JP7393515B2 - 分散型製品欠陥分析システム、方法及びコンピュータ可読記憶媒体 - Google Patents
分散型製品欠陥分析システム、方法及びコンピュータ可読記憶媒体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7393515B2 JP7393515B2 JP2022502980A JP2022502980A JP7393515B2 JP 7393515 B2 JP7393515 B2 JP 7393515B2 JP 2022502980 A JP2022502980 A JP 2022502980A JP 2022502980 A JP2022502980 A JP 2022502980A JP 7393515 B2 JP7393515 B2 JP 7393515B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- product
- defect
- product manufacturing
- task
- defect recognition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims description 858
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 title claims description 262
- 238000003860 storage Methods 0.000 title claims description 47
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 107
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 440
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 186
- 238000012549 training Methods 0.000 claims description 64
- 238000012552 review Methods 0.000 claims description 32
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 10
- 238000003062 neural network model Methods 0.000 claims description 9
- 238000004590 computer program Methods 0.000 claims description 6
- 238000013528 artificial neural network Methods 0.000 claims description 5
- 238000013527 convolutional neural network Methods 0.000 claims description 4
- 230000000306 recurrent effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1103
- 230000008569 process Effects 0.000 description 61
- 230000006870 function Effects 0.000 description 46
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 41
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 37
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 29
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 25
- 238000013473 artificial intelligence Methods 0.000 description 18
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 18
- 230000006854 communication Effects 0.000 description 18
- 238000004422 calculation algorithm Methods 0.000 description 13
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 13
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 12
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 12
- 238000007726 management method Methods 0.000 description 10
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 9
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 9
- 241000699666 Mus <mouse, genus> Species 0.000 description 7
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 7
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 7
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 6
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 5
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 4
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 description 4
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 3
- 238000013135 deep learning Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 3
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 3
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 2
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 2
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 2
- 238000010801 machine learning Methods 0.000 description 2
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 238000012163 sequencing technique Methods 0.000 description 2
- 238000012800 visualization Methods 0.000 description 2
- 241000699670 Mus sp. Species 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 239000008186 active pharmaceutical agent Substances 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- FFBHFFJDDLITSX-UHFFFAOYSA-N benzyl N-[2-hydroxy-4-(3-oxomorpholin-4-yl)phenyl]carbamate Chemical compound OC1=C(NC(=O)OCC2=CC=CC=C2)C=CC(=C1)N1CCOCC1=O FFBHFFJDDLITSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 230000001934 delay Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000003203 everyday effect Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000003064 k means clustering Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000010606 normalization Methods 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 230000008520 organization Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 1
- 238000012216 screening Methods 0.000 description 1
- 230000011218 segmentation Effects 0.000 description 1
- 239000011265 semifinished product Substances 0.000 description 1
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000010200 validation analysis Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof
- G05B23/02—Electric testing or monitoring
- G05B23/0205—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
- G05B23/0259—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterized by the response to fault detection
- G05B23/0275—Fault isolation and identification, e.g. classify fault; estimate cause or root of failure
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
- G06T7/0004—Industrial image inspection
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
- G05B19/41875—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by quality surveillance of production
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof
- G05B23/02—Electric testing or monitoring
- G05B23/0205—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
- G05B23/0218—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterised by the fault detection method dealing with either existing or incipient faults
- G05B23/0243—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterised by the fault detection method dealing with either existing or incipient faults model based detection method, e.g. first-principles knowledge model
- G05B23/0254—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterised by the fault detection method dealing with either existing or incipient faults model based detection method, e.g. first-principles knowledge model based on a quantitative model, e.g. mathematical relationships between inputs and outputs; functions: observer, Kalman filter, residual calculation, Neural Networks
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof
- G05B23/02—Electric testing or monitoring
- G05B23/0205—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
- G05B23/0259—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterized by the response to fault detection
- G05B23/0262—Confirmation of fault detection, e.g. extra checks to confirm that a failure has indeed occurred
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof
- G05B23/02—Electric testing or monitoring
- G05B23/0205—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
- G05B23/0259—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterized by the response to fault detection
- G05B23/0275—Fault isolation and identification, e.g. classify fault; estimate cause or root of failure
- G05B23/0281—Quantitative, e.g. mathematical distance; Clustering; Neural networks; Statistical analysis
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F18/00—Pattern recognition
- G06F18/20—Analysing
- G06F18/24—Classification techniques
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G06Q10/00—Administration; Management
- G06Q10/06—Resources, workflows, human or project management; Enterprise or organisation planning; Enterprise or organisation modelling
- G06Q10/063—Operations research, analysis or management
- G06Q10/0639—Performance analysis of employees; Performance analysis of enterprise or organisation operations
- G06Q10/06395—Quality analysis or management
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G06Q50/00—Information and communication technology [ICT] specially adapted for implementation of business processes of specific business sectors, e.g. utilities or tourism
- G06Q50/04—Manufacturing
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06V—IMAGE OR VIDEO RECOGNITION OR UNDERSTANDING
- G06V10/00—Arrangements for image or video recognition or understanding
- G06V10/70—Arrangements for image or video recognition or understanding using pattern recognition or machine learning
- G06V10/82—Arrangements for image or video recognition or understanding using pattern recognition or machine learning using neural networks
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06V—IMAGE OR VIDEO RECOGNITION OR UNDERSTANDING
- G06V10/00—Arrangements for image or video recognition or understanding
- G06V10/96—Management of image or video recognition tasks
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/32—Operator till task planning
- G05B2219/32368—Quality control
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/20—Special algorithmic details
- G06T2207/20081—Training; Learning
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/20—Special algorithmic details
- G06T2207/20084—Artificial neural networks [ANN]
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/30—Subject of image; Context of image processing
- G06T2207/30108—Industrial image inspection
- G06T2207/30148—Semiconductor; IC; Wafer
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06V—IMAGE OR VIDEO RECOGNITION OR UNDERSTANDING
- G06V2201/00—Indexing scheme relating to image or video recognition or understanding
- G06V2201/06—Recognition of objects for industrial automation
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Business, Economics & Management (AREA)
- Evolutionary Computation (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Human Resources & Organizations (AREA)
- Artificial Intelligence (AREA)
- Multimedia (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Economics (AREA)
- Strategic Management (AREA)
- Computing Systems (AREA)
- Databases & Information Systems (AREA)
- Medical Informatics (AREA)
- Software Systems (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Development Economics (AREA)
- Marketing (AREA)
- Tourism & Hospitality (AREA)
- General Business, Economics & Management (AREA)
- Data Mining & Analysis (AREA)
- Entrepreneurship & Innovation (AREA)
- Educational Administration (AREA)
- Algebra (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Probability & Statistics with Applications (AREA)
- Mathematical Optimization (AREA)
- Game Theory and Decision Science (AREA)
- Operations Research (AREA)
- Mathematical Analysis (AREA)
- Pure & Applied Mathematics (AREA)
- Bioinformatics & Cheminformatics (AREA)
- Bioinformatics & Computational Biology (AREA)
Description
102 画像取得機器
103 製品製造メッセージサービス機器
104 分散型製品欠陥分析システム
110 コンピューティング機器
201 製品製造メッセージ処理クラスタ
201 製品製造メッセージサービス処理クラスタ
202 製品欠陥認識クラスタ
202 欠陥認識クラスタ
203 製品画像データベース
204 クライアント機器
603 製品製造メッセージ処理機器
700 グラフィカルユーザインタフェース(GUI)
701 製品画像領域
702 ショートカット機能領域
703 タスクリスト領域
704 タスク詳細領域
705 操作機能領域
706 タスク選択領域
707 サムネイル領域
801 編集メッセージ処理構成フレーム
802 システム構成フレーム
803 製品画像データベース構成フレーム
805 製品欠陥認識標準フレーム
901 モデルトレーニング状態フレーム
902 新旧モデル対比フレーム
903 機能ボタンフレーム
1305 製品欠陥分析クラスタ
7011 四角枠
7021 欠陥位置マーキング領域
7022 欠陥大分類設定領域
7023 欠陥小分類設定領域
Claims (18)
- 製品製造プロセスにおける製品の欠陥を分析するための分散型製品欠陥分析システムであって、
製品製造メッセージ処理クラスタと、製品欠陥認識クラスタと、製品画像データベースと、クライアント機器とを含み、
前記製品画像データベースは、製品製造プロセスにおいて発生された製品画像を記憶するように構成され、
前記製品製造メッセージ処理クラスタは、製品製造メッセージに基づき、第1の欠陥認識タスクを含む製品欠陥分析タスクを生成するように構成され、
前記製品欠陥認識クラスタは、前記第1の欠陥認識タスクに基づき、欠陥認識モデルによって前記製品画像における製品欠陥内容を認識するように構成され、前記製品欠陥内容は、製品の欠陥タイプと、欠陥位置と、欠陥サイズとのうちのいずれか一つ又は複数を含み、
前記クライアント機器は、製品欠陥認識結果を出力するように構成され、
前記製品製造メッセージは、登録情報に関連する第1の製品製造メッセージを含み、前記登録情報に関連する第1の製品製造メッセージは、製品製造サイト情報又は第1の製品情報を含む製品製造メッセージであり、前記製品製造メッセージ処理クラスタは、前記第1の製品製造メッセージを中断の方式でモニタリングするように構成され、
前記製品製造メッセージは、登録情報に関連しない第2の製品製造メッセージをさらに含み、前記製品製造メッセージ処理クラスタは、さらに、前記第2の製品製造メッセージをポーリングの方式でモニタリングし、前記第2の製品製造メッセージが製品製造キーワードを含むか否かを決定し、前記第2の製品製造メッセージが前記製品製造キーワードを含む場合には前記第2の製品製造メッセージを保持し、前記第2の製品製造メッセージが前記製品製造キーワードを含まない場合には前記第2の製品製造メッセージを廃棄するように構成される、
分散型製品欠陥分析システム。 - 前記第1の製品製造メッセージは、ロット製品製造メッセージを含み、
前記第2の製品製造メッセージは、単一製品製造メッセージを含む、
請求項1に記載の分散型製品欠陥分析システム。 - 製品製造メッセージに基づき、製品欠陥分析タスクを生成することは、
製品製造メッセージに基づき、製品タイプに対応する欠陥認識モデルが存在するか否かを決定することと、
製品タイプに対応する欠陥認識モデルが存在する場合、前記第1の欠陥認識タスクを生成することと、
前記製品欠陥認識クラスタに前記第1の欠陥認識タスクを送信することと、を含む、
請求項1に記載の分散型製品欠陥分析システム。 - 製品製造メッセージに基づき、製品欠陥分析タスクを生成することは、
製品タイプに対応する欠陥認識モデルが存在しない場合、第2の欠陥認識タスクを生成することと、
前記クライアント機器に前記第2の欠陥認識タスクを送信することと、
をさらに含む、
請求項3に記載の分散型製品欠陥分析システム。 - 前記製品製造メッセージ処理クラスタは、
複数の前記製品欠陥分析タスクを生成するタイムシーケンスと、製品の優先度順序と、製品スケジューリング計画とのうちのいずれか一つ又は複数に基づき、製品欠陥分析タスクを順序付けて、製品欠陥分析タスクキューを確立するように構成される、
請求項1に記載の分散型製品欠陥分析システム。 - 前記製品製造メッセージ処理クラスタは、さらに、
前記製品欠陥認識クラスタの負荷状況に基づき、前記製品欠陥分析タスクキューにおける製品欠陥分析タスクの送信速度を制御するように構成される、
請求項5に記載の分散型製品欠陥分析システム。 - 前記欠陥認識モデルは、フィードフォワードニューラルネットワーク欠陥認識モデルと、畳み込みニューラルネットワークモデルと、再帰型ニューラルネットワークモデルと、敵対的生成ネットワークモデルとのうちのいずれか一つ又は複数を含む、
請求項1に記載の分散型製品欠陥分析システム。 - 前記クライアント機器は、ディスプレイを含み、
製品欠陥認識結果を出力することは、前記ディスプレイが、前記製品欠陥認識クラスタによって認識される製品画像を表示することをさらに含む、
請求項1に記載の分散型製品欠陥分析システム。 - 前記製品欠陥認識クラスタによって認識される製品画像は、欠陥マーキングフレームと、欠陥マーキングフレーム座標と、欠陥カテゴリマーキングと、欠陥カテゴリスコアとのうちのいずれか一つ又は複数を含む製品欠陥内容マーキングを含む、
請求項8に記載の分散型製品欠陥分析システム。 - 前記ディスプレイは、前記製品欠陥認識クラスタが認識できない製品画像を表示するように構成される、
請求項8に記載の分散型製品欠陥分析システム。 - 前記クライアント機器は、さらに、
ユーザによって入力される製品欠陥認識指令を取得し、
前記製品欠陥認識指令に基づき、前記製品欠陥認識クラスタが認識できない製品画像の製品欠陥内容マーキングを表示するように構成される、
請求項10に記載の分散型製品欠陥分析システム。 - 前記クライアント機器は、さらに、
ユーザによって入力される製品欠陥レビュー指令を取得し、
前記製品欠陥レビュー指令に基づき、レビュー待ちの製品画像における製品欠陥内容マーキングを確認するか又は修正するように構成される、
請求項9又は11に記載の分散型製品欠陥分析システム。 - 前記ディスプレイは、さらに、
複数の前記製品欠陥分析タスクに対応するタスクリストを表示するように構成される、
請求項8に記載の分散型製品欠陥分析システム。 - 前記クライアント機器は、さらに、
ユーザによって入力される複数の前記製品欠陥分析タスクの実行優先度調整指令を取得し、
前記調整指令に基づき、前記タスクリストにおける製品欠陥分析タスクの順番を修正するように構成される、
請求項13に記載の分散型製品欠陥分析システム。 - 前記製品製造メッセージ処理クラスタは、さらに、欠陥認識モデルトレーニングタスクを生成するように構成され、
前記製品欠陥認識クラスタは、さらに、前記欠陥認識モデルトレーニングタスクに基づき、欠陥認識モデルをトレーニングするように構成される、
請求項1に記載の分散型製品欠陥分析システム。 - 製品製造メッセージに基づき、第1の欠陥認識タスクを含む製品欠陥分析タスクを生成するステップと、
前記第1の欠陥認識タスクに基づき、欠陥認識モデルによって製品画像における製品欠陥内容を認識し、前記製品欠陥内容は、製品の欠陥タイプと、欠陥位置と、欠陥サイズとのうちのいずれか一つ又は複数を含むステップと、
製品欠陥認識結果を出力するステップと、を含み、
前記製品製造メッセージは、登録情報に関連する第1の製品製造メッセージを含み、前記登録情報に関連する第1の製品製造メッセージは、製品製造サイト情報又は第1の製品情報を含む製品製造メッセージであり、前記第1の製品製造メッセージは中断の方式でモニタリングされ、
前記製品製造メッセージは、登録情報に関連しない第2の製品製造メッセージをさらに含み、前記第2の製品製造メッセージはポーリングの方式でモニタリングされ、前記第2の製品製造メッセージが製品製造キーワードを含む場合には前記第2の製品製造メッセージは保持され、前記第2の製品製造メッセージが前記製品製造キーワードを含まない場合には前記第2の製品製造メッセージは廃棄される、
分散型システムに基づく製品欠陥分析方法。 - 製品製造メッセージに基づき、製品欠陥分析タスクを生成するステップは、
製品製造メッセージに基づき、製品タイプに対応する欠陥認識モデルが存在するか否かを決定するステップと、
製品タイプに対応する欠陥認識モデルが存在する場合、前記第1の欠陥認識タスクを生成するステップと、
製品タイプに対応する欠陥認識モデルが存在しない場合、第2の欠陥認識タスクを生成するステップと、を含む、
請求項16に記載の製品欠陥分析方法。 - コンピュータプログラムが記憶されるコンピュータ可読記憶媒体であって、
前記プログラムがプロセッサによって実行される場合、請求項16または17に記載の製品欠陥分析方法を実現する、
コンピュータ可読記憶媒体。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/CN2019/127071 WO2021120186A1 (zh) | 2019-12-20 | 2019-12-20 | 分布式产品缺陷分析系统、方法及计算机可读存储介质 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023514891A JP2023514891A (ja) | 2023-04-12 |
JP7393515B2 true JP7393515B2 (ja) | 2023-12-06 |
Family
ID=76476705
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022502980A Active JP7393515B2 (ja) | 2019-12-20 | 2019-12-20 | 分散型製品欠陥分析システム、方法及びコンピュータ可読記憶媒体 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11880968B2 (ja) |
EP (1) | EP4080406A4 (ja) |
JP (1) | JP7393515B2 (ja) |
KR (1) | KR20220117126A (ja) |
CN (1) | CN113632099A (ja) |
WO (1) | WO2021120186A1 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI707137B (zh) * | 2020-01-13 | 2020-10-11 | 憶象有限公司 | 智能產線監測系統及監測方法 |
CN111796576B (zh) * | 2020-06-16 | 2023-03-31 | 北京工业大学 | 一种基于双核t分布随机近邻嵌入的过程监测可视化方法 |
US20220189005A1 (en) * | 2020-12-16 | 2022-06-16 | Baker Hughes Holdings Llc | Automatic inspection using artificial intelligence models |
CN114118878B (zh) * | 2022-01-21 | 2022-05-24 | 深圳市信润富联数字科技有限公司 | 一种基于轮毂检测评审框架的在线集中质量分析决策系统 |
WO2023151919A1 (en) * | 2022-02-11 | 2023-08-17 | Asml Netherlands B.V. | Active learning to improve wafer defect classification |
CN114418458A (zh) * | 2022-03-17 | 2022-04-29 | 深圳市爱云信息科技有限公司 | 基于数字孪生DaaS平台的工艺调参方法 |
CN114463331A (zh) * | 2022-04-12 | 2022-05-10 | 四川英创力电子科技股份有限公司 | 印制电路板aoi检修报表自动生成方法及装置 |
CN114996310A (zh) * | 2022-05-25 | 2022-09-02 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种数据处理方法、装置、服务器及存储介质 |
CN115239198A (zh) * | 2022-06-17 | 2022-10-25 | 希望知舟技术(深圳)有限公司 | 工单分配方法及相关装置、电子设备、介质和程序产品 |
DE102022115997A1 (de) * | 2022-06-28 | 2023-12-28 | TRUMPF Werkzeugmaschinen SE + Co. KG | Verfahren und System zur Unterstützung bei der Unterscheidung von Blech-Werkstücken |
CN115438805B (zh) * | 2022-11-08 | 2023-01-24 | 江苏智云天工科技有限公司 | 基于工业质检领域机器学习模型的产品缺陷检测方法 |
CN117491391B (zh) * | 2023-12-29 | 2024-03-15 | 登景(天津)科技有限公司 | 基于芯片计算的玻璃基板光三维健康检测方法及设备 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019190891A (ja) | 2018-04-20 | 2019-10-31 | オムロン株式会社 | 検査管理システム、検査管理装置及び検査管理方法 |
US20190362486A1 (en) | 2018-05-22 | 2019-11-28 | Midea Group Co., Ltd. | Methods and systems for improved quality inspection |
CN111768386A (zh) | 2020-06-30 | 2020-10-13 | 北京百度网讯科技有限公司 | 产品缺陷检测方法、装置、电子设备和存储介质 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE69738979D1 (de) | 1996-03-19 | 2008-10-23 | Hitachi Ltd | Prozesssteuerungssystem |
JP3978098B2 (ja) | 2002-08-12 | 2007-09-19 | 株式会社日立製作所 | 欠陥分類方法及びその装置 |
US7346470B2 (en) * | 2003-06-10 | 2008-03-18 | International Business Machines Corporation | System for identification of defects on circuits or other arrayed products |
US9953282B2 (en) * | 2007-09-04 | 2018-04-24 | International Business Machines Corporation | System and method for providing automatic task assignment and notification |
JP6948547B2 (ja) | 2017-03-29 | 2021-10-13 | 富士通株式会社 | プログラム、情報処理システム、及び情報処理方法 |
CN108564104A (zh) * | 2018-01-09 | 2018-09-21 | 北京百度网讯科技有限公司 | 产品缺陷检测方法、装置、系统、服务器及存储介质 |
CN108776808A (zh) * | 2018-05-25 | 2018-11-09 | 北京百度网讯科技有限公司 | 一种用于检测钢包溶蚀缺陷的方法和装置 |
US11062618B2 (en) * | 2018-06-28 | 2021-07-13 | Unitedhealth Group Incorporated | Self-training machine-learning system for generating and providing action recommendations |
CN108921839A (zh) * | 2018-07-02 | 2018-11-30 | 北京百度网讯科技有限公司 | 连铸坯质量检测方法、装置、电子设备及存储介质 |
CN110059631B (zh) * | 2019-04-19 | 2020-04-03 | 中铁第一勘察设计院集团有限公司 | 接触网非接触式监测缺陷识别方法 |
CN110441312A (zh) | 2019-07-30 | 2019-11-12 | 上海深视信息科技有限公司 | 一种基于多光谱成像的产品表面缺陷检测系统 |
CN111024708B (zh) | 2019-09-06 | 2022-02-22 | 腾讯科技(深圳)有限公司 | 产品缺陷检测数据处理方法、装置、系统和设备 |
US20210097673A1 (en) * | 2019-10-01 | 2021-04-01 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Root cause analysis for fabrication processes of semiconductor structures |
CN111127571B (zh) * | 2019-12-03 | 2023-12-29 | 歌尔股份有限公司 | 一种小样本缺陷分类方法和装置 |
WO2021120179A1 (zh) * | 2019-12-20 | 2021-06-24 | 京东方科技集团股份有限公司 | 产品制造消息处理方法、设备和计算机存储介质 |
CN111143577B (zh) * | 2019-12-27 | 2023-06-16 | 北京百度网讯科技有限公司 | 数据标注方法、装置和系统 |
US11232550B2 (en) * | 2020-06-29 | 2022-01-25 | Applied Materials Israel Ltd. | Generating a training set usable for examination of a semiconductor specimen |
US11328410B2 (en) * | 2020-08-03 | 2022-05-10 | KLA Corp. | Deep generative models for optical or other mode selection |
US20230092247A1 (en) * | 2021-09-22 | 2023-03-23 | Rockwell Automation Technologies, Inc. | Automated monitoring using image analysis |
-
2019
- 2019-12-20 WO PCT/CN2019/127071 patent/WO2021120186A1/zh unknown
- 2019-12-20 JP JP2022502980A patent/JP7393515B2/ja active Active
- 2019-12-20 US US17/043,960 patent/US11880968B2/en active Active
- 2019-12-20 EP EP19945459.6A patent/EP4080406A4/en active Pending
- 2019-12-20 CN CN201980003156.6A patent/CN113632099A/zh active Pending
- 2019-12-20 KR KR1020217040637A patent/KR20220117126A/ko unknown
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019190891A (ja) | 2018-04-20 | 2019-10-31 | オムロン株式会社 | 検査管理システム、検査管理装置及び検査管理方法 |
US20190362486A1 (en) | 2018-05-22 | 2019-11-28 | Midea Group Co., Ltd. | Methods and systems for improved quality inspection |
CN111768386A (zh) | 2020-06-30 | 2020-10-13 | 北京百度网讯科技有限公司 | 产品缺陷检测方法、装置、电子设备和存储介质 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN113632099A (zh) | 2021-11-09 |
JP2023514891A (ja) | 2023-04-12 |
EP4080406A1 (en) | 2022-10-26 |
US11880968B2 (en) | 2024-01-23 |
EP4080406A4 (en) | 2022-12-28 |
US20230153974A1 (en) | 2023-05-18 |
KR20220117126A (ko) | 2022-08-23 |
WO2021120186A1 (zh) | 2021-06-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7393515B2 (ja) | 分散型製品欠陥分析システム、方法及びコンピュータ可読記憶媒体 | |
Zhang et al. | Crowdlearn: A crowd-ai hybrid system for deep learning-based damage assessment applications | |
WO2021136365A1 (zh) | 基于机器学习模型的应用开发方法、装置及电子设备 | |
CN106290378B (zh) | 缺陷分类方法和缺陷检查系统 | |
EP3623961A1 (en) | Predictive modeling with machine learning in data management platforms | |
JP2018142097A (ja) | 情報処理装置、情報処理方法及びプログラム | |
US11392855B1 (en) | GUI for configuring machine-learning services | |
US11562179B2 (en) | Artificial intelligence system for inspecting image reliability | |
US20180276508A1 (en) | Automated visual information context and meaning comprehension system | |
JP7442550B2 (ja) | 推論演算装置、モデル訓練装置、及び推論演算システム | |
US11182697B1 (en) | GUI for interacting with analytics provided by machine-learning services | |
WO2022135539A1 (zh) | 设备配置参数处理方法和装置、数据分析方法和装置、计算设备、计算机可读存储介质、以及计算机程序产品 | |
JP2022518508A (ja) | 画像分析システムおよび画像分析システムを使用する方法 | |
US20230048386A1 (en) | Method for detecting defect and method for training model | |
WO2021120179A1 (zh) | 产品制造消息处理方法、设备和计算机存储介质 | |
CN115546218B (zh) | 置信度阈值确定方法和装置、电子设备和存储介质 | |
Hong et al. | Hyperparameter optimization for convolutional neural network by opposite-based particle swarm optimization and an empirical study of photomask defect classification | |
JP2019075078A (ja) | 工事現場画像判定装置及び工事現場画像判定プログラム | |
US11798263B1 (en) | Manufacturing defective object detection system | |
US20230145376A1 (en) | Data processing system | |
US20220261998A1 (en) | Adaptive machine learning system for image-based biological sample constituent analysis | |
TWI598829B (zh) | 資料分析系統以及方法 | |
US20220405617A1 (en) | Artificial intelligence collectors | |
KR102317855B1 (ko) | 프로젝트 분석을 위한 사용자 인터페이스 | |
US20230108313A1 (en) | Data triage in microscopy systems |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20221216 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230718 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231018 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20231030 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20231124 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7393515 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |