JP7393285B2

JP7393285B2 - actuator

Info

Publication number: JP7393285B2
Application number: JP2020066492A
Authority: JP
Inventors: 勇一武居
Original assignee: Nidec Instruments Corp
Current assignee: Nidec Instruments Corp
Priority date: 2020-04-02
Filing date: 2020-04-02
Publication date: 2023-12-06
Anticipated expiration: 2040-04-02
Also published as: JP2021164353A; CN113497537A; CN113497537B

Description

本発明は、可動体を振動させるアクチュエータに関する。 The present invention relates to an actuator that vibrates a movable body.

特許文献１には、情報を振動によって報知するデバイスとして、磁石を備えた可動体と、磁石と対向するコイルを備えた支持体とを有するアクチュエータが記載される。特許文献１では、支持体はコイルホルダを備えており、コイルは、コイルホルダの板部を貫通するコイル配置穴に配置される。コイルホルダの端部には給電基板が保持される。コイルから引き出されたコイル線は、コイルホルダの板部に形成された溝（ガイド溝）に沿って給電基板まで引き出され、給電基板に接続される。 Patent Document 1 describes an actuator as a device that notifies information by vibration, which includes a movable body equipped with a magnet and a support body equipped with a coil facing the magnet. In Patent Document 1, the support body includes a coil holder, and the coil is arranged in a coil arrangement hole that passes through a plate portion of the coil holder. A power supply board is held at the end of the coil holder. The coil wire drawn out from the coil is drawn out to the power supply board along a groove (guide groove) formed in the plate portion of the coil holder, and is connected to the power supply board.

特開２０１９－１８０１４８号公報Japanese Patent Application Publication No. 2019-180148

特許文献１では、上記のように、コイルホルダの穴に配置したコイルからコイルホルダの端部までコイル線を引き出して、コイルホルダの側面に配置された給電基板に接続する構造が採用されている。コイルホルダ、コイル、給電基板は、それぞれ材質が異なるので、温度変化による線膨張係数が異なる。従って、給電基板およびコイルがコイルホルダに対して位置ずれしないように接着剤で固定されていると、温度変化によって寸法変化した場合にコイル線が引っ張られて断線するおそれがある。 In Patent Document 1, as described above, a structure is adopted in which a coil wire is drawn out from a coil placed in a hole in a coil holder to an end of the coil holder and connected to a power supply board placed on a side surface of the coil holder. . The coil holder, coil, and power supply board are made of different materials, and therefore have different coefficients of linear expansion due to temperature changes. Therefore, if the power supply board and the coil are fixed with an adhesive so as not to be misaligned with respect to the coil holder, there is a risk that the coil wire will be pulled and broken if the dimensions change due to a temperature change.

コイル線の断線を防止するために、コイル線にたわみを持たせる構造が提案されている。しかしながら、上記の構造では、コイル線が配置される溝に、コイルホルダにコイルを固定するための接着剤が流れ込む。接着剤が溝から給電基板の側に流れ出すと、コイルホルダから給電基板へたわみを持たせて引き回されているコイル線が接着剤により固定される。コイル線にたわみを持たせてあっても、たわみの部分が固定されてしまうと、寸法変化に起因する応力を緩和できず、コイル線が断線するおそれがある。 In order to prevent the coil wire from breaking, a structure in which the coil wire is given flex has been proposed. However, in the above structure, the adhesive for fixing the coil to the coil holder flows into the groove in which the coil wire is arranged. When the adhesive flows out from the groove toward the power supply board, the coil wire, which is bent and routed from the coil holder to the power supply board, is fixed by the adhesive. Even if the coiled wire is made to have some flex, if the flexed portion is fixed, the stress caused by the dimensional change cannot be alleviated, and there is a risk that the coiled wire will break.

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、コイルホルダの外部へ引き出されて給電基板に接続されるコイル線の断線を防止することにある。 In view of the above problems, it is an object of the present invention to prevent disconnection of the coil wire that is drawn out of the coil holder and connected to the power supply board.

上記課題を解決するために、本発明のアクチュエータは、可動体および支持体と、前記可動体と前記支持体を接続する接続体と、前記可動体および前記支持体のうちの一方側部材に設けられたコイル、および前記コイルに対して前記可動体の振動方向と交差する方向で対向して前記可動体および前記支持体のうちの他方側部材に設けられた磁石を備える磁気駆動機構と、前記コイルに給電する給電基板と、を有し、前記一方側部材は、コイル配置穴が設けられた板部、および、前記板部の端部に配置される基板保持部を備えたコイルホルダを有し、前記板部は、前記コイル配置穴から前記基板保持部まで延びるコイル線配置溝を備え、前記コイルから引き出されたコイル線は、前記コイル線配置溝に配置される第１部分と、前記給電基板に設けられたランドに半田付けされる第２部分と、前記第１部分と前記第２部分とを接続する第３部分と、を備え、前記コイル線配置溝には、前記第１部分を保持する第１接着剤が配置され、前記給電基板には、前記第３部分を保持する第２接着剤が配置され、前記第２接着剤は、前記第１接着剤とは異なることを特徴とする。 In order to solve the above problems, the actuator of the present invention includes a movable body and a support body, a connection body connecting the movable body and the support body, and a connecting body provided on one side member of the movable body and the support body. a magnetic drive mechanism, comprising: a coil arranged on the movable body; a power supply board that supplies power to the coil, and the one side member has a plate portion provided with a coil placement hole, and a coil holder including a board holding portion disposed at an end of the plate portion. The plate portion includes a coil wire arrangement groove extending from the coil arrangement hole to the substrate holding portion, and the coil wire pulled out from the coil is arranged in the first portion disposed in the coil wire arrangement groove; a second portion soldered to a land provided on a power supply board; and a third portion connecting the first portion and the second portion; A first adhesive that holds the third portion is disposed on the power supply board, a second adhesive that holds the third portion, and the second adhesive is different from the first adhesive. shall be.

本発明では、コイルホルダの板部に設けられたコイル配置穴に配置されたコイルから引き出されたコイル線は、板部に設けられたコイル線配置溝において第１接着剤に保持される第１部分と、給電基板上のランドに半田付けされる第２部分を備えており、第１部分と第２部分とを接続する第３部分は、給電基板に配置された第２接着剤に保持される。このように、コイル固定用の第１接着剤と、給電基板にコイル線を固定する第２接着剤を使い分けることにより、コイル固定用の第１接着剤が意図しない範囲まで拡がることを防止あるいは抑制できる。従って、意図しない範囲まで拡がった第１接着剤によってコイル線に加わる応力を緩和できなくなるおそれを少なくすることができる。 In the present invention, the coil wire pulled out from the coil arranged in the coil arrangement hole provided in the plate part of the coil holder is attached to the first adhesive held by the first adhesive in the coil wire arrangement groove provided in the plate part. and a second part soldered to a land on the power supply board, and a third part connecting the first part and the second part is held by a second adhesive disposed on the power supply board. Ru. In this way, by properly using the first adhesive for fixing the coil and the second adhesive for fixing the coil wire to the power supply board, it is possible to prevent or suppress the first adhesive for fixing the coil from spreading to unintended areas. can. Therefore, it is possible to reduce the possibility that stress applied to the coil wire cannot be alleviated due to the first adhesive spreading to an unintended area.

本発明において、前記第２接着剤は、前記第１接着剤よりも柔らかいことが好ましい。このようにすると、コイルホルダから給電基板へ引き回したコイル線の第３部分が柔らかい第２接着剤で保持される。従って、第３部分が変形しやすいので、コイル線に加わる応力を緩和できる。 In the present invention, it is preferable that the second adhesive is softer than the first adhesive. In this way, the third portion of the coil wire routed from the coil holder to the power supply board is held by the soft second adhesive. Therefore, since the third portion is easily deformed, the stress applied to the coil wire can be alleviated.

本発明において、前記第３部分は、たわんだ形状に引き回されていることが好ましい。このようにすると、第３部分が変形しやすい。従って、コイル線に加わる応力を緩和できる。 In the present invention, it is preferable that the third portion is routed in a bent shape. In this way, the third portion is easily deformed. Therefore, the stress applied to the coil wire can be alleviated.

本発明において、前記コイル線配置溝は、前記基板保持部側へ前記第１接着剤が流れることを規制する規制部を備えることが好ましい。このようにすると、コイル固定用の第１接着剤がコイル線配置溝からはみ出して給電基板に付着することを防止できる。従って、第１接着剤が意図しない範囲まで拡がることを防止できる。 In the present invention, it is preferable that the coil wire arrangement groove includes a regulating part that regulates flow of the first adhesive toward the substrate holding part. In this way, it is possible to prevent the first adhesive for fixing the coil from protruding from the coil wire arrangement groove and adhering to the power supply board. Therefore, it is possible to prevent the first adhesive from spreading to an unintended area.

本発明において、前記規制部は、前記コイル線配置溝の底部から突出する壁部であることが好ましい。このようにすると、第１接着剤が壁部の位置で止まるため、コイル固定用の第１接着剤がコイル線配置溝からはみ出して給電基板に付着することを防止できる。 In the present invention, it is preferable that the restriction portion is a wall portion protruding from the bottom of the coil wire arrangement groove. In this case, since the first adhesive stops at the wall portion, it is possible to prevent the first adhesive for fixing the coil from protruding from the coil wire arrangement groove and adhering to the power supply board.

本発明において、前記コイルは空芯コイルであり、前記コイル線配置溝は、前記空芯コイルの厚さ方向の一方端から引き出されたコイル線が配置される第１溝と、前記空芯コイルの厚さ方向の他方端から引き出されたコイル線が配置される第２溝と、を備え、前記規制部は、前記第１溝および前記第２溝のそれぞれに設けられており、前記第１溝の深さは、前記第２溝の深さよりも深いことが好ましい。このようにすると、第１溝と第２溝の深さを、巻き始め側のコイル線と巻き終わり側のコイル線の位置に合わせた深さにすることができる。従って、コイル線配置溝の底部にコイル線を配置しやすい。 In the present invention, the coil is an air-core coil, and the coil wire arrangement groove includes a first groove in which a coil wire pulled out from one end of the air-core coil in the thickness direction is arranged, and a first groove in which the coil wire pulled out from one end in the thickness direction of the air-core coil is arranged. a second groove in which a coil wire pulled out from the other end in the thickness direction is disposed, and the regulating portion is provided in each of the first groove and the second groove, and the regulating portion is provided in each of the first groove and the second groove. The depth of the groove is preferably deeper than the depth of the second groove. In this way, the depths of the first groove and the second groove can be made to match the positions of the coil wire at the start of winding and the coil wire at the end of winding. Therefore, it is easy to arrange the coil wire at the bottom of the coil wire arrangement groove.

本発明において、前記第１接着剤は、熱硬化性接着剤であり、前記第２接着剤は、ＵＶ硬化性接着剤であることが好ましい。このようにすると、第２接着剤の硬化時間を短くすることができる。また、コイルの固定強度を高めることができる。 In the present invention, it is preferable that the first adhesive is a thermosetting adhesive, and the second adhesive is a UV curable adhesive. In this way, the curing time of the second adhesive can be shortened. Moreover, the fixing strength of the coil can be increased.

本発明では、コイルホルダの板部に設けられたコイル配置穴に配置されたコイルから引き出されたコイル線は、板部に設けられたコイル線配置溝において第１接着剤に保持される第１部分と、給電基板上のランドに半田付けされる第２部分を備えており、第１部分と第２部分とを接続する第３部分は、給電基板上の第２接着剤に保持される。このように、コイル固定用の第１接着剤と、給電基板にコイル線を固定する第２接着剤を使い分けることにより、コイル固定用の第１接着剤が意図しない範囲まで拡がることを防止あるいは抑制できる。従って、意図しない範囲まで拡がった第１接着剤によってコイル線に加わる応力を緩和できなくなるおそれを少なくすることができる。 In the present invention, the coil wire pulled out from the coil arranged in the coil arrangement hole provided in the plate part of the coil holder is attached to the first adhesive held by the first adhesive in the coil wire arrangement groove provided in the plate part. and a second part soldered to a land on the power supply board, and a third part connecting the first part and the second part is held to a second adhesive on the power supply board. In this way, by properly using the first adhesive for fixing the coil and the second adhesive for fixing the coil wire to the power supply board, it is possible to prevent or suppress the first adhesive for fixing the coil from spreading to unintended areas. can. Therefore, it is possible to reduce the possibility that stress applied to the coil wire cannot be alleviated due to the first adhesive spreading to an unintended area.

本発明を適用したアクチュエータの斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of an actuator to which the present invention is applied. 図１に示すアクチュエータのＹＺ断面図である。FIG. 2 is a YZ cross-sectional view of the actuator shown in FIG. 1. FIG. 図１に示すアクチュエータの分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view of the actuator shown in FIG. 1. FIG. ケースを取り外したアクチュエータの斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of the actuator with the case removed. ケースを取り外した支持体の斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of the support body with the case removed. コイルホルダおよび第１プレートとコイルの分解斜視図である。It is an exploded perspective view of a coil holder, a 1st plate, and a coil. コイルホルダのコイル配置穴にコイルを配置した状態を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a state in which a coil is placed in a coil placement hole of a coil holder. 給電基板を基板保持部に途中位置まで挿入した状態を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a state in which the power supply board is inserted halfway into the board holder. 給電基板にコイル線を接続した状態を示す部分拡大斜視図である。FIG. 3 is a partially enlarged perspective view showing a state in which the coil wire is connected to the power supply board. 給電基板を保持位置まで挿入してコイル線にたわみ部形成した状態を示す部分拡大斜視図である。FIG. 7 is a partially enlarged perspective view showing a state in which the power feeding board is inserted to the holding position and a bending portion is formed in the coil wire. コイル線の位置でアクチュエータを切断した部分断面図である。FIG. 3 is a partial cross-sectional view of the actuator taken at the position of the coil wire. 変形例のコイル線配置溝の断面図である。It is a sectional view of a coil wire arrangement groove of a modification.

以下に、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。以下の説明において、可動体６の振動方向である第２方向にＸを付し、第２方向Ｘと交差する第１方向にＺを付し、第１方向Ｚおよび第２方向Ｘに対して交差する第３方向にＹを付して説明する。なお、第２方向Ｘの一方側にＸ１を付し、第２方向Ｘの他方側にＸ２を付し、第１方向Ｚの一方側にＺ１を付し、第１方向Ｚの他方側にＺ２を付し、第３方向Ｙの一方側にＹ１を付し、第３方向Ｙの他方側にＹ２を付して説明する。また、以下の説明では、コイルを保持する一方側部材が支持体２であって、磁石を保持する他方側部材が可動体６である場合を中心に説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the following description, the second direction, which is the vibration direction of the movable body 6, is marked with X, the first direction that intersects with the second direction X is marked with Z, and the first direction Z and the second direction The explanation will be given by attaching Y to the intersecting third direction. Note that X1 is attached to one side in the second direction X, X2 is attached to the other side in the second direction X, Z1 is attached to one side in the first direction Z, and Z2 is attached to the other side in the first direction Z. , Y1 is attached to one side in the third direction Y, and Y2 is attached to the other side in the third direction Y. In addition, in the following description, the case will be centered on the case where one side member that holds the coil is the support body 2, and the other side member that holds the magnet is the movable body 6.

（全体構成）
図１は、本発明を適用したアクチュエータ１の斜視図である。図２は、図１に示すアクチュエータ１のＹＺ断面図であり、図１のＡ－Ａ位置で切断した断面図である。図３は、図１に示すアクチュエータ１の分解斜視図である。図４は、ケース３を取り外したアクチュエータの斜視図である。図５は、ケース３を取り外した支持体２の斜視図である。図６は、コイルホルダ４および第１プレート４７とコイル５の分解斜視図である。 (overall structure)
FIG. 1 is a perspective view of an actuator 1 to which the present invention is applied. FIG. 2 is a YZ cross-sectional view of the actuator 1 shown in FIG. 1, and is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. FIG. 3 is an exploded perspective view of the actuator 1 shown in FIG. 1. FIG. 4 is a perspective view of the actuator with the case 3 removed. FIG. 5 is a perspective view of the support body 2 with the case 3 removed. FIG. 6 is an exploded perspective view of the coil holder 4, the first plate 47, and the coil 5.

図１に示すアクチュエータ１は、第３方向Ｙに長手方向を向けた直方体形状であり、アクチュエータ１を手にした利用者に対して第２方向Ｘの振動によって情報を報知する。従って、アクチュエータ１は、ゲーム機の操作部材等として利用することができ、振動等によって新たな感覚を実感することができる。 The actuator 1 shown in FIG. 1 has a rectangular parallelepiped shape with its longitudinal direction oriented in the third direction Y, and notifies a user holding the actuator 1 of information by vibration in the second direction X. Therefore, the actuator 1 can be used as an operating member of a game machine, and a new sensation can be experienced through vibrations and the like.

アクチュエータ１は、アクチュエータ１の外形を規定する角形のケース３等を含む支持体２と、ケース３の内部で支持体２に対して第２方向Ｘに移動可能に支持された可動体６を備える。また、アクチュエータ１は、可動体６を第２方向Ｘに振動させる磁気駆動機構１ａ（図２参照）と、可動体６と支持体２とを接続する接続体９１、９２を備える。 The actuator 1 includes a support body 2 including a rectangular case 3 that defines the outer shape of the actuator 1, and a movable body 6 supported movably in the second direction X with respect to the support body 2 inside the case 3. . The actuator 1 also includes a magnetic drive mechanism 1a (see FIG. 2) that vibrates the movable body 6 in the second direction X, and connection bodies 91 and 92 that connect the movable body 6 and the support body 2.

支持体２は、ケース３、コイルホルダ４、コイル５、給電基板１０を有しており、可動体６は、磁石７（第１磁石７１および第２磁石７２）、およびヨーク８（第１ヨーク８１および第２ヨーク８２）を有する。コイル５および磁石７（第１磁石７１および第２磁石７２）によって磁気駆動機構１ａが構成される。可動体６は、可動体６と支持体２との間に配置される接続体９１、９２を介して支持体２に支持される。接続体９１、９２は、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備える。 The support body 2 has a case 3, a coil holder 4, a coil 5, and a power supply board 10, and the movable body 6 has a magnet 7 (a first magnet 71 and a second magnet 72) and a yoke 8 (a first yoke). 81 and a second yoke 82). The coil 5 and the magnet 7 (first magnet 71 and second magnet 72) constitute a magnetic drive mechanism 1a. The movable body 6 is supported by the support body 2 via connecting bodies 91 and 92 arranged between the movable body 6 and the support body 2. The connecting bodies 91 and 92 have at least one of elasticity and viscoelasticity.

（可動体）
図２、図３、図４に示すように、可動体６は、コイル５に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１に配置された磁性板からなる第１ヨーク８１と、コイル５に第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向するように第１ヨーク８１の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の面に保持された平板状の第１磁石７１とを有している。また、可動体６は、コイル５に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２に配置された磁性板からなる第２ヨーク８２と、コイル５に第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向するように第２ヨーク８２の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の面に保持された平板状の第２磁石７２とを有している。第１磁石７１および第２磁石７２は各々、第１方向の一方側Ｘ１と第１方向の他方側Ｘ２とが異なる極に着磁されている。 (movable body)
As shown in FIGS. 2, 3, and 4, the movable body 6 includes a first yoke 81 made of a magnetic plate arranged on one side Z1 in the first direction Z with respect to the coil 5, It has a flat first magnet 71 held on the surface of the first yoke 81 on the other side Z2 in the first direction Z so as to face each other on one side Z1 in the Z direction. Further, the movable body 6 includes a second yoke 82 made of a magnetic plate disposed on the other side Z2 in the first direction Z with respect to the coil 5, and a second yoke 82 made of a magnetic plate disposed on the other side Z2 in the first direction Z so as to face the coil 5 on the other side Z2 in the first direction Z. It has a flat second magnet 72 held on the surface of the second yoke 82 on one side Z1 in the first direction Z. The first magnet 71 and the second magnet 72 are each magnetized to have different poles on one side X1 in the first direction and on the other side X2 in the first direction.

図３に示すように、第１ヨーク８１は、第１磁石７１が固定された平板部８１１と、平板部８１１の第２方向Ｘの両側の端部から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に折れ曲がった一対の連結部８１２とを有している。第２ヨーク８２は、第２磁石７２が固定された平板部８２１を有しており、平板部８２１の第３方向Ｙの中間部分には、第２方向Ｘの一方側Ｘ１および他方側Ｘ２に張り出した一対の張り出し部８２２を有している。図４に示すように、一対の張り出し部８２２には、第１ヨーク８１の一対の連結部８１２が溶接等の方法で連結される。 As shown in FIG. 3, the first yoke 81 includes a flat plate portion 811 to which the first magnet 71 is fixed, and a portion bent from both ends of the flat plate portion 811 in the second direction X to the other side Z2 in the first direction Z. A pair of connecting portions 812 are provided. The second yoke 82 has a flat plate part 821 to which the second magnet 72 is fixed, and an intermediate part of the flat plate part 821 in the third direction Y is provided with one side X1 and the other side X2 in the second direction X. It has a pair of protruding parts 822. As shown in FIG. 4, the pair of connecting parts 812 of the first yoke 81 are connected to the pair of projecting parts 822 by a method such as welding.

（支持体）
図１、図２および図３に示すように、支持体２において、ケース３は、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に位置する第１ケース部材３１と、第１方向Ｚの他方側Ｚ２で第１ケース部材３１と重なる第２ケース部材３２とを有する。第１ケース部材３１の第２方向Ｘの両側に設けられた一対の側板部３１１に、第２ケース部材３２の第２方向Ｘの両側に設けられた一対の側板部３２１が被さってケース３を構成する。その際、第１ケース部材３１と第２ケース部材３２との間には、コイルホルダ４、コイル５および可動体６が収容される。本形態において、ケース３は、第３方向Ｙの両端が開口部になっている。 (Support)
As shown in FIGS. 1, 2, and 3, in the support 2, the case 3 includes a first case member 31 located on one side Z1 in the first direction Z, and a first case member 31 located on the other side Z2 in the first direction Z. The first case member 31 has a second case member 32 overlapping with the first case member 31 . A pair of side plate parts 311 provided on both sides of the second direction X of the first case member 31 are covered by a pair of side plate parts 321 provided on both sides of the second case member 32 in the second direction X. Configure. At this time, the coil holder 4, the coil 5, and the movable body 6 are housed between the first case member 31 and the second case member 32. In this embodiment, the case 3 has openings at both ends in the third direction Y.

図３、図６に示すように、コイル５は、長円状に巻回された環状の平面形状を有する空芯コイルであり、コイルホルダ４に保持されている。コイル５は、第２方向Ｘで並列して第３方向Ｙに延在する２つの長辺部５１と、２つの長辺部５１の第３方向Ｙの両端を繋ぐ円弧状の２つの短辺部５２とを備えている。このように構成したコイル５に対して、長辺部５１には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１で第１磁石７１が対向し、第１方向Ｚの他方側Ｚ２で第２磁石７２が対向している。 As shown in FIGS. 3 and 6, the coil 5 is an air-core coil wound into an ellipse and having an annular planar shape, and is held by the coil holder 4. The coil 5 has two long sides 51 that are parallel in the second direction X and extend in the third direction Y, and two arc-shaped short sides that connect both ends of the two long sides 51 in the third direction Y. 52. With respect to the coil 5 configured in this manner, the first magnet 71 is opposed to the long side portion 51 on one side Z1 in the first direction Z, and the second magnet 72 is opposed on the other side Z2 in the first direction Z. are doing.

図３、図６に示すように、コイルホルダ４は、コイル５が内側に配置される長円状の貫通穴からなるコイル配置穴４１０が第１方向Ｚで開口する板部４１を有している。板部４１の第３方向Ｙの一方側Ｙ１の端部４１１において、第３方向Ｙの一方側Ｙ１の縁からは、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に向けて側板部４１３が突出し、第２方向Ｘの一方側Ｘ１の縁、および第２方向Ｘの他方側Ｘ２の縁からは、第１方向Ｚの一方側Ｚ１、および他方側Ｚ２に向けて側板部４１４、４１５が突出している。側板部４１４、４１５の内面には、第１方向Ｚに延在する溝状の凹部からなる保持部４１４ｓ、４１５ｓが形成されている。保持部４１４ｓ、４１５ｓは、板部４１に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１および他方側Ｚ２にそれぞれ形成されている。 As shown in FIGS. 3 and 6, the coil holder 4 has a plate portion 41 in which a coil placement hole 410, which is an oblong through hole in which the coil 5 is placed, opens in the first direction Z. There is. At the end portion 411 of the one side Y1 in the third direction Y of the plate portion 41, a side plate portion 413 protrudes from the edge of the one side Y1 in the third direction Y toward the one side Z1 in the first direction Z. From the edge of one side X1 in the direction X and the edge of the other side X2 in the second direction X, side plate parts 414 and 415 protrude toward one side Z1 and the other side Z2 in the first direction Z. Holding parts 414s and 415s, which are groove-shaped recesses extending in the first direction Z, are formed on the inner surfaces of the side plate parts 414 and 415. The holding parts 414s and 415s are formed on one side Z1 and the other side Z2 of the plate part 41 in the first direction Z, respectively.

板部４１の第３方向Ｙの他方側Ｙ２の端部４１２において、第３方向Ｙの他方側Ｙ２の縁、第２方向Ｘの一方側Ｘ１の縁、および第２方向Ｘの他方側Ｘ２の縁からは、第１方向Ｚの一方側Ｚ１、および他方側Ｚ２に向けて側板部４１７、４１８、４１９が突出している。側板部４１８、４１９の内面には、第１方向Ｚに延在する溝状の凹部からなる保持部４１８ｓ、４１９ｓが形成されている。保持部４１８ｓ、４１９ｓは、板部４１に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１および他方側Ｚ２にそれぞれ形成されている。 At the end 412 on the other side Y2 in the third direction Y of the plate part 41, the edge on the other side Y2 in the third direction Y, the edge on one side X1 in the second direction X, and the edge on the other side X2 in the second direction Side plate portions 417, 418, and 419 protrude from the edge toward one side Z1 and the other side Z2 in the first direction Z. Holding parts 418s and 419s, which are groove-shaped recesses extending in the first direction Z, are formed on the inner surfaces of the side plate parts 418 and 419. The holding parts 418s and 419s are formed on one side Z1 and the other side Z2 of the plate part 41 in the first direction Z, respectively.

（第１プレートおよび第２プレート）
支持体２は、コイル配置穴４１０および板部４１に第１方向Ｚの一方側Ｚ１から重なる第１プレート４７を有している。図２に示すように、コイル５の空芯部５０に充填された第１接着剤１７が硬化した接着剤層９によって、コイル５が第１プレート４７および板部４１に固定されている。従って、コイル５は、第１プレート４７を介して第１磁石７１と第１方向Ｚで対向している。 (1st plate and 2nd plate)
The support body 2 has a first plate 47 that overlaps the coil arrangement hole 410 and the plate portion 41 from one side Z1 in the first direction Z. As shown in FIG. 2, the coil 5 is fixed to the first plate 47 and the plate part 41 by an adhesive layer 9 in which the first adhesive 17 filled in the hollow core part 50 of the coil 5 is cured. Therefore, the coil 5 faces the first magnet 71 in the first direction Z with the first plate 47 interposed therebetween.

また、支持体２は、コイル配置穴４１０および板部４１に第１方向Ｚの他方側Ｚ２から重なる第２プレート４８を有している。図２に示すように、コイル５の空芯部５０に充填された第１接着剤１７が硬化した接着剤層９によって、コイル５が第２プレート４８に固定されている。従って、コイル５は、第２プレート４８を介して第２磁石７２と第１方向Ｚで対向している。 Further, the support body 2 has a second plate 48 that overlaps the coil arrangement hole 410 and the plate portion 41 from the other side Z2 in the first direction Z. As shown in FIG. 2, the coil 5 is fixed to the second plate 48 by an adhesive layer 9 in which the first adhesive 17 filled in the hollow core portion 50 of the coil 5 is cured. Therefore, the coil 5 faces the second magnet 72 in the first direction Z with the second plate 48 in between.

第１プレート４７および第２プレート４８は、非磁性材料からなる。本形態において、第１プレート４７および第２プレート４８は、金属板からなる。より具体的には、第１プレート４７および第２プレート４８は、非磁性のステンレンス板からなる。従って、第１磁石７１からの磁束、および第２磁石７２の磁束は、第１プレート４７および第２プレート４８の影響を受けずに、コイル５と鎖交する。また、コイル５で発生した熱を第１プレート４７および第２プレート４８を介して効率よく逃がすことができる。 The first plate 47 and the second plate 48 are made of non-magnetic material. In this embodiment, the first plate 47 and the second plate 48 are made of metal plates. More specifically, the first plate 47 and the second plate 48 are made of non-magnetic stainless steel plates. Therefore, the magnetic flux from the first magnet 71 and the magnetic flux from the second magnet 72 interlink with the coil 5 without being influenced by the first plate 47 and the second plate 48 . Moreover, the heat generated by the coil 5 can be efficiently released through the first plate 47 and the second plate 48.

図３に示すように、第１プレート４７は、第２方向Ｘの両側から第１方向Ｚの一方側Ｚ１に斜めに突出した爪状の凸部４７２を有しており、凸部４７２は、コイルホルダ４の側板部４１４、４１５、４１８、４１９に形成された溝状の凹部からなる保持部４１４ｓ、４１５ｓ、４１８ｓ、４１９ｓの内部に弾性をもって当接し、コイルホルダ４に保持される。同様に、第２プレート４８は、第２方向Ｘの両側から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に斜めに突出した爪状の凸部４８２を有しており、凸部４８２は、コイルホルダ４の保持部４１４ｓ、４１５ｓ、４１８ｓ、４１９ｓの内部に弾性をもって当接し、コイルホルダ４に保持されている。 As shown in FIG. 3, the first plate 47 has claw-shaped protrusions 472 that project obliquely from both sides in the second direction X to one side Z1 in the first direction Z. The coil holder 4 is held by elastically abutting the insides of holding parts 414s, 415s, 418s, and 419s, which are groove-shaped recesses formed in side plate parts 414, 415, 418, and 419 of the coil holder 4. Similarly, the second plate 48 has claw-shaped protrusions 482 that project obliquely from both sides in the second direction X to the other side Z2 in the first direction Z. The coil holders 414s, 415s, 418s, and 419s are held in elastic contact with the insides of the coil holders 4.

（接続体）
図２、図３、図４に示すように、可動体６は、可動体６と支持体２との間に設けられた接続体９１、９２によって第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに移動可能に支持される。本形態において、接続体９１は、第１ヨーク８１と第１プレート４７とが第１方向Ｚで対向する部分に配置される。接続体９２は、第２ヨーク８２と第２プレート４８とが第１方向Ｚで対向する部分に配置される。接続体９１は、第３方向Ｙにおいて離間する２個所に配置される。接続体９２は、第３方向Ｙにおいて離間する２個所に配置される。 (connection body)
As shown in FIGS. 2, 3, and 4, the movable body 6 is movable in the second direction X and the third direction Y by connecting bodies 91 and 92 provided between the movable body 6 and the support body 2. Supported by In this embodiment, the connecting body 91 is arranged at a portion where the first yoke 81 and the first plate 47 face each other in the first direction Z. The connecting body 92 is arranged at a portion where the second yoke 82 and the second plate 48 face each other in the first direction Z. The connecting bodies 91 are arranged at two locations separated from each other in the third direction Y. The connecting bodies 92 are arranged at two locations separated from each other in the third direction Y.

接続体９１、９２は粘弾性部材である。より具体的には、接続体９１、９２（粘弾性部材）は、シリコーンゲル等からなるゲル状部材である。本形態において、接続体９１、９２は、針入度が９０度から１１０度のシリコーンゲルからなる。接続体９１、９２と第１ヨーク８１や第２ヨーク８２との固定、および接続体９１、９２とコイルホルダ４との固定は、接着剤、粘着剤、あるいはシリコーンゲルの粘着性を利用して行われる。 The connecting bodies 91 and 92 are viscoelastic members. More specifically, the connecting bodies 91 and 92 (viscoelastic members) are gel-like members made of silicone gel or the like. In this embodiment, the connecting bodies 91 and 92 are made of silicone gel with a penetration degree of 90 degrees to 110 degrees. The connection bodies 91 and 92 are fixed to the first yoke 81 and the second yoke 82, and the connection bodies 91 and 92 are fixed to the coil holder 4 by using adhesive, adhesive, or silicone gel. It will be done.

なお、接続体９１、９２は、ゴムやバネ等を用いてもよい。ここで、粘弾性とは、粘性と弾性の両方を合わせた性質のことであり、ゲル状部材、プラスチック、ゴム等の高分子物質に顕著に見られる性質である。従って、粘弾性を備えた接続体９１、９２として、天然ゴム、ジエン系ゴム（例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム）、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等）、非ジエン系ゴム（例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等）、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム
材料及びそれらの変性材料を用いてもよい。 Note that the connecting bodies 91 and 92 may be made of rubber, a spring, or the like. Here, viscoelasticity refers to a property that combines both viscosity and elasticity, and is a property that is prominently observed in polymeric substances such as gel-like members, plastics, and rubber. Therefore, as the connecting bodies 91 and 92 having viscoelasticity, natural rubber, diene rubber (for example, styrene-butadiene rubber, isoprene rubber, butadiene rubber), chloroprene rubber, acrylonitrile-butadiene rubber, etc.), non-diene rubber ( For example, various rubber materials such as butyl rubber, ethylene propylene rubber, ethylene propylene diene rubber, urethane rubber, silicone rubber, fluororubber, etc.), thermoplastic elastomers, and modified materials thereof may be used.

（給電基板）
図１、図４、図５に示すように、アクチュエータ１では、コイルホルダ４に給電基板１０が保持されており、給電基板１０には、コイル５から引き出したコイル線５６、５７が半田１９により接続されている。本形態において、給電基板１０は剛性基板である。 (power supply board)
As shown in FIGS. 1, 4, and 5, in the actuator 1, a power supply board 10 is held in a coil holder 4, and coil wires 56 and 57 drawn out from the coil 5 are attached to the power supply board 10 by solder 19. It is connected. In this embodiment, the power supply board 10 is a rigid board.

図３に示すように、コイルホルダ４の第３方向Ｙの一方側Ｙ１の端部には、基板保持部４５が設けられている。基板保持部４５は、側板部４１４、４１５および板部４１の第３方向Ｙの一方側Ｙ１の端部４１１に囲まれた開口部４４を挟んで第２方向Ｘに対向するスリット４１４ｔ、４１５ｔを備える。図４に示すように、給電基板１０は、第２方向Ｘの両側の端部が各々、スリット４１４ｔ、４１５ｔの内側に嵌っている。本形態では、給電基板１０の端部をスリット４１４ｔ、４１５ｔに嵌めた後、さらに接着剤によってコイルホルダ４と給電基板１０とを固定し、給電基板１０の振動を抑制する構造になっている。 As shown in FIG. 3, a substrate holder 45 is provided at the end of the coil holder 4 on one side Y1 in the third direction Y. The substrate holding part 45 has slits 414t, 415t facing in the second direction Be prepared. As shown in FIG. 4, the ends of the power supply board 10 on both sides in the second direction X fit inside the slits 414t and 415t, respectively. In this embodiment, after the ends of the power supply board 10 are fitted into the slits 414t and 415t, the coil holder 4 and the power supply board 10 are further fixed with an adhesive, so that the vibration of the power supply board 10 is suppressed.

給電基板１０は、２つのランド１１ａ、１１ｂが第２方向Ｘで離間する位置に形成された第１板部１１と、第１板部１１の第２方向Ｘの両端から第１方向Ｚの一方側Ｚ１に突出した２つの第２板部１２、１３とを備えている。コイル線５６、５７は、半田１９によりランド１１ａ、１１ｂに接続される。第１板部１１の第１方向Ｚの端部には、給電基板１０に接続するために第１方向Ｚの他方側Ｚ２に曲げたコイル線５６、５７を保持する２つの凹部１４ａ、１４ｂ（図８、図９参照）が形成されている。 The power supply board 10 includes a first plate portion 11 in which two lands 11a and 11b are formed at positions spaced apart in the second direction X, and one side in the first direction Z from both ends of the first plate portion 11 in the second direction It includes two second plate parts 12 and 13 that protrude to the side Z1. Coil wires 56 and 57 are connected to lands 11a and 11b by solder 19. At the end of the first plate part 11 in the first direction Z, two recesses 14a and 14b ( 8 and 9) are formed.

（コイル線配置溝）
コイル線５６、５７は、コイルホルダ４の板部４１の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の面に形成された２本のコイル線配置溝４６（図６参照）を通ってコイル５から第３方向Ｙの一方側Ｙ１に引き出された後、第１方向Ｚの一方側Ｚ１から他方側Ｚ２に向けて延在し、給電基板１０のランド１１ａ、１１ｂに接続される。後述するように、コイル線５６、５７は、コイル線配置溝４６から給電基板１０のランド１１ａ、１１ｂまでの間で適度なたわみが付された形状となるように引き回される。 (Coil wire arrangement groove)
The coil wires 56 and 57 pass from the coil 5 to the third coil wire through two coil wire arrangement grooves 46 (see FIG. 6) formed on the other side Z2 surface in the first direction Z of the plate portion 41 of the coil holder 4. After being pulled out to one side Y1 in the direction Y, it extends from the one side Z1 to the other side Z2 in the first direction Z, and is connected to the lands 11a and 11b of the power supply board 10. As will be described later, the coil wires 56 and 57 are routed so as to be appropriately bent between the coil wire arrangement groove 46 and the lands 11a and 11b of the power supply board 10.

図３、図６に示すように、コイルホルダ４の板部４１の第３方向Ｙの一方側Ｙ１の端部４１１における第２方向Ｘの中央には、給電基板１０の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の縁を受ける当接部４２が形成されている。図４、図５に示すように、給電基板１０は、第１板部１１の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の縁が当接部４２に当接する位置まで挿入される。 As shown in FIGS. 3 and 6, in the center of the second direction A contact portion 42 is formed to receive the edge of side Z1. As shown in FIGS. 4 and 5, the power supply board 10 is inserted to a position where the edge of the first plate part 11 on one side Z1 in the first direction Z contacts the contact part 42. As shown in FIGS.

図６に示すように、コイル線配置溝４６は、２本のコイル線５６、５７のうち、一方のコイル線５６が配置される第１溝４６ａと、他方のコイル線５７が配置される第２溝４６ｂを備える。第１溝４６ａおよび第２溝４６ｂは、いずれも、当接部４２の第３方向Ｙの一方側Ｙ１の端部まで延びている。第１溝４６ａおよび第２溝４６ｂの第３方向Ｙの一方側Ｙ１の端部には、それぞれ、各溝の底部から第１方向Ｚの他方側Ｚ２へ突出する壁部４３が形成されている。 As shown in FIG. 6, the coil wire arrangement groove 46 includes a first groove 46a in which one of the two coil wires 56 and 57 is arranged, and a first groove 46a in which the other coil wire 57 is arranged. Two grooves 46b are provided. The first groove 46a and the second groove 46b both extend to the end of the contact portion 42 on one side Y1 in the third direction Y. A wall portion 43 that protrudes from the bottom of each groove toward the other side Z2 in the first direction Z is formed at the end of the first groove 46a and the second groove 46b on one side Y1 in the third direction Y, respectively. .

本形態では、図６に示すように、コイル線５７は、コイル５の厚さ方向の一方端（第１方向Ｚの一方側Ｚ１の端部）から引き出されている。また、コイル線５６は、コイル５の厚さ方向の他方端（第１方向Ｚの他方側Ｚ２の端部）から引き出されている。すなわち、コイル５からコイル線５７が引き出される引き出し位置は、コイル５からコイル線５６が引き出される引き出し位置に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１に位置している。 In this embodiment, as shown in FIG. 6, the coil wire 57 is drawn out from one end of the coil 5 in the thickness direction (the end on one side Z1 in the first direction Z). Further, the coil wire 56 is drawn out from the other end of the coil 5 in the thickness direction (the end on the other side Z2 in the first direction Z). That is, the pull-out position where the coil wire 57 is pulled out from the coil 5 is located on one side Z1 in the first direction Z with respect to the pull-out position where the coil wire 56 is pulled out from the coil 5.

（アクチュエータ１の製造方法）
図７は、コイルホルダ４のコイル配置穴４１０にコイル５を配置した状態を示す斜視図
である。図８は、給電基板１０を基板保持部４５に途中位置１０Ａまで挿入した状態を示す斜視図である。図９は、給電基板１０にコイル線５７、５６を接続した状態を示す部分拡大斜視図である。図１０は、給電基板１０を保持位置１０Ｂまで挿入してコイル線５６、５７にたわみ部形成した状態を示す部分拡大斜視図である。 (Method of manufacturing actuator 1)
FIG. 7 is a perspective view showing a state in which the coil 5 is placed in the coil placement hole 410 of the coil holder 4. FIG. 8 is a perspective view showing a state in which the power supply board 10 is inserted into the board holder 45 up to the halfway position 10A. FIG. 9 is a partially enlarged perspective view showing a state in which the coil wires 57 and 56 are connected to the power supply board 10. FIG. 10 is a partially enlarged perspective view showing a state in which the power supply board 10 is inserted to the holding position 10B and bends are formed in the coil wires 56 and 57.

アクチュエータ１を製造する際、まず、図６に示すように、コイルホルダ４のコイル配置穴４１０および板部４１に第１方向Ｚの一方側Ｚ１から重なるように第１プレート４７を配置する。その際、第１プレート４７の凸部４７２（図３参照）を側板部４１４、４１５、４１８、４１９の保持部４１４ｓ、４１５ｓ、４１８ｓ、４１９ｓに差し込み、係合させる。その結果、第１プレート４７は、コイル配置穴４１０を第１方向Ｚの一方側Ｚ１から塞いだ状態でコイルホルダ４に保持される。 When manufacturing the actuator 1, first, as shown in FIG. 6, the first plate 47 is placed so as to overlap the coil placement hole 410 and the plate portion 41 of the coil holder 4 from one side Z1 in the first direction Z. At that time, the convex portions 472 (see FIG. 3) of the first plate 47 are inserted into and engaged with the holding portions 414s, 415s, 418s, and 419s of the side plate portions 414, 415, 418, and 419. As a result, the first plate 47 is held by the coil holder 4 in a state where the coil arrangement hole 410 is closed from one side Z1 in the first direction Z.

次に、図７に示すように、コイル５をコイル配置穴４１０に配置する。このとき、コイル線５６、５７をコイルホルダ４の板部４１に形成されたコイル線配置溝４６に配置する。より詳細には、コイル線５６を第１溝４６ａに配置し、コイル線５７を第２溝４６ｂに配置する。 Next, as shown in FIG. 7, the coil 5 is placed in the coil placement hole 410. At this time, the coil wires 56 and 57 are placed in the coil wire placement groove 46 formed in the plate portion 41 of the coil holder 4. More specifically, the coil wire 56 is placed in the first groove 46a, and the coil wire 57 is placed in the second groove 46b.

続いて、図８に示すように、コイルホルダ４の第３方向Ｙの一方側Ｙ１の端部に設けられた基板保持部４５に給電基板１０を装着する。本形態では、第１方向Ｚの他方側Ｚ２からコイルホルダ４のスリット４１４ｔ、４１５ｔに給電基板１０の第２方向Ｘの両端部を嵌める。そのとき、給電基板１０の第１板部１１とコイルホルダ４の当接部４２に当接するまでの途中位置１０Ａで給電基板１０の挿入を止める。途中位置１０Ａでは、給電基板１０の第１板部１１は当接部４２から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に離れた位置にある。 Subsequently, as shown in FIG. 8, the power supply board 10 is attached to the board holder 45 provided at the end of the coil holder 4 on one side Y1 in the third direction Y. In this embodiment, both ends of the power supply board 10 in the second direction X are fitted into the slits 414t, 415t of the coil holder 4 from the other side Z2 in the first direction Z. At this time, the insertion of the power supply board 10 is stopped at a halfway position 10A until the first plate part 11 of the power supply board 10 contacts the contact part 42 of the coil holder 4. At the intermediate position 10A, the first plate portion 11 of the power supply board 10 is located away from the contact portion 42 to the other side Z2 in the first direction Z.

次に、図９に示すように、給電基板１０の挿入を止めた状態で、コイル線５６、５７の端部を、コイル線配置溝４６から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に引き回して給電基板１０のランド１１ａ、１１ｂに半田１９により接続する。コイル線５６、５７を給電基板１０に接続した後、コイル線５６、５７の先端側の余剰部分を切断し、除去する。 Next, as shown in FIG. 9, with the insertion of the power supply board 10 stopped, the ends of the coil wires 56 and 57 are routed from the coil wire arrangement groove 46 to the other side Z2 in the first direction Z, and the power supply board It is connected to lands 11a and 11b of No. 10 by solder 19. After connecting the coil wires 56 and 57 to the power supply board 10, the excess portions on the tip sides of the coil wires 56 and 57 are cut and removed.

しかる後に、図１０に示すように、給電基板１０の第１板部１１が当接部４２に第１方向Ｚの他方側Ｚ２から当接するまで給電基板１０を押し込む。これにより、給電基板１０は、途中位置１０Ａに対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１に移動した保持位置１０Ｂに位置決めされる。本形態では、接着剤によってコイルホルダ４に給電基板１０を固定し、給電基板１０を保持位置１０Ｂに保持する。 Thereafter, as shown in FIG. 10, the power supply board 10 is pushed until the first plate part 11 of the power supply board 10 contacts the contact part 42 from the other side Z2 in the first direction Z. Thereby, the power supply board 10 is positioned at the holding position 10B, which is moved to one side Z1 in the first direction Z with respect to the intermediate position 10A. In this embodiment, the power supply board 10 is fixed to the coil holder 4 with adhesive, and the power supply board 10 is held at the holding position 10B.

給電基板１０を保持位置１０Ｂまで押し込むと、図１０に示すように、コイル線５６、５７には、コイル線配置溝４６から給電基板１０のランド１１ａ、１１ｂまでの間に適度なたわみが付される。給電基板１０には、ランド１１ａ、１１ｂとコイル線配置溝４６との間の位置に第２接着剤１８が付される。本形態では、第２接着剤１８は、ＵＶ硬化性接着剤である。第２接着剤１８を硬化させると、コイル線５６、５７のたわみ部は、第２接着剤１８に保持される。 When the power supply board 10 is pushed to the holding position 10B, as shown in FIG. Ru. A second adhesive 18 is applied to the power supply board 10 at a position between the lands 11a, 11b and the coil wire arrangement groove 46. In this embodiment, the second adhesive 18 is a UV curable adhesive. When the second adhesive 18 is cured, the flexible portions of the coil wires 56 and 57 are held by the second adhesive 18.

図１１は、コイル線５７の位置でアクチュエータ１を切断した部分断面図である。図１１に示すように、コイル線５６、５７のそれぞれは、コイル線配置溝４６に配置されて給電基板１０に向かって延びている第１部分５０１と、給電基板１０のランド１１ａ、１１ｂに半田付けされている第２部分５０２と、第１部分５０１と第２部分５０２とを接続する第３部分５０３を備える。コイル線５６、５７のたわみは、第３部分５０３に設けられ、第３部分５０３には、上記のように第２接着剤１８が付されている。 FIG. 11 is a partial cross-sectional view of the actuator 1 taken at the position of the coil wire 57. As shown in FIG. 11, each of the coil wires 56 and 57 is soldered to a first portion 501 disposed in the coil wire arrangement groove 46 and extending toward the power supply board 10, and to lands 11a and 11b of the power supply board 10. The second part 502 is attached to the second part 502, and the third part 503 connects the first part 501 and the second part 502. The bends of the coil wires 56, 57 are provided in the third portion 503, and the second adhesive 18 is applied to the third portion 503 as described above.

図１０に示すように、給電基板１０を保持位置１０Ｂに装着し、第２接着剤１８を塗布
した後、コイル５の空芯部５０に第１接着剤１７を充填する。そして、図５、図１１に示すように、コイルホルダ４のコイル配置穴４１０および板部４１に第１方向Ｚの他方側Ｚ２から重なるように第２プレート４８を配置する。このとき、図１１に示すように、過剰な第１接着剤１７は、コイル５と第１プレート４７との隙間、および、コイル５と第２プレート４８との隙間からコイル５の外周側に流れ込む。そして、コイル配置穴４１０から板部４１の表面に形成された凹部に流れ込む。また、コイル配置穴４１０から第３方向Ｙの一方側Ｙ１に延びる第１溝４６ａおよび第２溝４６ｂ（コイル線配置溝４６）に流れ込む。従って、第１溝４６ａ内に配置されるコイル線５６の第１部分５０１、および、第２溝４６ｂ内に配置されるコイル線５７の第１部分５０１は、それぞれ、第１接着剤１７によって保持される。 As shown in FIG. 10, after the power supply board 10 is mounted at the holding position 10B and the second adhesive 18 is applied, the first adhesive 17 is filled into the hollow core portion 50 of the coil 5. Then, as shown in FIGS. 5 and 11, the second plate 48 is placed so as to overlap the coil placement hole 410 of the coil holder 4 and the plate portion 41 from the other side Z2 in the first direction Z. At this time, as shown in FIG. 11, the excess first adhesive 17 flows into the outer circumferential side of the coil 5 through the gap between the coil 5 and the first plate 47 and the gap between the coil 5 and the second plate 48. . Then, it flows from the coil placement hole 410 into the recess formed on the surface of the plate portion 41 . Further, it flows into the first groove 46a and second groove 46b (coil wire placement groove 46) extending from the coil placement hole 410 to one side Y1 in the third direction Y. Therefore, the first portion 501 of the coil wire 56 disposed in the first groove 46a and the first portion 501 of the coil wire 57 disposed in the second groove 46b are each held by the first adhesive 17. be done.

本形態では、コイル線配置溝４６の底部に、基板保持部４５側（すなわち、第３方向Ｙの一方側Ｙ１）へ第１接着剤１７が流れることを規制する規制部が設けられている。図６、図１１に示すように、規制部は、コイル線配置溝４６の底部から突出する壁部４３である。壁部４３を設けたことにより、コイル線配置溝４６から第１接着剤１７がはみ出して給電基板１０の第１板部１１に付着することが抑制される。また、上記のように、第１板部１１に沿って引き回されている第３部分５０３には、すでに第２接着剤１８が付着しているので、コイル線５６、５７の第３部分５０３に第１接着剤１７が付着することはない。 In this embodiment, a regulating section is provided at the bottom of the coil wire arrangement groove 46 to regulate the flow of the first adhesive 17 toward the substrate holding section 45 side (that is, one side Y1 in the third direction Y). As shown in FIGS. 6 and 11, the restriction portion is a wall portion 43 protruding from the bottom of the coil wire arrangement groove 46. As shown in FIGS. By providing the wall portion 43, the first adhesive 17 is prevented from protruding from the coil wire arrangement groove 46 and adhering to the first plate portion 11 of the power supply board 10. Further, as described above, since the second adhesive 18 is already attached to the third portion 503 that is routed along the first plate portion 11, the third portion 503 of the coil wires 56 and 57 The first adhesive 17 will not adhere to.

本形態では、第１接着剤１７は、熱硬化性接着剤である。第１接着剤１７が硬化すると、第１プレート４７と第２プレート４８との間に、第１接着剤１７が硬化した接着剤層９が形成される。コイル５は、接着剤層９によって、第１プレート４７、第２プレート４８、およびコイルホルダ４の板部４１に固定される。また、第１プレート４７および第２プレート４８は、それぞれ、接着剤層９によってコイルホルダ４の板部４１に固定される。また、コイル線配置溝４６内に流入した第１接着剤１７が硬化してコイル線５６、５７が保持される。 In this embodiment, the first adhesive 17 is a thermosetting adhesive. When the first adhesive 17 is cured, an adhesive layer 9 in which the first adhesive 17 is cured is formed between the first plate 47 and the second plate 48 . The coil 5 is fixed to the first plate 47 , the second plate 48 , and the plate portion 41 of the coil holder 4 by an adhesive layer 9 . Further, the first plate 47 and the second plate 48 are each fixed to the plate portion 41 of the coil holder 4 by an adhesive layer 9. Further, the first adhesive 17 that has flowed into the coil wire arrangement groove 46 is cured, and the coil wires 56 and 57 are held.

次に、第１プレート４７に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１に、第１磁石７１が固定された第１ヨーク８１を配置する一方、第２プレート４８に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２に、第２磁石７２が固定された第２ヨーク８２を配置し、第１ヨーク８１の連結部８１２の先端部を第２ヨーク８２の張り出し部８２２に溶接等の方法で連結する。これにより、図４に示すように可動体６が組み立てられる。 Next, the first yoke 81 to which the first magnet 71 is fixed is placed on one side Z1 in the first direction Z with respect to the first plate 47, while the first yoke 81 with the first magnet 71 fixed thereon is placed on the other side Z1 in the first direction Z with respect to the second plate 48. The second yoke 82 to which the second magnet 72 is fixed is arranged on the side Z2, and the tip of the connecting portion 812 of the first yoke 81 is connected to the projecting portion 822 of the second yoke 82 by a method such as welding. Thereby, the movable body 6 is assembled as shown in FIG.

その後、第１ヨーク８１の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の面において第３方向Ｙで離間する２箇所に接続体９１を接着する一方、第２ヨーク８２の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の面において第３方向Ｙで離間する２箇所に接続体９２を接着する（図４参照）。そして、コイルホルダ４および可動体６を第１方向Ｚの一方側Ｚ１から覆うように第１ケース部材３１を重ねた後、コイルホルダ４および可動体６を第１方向Ｚの他方側Ｚ２から覆うように第２ケース部材３２を重ねて結合させることにより、ケース３を組み立てる。その際、接続体９１を第１ケース部材３１に接着し、接続体９２を第２ケース部材３２に接着して、可動体６と支持体２とを接続する。これにより、図１示すアクチュエータ１が完成する。 After that, the connecting body 91 is bonded to two places spaced apart in the third direction Y on the surface of the first yoke 81 on one side Z1 in the first direction Z, while the connecting body 91 is glued on the surface of the second yoke 82 on the other side Z2 in the first direction Z. Connecting bodies 92 are bonded to two locations on the surface that are spaced apart in the third direction Y (see FIG. 4). Then, the first case member 31 is stacked so as to cover the coil holder 4 and the movable body 6 from one side Z1 in the first direction Z, and then the coil holder 4 and the movable body 6 are covered from the other side Z2 in the first direction Z. The case 3 is assembled by overlapping and connecting the second case members 32 as shown in FIG. At that time, the connecting body 91 is adhered to the first case member 31, the connecting body 92 is adhered to the second case member 32, and the movable body 6 and the support body 2 are connected. As a result, the actuator 1 shown in FIG. 1 is completed.

（アクチュエータの動作）
アクチュエータ１は、給電基板１０を介して外部（上位の機器）からコイル５に給電すると、コイル５、第１磁石７１および第２磁石７２を備えた磁気駆動機構１ａによって、可動体６が第２方向Ｘに往復移動する。従って、アクチュエータ１を手に持っていた利用者は、アクチュエータ１からの振動によって情報を得ることができる。その際、コイル５に印加される信号波形については、伝達すべき情報によって、周波数を変化させる。また、コイル５に印加される信号波形については極性を反転させるが、その際、駆動信号の極
性が負の期間と正の期間とにおいて電圧の変化に対して緩急の差を設ける。その結果、可動体６が第２方向Ｘの一方側Ｘ１に移動する際の加速度と可動体６が第２方向Ｘの他方側Ｘ２に移動する際の加速度との間に差が発生する。従って、利用者に対して、アクチュエータ１が第２方向Ｘの一方側Ｘ１あるいは他方側Ｘ２に移動するような錯覚を感じさせることができる。 (Actuator operation)
In the actuator 1, when power is supplied to the coil 5 from the outside (upper device) via the power supply board 10, the movable body 6 is moved to the second Move back and forth in direction X. Therefore, the user holding the actuator 1 in his/her hand can obtain information from the vibrations from the actuator 1. At this time, the frequency of the signal waveform applied to the coil 5 is changed depending on the information to be transmitted. Further, the polarity of the signal waveform applied to the coil 5 is reversed, and at this time, a difference in speed is provided for voltage change between a period in which the polarity of the drive signal is negative and a period in which the polarity is positive. As a result, a difference occurs between the acceleration when the movable body 6 moves to one side X1 in the second direction X and the acceleration when the movable body 6 moves to the other side X2 in the second direction X. Therefore, the user can be given the illusion that the actuator 1 is moving to one side X1 or the other side X2 in the second direction X.

アクチュエータ１においては、可動体６と支持体２との間に粘弾性部材からなる接続体９１、９２が設けられているため、可動体６が共振することを抑制することができる。 In the actuator 1, since the connecting bodies 91 and 92 made of a viscoelastic member are provided between the movable body 6 and the support body 2, resonance of the movable body 6 can be suppressed.

また、接続体９１、９２は、支持体２と可動体６とにおいて第２方向Ｘ（振動方向）に対して交差する第１方向Ｚで対向する位置に設けられているため、可動体６が第２方向Ｘに振動した際、そのせん断方向に変形して共振を防止する。このため、可動体６が第２方向Ｘに振動しても、接続体９１、９２の弾性率の変化が小さいので、可動体６の共振を効果的に抑制することができる。 Furthermore, since the connecting bodies 91 and 92 are provided at positions facing the support body 2 and the movable body 6 in the first direction Z intersecting the second direction X (vibration direction), the movable body 6 When vibrating in the second direction X, it deforms in the shearing direction to prevent resonance. Therefore, even if the movable body 6 vibrates in the second direction X, the change in the elastic modulus of the connecting bodies 91 and 92 is small, so resonance of the movable body 6 can be effectively suppressed.

また、接続体９１、９２は、支持体２と可動体６との間で第１方向Ｚに圧縮された状態にある。従って、接続体９１、９２は、可動体６の移動に確実に追従するので、可動体６の共振を効果的に防止することができる。 Further, the connecting bodies 91 and 92 are in a state of being compressed in the first direction Z between the support body 2 and the movable body 6. Therefore, since the connecting bodies 91 and 92 reliably follow the movement of the movable body 6, resonance of the movable body 6 can be effectively prevented.

（本形態の主な作用効果）
以上のように、本形態のアクチュエータ１は、可動体６および支持体２と、可動体６と支持体２を接続する接続体９１、９２と、可動体６および支持体２のうちの一方側部材（本形態では、支持体２）に設けられたコイル５、およびコイル５に対して可動体６の振動方向と交差する方向で対向して可動体６および支持体２のうちの他方側部材（本形態では、可動体６）に設けられた磁石７を備える磁気駆動機構１ａと、コイル５に給電する給電基板１０と、を有する。一方側部材（支持体２）は、コイル配置穴４１０が設けられた板部４１、および、板部４１の端部に配置される基板保持部４５を備えたコイルホルダ４を有し、板部４１は、コイル配置穴４１０から基板保持部４５まで延びるコイル線配置溝４６を備える。コイル５から引き出されたコイル線５６、５７は、コイル線配置溝４６に配置される第１部分５０１と、給電基板１０に設けられたランド１１ａ、１１ｂに半田付けされる第２部分５０２と、第１部分５０１と第２部分５０２とを接続する第３部分５０３と、を備える。コイル線配置溝４６には、第１部分５０１を保持する第１接着剤１７が配置され、給電基板１０には、第３部分５０３を保持する第２接着剤１８が配置され、第２接着剤１８は、第１接着剤１７とは異なる接着剤である。 (Main effects of this form)
As described above, the actuator 1 of the present embodiment includes the movable body 6 and the support body 2, the connecting bodies 91 and 92 that connect the movable body 6 and the support body 2, and one side of the movable body 6 and the support body 2. A coil 5 provided on a member (support 2 in this embodiment), and the other member of the movable body 6 and the support 2 facing the coil 5 in a direction intersecting the vibration direction of the movable body 6. It has a magnetic drive mechanism 1a including a magnet 7 provided on a movable body 6 (in this embodiment), and a power supply board 10 that supplies power to the coil 5. One side member (support body 2) has a coil holder 4 equipped with a plate part 41 provided with a coil arrangement hole 410 and a substrate holding part 45 arranged at an end of the plate part 41. 41 includes a coil wire arrangement groove 46 extending from the coil arrangement hole 410 to the substrate holding part 45. The coil wires 56 and 57 pulled out from the coil 5 have a first portion 501 arranged in the coil wire arrangement groove 46, a second portion 502 soldered to the lands 11a and 11b provided on the power supply board 10, A third portion 503 connecting the first portion 501 and the second portion 502 is provided. A first adhesive 17 that holds the first portion 501 is placed in the coil wire placement groove 46, a second adhesive 18 that holds the third portion 503 is placed on the power supply board 10, and the second adhesive 17 holds the third portion 503. 18 is an adhesive different from the first adhesive 17.

本形態では、このように、コイル５を固定するための第１接着剤１７と、給電基板１０にコイル線５６、５７を固定する第２接着剤１８が異なる接着剤であり、２種類の接着剤を使い分けている。予め、給電基板１０に第２接着剤１８を塗布してコイル線５６、５７を保持させておくことで、コイル固定用の第１接着剤１７が半田１９の側へ拡がることを規制できる。コイル線５６、５７を半田付けした個所は、銅食われによってコイル線５６、５７が細くなるため、この箇所に応力が集中すると断線しやすい。第１接着剤１７がコイル線５６、５７の第３部分５０３まで拡がって第３部分５０３を固定してしまうと、銅食われによってコイル線５６、５７が細くなった箇所（半田１９の近傍）に応力が集中しやすくなってしまう。本形態では、第３部分５０３を保持する第２接着剤１８を備えているので、意図しない範囲まで拡がった第１接着剤１７によってコイル線５６、５７に加わる応力を緩和できなくなるおそれが少ない。 In this embodiment, the first adhesive 17 for fixing the coil 5 and the second adhesive 18 for fixing the coil wires 56 and 57 to the power supply board 10 are different adhesives, and two types of adhesives are used. Different drugs are used. By applying the second adhesive 18 to the power supply board 10 in advance to hold the coil wires 56 and 57, it is possible to prevent the first adhesive 17 for fixing the coils from spreading toward the solder 19 side. Since the coil wires 56 and 57 become thinner at the locations where the coil wires 56 and 57 are soldered due to copper corrosion, they are likely to break if stress is concentrated at these locations. When the first adhesive 17 spreads to the third portion 503 of the coil wires 56, 57 and fixes the third portion 503, the coil wires 56, 57 become thin due to copper corrosion (near the solder 19). Stress tends to concentrate on the In this embodiment, since the second adhesive 18 that holds the third portion 503 is provided, there is little possibility that stress applied to the coil wires 56 and 57 cannot be alleviated due to the first adhesive 17 spreading to an unintended area.

本形態では、第２接着剤１８として、第１接着剤１７よりも柔らかい接着剤を用いているため、コイルホルダ４から給電基板１０へ引き回したコイル線５６、５７の第３部分５０３が柔らかい第２接着剤１８で保持される。また、第３部分５０３は、たわんだ形状に
引き回されている。従って、第３部分５０３が変形しやすく、第１方向Ｚに伸縮可能であるため、コイル線５６、５７に加わる応力を緩和できる。例えば、温度変化が発生した際、コイル線５６、５７と周辺部材との間に熱膨張係数の差に起因してコイル線５６、５７が引っ張られる等の事態が発生しても、コイル線５６、５７が断線しにくい。それ故、アクチュエータ１の使用温度範囲を拡大することができる。また、落下時の衝撃が加わった場合にも、コイル線５６、５７が断線しにくい。従って、耐衝撃性を高めることができる。 In this embodiment, since an adhesive that is softer than the first adhesive 17 is used as the second adhesive 18, the third portions 503 of the coil wires 56 and 57 routed from the coil holder 4 to the power supply board 10 are softer than the first adhesive 17. 2 is held with adhesive 18. Further, the third portion 503 is routed in a bent shape. Therefore, since the third portion 503 is easily deformable and can be expanded and contracted in the first direction Z, the stress applied to the coil wires 56 and 57 can be alleviated. For example, even if a situation such as the coil wires 56, 57 being pulled due to the difference in thermal expansion coefficient between the coil wires 56, 57 and surrounding members occurs when a temperature change occurs, the coil wires 56, 57 , 57 is less likely to break. Therefore, the operating temperature range of the actuator 1 can be expanded. Furthermore, the coil wires 56 and 57 are less likely to be disconnected even if a shock is applied during a fall. Therefore, impact resistance can be improved.

例えば、本形態では、第１接着剤１７は、熱硬化性接着剤であり、第２接着剤１８は、ＵＶ硬化性接着剤である。このようにすると、第２接着剤１８の硬化時間を短くすることができる。また、コイル５の固定強度を高めることができる。 For example, in this embodiment, the first adhesive 17 is a thermosetting adhesive, and the second adhesive 18 is a UV curable adhesive. In this way, the curing time of the second adhesive 18 can be shortened. Moreover, the fixing strength of the coil 5 can be increased.

本形態では、コイル線配置溝４６は、基板保持部４５側へ第１接着剤１７が流れることを規制する規制部として機能する壁部４３を備える。従って、コイル固定用の第１接着剤１７が壁部４３の位置で止まるため、コイル５固定用の第１接着剤１７がコイル線配置溝４６からはみ出して給電基板１０に付着することを防止できる。従って、第１接着剤１７が意図しない範囲まで拡がることを防止できる。 In this embodiment, the coil wire arrangement groove 46 includes a wall portion 43 that functions as a restriction portion that restricts the flow of the first adhesive 17 toward the substrate holding portion 45 side. Therefore, since the first adhesive 17 for fixing the coil stops at the position of the wall 43, it is possible to prevent the first adhesive 17 for fixing the coil 5 from protruding from the coil wire arrangement groove 46 and adhering to the power supply board 10. . Therefore, it is possible to prevent the first adhesive 17 from spreading to an unintended area.

なお、規制部は、壁部４３以外の形状でもよい。例えば、段差部でもよい。また、本形態では、コイル線配置溝４６の基板保持部４５側の先端（第３方向の一方側Ｙ１の先端）に壁部４３を形成しているが、規制部の位置は、本形態と異なっていてもよい。例えば、コイル線配置溝４６の第３方向Ｙの途中位置に規制部を設けてもよい。 Note that the regulating portion may have a shape other than the wall portion 43. For example, it may be a stepped portion. Further, in this embodiment, the wall portion 43 is formed at the tip of the coil wire arrangement groove 46 on the substrate holding portion 45 side (the tip on one side Y1 in the third direction), but the position of the regulating portion is different from that in this embodiment. May be different. For example, a regulating portion may be provided in the middle of the coil wire arrangement groove 46 in the third direction Y.

（変形例）
上記形態では、コイル線配置溝４６は、コイル５の厚さ方向の一方端から引き出されたコイル線５６が配置される第１溝４６ａの深さと、コイル５の厚さ方向の他方端から引き出されたコイル線５７が配置される第２溝４６ｂの深さが同一であったが、第１溝４６ａの深さと第２溝４６ｂの深さが異なる形態を採用することもできる。 (Modified example)
In the above embodiment, the coil wire arrangement groove 46 has the depth of the first groove 46a in which the coil wire 56 drawn out from one end of the coil 5 in the thickness direction is arranged, and the depth of the coil wire 56 drawn out from the other end of the coil 5 in the thickness direction. Although the depth of the second groove 46b in which the coil wire 57 is disposed is the same, it is also possible to adopt a configuration in which the depth of the first groove 46a and the depth of the second groove 46b are different.

図１２は、変形例のコイル線配置溝の断面図である。上記形態では、第１溝４６ａと第２溝４６ｂは、第１方向Ｚの一方側に凹んでいる。従って、図１２に示すように、コイル５の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の端部から引き出されるコイル線５７が配置される第２溝４６ｂの深さを、コイル５の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の端部から引き出されるコイル線５６が配置される第１溝４６ａの深さよりも深くすることが好ましい。このようにすると、各溝が、コイル線５６、５７の引き出し位置に合わせた深さになる。従って、コイル線配置溝４６の底部にコイル線５６、５７を配置しやすい。 FIG. 12 is a sectional view of a coil wire arrangement groove in a modified example. In the above embodiment, the first groove 46a and the second groove 46b are recessed on one side in the first direction Z. Therefore, as shown in FIG. 12, the depth of the second groove 46b in which the coil wire 57 drawn out from the end of the coil 5 on the first side Z1 in the first direction Z is It is preferable to make the depth deeper than the first groove 46a in which the coil wire 56 drawn out from the end of the other side Z2 is arranged. In this way, each groove has a depth that matches the drawn-out position of the coil wires 56 and 57. Therefore, it is easy to arrange the coil wires 56 and 57 at the bottom of the coil wire arrangement groove 46.

１…アクチュエータ、１ａ…磁気駆動機構、２…支持体、３…ケース、４…コイルホルダ、５…コイル、６…可動体、７…磁石、８…ヨーク、９…接着剤層、１０…給電基板、１０Ａ…途中位置、１０Ｂ…保持位置、１１ａ、１１ｂ…ランド、１１…第１板部、１２、１３…第２板部、１４ａ、１４ｂ…凹部、１７…第１接着剤、１８…第２接着剤、１９…半田、３１…第１ケース部材、３２…第２ケース部材、４１…板部、４２…当接部、４３…壁部、４４…開口部、４５…基板保持部、４６…コイル線配置溝、４６ａ…第１溝、４６ｂ…第２溝、４７…第１プレート、４８…第２プレート、５０…空芯部、５１…長辺部、５２…短辺部、５６、５７…コイル線、７１…第１磁石、７２…第２磁石、８１…第１ヨーク、８２…第２ヨーク、９１、９２…接続体、３１１、３２１…側板部、４１０…コイル配置穴、４１１…端部、４１２…端部、４１３、４１４、４１５、４１７、４１８、４１９…側板部、４１４ｔ、４１５ｔ…スリット、４１４ｓ、４１５ｓ、４１８ｓ、４１９ｓ…保持部、４７２、４８２…凸部、５０１…第１部分、５０２…第２部分、５０３…
第３部分、８１１…平板部、８１２…連結部、８２１…平板部、８２２…張り出し部、Ｘ…第２方向、Ｙ…第３方向、Ｚ…第１方向 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Actuator, 1a... Magnetic drive mechanism, 2... Support body, 3... Case, 4... Coil holder, 5... Coil, 6... Movable body, 7... Magnet, 8... Yoke, 9... Adhesive layer, 10... Power supply Substrate, 10A...midway position, 10B...holding position, 11a, 11b...land, 11...first plate part, 12, 13...second plate part, 14a, 14b...recessed part, 17...first adhesive, 18...th 2 Adhesive, 19... Solder, 31... First case member, 32... Second case member, 41... Plate part, 42... Contact part, 43... Wall part, 44... Opening part, 45... Board holding part, 46 ...Coil wire arrangement groove, 46a...First groove, 46b...Second groove, 47...First plate, 48...Second plate, 50...Air core part, 51...Long side part, 52...Short side part, 56, 57... Coil wire, 71... First magnet, 72... Second magnet, 81... First yoke, 82... Second yoke, 91, 92... Connection body, 311, 321... Side plate portion, 410... Coil placement hole, 411 ...End part, 412... End part, 413, 414, 415, 417, 418, 419... Side plate part, 414t, 415t... Slit, 414s, 415s, 418s, 419s... Holding part, 472, 482... Convex part, 501... First part, 502... Second part, 503...
Third portion, 811... Flat plate part, 812... Connecting part, 821... Flat plate part, 822... Overhanging part, X... Second direction, Y... Third direction, Z... First direction

Claims

a movable body and a support;
a connecting body that connects the movable body and the support body;
A coil provided on one side member of the movable body and the support body, and a coil provided on the other side of the movable body and the support body, facing the coil in a direction intersecting the vibration direction of the movable body. a magnetic drive mechanism including a magnet provided on a side member;
a power supply board that supplies power to the coil;
The one side member has a plate portion provided with a coil placement hole, and a coil holder including a substrate holding portion disposed at an end of the plate portion,
The plate portion includes a coil wire placement groove extending from the coil placement hole to the substrate holding portion,
The coil wire pulled out from the coil has a first portion disposed in the coil wire arrangement groove, a second portion soldered to a land provided on the power supply board, and the first portion and the second portion. a third part connecting the parts;
A first adhesive that holds the first portion is disposed in the coil wire arrangement groove,
A second adhesive holding the third portion is disposed on the power supply board,
An actuator characterized in that the second adhesive is different from the first adhesive.

The actuator according to claim 1, wherein the second adhesive is softer than the first adhesive.

The actuator according to claim 1 or 2, wherein the third portion is routed in a bent shape.

4. The actuator according to claim 1, wherein the coil wire arrangement groove includes a regulating part that regulates flow of the first adhesive toward the substrate holding part.

The actuator according to claim 4, wherein the restriction portion is a wall portion protruding from the bottom of the coil wire arrangement groove.

The coil is an air core coil,
The coil wire arrangement groove is
a first groove in which a coil wire pulled out from one end in the thickness direction of the air-core coil is arranged;
a second groove in which a coil wire pulled out from the other end in the thickness direction of the air-core coil is arranged;
The regulating portion is provided in each of the first groove and the second groove,
6. The actuator according to claim 4, wherein the first groove is deeper than the second groove.

The first adhesive is a thermosetting adhesive,
7. The actuator according to claim 1, wherein the second adhesive is a UV curable adhesive.