13A is supported from the inclined portion 22C to the upper portion 22A.

したがって、実施形態のファイバーケーブル切断装置10によれば、テーブル16と固定部20と間にガイドバー22を設け、このガイドバー22によってケーブル領域13をX方向に摺動自在に支持した状態でZ方向下側から受け支えるようにしたので、切断加工中のケーブル領域13の垂れ下がりを防止することができる。また、ガイドバー22は、Y方向から見た場合、固定部20からテーブル16が離れるX(-)方向に沿って、テーブル16に近づくようにZ方向下方側に屈曲されているので、テーブル16が切断開始位置に位置したときに生じるケーブル領域13の余長分の長さを短くすることができる。これにより、ケーブル領域13の垂れ下がりと余長分の捩じれを防止することができるので、被切断部12Aに引っ張りや捩じれの力が加わることを抑制することができ、よって、ブレード18による加工精度が良好となり加工品質が向上する。 Therefore, according to the fiber cable cutting device 10 of the embodiment, the guide bar 22 is provided between the table 16 and the fixed part 20, and the cable region 13 is slidably supported in the X direction by the guide bar 22, Since the cable region 13 is supported from below, it is possible to prevent the cable region 13 from hanging down during cutting. Furthermore, when viewed from the Y direction, the guide bar 22 is bent downward in the Z direction so as to approach the table 16 along the X (-) direction in which the table 16 separates from the fixing part 20. It is possible to shorten the length of the cable area 13 by the amount of extra length that occurs when the cable is located at the cutting start position. As a result, it is possible to prevent the cable region 13 from hanging down and twisting due to the excess length, and therefore it is possible to suppress the application of tensile or twisting force to the section to be cut 12A, thereby improving the machining accuracy of the blade 18. This results in better machining quality.

実施形態のガイドバー22は、図2及び図3に示すように、ガイドバー22のZ方向の位置を調整する調整機構50を備えていることが好ましい。 The guide bar 22 of the embodiment preferably includes an adjustment mechanism 50 that adjusts the position of the guide bar 22 in the Z direction, as shown in FIGS. 2 and 3.

調整機構50は、装置本体62にZ方向に立設されたポール52と、ポール52に沿ってZ方向に昇降自在なホルダ本体54と、を有している。ホルダ本体54は、ポール52が挿入される孔部56と、ガイドバー22の上位部22AのX(+)側の端部22Dを保持する一対のホルダ58と、ホルダ本体54に螺入されてポール52に押圧されるネジ部60と、を有している。 The adjustment mechanism 50 includes a pole 52 that is erected in the Z direction on a device body 62, and a holder body 54 that is movable up and down in the Z direction along the pole 52. The holder body 54 includes a hole 56 into which the pole 52 is inserted, a pair of holders 58 that hold the X(+) side end 22D of the upper portion 22A of the guide bar 22, and a pair of holders 58 that are screwed into the holder body 54. It has a threaded portion 60 that is pressed against the pole 52.

このように構成された調整機構50によれば、ネジ部60を緩めることにより、ポール52に対するホルダ本体54のZ方向の位置を、図2の矢印Aに示すように調整することができ、これによって、ガイドバー22のZ方向の位置を調整することができる。 According to the adjustment mechanism 50 configured in this way, by loosening the screw portion 60, the position of the holder main body 54 in the Z direction with respect to the pole 52 can be adjusted as shown by arrow A in FIG. With this, the position of the guide bar 22 in the Z direction can be adjusted.

ガイドバー22のZ方向の位置を調整可能とすることにより、幅寸法の異なる帯状部材12に対応することができる。例えば、図3に示した幅寸法Wよりも大きい幅寸法を有する帯状部材12の場合、切断開始位置と切断終了位置との間のX方向の長さ(テーブル16のX方向移動ストロークとも言う)を、幅寸法Wの帯状部材12の場合よりも長めに設定する必要がある。このような場合には、ガイドバー22の高さを図3の位置よりも高めに設定する。これにより、幅寸法Wよりも大きい幅寸法を有する帯状部材12であっても、被切断部12Aを安定して切断することができる。これとは逆に、幅寸法Wよりも小さい幅寸法を有する帯状部材12の場合、テーブル16のX方向移動ストロークを、幅寸法Wの帯状部材12の場合よりも短めに設定する必要がある。このような場合には、ガイドバー22の高さを図3の位置よりも低めに設定する。これにより、幅寸法Wよりも小さい幅寸法を有する帯状部材12であっても、被切断部12Aを安定して切断することができる。 By making the position of the guide bar 22 adjustable in the Z direction, it is possible to accommodate strip members 12 having different width dimensions. For example, in the case of the strip member 12 having a width dimension larger than the width dimension W shown in FIG. 3, the length in the X direction between the cutting start position and the cutting end position (also referred to as the X direction movement stroke of the table 16) needs to be set longer than in the case of the band-shaped member 12 having the width dimension W. In such a case, the height of the guide bar 22 is set higher than the position shown in FIG. Thereby, even if the belt-shaped member 12 has a width dimension larger than the width dimension W, the portion to be cut 12A can be stably cut. On the contrary, in the case of the strip member 12 having a width dimension smaller than the width dimension W, the X-direction movement stroke of the table 16 needs to be set shorter than in the case of the strip member 12 having the width dimension W. In such a case, the height of the guide bar 22 is set lower than the position shown in FIG. Thereby, even if the strip member 12 has a width smaller than the width W, the portion to be cut 12A can be stably cut.

実施形態のガイドバー22においては、その表面に自己潤滑作用のある潤滑剤をコーティングすることが好ましい。これにより、帯状部材12の下面13Aとガイドバー22との間の摩擦抵抗を小さくすることができるので、ガイドバー22に対して下面13Aが円滑に摺動し、被切断部12Aの切断を更に安定して実施することができる。 In the guide bar 22 of the embodiment, the surface thereof is preferably coated with a self-lubricating lubricant. As a result, the frictional resistance between the lower surface 13A of the strip member 12 and the guide bar 22 can be reduced, so that the lower surface 13A slides smoothly against the guide bar 22, making it easier to cut the portion 12A to be cut. It can be implemented stably.

また、実施形態では固定部20を装置本体36に固定したが、図1に示すように、Z方向に沿った軸Bを中心に回動自在に構成してもよい。この構成によれば、テーブル16の移動位置に応じて固定部20の向きを追従させることができるので、帯状部材12に生じる捩じれを抑制することができる。なお、固定部20の回転機構として、台座部38を装置本体62(図3参照)に軸Bを中心に回動自在に連結する構造を例示することができる。 Further, in the embodiment, the fixing part 20 is fixed to the device main body 36, but as shown in FIG. 1, it may be configured to be rotatable about the axis B along the Z direction. According to this configuration, the direction of the fixing portion 20 can be made to follow the movement position of the table 16, so that twisting occurring in the band member 12 can be suppressed. Note that, as the rotation mechanism of the fixed part 20, a structure in which the pedestal part 38 is rotatably connected to the device main body 62 (see FIG. 3) about the axis B can be exemplified.

図4は、第2実施形態に係るファイバーケーブル切断装置70の左側面図である。 FIG. 4 is a left side view of the fiber cable cutting device 70 according to the second embodiment.

第2実施形態では、支持部材の一例であるガイドバー72が直棒状に構成され、第1実施形態のガイドバー22と同様にテーブル16と固定部20との間でX方向に沿って配置されている。 In the second embodiment, the guide bar 72, which is an example of a support member, has a straight bar shape, and is arranged along the X direction between the table 16 and the fixed part 20, similarly to the guide bar 22 of the first embodiment. ing.

ガイドバー72のX(+)側の端部72Aは、ネジ装置74を構成するナット部76に固定されている。送りネジ装置74は、モータ78と、ネジ部80と、ナット部76と、を備えており、ネジ部80がZ方向に沿って配置され、このネジ部80にナット部76が螺合されている。したがって、モータ78によってネジ部80を正転又は逆転させることにより、矢印Cに示すようにナット部76がネジ部80に沿ってZ方向に昇降するので、ガイドバー72をZ方向に昇降移動させることができる。なお、ガイドバー72のX(-)側の端部72Bは、ガイドバー72をZ方向に移動自在に支持する直動ガイド部82に支持されている。直動ガイド部82は、Z方向に立設されたポール84と、ポール84に摺動自在に取り付けられた可動部86と、を有し、可動部86に上記の端部72Bが取り付けられている。このような構成により、ガイドバー72はZ方向に円滑に昇降移動することができる。なお、送りネジ装置74は、本発明の構成要素である移動機構の一例である。 An X(+) side end portion 72A of the guide bar 72 is fixed to a nut portion 76 that constitutes a screw device 74. The feed screw device 74 includes a motor 78, a threaded portion 80, and a nut portion 76. The threaded portion 80 is arranged along the Z direction, and the nut portion 76 is screwed into the threaded portion 80. There is. Therefore, by rotating the screw portion 80 in the forward or reverse direction by the motor 78, the nut portion 76 moves up and down in the Z direction along the screw portion 80 as shown by arrow C, so that the guide bar 72 is moved up and down in the Z direction. be able to. Note that the X (−) side end 72B of the guide bar 72 is supported by a linear guide portion 82 that supports the guide bar 72 so as to be movable in the Z direction. The linear motion guide section 82 has a pole 84 erected in the Z direction, and a movable section 86 that is slidably attached to the pole 84, and the above-mentioned end section 72B is attached to the movable section 86. There is. With this configuration, the guide bar 72 can be smoothly moved up and down in the Z direction. Note that the feed screw device 74 is an example of a moving mechanism that is a component of the present invention.

送りネジ装置74のモータ78は、制御部88によってその回転方向及び回転速度が制御されている。制御部88は、CPU(Central Processing Unit)、ROM(Read Only Memory)、RAM(Random Access Memory)、及び入出力インターフェース等を備えている。制御部88では、ROMに記憶されている制御プログラム等の各種プログラムがRAMに展開され、RAMに展開されたプログラムがCPUによって実行されることにより、モータ78を下記のように制御してガイドバー72を移動させる。すなわち、ガイドバー72をY方向から見た場合、固定部20からテーブル16がX(-)方向に離れる動作に連動して、ガイドバー72がテーブル16に近づくようにガイドバー72をZ方向下方側に移動させる。そして、固定部20にテーブル16が近づく動作に連動して、ガイドバー72がテーブル16から離れるようにガイドバー72をZ方向上側に移動させる。 The rotation direction and rotation speed of the motor 78 of the feed screw device 74 are controlled by a control section 88. The control unit 88 includes a CPU (Central Processing Unit), a ROM (Read Only Memory), a RAM (Random Access Memory), an input/output interface, and the like. In the control unit 88, various programs such as a control program stored in the ROM are expanded to the RAM, and the programs expanded to the RAM are executed by the CPU, thereby controlling the motor 78 as described below to operate the guide bar. Move 72. That is, when the guide bar 72 is viewed from the Y direction, in conjunction with the movement of the table 16 away from the fixed part 20 in the X (-) direction, the guide bar 72 is moved downward in the Z direction so that the guide bar 72 approaches the table 16. move it to the side. Then, in conjunction with the movement of the table 16 approaching the fixed part 20, the guide bar 72 is moved upward in the Z direction so that the guide bar 72 is separated from the table 16.

このような構成の第2実施形態においても、第1実施形態と同様に、切断加工中の帯状部材12の垂れ下がりを防止しつつ、テーブル16が切断開始位置に位置したときに生じるケーブル領域13の余長分の長さを短くすることができる。これにより、ケーブル領域13の垂れ下がりと余長分の捩じれを防止することができるので、被切断部12Aに引っ張りや捩じれの力が加わることを抑制することができ、よって、ブレード18による加工精度が良好となり加工品質が向上する。なお、第2実施形態では、ガイドバー72を直棒状に構成したが、これに限らず、例えば、第1実施形態のように傾斜部22Cを備えた屈曲タイプのものであってもよい。 Similarly to the first embodiment, in the second embodiment having such a configuration, while preventing the strip member 12 from hanging down during the cutting process, the cable area 13 that occurs when the table 16 is located at the cutting start position is prevented. The extra length can be shortened. As a result, it is possible to prevent the cable region 13 from hanging down and twisting due to the excess length, and therefore it is possible to suppress the application of tensile or twisting force to the section to be cut 12A, thereby improving the machining accuracy of the blade 18. This results in better machining quality. In the second embodiment, the guide bar 72 is formed into a straight rod shape, but the guide bar 72 is not limited to this, and may be of a bent type having the inclined portion 22C as in the first embodiment.

以上説明した実施形態では、帯状部材12を切断するファイバーケーブル切断装置10を例示した。この帯状部材12としては、複数のファイバーをまとめたもの、又は、複数のファイバーをまとめたものの集合体であってもよい。このような帯状部材12は、被切断部12Aで不図示の基材と一体化されていることが好ましい。また、ファイバーケーブル切断装置10は、1本のファイバーケーブルのみを切断する切断装置としても適用可能である。 In the embodiment described above, the fiber cable cutting device 10 that cuts the strip member 12 has been exemplified. The strip member 12 may be a plurality of fibers or an aggregate of a plurality of fibers. It is preferable that such a band-shaped member 12 is integrated with a base material (not shown) at the portion to be cut 12A. Furthermore, the fiber cable cutting device 10 can also be applied as a cutting device that cuts only one fiber cable.

また、上記の実施形態では、ファイバーケーブル切断装置10、70としてダイシング装置を適用したので、特許文献1のようなファイバーケーブル切断装置と比較して、以下の効果を有する。すなわち、ファイバーケーブルの加工工程は、切断による切断工程の他、研磨手段によって端面を研磨する研磨工程が必要となるが、特許文献1のファイバーケーブル切断装置は切断工程のみ行う装置なので、スループットを向上させることができない。これに対して、ダイシング装置に適用されるブレード18は、一般的に砥粒の小さい砥石が使用され、その回転速度も速く、また、加工速度も低速度に制御することができるので高精細にワークを加工可能である。このようなブレード18の性能を利用することにより、ファイバーケーブルの端部の切断工程と端面の研磨工程とを同時に実施することが可能となるので、スループットを向上させることができる。 Further, in the above embodiment, since a dicing device is used as the fiber cable cutting devices 10 and 70, the dicing device has the following effects compared to the fiber cable cutting device as disclosed in Patent Document 1. That is, the fiber cable processing process requires a polishing process of polishing the end face with a polishing means in addition to the cutting process, but the fiber cable cutting device of Patent Document 1 is a device that only performs the cutting process, so it can improve throughput. I can't do it. On the other hand, the blade 18 applied to a dicing device generally uses a grindstone with small abrasive grains, has a high rotation speed, and can control the processing speed to a low speed, resulting in high precision. It is possible to process the workpiece. By utilizing such performance of the blade 18, it is possible to simultaneously perform the process of cutting the end of the fiber cable and the process of polishing the end face, thereby improving throughput.

10…ファイバーケーブル切断装置、12…帯状部材、16…テーブル、18…ブレード、20…固定部、22…ガイドバー、24…固定面、26…X移動機構部、28…ガイドレール、30…ボールネジ装置、32…スピンドル、34…Z移動機構部、36…Y移動機構部、38…台座部、40…クランプ部材、50…位置調整機構、52…ポール、54…ホルダ本体、56…孔部、58…ホルダ、60…ネジ部、62…装置本体、70…ファイバーケーブル切断装置、72…ガイドバー、74…送りネジ装置、76…ナット部、78…モータ、80…ネジ部、82…直動ガイド部、84…ポール、86…可動部、88…制御部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10... Fiber cable cutting device, 12... Band member, 16... Table, 18... Blade, 20... Fixed part, 22... Guide bar, 24... Fixed surface, 26... X moving mechanism part, 28... Guide rail, 30... Ball screw Device, 32... Spindle, 34... Z moving mechanism section, 36... Y moving mechanism section, 38... Pedestal section, 40... Clamp member, 50... Position adjustment mechanism, 52... Pole, 54... Holder main body, 56... Hole section, 58...Holder, 60...Screw part, 62...Device main body, 70...Fiber cable cutting device, 72...Guide bar, 74...Feed screw device, 76...Nut part, 78...Motor, 80...Screw part, 82...Linear motion Guide part, 84... Pole, 86... Movable part, 88... Control part

Claims (2)

ファイバーケーブルの被切断部が固定されて水平方向のうち第1方向に移動可能なテーブルと、
水平方向のうち前記第1方向に直交する第2方向に回転軸を有するブレードと、
前記テーブルに対して前記第2方向に離間した位置に配置され、前記ファイバーケーブルの被固定部を固定する固定部と、
を備え、前記ブレード及び前記固定部に対して前記テーブルを前記第1方向に移動させながら、回転する前記ブレードによって前記被切断部を切断するファイバーケーブル切断装置であって、
前記テーブルと前記固定部と間に設けられ、前記ファイバーケーブルの前記被切断部と前記被固定部との間のケーブル領域を前記第1方向に摺動自在に支持した状態で鉛直方向下側から受け支える支持部材を有する、ファイバーケーブル切断装置。
a table on which a portion of the fiber cable to be cut is fixed and movable in a first horizontal direction;
a blade having a rotation axis in a second direction perpendicular to the first direction in the horizontal direction;
a fixing part that is arranged at a position spaced apart from the table in the second direction and fixes the fixed part of the fiber cable;
A fiber cable cutting device that cuts the part to be cut with the rotating blade while moving the table in the first direction with respect to the blade and the fixed part,
provided between the table and the fixing section, from below in the vertical direction with the cable region between the section to be cut and the section to be fixed of the fiber cable being slidably supported in the first direction; A fiber cable cutting device having a support member for receiving and supporting.
前記支持部材は、前記第1方向と前記第2方向とに直交する第3方向の位置を調整する調整機構を有する、請求項1に記載のファイバーケーブル切断装置。 The fiber cable cutting device according to claim 1, wherein the support member has an adjustment mechanism that adjusts a position in a third direction perpendicular to the first direction and the second direction.
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