JP2019180148A - Actuator - Google Patents

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裕士 北原
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亮 森
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Masao Tsuchihashi
将生 土橋
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Abstract

To provide an actuator capable of adhering appropriately a coli arranged in a coil arrangement hole of a coil holder with the coil holder.SOLUTION: In an actuator, a coil 5 is arranged in an inner side of a coil arrangement hole 410 penetrating a coil holder 4 in a first direction Z, and a first plate 47 is arranged so as to be overlapped to the coil arrangement hole 410 and a plate part 41 from one side Z1 of the first direction Z. Therefore, an adhesion agent is filled between the coil 5 and the coil holder 4, the coil 5 and the first plate 47, the first plate 47 and the coil holder 4, the coil 5 and a second plate 48, and the second plat 48 and the coil holder 4 when the second plate 48 is overlapped after filling the adhesion agent into an air-core part 50 of the coil 5. Thus, when the adhesion agent is hardened, the coil 5, the first plate 47, the second plate 48, and the coil holder 4 are fixed appropriately with the adhesion agent.SELECTED DRAWING: Figure 5

Description

本発明は、可動体を振動させるアクチュエータに関するものである。   The present invention relates to an actuator that vibrates a movable body.

情報を振動によって報知するデバイスとして、永久磁石を備えた可動体と、永久磁石と対向するコイルを有する支持体とを備えたアクチュエータが提案されており、支持体において、コイルは、コイルホルダの板部を貫通するコイル配置穴に配置されている(特許文献1参照)。   As a device for notifying information by vibration, an actuator including a movable body having a permanent magnet and a support body having a coil facing the permanent magnet has been proposed. In the support body, the coil is a plate of a coil holder. It arrange | positions at the coil arrangement | positioning hole which penetrates a part (refer patent document 1).

特開2016−127789号公報JP 2006-127789 A

特許文献1に記載の構成のように、コイルホルダの板部を貫通するコイル配置穴にコイルを配置した構成では、コイル配置穴の内側にコイルを配置した際に発生するコイル配置穴の内周面とコイルの外周面との間の隙間に接着剤を流し込んでコイルをコイルホルダに接着する必要がある。しかしながら、コイルは、コイル線を巻回することによって製造するという性格上、外径寸法がばらつきやすいため、コイル配置穴の内周面とコイルの外周面との間の隙間の幅が変動しやすい。このため、定量の接着剤を隙間に流し込んでも、接着剤を隙間に適正に充填することが困難である。従って、隙間の幅に比して接着剤が過剰な場合には、接着剤が隙間から外側に溢れる一方、隙間の幅に比して接着剤が不足している場合には、コイルとコイルホルダとの接着強度が低下してしまう。   In the configuration in which the coil is arranged in the coil arrangement hole penetrating the plate portion of the coil holder as in the configuration described in Patent Document 1, the inner circumference of the coil arrangement hole generated when the coil is arranged inside the coil arrangement hole. It is necessary to bond the coil to the coil holder by pouring an adhesive into the gap between the surface and the outer peripheral surface of the coil. However, because the coil is manufactured by winding a coil wire, the outer diameter is likely to vary, so the width of the gap between the inner peripheral surface of the coil placement hole and the outer peripheral surface of the coil is likely to fluctuate. . For this reason, even if a certain amount of adhesive is poured into the gap, it is difficult to properly fill the gap with the adhesive. Therefore, when the adhesive is excessive compared to the width of the gap, the adhesive overflows from the gap to the outside, whereas when the adhesive is insufficient compared to the width of the gap, the coil and the coil holder And the adhesive strength will decrease.

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、コイルホルダのコイル配置穴に配置したコイルをコイルホルダと適正に接着することのできるアクチュエータを提供することにある。   In view of the above problems, an object of the present invention is to provide an actuator capable of appropriately bonding a coil arranged in a coil arrangement hole of a coil holder to the coil holder.

上記課題を解決するために、本発明のアクチュエータは、可動体と、支持体と、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備え、前記可動体と前記支持体とが対向する位置で前記可動体および前記支持体の双方に接するように配置された接続体と、前記可動体および前記支持体のうちの一方側部材に設けられた空芯のコイル、および前記コイルに対して第1方向の一方側で対向するように前記可動体および前記支持体のうちの他方側部材に設けられた第1永久磁石を備え、前記可動体を前記支持体に対して前記第1方向に対して交差する第2方向に振動させる磁気駆動回路と、を有し、前記一方側部材は、前記コイルが内側に配置されるコイル配置穴が前記第1方向で貫通する板部を備えたコイルホルダと、前記コイル配置穴および前記板部に前記第1方向の一方側から重なる第1プレートと、少なくとも前記コイルの空芯部に充填され、前記コイルを前記第1プレートおよび前記板部に固定する接着剤層と、を有し、前記コイルは、前記第1プレートを介して前記第1永久磁石と対向していることを特徴とする。   In order to solve the above problems, an actuator according to the present invention includes a movable body, a support body, and at least one of elasticity and viscoelasticity, and the movable body and the support body are positioned at positions where the movable body and the support body face each other. A connection body arranged so as to be in contact with both the support body, an air-core coil provided on one member of the movable body and the support body, and one side in the first direction with respect to the coil; A second direction that includes a first permanent magnet provided on the other member of the movable body and the support body so as to face each other, and the movable body intersects the support body with respect to the first direction. A magnetic drive circuit that vibrates the coil, and the one side member includes a coil holder including a plate portion through which a coil arrangement hole in which the coil is arranged is penetrated in the first direction, and the coil arrangement hole And in front of the plate A first plate that overlaps from one side in the first direction, and an adhesive layer that fills at least the air core portion of the coil and fixes the coil to the first plate and the plate portion. The first permanent magnet is opposed to the first plate via the first plate.

本発明では、コイルホルダの板部を第1方向で貫通するコイル配置穴の内側にコイルが配置されているとともに、コイル配置穴および板部に第1方向の一方側から重なるように第1プレートが配置されている。このため、コイルの空芯部に接着剤を充填すると、接着剤は、コイルとコイルホルダとの間、コイルと第1プレートとの間、および第1プレートとコイルホルダとの間に流れ込む。従って、接着剤を硬化させると、コイル、第1プレー
ト、およびコイルホルダが接着剤層によって固定される。このため、コイルの外周面とコイル配置穴の内周面との隙間に接着剤を流し込む場合と違って、コイルホルダのコイル配置穴に配置したコイルをコイルホルダと適正に接着することができる。また、第1永久磁石とコイルとの間に第1プレートが介在する。このため、可動体が第1方向の一方側に移動した場合でも、第1永久磁石とコイルとが直接、接触することがないので、コイルが損傷しにくい。
In the present invention, the coil is arranged inside the coil arrangement hole penetrating the plate portion of the coil holder in the first direction, and the first plate is overlapped with the coil arrangement hole and the plate portion from one side in the first direction. Is arranged. For this reason, when the air core part of the coil is filled with an adhesive, the adhesive flows between the coil and the coil holder, between the coil and the first plate, and between the first plate and the coil holder. Therefore, when the adhesive is cured, the coil, the first plate, and the coil holder are fixed by the adhesive layer. For this reason, the coil arrange | positioned at the coil arrangement | positioning hole of a coil holder can be appropriately adhere | attached with a coil holder unlike the case where an adhesive agent is poured into the clearance gap between the outer peripheral surface of a coil and the inner peripheral surface of a coil arrangement | positioning hole. A first plate is interposed between the first permanent magnet and the coil. For this reason, even when the movable body moves to one side in the first direction, the first permanent magnet and the coil are not in direct contact with each other, so that the coil is not easily damaged.

本発明において、前記一方側部材は、前記コイル配置穴および前記板部に前記第1方向の他方側から重なるように配置された第2プレートを有し、前記コイルは、前記接着剤層によって前記第2プレートおよび前記板部に固定され、前記他方側部材は、前記コイルに前記第2プレートを介して前記第1方向の他方側で対向する第2永久磁石を有している態様を採用することができる。かかる態様によれば、コイルの空芯部に接着剤を充填した後、第2プレートを重ねると、接着剤は、コイルとコイルホルダとの間、コイルと第1プレートとの間、および第1プレートとコイルホルダとの間にスムーズに流れ込むとともに、コイルと第2プレートとの間、および第2プレートとコイルホルダとの間に流れ込む。従って、接着剤を硬化させると、コイル、第1プレート、第2プレート、およびコイルホルダが接着剤層によって固定される。この状態では、第2永久磁石とコイルとの間に第2プレートが介在する。このため、可動体が第1方向の他方側に移動した場合でも、第2永久磁石とコイルとが直接、接触することがないので、コイルが損傷しにくい。   In the present invention, the one side member has a second plate arranged to overlap the coil arrangement hole and the plate portion from the other side in the first direction, and the coil is formed by the adhesive layer. A mode is adopted in which the second plate is fixed to the second plate and the plate portion, and the other side member has a second permanent magnet that faces the coil on the other side in the first direction via the second plate. be able to. According to this aspect, after filling the air core part of the coil with the adhesive, when the second plate is overlaid, the adhesive is between the coil and the coil holder, between the coil and the first plate, and the first. While flowing smoothly between the plate and the coil holder, it flows between the coil and the second plate and between the second plate and the coil holder. Therefore, when the adhesive is cured, the coil, the first plate, the second plate, and the coil holder are fixed by the adhesive layer. In this state, the second plate is interposed between the second permanent magnet and the coil. For this reason, even when the movable body moves to the other side in the first direction, the second permanent magnet and the coil are not in direct contact with each other, so that the coil is hardly damaged.

本発明において、前記第1プレートおよび前記第2プレートは、非磁性材料からなる態様を採用することができる。かかる態様によれば、第1永久磁石からの磁束、および第2永久磁石の磁束が、第1プレートおよび第2プレートの影響を受けずに、コイルと鎖交することになる。   In the present invention, the first plate and the second plate may employ an aspect made of a nonmagnetic material. According to this aspect, the magnetic flux from the first permanent magnet and the magnetic flux of the second permanent magnet are linked with the coil without being affected by the first plate and the second plate.

本発明において、前記第1プレートおよび前記第2プレートは、金属板からなる態様を採用することができる。かかる態様によれば、コイルで発生した熱を第1プレートおよび第2プレートを介して効率よく逃がすことができる。   In the present invention, the first plate and the second plate may employ a metal plate. According to this aspect, the heat generated in the coil can be efficiently released through the first plate and the second plate.

本発明において、前記第1プレートおよび前記第2プレートは、ステンレンス板からなる態様を採用することができる。かかる態様によれば、第1プレートおよび第2プレートは、板厚が薄い場合でも、十分な強度を有する。   In the present invention, the first plate and the second plate may employ a form made of a stainless plate. According to this aspect, the first plate and the second plate have sufficient strength even when the plate thickness is thin.

本発明において、前記コイルホルダは、前記第1プレートと係合して前記第1プレートを保持する第1保持部と、前記第2プレートと係合して前記第2プレートを保持する第2保持部と、を有している態様を採用することができる。かかる態様によれば、接着剤が硬化するまで、第1プレートおよび第2プレートを治具で支持する必要がない。   In the present invention, the coil holder engages with the first plate to hold the first plate, and the second holding member engages with the second plate to hold the second plate. The aspect which has a part can be employ | adopted. According to this aspect, it is not necessary to support the first plate and the second plate with the jig until the adhesive is cured.

本発明において、前記接続体は、粘弾性部材であって、前記第1プレートと前記可動体とが前記第1方向で対向する個所、および前記第2プレートと前記可動体とが前記第2方向で対向する個所の各々に設けられている態様を採用することができる。かかる態様によれば、接続体は、厚さ方向(第1方向)と交差する方向(せん断方向)に変形するため、非線形の成分(バネ係数)よりも線形の成分(バネ係数)が大きい変形特性を発揮する。このため、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上させることができるので、微妙なニュアンスをもつ振動を実現することができる。   In the present invention, the connection body is a viscoelastic member, where the first plate and the movable body are opposed to each other in the first direction, and the second plate and the movable body are in the second direction. The mode provided at each of the locations facing each other can be adopted. According to this aspect, since the connection body is deformed in the direction (shear direction) intersecting the thickness direction (first direction), the linear component (spring coefficient) is larger than the non-linear component (spring coefficient). Demonstrate the characteristics. For this reason, since the reproducibility of the vibration acceleration with respect to the input signal can be improved, vibration with a subtle nuance can be realized.

本発明において、前記一方側部材は前記支持体であり、前記他方側部材は前記可動体である態様を採用することができる。すなわち、コイルが支持体に設けられ、磁石が可動体に設けられている態様を採用することができる。   In the present invention, it is possible to adopt an aspect in which the one side member is the support and the other side member is the movable body. That is, a mode in which the coil is provided on the support and the magnet is provided on the movable body can be employed.

本発明では、コイルホルダの板部を第1方向で貫通するコイル配置穴の内側にコイルが配置されているとともに、コイル配置穴および板部に第1方向の一方側から重なるように第1プレートが配置されている。このため、コイルの空芯部に接着剤を充填すると、接着剤は、コイルとコイルホルダとの間、コイルと第1プレートとの間、および第1プレートとコイルホルダとの間に流れ込む。従って、接着剤を硬化させると、コイル、第1プレート、およびコイルホルダが接着剤層によって固定される。このため、コイルの外周面とコイル配置穴の内周面との隙間に接着剤を流し込む場合と違って、コイルホルダのコイル配置穴に配置したコイルをコイルホルダと適正に接着することができる。また、第1永久磁石とコイルとの間に第1プレートが介在するため、可動体が第1方向の一方側に移動した場合でも、第1永久磁石とコイルとが直接、接触することがないので、コイルが損傷しにくい。   In the present invention, the coil is arranged inside the coil arrangement hole penetrating the plate portion of the coil holder in the first direction, and the first plate is overlapped with the coil arrangement hole and the plate portion from one side in the first direction. Is arranged. For this reason, when the air core part of the coil is filled with an adhesive, the adhesive flows between the coil and the coil holder, between the coil and the first plate, and between the first plate and the coil holder. Therefore, when the adhesive is cured, the coil, the first plate, and the coil holder are fixed by the adhesive layer. For this reason, the coil arrange | positioned at the coil arrangement | positioning hole of a coil holder can be appropriately adhere | attached with a coil holder unlike the case where an adhesive agent is poured into the clearance gap between the outer peripheral surface of a coil and the inner peripheral surface of a coil arrangement | positioning hole. In addition, since the first plate is interposed between the first permanent magnet and the coil, the first permanent magnet and the coil are not in direct contact even when the movable body moves to one side in the first direction. So the coil is hard to be damaged.

本発明を適用したアクチュエータの斜視図である。It is a perspective view of an actuator to which the present invention is applied. 図1に示すアクチュエータのYZ断面図である。It is YZ sectional drawing of the actuator shown in FIG. 図1に示すアクチュエータの分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the actuator shown in FIG. 図1に示すアクチュエータを支持体と可動体とに分解した分解斜視図である。It is the disassembled perspective view which decomposed | disassembled the actuator shown in FIG. 1 into the support body and the movable body. 図4に示す支持体を第1方向の他方側からみた分解斜視図である。It is the disassembled perspective view which looked at the support body shown in FIG. 4 from the other side of the 1st direction. 図4に示す支持体を第1方向の一方側からみた分解斜視図である。It is the disassembled perspective view which looked at the support body shown in FIG. 4 from the one side of the 1st direction. 図1に示すアクチュエータ1における給電基板の固定構造を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the fixation structure of the electric power feeding board in the actuator 1 shown in FIG. 図7に示す給電基板を保持するスリットの説明図である。It is explanatory drawing of the slit holding the electric power feeding board | substrate shown in FIG. 図1に示すアクチュエータの製造工程のうち、コイルホルダにコイルを固定する工程を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the process of fixing a coil to a coil holder among the manufacturing processes of the actuator shown in FIG. 図5に示すコイルホルダにコイルを固定する工程を示す平面図である。It is a top view which shows the process of fixing a coil to the coil holder shown in FIG. 図5に示すコイルホルダに給電基板を固定する工程を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the process of fixing an electric power feeding board | substrate to the coil holder shown in FIG.

以下に、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。以下の説明において、可動体6の直動方向(第2方向、振動方向)にXを付し、第2方向Xと交差する第1方向にZを付し、第1方向Zおよび第2方向Xに対して交差する第3方向にYを付して説明する。なお、第2方向Xの一方側にX1を付し、第2方向Xの他方側にX2を付し、第1方向Zの一方側にZ1を付し、第1方向Zの他方側にZ2を付し、第3方向Yの一方側にY1を付し、第3方向Yの他方側にY2を付して説明する。また、以下の説明では、コイルを保持する一方側部材が支持体2であって、永久磁石を保持する他方側部材が可動体6である場合を中心に説明する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the following description, X is attached to the linear motion direction (second direction, vibration direction) of the movable body 6, Z is attached to the first direction that intersects the second direction X, and the first direction Z and the second direction. A description will be given by attaching Y to the third direction intersecting X. X1 is attached to one side of the second direction X, X2 is attached to the other side of the second direction X, Z1 is attached to one side of the first direction Z, and Z2 is attached to the other side of the first direction Z. In the description, Y1 is attached to one side in the third direction Y, and Y2 is attached to the other side in the third direction Y. Further, in the following description, a description will be given centering on the case where the one side member holding the coil is the support body 2 and the other side member holding the permanent magnet is the movable body 6.

(全体構成)
図1は、本発明を適用したアクチュエータ1の斜視図である。図2は、図1に示すアクチュエータ1のYZ断面図である。図3は、図1に示すアクチュエータ1の分解斜視図である。図4は、図1に示すアクチュエータ1を支持体2と可動体6とに分解した分解斜視図である。図5は、図4に示す支持体2を第1方向Zの他方側Z2からみた分解斜視図である。図6は、図4に示す支持体2を第1方向Zの一方側Z1からみた分解斜視図である。
(overall structure)
FIG. 1 is a perspective view of an actuator 1 to which the present invention is applied. 2 is a YZ sectional view of the actuator 1 shown in FIG. FIG. 3 is an exploded perspective view of the actuator 1 shown in FIG. FIG. 4 is an exploded perspective view in which the actuator 1 shown in FIG. 1 is disassembled into a support body 2 and a movable body 6. 5 is an exploded perspective view of the support 2 shown in FIG. 4 as viewed from the other side Z2 in the first direction Z. As shown in FIG. 6 is an exploded perspective view of the support 2 shown in FIG. 4 as viewed from one side Z1 in the first direction Z. As shown in FIG.

図1に示すアクチュエータ1は、第3方向Yに長手方向を向けた直方体形状を有しており、アクチュエータ1を手にした利用者に対して第2方向Xの振動によって情報を報知する。従って、アクチュエータ1は、ゲーム機の操作部材等として利用することができ、振動等によって新たな感覚を実感することができる。   The actuator 1 shown in FIG. 1 has a rectangular parallelepiped shape whose longitudinal direction is directed to the third direction Y, and notifies the user who holds the actuator 1 by vibration in the second direction X. Therefore, the actuator 1 can be used as an operation member of a game machine, and a new sense can be realized by vibration or the like.

図2、図3、および図4に示すように、アクチュエータ1は、アクチュエータ1の外形を規定する角形のケース3等を含む支持体2と、ケース3の内部で支持体2に対して第2方向Xに移動可能に支持された可動体6とを有しており、可動体6が第2方向Xに振動することによって情報を出力する。   As shown in FIGS. 2, 3, and 4, the actuator 1 includes a support body 2 including a rectangular case 3 that defines the outer shape of the actuator 1, and a second support body 2 within the case 3. The movable body 6 is supported so as to be movable in the direction X, and the movable body 6 vibrates in the second direction X to output information.

本形態においては、図2〜図6を参照して以下に説明するように、支持体2は、ケース3、コイルホルダ4、コイル5、給電基板10を有しており、可動体6は、永久磁石(第1永久磁石71および第2永久磁石72)、およびヨーク(第1ヨーク81および第2ヨーク82)を有している。また、コイル5および永久磁石(第1永久磁石71および第2永久磁石72)によって磁気駆動回路1aが構成されている。また、可動体6は、可動体6と支持体2との間に設けられた接続体91、92を介して支持体2に支持されている。接続体91、92は、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えている。   In this embodiment, as will be described below with reference to FIGS. 2 to 6, the support 2 includes a case 3, a coil holder 4, a coil 5, and a power supply substrate 10, and the movable body 6 is A permanent magnet (first permanent magnet 71 and second permanent magnet 72) and a yoke (first yoke 81 and second yoke 82) are provided. Moreover, the magnetic drive circuit 1a is comprised by the coil 5 and the permanent magnet (the 1st permanent magnet 71 and the 2nd permanent magnet 72). The movable body 6 is supported by the support body 2 via connection bodies 91 and 92 provided between the movable body 6 and the support body 2. The connection bodies 91 and 92 are provided with at least one of elasticity and viscoelasticity.

(可動体6の構成)
図2、図3および図4に示すように、可動体6は、コイル5に対して第1方向Zの一方側Z1に配置された磁性板からなる第1ヨーク81と、コイル5に第1方向Zの一方側Z1で対向するように第1ヨーク81の第1方向Zの他方側Z2の面に保持された平板状の第1永久磁石71とを有している。また、可動体6は、コイル5に対して第1方向Zの他方側Z2に配置された磁性板からなる第2ヨーク82と、コイル5に第1方向Zの他方側Z2で対向するように第2ヨーク82の第1方向Zの一方側Z1の面に保持された平板状の第2永久磁石72とを有している。本形態において、可動体6は、第1ヨーク81、第1永久磁石71、第2ヨーク82、および第2永久磁石72によって構成されている。
(Configuration of movable body 6)
As shown in FIGS. 2, 3, and 4, the movable body 6 includes a first yoke 81 made of a magnetic plate disposed on one side Z <b> 1 in the first direction Z with respect to the coil 5, and a first on the coil 5. A flat plate-shaped first permanent magnet 71 held on the surface of the first yoke 81 on the other side Z2 in the first direction Z so as to oppose one side Z1 in the direction Z. The movable body 6 is opposed to the coil 5 on the other side Z2 in the first direction Z and the second yoke 82 made of a magnetic plate disposed on the other side Z2 in the first direction Z. The second yoke 82 includes a flat plate-like second permanent magnet 72 held on the surface of the first side Z in the first direction Z. In this embodiment, the movable body 6 includes a first yoke 81, a first permanent magnet 71, a second yoke 82, and a second permanent magnet 72.

第1ヨーク81は、第1永久磁石71が固定された平板部811と、平板部811の第2方向Xの両側の端部から第1方向Zの他方側Z2に折れ曲がった一対の連結部812とを有している。第2ヨーク82は、第2永久磁石72が固定された平板部821を有しており、平板部821の第3方向Yの中間部分には、第2方向Xの一方側X1および他方側X2に張り出した一対の張り出し部822を有している。本形態において、一対の張り出し部822には、第1ヨーク81の一対の連結部812が溶接等の方法で連結されている。   The first yoke 81 includes a flat plate portion 811 to which the first permanent magnet 71 is fixed, and a pair of connecting portions 812 that are bent from both ends of the flat plate portion 811 in the second direction X to the other side Z2 in the first direction Z. And have. The second yoke 82 has a flat plate portion 821 to which the second permanent magnet 72 is fixed. The intermediate portion of the flat plate portion 821 in the third direction Y has one side X1 and the other side X2 in the second direction X. A pair of overhanging portions 822 overhanging. In this embodiment, a pair of connecting portions 812 of the first yoke 81 are connected to the pair of overhang portions 822 by a method such as welding.

第1永久磁石71および第2永久磁石72は各々、第1方向の一方側X1と第1方向の他方側X2とが異なる極に着磁されている。   The first permanent magnet 71 and the second permanent magnet 72 are each magnetized to have different poles on the one side X1 in the first direction and the other side X2 in the first direction.

(支持体2の構成)
図1、図2および図3に示すように、支持体2において、ケース3は、第1方向Zの一方側Z1に位置する第1ケース部材31と、第1方向Zの他方側Z2で第1ケース部材31と重なる第2ケース部材32とを有しており、第1ケース部材31の第2方向Xの両側に設けられた一対の側板部311に、第2ケース部材32の第2方向Xの両側に設けられた一対の側板部321が被さってケース3を構成する。その際、第1ケース部材31と第2ケース部材32との間には、図4および図5に示すコイルホルダ4、コイル5および可動体6が収容される。本形態において、ケース3は、第3方向Yの両端が開口部になっている。
(Configuration of the support 2)
As shown in FIGS. 1, 2, and 3, in the support 2, the case 3 includes a first case member 31 located on one side Z <b> 1 in the first direction Z and a second side Z <b> 2 in the first direction Z. The first case member 31 has a second case member 32 that overlaps the first case member 31, and the pair of side plate portions 311 provided on both sides of the first case member 31 in the second direction X are arranged in the second direction of the second case member 32. A pair of side plate portions 321 provided on both sides of the X covers the case 3. At that time, the coil holder 4, the coil 5, and the movable body 6 shown in FIGS. 4 and 5 are accommodated between the first case member 31 and the second case member 32. In this embodiment, the case 3 has openings at both ends in the third direction Y.

第1ケース部材31の一対の側板部311、および第2ケース部材32の一対の側板部321において、第3方向Yの両端部には、切欠き311a、321a、311b、312bが形成されている。また、側板部321において第3方向Yにおいて離間する位置には係合穴321dが形成されている。   In the pair of side plate portions 311 of the first case member 31 and the pair of side plate portions 321 of the second case member 32, notches 311a, 321a, 311b, and 312b are formed at both ends in the third direction Y. . In addition, an engagement hole 321d is formed at a position spaced apart in the third direction Y in the side plate portion 321.

図5に示すように、コイル5は、長円状に巻回された環状の平面形状を有する空芯コイルであり、コイルホルダ4に保持されている。コイル5は、第2方向Xで並列して第3方向Yに延在する2つの長辺部51と、2つの長辺部51の第3方向Yの両端を繋ぐ円弧状の2つの短辺部52とを備えている。このように構成したコイル5に対して、長辺部51には、第1方向Zの一方側Z1で第1永久磁石71が対向し、第1方向Zの他方側Z2で第2永久磁石72が対向している。   As shown in FIG. 5, the coil 5 is an air-core coil having an annular planar shape wound in an oval shape, and is held by the coil holder 4. The coil 5 includes two long sides 51 extending in parallel in the second direction X and extending in the third direction Y, and two arc-shaped short sides connecting both ends of the two long sides 51 in the third direction Y. Part 52. With respect to the coil 5 configured in this way, the first permanent magnet 71 faces the long side portion 51 on one side Z1 in the first direction Z, and the second permanent magnet 72 on the other side Z2 in the first direction Z. Are facing each other.

図4および図5に示すように、コイルホルダ4は、コイル5が内側に配置される長円状の貫通穴からなるコイル配置穴410が第1方向Zで開口する板部41を有している。   As shown in FIGS. 4 and 5, the coil holder 4 has a plate portion 41 in which a coil arrangement hole 410 formed of an oval through hole in which the coil 5 is arranged is opened in the first direction Z. Yes.

板部41の第3方向Yの一方側Y1の端部411において、第1方向Zの他方側Z2の面には、第2方向Xに延在する複数の凹部411bが形成されており、第1方向Zの一方側Z1の面にも、凹部411bと同様な凹部(図示せず)が形成されている。   In the end portion 411 on the one side Y1 in the third direction Y of the plate portion 41, a plurality of concave portions 411b extending in the second direction X are formed on the surface on the other side Z2 in the first direction Z. A recess (not shown) similar to the recess 411b is also formed on the surface of the one side Z1 in the one direction Z.

端部411において、第3方向Yの一方側Y1の縁からは、第1方向Zの一方側Z1に向けて側板部413が突出し、第2方向Xの一方側X1の縁、および第2方向Xの他方側X2の縁からは、第1方向Zの一方側Z1、および他方側Z2に向けて側板部414、415が突出している。側板部414、415の内面414s、415sのうち、板部41に対して第1方向Zの一方側Z1には、第1方向Zに延在する溝状の凹部からなる第1保持部414a、415aが形成されている。また、側板部414、415の内面414s、415sのうち、板部41に対して第1方向Zの他方側Z2には、第1方向Zに延在する溝状の凹部からなる第2保持部414b、415bが形成されている。   In the end portion 411, the side plate portion 413 protrudes from the edge on the one side Y1 in the third direction Y toward the one side Z1 in the first direction Z, the edge on the one side X1 in the second direction X, and the second direction. Side plate portions 414 and 415 protrude from the edge of the other side X2 of X toward the one side Z1 and the other side Z2 in the first direction Z. Of the inner surfaces 414 s, 415 s of the side plate portions 414, 415, the first holding portion 414 a composed of a groove-shaped recess extending in the first direction Z is provided on one side Z 1 in the first direction Z with respect to the plate portion 41. 415a is formed. Further, of the inner surfaces 414 s and 415 s of the side plate portions 414 and 415, the second holding portion formed of a groove-like recess extending in the first direction Z on the other side Z2 in the first direction Z with respect to the plate portion 41. 414b and 415b are formed.

板部41の第3方向Yの他方側Y2の端部412において、第1方向Zの他方側Z2の面には、第2方向Xに延在する複数の凹部412bが形成されており、第1方向Zの一方側Z1の面にも、凹部412bと同様な凹部412aが形成されている。   In the end portion 412 on the other side Y2 in the third direction Y of the plate portion 41, a plurality of concave portions 412b extending in the second direction X are formed on the surface of the other side Z2 in the first direction Z. A concave portion 412a similar to the concave portion 412b is also formed on the surface of the one side Z1 in one direction Z.

端部412において、第3方向Yの他方側Y2の縁、第2方向Xの一方側X1の縁、および第2方向Xの他方側X2の縁からは、第1方向Zの一方側Z1、および他方側Z2に向けて側板部417、418、419が突出している。側板部418、419の内面418s、419sのうち、板部41に対して第1方向Zの一方側Z1には、第1方向Zに延在する溝状の凹部からなる第1保持部418a、419aが形成されている。また、側板部418、419の内面418s、419sのうち、板部41に対して第1方向Zの他方側Z2には、第1方向Zに延在する溝状の凹部からなる第2保持部418b、419bが形成されている。   From the edge on the other side Y2 in the third direction Y, the edge on the one side X1 in the second direction X, and the edge on the other side X2 in the second direction X at the end 412, one side Z1 in the first direction Z, Side plate portions 417, 418, and 419 protrude toward the other side Z2. Of the inner surfaces 418, 419 s of the side plate portions 418, 419, on one side Z 1 in the first direction Z with respect to the plate portion 41, a first holding portion 418 a composed of a groove-like recess extending in the first direction Z, 419a is formed. Further, of the inner surfaces 418, 419 s of the side plate portions 418, 419, the second holding portion formed of a groove-like recess extending in the first direction Z on the other side Z 2 in the first direction Z with respect to the plate portion 41. 418b and 419b are formed.

また、側板部414の外面のうち、第3方向Yの一方側Y1の端部には、第1ケース部材31の一対の側板部311、および第2ケース部材32の一対の側板部321に形成された切欠き311a、321aが当接する凸部414eが形成され、側板部415の外面にも、凸部414eと同様な凸部415eが形成されている。側板部418の外面のうち、第3方向Yの他方側Y2の端部には、第1ケース部材31の一対の側板部311、および第2ケース部材32の一対の側板部321に形成された切欠き311b、321bが当接する凸部418eが形成され、側板部419の外面にも、凸部418eと同様な凸部(図示せず)が形成されている。   Further, of the outer surface of the side plate portion 414, a pair of side plate portions 311 of the first case member 31 and a pair of side plate portions 321 of the second case member 32 are formed at the end portion on one side Y <b> 1 in the third direction Y. Convex portions 414e with which the cutouts 311a and 321a are in contact are formed, and convex portions 415e similar to the convex portions 414e are also formed on the outer surface of the side plate portion 415. Of the outer surface of the side plate portion 418, a pair of side plate portions 311 of the first case member 31 and a pair of side plate portions 321 of the second case member 32 are formed at the end of the other side Y2 in the third direction Y. Convex portions 418e with which the notches 311b and 321b abut are formed, and convex portions (not shown) similar to the convex portions 418e are also formed on the outer surface of the side plate portion 419.

また、側板部414の外面、および側板部418の外面には、第2ケース部材32の一対の側板部321の各々に形成された係合穴321dが係合する係合凸部414d、418dが形成されている。なお、側板部415の外面、および側板部419の外面にも、係合凸部414d、418dと同様な係合凸部(図示せず)が形成されている。   Further, on the outer surface of the side plate portion 414 and the outer surface of the side plate portion 418, engagement convex portions 414d and 418d with which engagement holes 321d formed in each of the pair of side plate portions 321 of the second case member 32 are engaged. Is formed. Engagement convex portions (not shown) similar to the engagement convex portions 414d and 418d are formed on the outer surface of the side plate portion 415 and the outer surface of the side plate portion 419.

(第1プレート47および第2プレート48の構成)
このように構成した支持体2は、コイル配置穴410および板部41に第1方向Zの一方側Z1から重なる第1プレート47を有しており、少なくともコイル5の空芯部50に充填された接着剤からなる接着剤層9によって、コイル5は、第1プレート47および板部41に固定されている。従って、コイル5は、第1プレート47を介して第1永久磁石71と第1方向Zで対向している。また、接着剤層9によって、第1プレート47は板部41に固定されている。その際、板部41に形成された凹部412a等は、接着剤層9の溜り部になっている。
(Configuration of the first plate 47 and the second plate 48)
The support 2 configured as described above includes the first plate 47 that overlaps the coil placement hole 410 and the plate portion 41 from the one side Z1 in the first direction Z, and at least the air core portion 50 of the coil 5 is filled. The coil 5 is fixed to the first plate 47 and the plate portion 41 by an adhesive layer 9 made of an adhesive. Therefore, the coil 5 is opposed to the first permanent magnet 71 in the first direction Z via the first plate 47. Further, the first plate 47 is fixed to the plate portion 41 by the adhesive layer 9. At that time, the concave portions 412 a and the like formed in the plate portion 41 are reservoir portions of the adhesive layer 9.

また、支持体2は、コイル配置穴410および板部41に第1方向Zの他方側Z2から重なる第2プレート48を有しており、少なくともコイル5の空芯部50に充填された接着剤からなる接着剤層9によって、コイル5は、第2プレート48に固定されている。従って、コイル5は、第2プレート48を介して第2永久磁石72と第1方向Zで対向している。また、接着剤層9によって、第2プレート48は板部41に固定されている。その際、板部41に形成された凹部411b、412b等は、接着剤層9の溜り部になっている。   Further, the support 2 has a second plate 48 that overlaps the coil placement hole 410 and the plate portion 41 from the other side Z2 in the first direction Z, and at least the adhesive filled in the air core portion 50 of the coil 5. The coil 5 is fixed to the second plate 48 by an adhesive layer 9 made of Therefore, the coil 5 faces the second permanent magnet 72 in the first direction Z via the second plate 48. Further, the second plate 48 is fixed to the plate portion 41 by the adhesive layer 9. At that time, the concave portions 411 b, 412 b and the like formed in the plate portion 41 are reservoir portions of the adhesive layer 9.

本形態において、第1プレート47および第2プレート48は、非磁性材料からなる。本形態において、第1プレート47および第2プレート48は、金属板からなる。より具体的には、第1プレート47および第2プレート48は、非磁性のステンレンス板からなる。   In the present embodiment, the first plate 47 and the second plate 48 are made of a nonmagnetic material. In the present embodiment, the first plate 47 and the second plate 48 are made of metal plates. More specifically, the first plate 47 and the second plate 48 are made of a nonmagnetic stainless plate.

ここで、第1プレート47は、第2方向Xの両側から第1方向Zの一方側Z1に斜めに突出した爪状の凸部472を有しており、凸部472は、側板部414、415、418、419に形成された溝状の凹部からなる第1保持部414a、415a、418a、419aの内部に弾性をもって当接し、コイルホルダ4に保持されている。また、第2プレート48は、第2方向Xの両側から第1方向Zの他方側Z2に斜めに突出した爪状の凸部482を有しており、凸部482は、側板部414、415、418、419に形成された溝状の凹部からなる第2保持部414b、415b、418b、419bの内部に弾性をもって当接し、コイルホルダ4に保持されている。第1プレート47は、第3方向Yの両端で第1方向Zの一方側Z1に折れ曲がった屈曲部473と、第2方向Xの両端で第1方向Zの他方側Z2に折れ曲がった屈曲部474とを有している。第2プレート48は、第3方向Yの両端で第1方向Zの他方側Z2に折れ曲がった屈曲部483と、第2方向Xの両端で第1方向Zの一方側Z1に折れ曲がった屈曲部484とを有している。従って、第1プレート47および第2プレート48は、屈曲部473、474、483、484によって折れ曲がりに対する強度が高められている。   Here, the first plate 47 has claw-like convex portions 472 that obliquely project from both sides in the second direction X to one side Z1 in the first direction Z. The convex portion 472 includes side plate portions 414, The first holders 414 a, 415 a, 418 a, and 419 a made of groove-like recesses formed on the pins 415, 418, and 419 are elastically abutted and held by the coil holder 4. The second plate 48 has claw-like convex portions 482 that project obliquely from both sides in the second direction X to the other side Z2 in the first direction Z. The convex portions 482 are side plate portions 414, 415. The second holding portions 414 b, 415 b, 418 b, and 419 b formed by groove-shaped concave portions formed in the 418 and 419 are elastically contacted and held by the coil holder 4. The first plate 47 has a bent portion 473 bent at one end Z1 in the first direction Z at both ends in the third direction Y, and a bent portion 474 bent at the other end Z2 in the first direction Z at both ends in the second direction X. And have. The second plate 48 includes a bent portion 483 bent at the other end Z2 in the first direction Z at both ends in the third direction Y, and a bent portion 484 bent at the both ends in the second direction X at the one side Z1 in the first direction Z. And have. Therefore, the strength of the first plate 47 and the second plate 48 against bending is enhanced by the bent portions 473, 474, 483, and 484.

このように、本形態のアクチュエータ1は、コイルホルダ4の板部41を第1方向Zで貫通するコイル配置穴410の内側にコイル5が配置されているとともに、コイル配置穴410および板部41に第1方向Zの一方側Z1から重なるように第1プレート47が配置されている。このため、コイル5の空芯部50に接着剤を充填すると、接着剤は、コイル5とコイルホルダ4との間、コイル5と第1プレート47との間、および第1プレート47とコイルホルダ4との間に流れ込む。従って、接着剤を硬化させると、コイル5、第1プレート47、およびコイルホルダ4が接着剤層9によって固定される。このため、コイル5の外周面とコイル配置穴410の内周面との隙間に接着剤を流し込む場合と違って、コイルホルダ4のコイル配置穴410に配置したコイル5をコイルホルダ4と適正に接着することができる。また、第1永久磁石71とコイル5との間に第1プレート47が介在する。このため、可動体6が第1方向Zの一方側Z1に移動した場合でも、第1永久磁石71とコイル5とが直接、接触することがないので、コイル5が損傷しにくい。   As described above, in the actuator 1 of the present embodiment, the coil 5 is disposed inside the coil placement hole 410 that penetrates the plate portion 41 of the coil holder 4 in the first direction Z, and the coil placement hole 410 and the plate portion 41. The first plate 47 is disposed so as to overlap from the one side Z1 in the first direction Z. For this reason, when the air core part 50 of the coil 5 is filled with an adhesive, the adhesive is between the coil 5 and the coil holder 4, between the coil 5 and the first plate 47, and between the first plate 47 and the coil holder. It flows in between 4. Therefore, when the adhesive is cured, the coil 5, the first plate 47, and the coil holder 4 are fixed by the adhesive layer 9. For this reason, unlike the case where an adhesive is poured into the gap between the outer peripheral surface of the coil 5 and the inner peripheral surface of the coil arrangement hole 410, the coil 5 arranged in the coil arrangement hole 410 of the coil holder 4 is properly connected to the coil holder 4. Can be glued. The first plate 47 is interposed between the first permanent magnet 71 and the coil 5. For this reason, even when the movable body 6 moves to one side Z1 in the first direction Z, the first permanent magnet 71 and the coil 5 are not in direct contact with each other, so that the coil 5 is hardly damaged.

また、コイル5の空芯部50に接着剤を充填した後、第2プレート48を重ねると、接着剤は、コイル5とコイルホルダ4との間、コイル5と第1プレート47との間、および第1プレート47とコイルホルダ4との間にスムーズに流れ込むとともに、コイル5と第2プレート48との間、および第2プレート48とコイルホルダ4との間に流れ込む。従って、接着剤を硬化させると、コイル5、第1プレート47、第2プレート48、およびコイルホルダ4が接着剤層9によって固定される。この状態では、第2永久磁石72とコイル5との間に第2プレート48が介在する。このため、可動体6が第1方向Zの他方側Z2に移動した場合でも、第2永久磁石72とコイル5とが直接、接触することがないので、コイル5が損傷しにくい。   Moreover, after filling the air core part 50 of the coil 5 with the adhesive, when the second plate 48 is overlapped, the adhesive is between the coil 5 and the coil holder 4, between the coil 5 and the first plate 47, And flows smoothly between the first plate 47 and the coil holder 4, and flows between the coil 5 and the second plate 48 and between the second plate 48 and the coil holder 4. Therefore, when the adhesive is cured, the coil 5, the first plate 47, the second plate 48, and the coil holder 4 are fixed by the adhesive layer 9. In this state, the second plate 48 is interposed between the second permanent magnet 72 and the coil 5. For this reason, even when the movable body 6 moves to the other side Z2 in the first direction Z, the second permanent magnet 72 and the coil 5 are not in direct contact with each other, so that the coil 5 is hardly damaged.

また、第1プレート47および第2プレート48は、非磁性材料からなるため、第1永久磁石71からの磁束、および第2永久磁石72の磁束が、第1プレート47および第2プレート48の影響を受けずに、コイル5と鎖交することになる.また、第1プレート47および第2プレート48は、金属板からなるため、コイル5で発生した熱を第1プレート47および第2プレート48を介して効率よく逃がすことができる。また、第1プレート47および第2プレート48は、ステンレンス板からなるため、第1プレート47および第2プレート48は、板厚が薄い場合でも、十分な強度を有する。   Further, since the first plate 47 and the second plate 48 are made of a nonmagnetic material, the magnetic flux from the first permanent magnet 71 and the magnetic flux of the second permanent magnet 72 are affected by the first plate 47 and the second plate 48. It will interlink with the coil 5 without receiving. Further, since the first plate 47 and the second plate 48 are made of a metal plate, the heat generated in the coil 5 can be efficiently released through the first plate 47 and the second plate 48. Further, since the first plate 47 and the second plate 48 are made of stainless plates, the first plate 47 and the second plate 48 have sufficient strength even when the plate thickness is thin.

また、コイルホルダ4は、第1プレート47の爪状の凸部472と係合して第1プレート47を保持する第1保持部414a、415a、418a、419aと、第2プレート48の爪状の凸部482と係合して第2プレート48を保持する第2保持部414b、415b、418b、419bとを有している。このため、接着剤90が硬化するまで、第1プレート47および第2プレート48を治具で支持する必要がない。   In addition, the coil holder 4 is engaged with the claw-like convex part 472 of the first plate 47 to hold the first plate 47 and the claw-like shape of the second plate 48 and the first holding part 414a, 415a, 418a, 419a. It has 2nd holding | maintenance part 414b, 415b, 418b, 419b which engages with the convex part 482 and hold | maintains the 2nd plate 48. As shown in FIG. For this reason, it is not necessary to support the first plate 47 and the second plate 48 with a jig until the adhesive 90 is cured.

(接続体91、92の構成)
図2、図3、図4および図5に示すように、可動体6は、可動体6と支持体2との間に設けられた接続体91、92によって第2方向Xおよび第3方向Yに移動可能に支持されている。
(Configuration of connection bodies 91 and 92)
As shown in FIGS. 2, 3, 4, and 5, the movable body 6 is connected to the second direction X and the third direction Y by connecting bodies 91 and 92 provided between the movable body 6 and the support body 2. Is supported so as to be movable.

本形態において、接続体91は、第1ヨーク81と第1プレート47とが第1方向Zで対向する部分に設けられている。接続体92は、第2ヨーク82と第2プレート48とが第1方向Zで対向する部分に設けられている。より具体的には、接続体91は、第3方向Yにおいて離間する2個所(コイル5の短辺部52側)の各々において第1ヨーク81と第1プレート47とが第1方向Zで対向する部分に設けられている。接続体92は、第3方向Yにおいて離間する2個所(コイル5の短辺部52側)の各々において第2ヨーク82と第2プレート48とが第1方向Zで対向する部分に設けられている。従って、板状バネ等を用いずに、可動体6を第2方向Xに移動可能に支持することができる。   In this embodiment, the connection body 91 is provided at a portion where the first yoke 81 and the first plate 47 face each other in the first direction Z. The connection body 92 is provided at a portion where the second yoke 82 and the second plate 48 face each other in the first direction Z. More specifically, in the connection body 91, the first yoke 81 and the first plate 47 face each other in the first direction Z at each of two locations (on the short side 52 side of the coil 5) that are separated in the third direction Y. It is provided in the part to do. The connection body 92 is provided at a portion where the second yoke 82 and the second plate 48 are opposed to each other in the first direction Z at each of two locations (on the short side 52 side of the coil 5) that are separated in the third direction Y. Yes. Therefore, the movable body 6 can be supported so as to be movable in the second direction X without using a plate spring or the like.

本形態において、接続体91、92は粘弾性部材である。より具体的には、接続体91、92(粘弾性部材)は、シリコーンゲル等からなるゲル状部材である。本形態において、接続体91、92は、針入度が90度から110度のシリコーンゲルからなる。針入度とは、JIS−K−2207やJIS−K−2220で規定されているように、25℃で9.38gの総荷重をかけた1/4コーンの針が5秒間に入り込む深さを1/10mm単位で表わした値であり、この値が小さいほど硬いことを意味する。なお、接続体91、92と第1ヨーク81や第2ヨーク82との固定、および接続体91、92とコイルホルダ4との固定は、接着剤、粘着剤、あるいはシリコーンゲルの粘着性を利用して行われる。   In this embodiment, the connecting bodies 91 and 92 are viscoelastic members. More specifically, the connecting bodies 91 and 92 (viscoelastic members) are gel-like members made of silicone gel or the like. In this embodiment, the connecting bodies 91 and 92 are made of a silicone gel having a penetration of 90 to 110 degrees. The penetration is a depth at which a 1/4 cone needle with a total load of 9.38 g at 25 ° C. enters 5 seconds as defined in JIS-K-2207 and JIS-K-2220. Is a value expressed in units of 1/10 mm, and the smaller this value is, the harder it is. Note that the connection bodies 91 and 92 and the first yoke 81 and the second yoke 82 are fixed, and the connection bodies 91 and 92 and the coil holder 4 are fixed using an adhesive, an adhesive, or a silicone gel. Done.

このように本形態のアクチュエータ1においては、可動体6と支持体2との間に接続体91、92が設けられているため、可動体6が共振することを抑制することができる。ここで、接続体91は、第1プレート47と第1ヨーク81との間に設けられており、接続
体92は、第2プレート48と第2ヨーク82との間に設けられている。従って、接続体91、92を設けるのにケース3が用いられていない。従って、ケース3を用いなくても、支持体2と可動体6との間に接続体91、92を設けることができる。それ故、ケース3を設けていない組み立て途中の段階で接続体91、92を設けることができるので、製造途中にダンパー特性を含む振動特性を測定することができる。また、接続体91、92を設けるのにケース3が用いられていないので、ケース3を有しないアクチュエータに接続体91、92を設けることができる。
Thus, in the actuator 1 of this embodiment, since the connecting bodies 91 and 92 are provided between the movable body 6 and the support body 2, it is possible to prevent the movable body 6 from resonating. Here, the connection body 91 is provided between the first plate 47 and the first yoke 81, and the connection body 92 is provided between the second plate 48 and the second yoke 82. Therefore, the case 3 is not used to provide the connecting bodies 91 and 92. Therefore, the connecting bodies 91 and 92 can be provided between the support 2 and the movable body 6 without using the case 3. Therefore, since the connecting bodies 91 and 92 can be provided in the middle of the assembly in which the case 3 is not provided, vibration characteristics including a damper characteristic can be measured during the manufacturing. Further, since the case 3 is not used to provide the connection bodies 91 and 92, the connection bodies 91 and 92 can be provided in an actuator that does not have the case 3.

また、接続体91、92は、支持体2と可動体6とにおいて第2方向X(振動方向)に対して交差する第1方向Zで対向する位置に設けられているため、可動体6が第2方向Xに振動した際、そのせん断方向に変形して共振を防止する。このため、可動体6が第2方向Xに振動しても、接続体91、92の弾性率の変化が小さいので、可動体6の共振を効果的に抑制することができる。   Moreover, since the connection bodies 91 and 92 are provided in the position which opposes in the 1st direction Z which cross | intersects with respect to the 2nd direction X (vibration direction) in the support body 2 and the movable body 6, the movable body 6 is provided. When it vibrates in the second direction X, it is deformed in the shear direction to prevent resonance. For this reason, even if the movable body 6 vibrates in the second direction X, the change in the elastic modulus of the connection bodies 91 and 92 is small, so that the resonance of the movable body 6 can be effectively suppressed.

すなわち、接続体(接続体91、92)は、粘弾性部材(板状のゲル状部材)であって、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。例えば、接続体91、92は、その厚さ方向(軸方向)に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分(バネ係数)よりも非線形の成分が大きい伸縮特性を備える一方、厚さ方向(軸方向)に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分(バネ係数)よりも線形の成分(バネ係数)が大きい伸縮特性を備える。また、接続体91、92は、厚さ方向(軸方向)と交差する方向(せん断方向)に変形する場合、いずれの方向に動いても、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分(バネ係数)よりも線形の成分(バネ係数)が大きい変形特性を持つ。本形態において、可動体6が第2方向Xに振動した際、接続体91、92は、せん断方向に変形するように構成されている。従って、接続体91、92では、可動体6が第2方向Xに振動した際、運動方向によるバネ力が一定となる。それ故、接続体91、92のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上することができるので、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。   That is, the connecting bodies (connecting bodies 91 and 92) are viscoelastic members (plate-like gel-like members) and have linear or non-linear stretch characteristics depending on the stretch direction. For example, when the connecting bodies 91 and 92 are compressed in the thickness direction (axial direction) and compressed and deformed, the connecting bodies 91 and 92 have a stretch characteristic having a nonlinear component larger than a linear component (spring coefficient), while the thickness direction When stretched by being pulled in the (axial direction), it has an expansion / contraction characteristic in which a linear component (spring coefficient) is larger than a non-linear component (spring coefficient). Further, when the connecting bodies 91 and 92 are deformed in a direction (shear direction) intersecting the thickness direction (axial direction), they are deformed in a direction in which they are pulled and extended in any direction. The linear component (spring coefficient) has a deformation characteristic larger than the component (spring coefficient). In this embodiment, when the movable body 6 vibrates in the second direction X, the connection bodies 91 and 92 are configured to be deformed in the shear direction. Therefore, in the connection bodies 91 and 92, when the movable body 6 vibrates in the second direction X, the spring force according to the movement direction is constant. Therefore, by using the spring elements in the shearing direction of the connecting bodies 91 and 92, the reproducibility of the vibration acceleration with respect to the input signal can be improved, so that the vibration can be realized with a delicate nuance.

また、接続体91、92は、第1方向Zの両面が各々、可動体6および支持体2に接着等の方法で接続されている。従って、接続体91、92は、可動体6の移動に確実に追従するので、可動体6の共振を効果的に防止することができる。   Further, both sides of the connecting bodies 91 and 92 in the first direction Z are connected to the movable body 6 and the support body 2 by a method such as adhesion. Accordingly, since the connecting bodies 91 and 92 reliably follow the movement of the movable body 6, the resonance of the movable body 6 can be effectively prevented.

また、接続体91、92は、支持体2と可動体6との間で第1方向Zに圧縮された状態にある。従って、接続体91、92は、可動体6の移動に確実に追従するので、可動体6の共振を効果的に防止することができる。   Further, the connecting bodies 91 and 92 are in a state compressed in the first direction Z between the support body 2 and the movable body 6. Accordingly, since the connecting bodies 91 and 92 reliably follow the movement of the movable body 6, the resonance of the movable body 6 can be effectively prevented.

(度当たり部の構成)
本形態では、外部からの衝撃によって、可動体6が第2方向Xおよび第3方向Yに移動する際の可動範囲を規定する度当たり部が設けられている。より具体的には、可動体6において、第1ヨーク81および第2ヨーク82の平板部811、821は、側板部414、415、418、419の内面414s、415s、418s、419sと第2方向Xで対向している。側板部414、415、418、419の内面414s、415s、418s、419sは、外部からの衝撃によって、可動体6が第2方向Xに移動した際、可動体6と当接して第2方向Xの可動範囲を規定する第1度当たり部になっている。
(Composition of unit per degree)
In this embodiment, a contact portion is provided that defines a movable range when the movable body 6 moves in the second direction X and the third direction Y by an external impact. More specifically, in the movable body 6, the flat plate portions 811 and 821 of the first yoke 81 and the second yoke 82 are in the second direction with the inner surfaces 414s, 415s, 418s and 419s of the side plate portions 414, 415, 418 and 419, respectively. Opposite at X. The inner surfaces 414s, 415s, 418s, and 419s of the side plate portions 414, 415, 418, and 419 come into contact with the movable body 6 and move in the second direction X when the movable body 6 moves in the second direction X due to external impact. This is a first-degree contact portion that defines the movable range.

また、可動体6において、第1ヨーク81の一対の連結部812および第2ヨーク82の一対の張り出し部822は各々、コイルホルダ4において第3方向Yで離間する側板部414と側板部418との間、および第3方向Yで離間する側板部415と側板部419との間に位置する。従って、側板部414と側板部418とにおいて互いに対向する端部414g、418g、および側板部415と側板部419とにおいて互いに対向する端部
415g、419gは、外部からの衝撃によって、可動体6が第3方向Yに移動した際、可動体6と当接して第3方向Yの可動範囲を規定する第2度当たり部になっている。
Further, in the movable body 6, the pair of connecting portions 812 of the first yoke 81 and the pair of protruding portions 822 of the second yoke 82 are respectively separated from the side plate portions 414 and 418 separated from each other in the third direction Y in the coil holder 4. And between the side plate portion 415 and the side plate portion 419 that are separated in the third direction Y. Therefore, the end portions 414g and 418g facing each other in the side plate portion 414 and the side plate portion 418 and the end portions 415g and 419g facing each other in the side plate portion 415 and the side plate portion 419 are caused by the impact from the outside. When it moves in the third direction Y, it comes into contact with the movable body 6 and is a second contact portion that defines the movable range in the third direction Y.

(給電基板10の構成)
図7は、図1に示すアクチュエータ1における給電基板10の固定構造を示す説明図である。図8は、給電基板10を保持するスリット414t、415tの説明図である。
(Configuration of power supply substrate 10)
FIG. 7 is an explanatory view showing a fixing structure of the power supply substrate 10 in the actuator 1 shown in FIG. FIG. 8 is an explanatory diagram of the slits 414 t and 415 t that hold the power supply substrate 10.

図1および図3に示すように、アクチュエータ1では、コイルホルダ4において、上記の度当たり部(側板部414、415、418、419の内面414s、415s、418s、419s、および端部414g、415g、418g、419g)から離間する位置に給電基板10が保持されており、給電基板10には、コイル5を構成するコイル線56、57がハンダ等により接続されている。本形態において、給電基板10は剛性基板である。   As shown in FIG. 1 and FIG. 3, in the actuator 1, in the coil holder 4, the contact portion (the inner surfaces 414 s, 415 s, 418 s, 419 s, and end portions 414 g, 415 g of the side plate portions 414, 415 418 419 418g, 419g), the power supply board 10 is held at a position away from the power supply board 10, and coil wires 56 and 57 constituting the coil 5 are connected to the power supply board 10 by solder or the like. In this embodiment, the power supply substrate 10 is a rigid substrate.

本形態では、コイルホルダ4のうち、第3方向Yの一方側で側板部413、414、415に囲まれた開口部に給電基板10が保持されている。本形態において、コイル線56、57は、コイルホルダ4の板部41の端部411の第1方向Zの他方側Z2の面に形成された2本のガイド溝411cを通ってコイル5から第3方向Yの一方側Y1に引き出された後、第1方向Zの一方側Z1から他方側Z2に向けて延在し、給電基板10に接続されている。   In this embodiment, in the coil holder 4, the power supply substrate 10 is held in an opening surrounded by the side plate portions 413, 414, and 415 on one side in the third direction Y. In the present embodiment, the coil wires 56 and 57 pass through the two guide grooves 411c formed on the surface of the other side Z2 in the first direction Z of the end portion 411 of the plate portion 41 of the coil holder 4 from the coil 5 to the first. After being pulled out to one side Y1 in the three directions Y, it extends from one side Z1 in the first direction Z toward the other side Z2, and is connected to the power supply substrate 10.

本形態では、コイルホルダ4には、第2方向Xで相対向する側板部414、415の端部414h、415hに第1方向Zの一方側Z1に延在する一対のスリット414t、415tが形成されており、給電基板10の第2方向Xの両側の端部10a、10bが各々、スリット414t、415tの内側に嵌っている。従って、給電基板10は、ケース3から露出する位置でコイルホルダ4の側板部413、414、415に沿うようにコイルホルダ4に保持されている。本形態では、給電基板10の端部10a、10bをスリット414t、415tに嵌めた後、さらに接着剤によってコイルホルダ4と給電基板10とを固定し、給電基板10の振動を抑制する構造になっている。   In this embodiment, the coil holder 4 is formed with a pair of slits 414t and 415t extending on one side Z1 in the first direction Z at the end portions 414h and 415h of the side plate portions 414 and 415 facing each other in the second direction X. The end portions 10a and 10b on both sides in the second direction X of the power supply substrate 10 are fitted inside the slits 414t and 415t, respectively. Therefore, the power supply substrate 10 is held by the coil holder 4 along the side plate portions 413, 414, and 415 of the coil holder 4 at a position exposed from the case 3. In this embodiment, after the end portions 10a and 10b of the power supply substrate 10 are fitted in the slits 414t and 415t, the coil holder 4 and the power supply substrate 10 are further fixed by an adhesive, and the vibration of the power supply substrate 10 is suppressed. ing.

本形態において、給電基板10は、コイル線56、57がハンダにより接続された2つのランド16a、16bが第2方向Xで離間する位置に形成された第1板部11と、第1板部11の第2方向Xの両端から第1方向Zの一方側Z1に突出した2つの第2板部12、13とを備えている。また、第1板部11には、ランド16a、16bの両側に2つのランド17a、17bが形成されており、ランド17a、17bには外部からの配線部材(図示せず)が接続される。   In this embodiment, the power supply substrate 10 includes a first plate portion 11 formed at a position where two lands 16a and 16b, to which the coil wires 56 and 57 are connected by solder, are separated in the second direction X, and a first plate portion. 11 includes two second plate portions 12 and 13 protruding from one end Z1 in the first direction Z from both ends in the second direction X. The first plate portion 11 is formed with two lands 17a and 17b on both sides of the lands 16a and 16b. An external wiring member (not shown) is connected to the lands 17a and 17b.

また、コイルホルダ4の端部411には、ガイド溝411cの第3方向Yの一方側Y1の端部を通る位置に給電基板10の第1板部11の第1方向Zの一方側Z1の縁を受ける当接部411rが形成されており、給電基板10の両端部10a、10bは、給電基板10の第1板部11が当接部411rに当接する深さ位置までスリット414t、415tに嵌っている。第1板部11の第1方向Zの他方側Z2の端部には、コイル線56、57を給電基板10に接続する際、コイル線56、57の先端側を保持する2つの凹部11a、11bが形成されている。   Further, the end portion 411 of the coil holder 4 has a position on one side Z1 in the first direction Z of the first plate portion 11 of the power supply substrate 10 at a position passing through the end portion on the one side Y1 in the third direction Y of the guide groove 411c. An abutting portion 411r for receiving an edge is formed, and both end portions 10a and 10b of the power supply substrate 10 are formed in the slits 414t and 415t to a depth position where the first plate portion 11 of the power supply substrate 10 abuts on the abutting portion 411r. It fits. At the end of the first plate part 11 on the other side Z2 in the first direction Z, when connecting the coil wires 56, 57 to the power supply substrate 10, two recesses 11a for holding the tip side of the coil wires 56, 57, 11b is formed.

ここで、スリット414t、415tは、深さ方向(第1方向Z)の途中から幅が狭くなっている。従って、給電基板10は、両端部10a、10bをスリット414t、415tに挿入した際、第1板部11が当接部411rに当接するまでの途中位置においても、スリット414t、415tに保持された状態が維持される。   Here, the widths of the slits 414t and 415t are narrowed from the middle in the depth direction (first direction Z). Therefore, when the both end portions 10a and 10b are inserted into the slits 414t and 415t, the power supply substrate 10 is held by the slits 414t and 415t even in the middle position until the first plate portion 11 contacts the contact portion 411r. State is maintained.

ここで、コイル線56、57は、コイル5から給電基板10のランド16a、16b(接続位置)までの間に適度な弛みが付されている。但し、給電基板10をスリット414t、415t内に嵌った状態で当接部411rから第1方向Zの他方側Z2に離間する深さ位置に移動させると、コイル線56、57は緊張状態となる。   Here, the coil wires 56 and 57 are moderately slackened between the coil 5 and the lands 16 a and 16 b (connection positions) of the power supply substrate 10. However, when the power supply substrate 10 is fitted in the slits 414t and 415t, the coil wires 56 and 57 are in a tension state when the power supply substrate 10 is moved from the contact portion 411r to a depth position separated from the other side Z2 in the first direction Z. .

このように、本形態では、ケース3で覆われたコイルホルダ4に給電基板10が保持されているため、落下時の衝撃がケース3を介して給電基板10に伝搬しにくい。また、落下時の衝撃がコイルホルダ4に伝搬した場合でも、給電基板10は、コイルホルダ4とともに動くので、コイル線56、57が引っ張られるという事態が発生しにくい。それ故、落下時の衝撃によってコイル線56、57が断線するという事態が発生しにくいので、耐落下衝撃性能を向上することができる。   Thus, in this embodiment, since the power supply substrate 10 is held by the coil holder 4 covered with the case 3, the impact at the time of dropping does not easily propagate to the power supply substrate 10 through the case 3. Even when the impact at the time of dropping propagates to the coil holder 4, the power supply substrate 10 moves together with the coil holder 4, so that the situation where the coil wires 56 and 57 are pulled hardly occurs. Therefore, it is difficult for the coil wires 56 and 57 to be disconnected due to an impact at the time of dropping, so that the impact resistance against dropping can be improved.

また、給電基板10は、コイルホルダ4の側面に沿うように設けられている。このため、落下時の衝撃が給電基板10に直接、加わるという事態が発生しにくいので、落下時の衝撃によってコイル線56、57が断線するという事態が発生しにくい。   The power supply substrate 10 is provided along the side surface of the coil holder 4. For this reason, a situation in which an impact at the time of dropping is not directly applied to the power supply substrate 10 is unlikely to occur, and therefore, a situation in which the coil wires 56 and 57 are disconnected due to the impact at the time of dropping is unlikely to occur.

また、コイルホルダ4において、給電基板10は、可動体6に対する度当たり部(側板部414、415、418、419の内面414s、415s、418s、419s(第1度当たり部)、および側板部414、415、418、419の端部414g、415g、418g、419g(第2度当たり部)から離間する位置に設けられている。従って、落下時の衝撃によって可動体6が動き、コイルホルダ4の度当たり部に可動体6が当たっても、その際の衝撃が給電基板10に伝搬しにくい。従って、落下時の衝撃によって、コイル線56、57が断線するという事態が発生しにくい。   Further, in the coil holder 4, the power supply substrate 10 includes a contact portion with respect to the movable body 6 (inner surfaces 414 s, 415 s, 418 s, 419 s (first contact portions) of the side plate portions 414, 415, 418, and a side plate portion 414. 415, 418, 419 are provided at positions separated from the end portions 414g, 415g, 418g, 419g (second degree contact portion), and the movable body 6 moves due to the impact at the time of dropping, and the coil holder 4 Even if the movable body 6 hits the contact portion, the impact at that time is unlikely to propagate to the power supply substrate 10. Therefore, it is difficult to cause a situation in which the coil wires 56 and 57 are disconnected due to the impact at the time of dropping.

また、コイルホルダ4において給電基板10が固定された側面は、第3方向Yの一方側Y1に位置する。ここで、第3方向Yには、コイル5の短辺部52(無効辺)が位置する。また、コイル5では、コイル線56、57がコイル5の短辺部52から引き出される。従って、コイルホルダ4において第3方向Yの一方側Y1に位置する側面に給電基板10を配置すれば、コイル5から給電基板10までコイル線56、57が延在する距離が短くてよい。   Further, the side surface of the coil holder 4 to which the power supply substrate 10 is fixed is located on one side Y1 in the third direction Y. Here, in the third direction Y, the short side portion 52 (invalid side) of the coil 5 is located. In the coil 5, the coil wires 56 and 57 are drawn from the short side portion 52 of the coil 5. Therefore, if the power supply substrate 10 is disposed on the side surface of the coil holder 4 that is located on the one side Y1 in the third direction Y, the distance that the coil wires 56 and 57 extend from the coil 5 to the power supply substrate 10 may be short.

また、コイル線56、57が第1方向Zの一方側Z1から他方側Z2に延在して給電基板10に接続されており、かかる給電基板10の両端部10a、10bは、コイルホルダ4の相対向する位置で第1方向Zの一方側Z1に向けて延在する一対のスリット414t、415tの内側に第1方向Zの他方側Z2から嵌められている。ここで、給電基板10は、コイルホルダ4に設けた当接部411rに第1方向Zの他方側Z2から当接する深さまでスリット414t、415tに嵌っており、第1方向Zの最も一方側Z1に位置する。このため、第1方向Zの一方側Z1から他方側Z2に延在するコイル線56、57に適度な弛みを容易に設けることができる。従って、温度変化が発生した際、コイル線56、57と周辺部材との間に熱膨張係数の差に起因してコイル線56、57が引っ張られる等の事態が発生しても、コイル線56、57が断線しにくい。それ故、アクチュエータ1の使用温度範囲を拡大することができる。   In addition, the coil wires 56 and 57 extend from one side Z1 in the first direction Z to the other side Z2 and are connected to the power supply substrate 10, and both ends 10 a and 10 b of the power supply substrate 10 are connected to the coil holder 4. It is fitted from the other side Z2 in the first direction Z inside a pair of slits 414t and 415t extending toward the one side Z1 in the first direction Z at positions facing each other. Here, the power supply substrate 10 is fitted in the slits 414t and 415t from the other side Z2 in the first direction Z to the contact portion 411r provided in the coil holder 4, and is the most one side Z1 in the first direction Z. Located in. For this reason, moderate slack can be easily provided in the coil wires 56 and 57 extending from the one side Z1 in the first direction Z to the other side Z2. Therefore, when a temperature change occurs, even if a situation such as the coil wires 56, 57 being pulled due to the difference in thermal expansion coefficient between the coil wires 56, 57 and the peripheral member occurs, the coil wire 56 57 are difficult to break. Therefore, the operating temperature range of the actuator 1 can be expanded.

(動作)
本形態のアクチュエータ1において、給電基板10を介して外部(上位の機器)からコイル5に給電すると、コイル5、第1永久磁石71および第2永久磁石72を備えた磁気駆動回路1aによって、可動体6が第2方向Xに往復移動する。従って、アクチュエータ1を手に持っていた利用者は、アクチュエータ1からの振動によって情報を得ることができる。その際、コイル5に印加される信号波形については、伝達すべき情報によって、周波数を変化させる。また、コイル5に印加される信号波形については極性を反転させるが
、その際、駆動信号の極性が負の期間と正の期間とにおいて電圧の変化に対して緩急の差を設ける。その結果、可動体6が第2方向Xの一方側X1に移動する際の加速度と可動体6が第2方向Xの他方側X2に移動する際の加速度との間に差が発生する。従って、利用者に対して、アクチュエータ1が第2方向Xの一方側X1あるいは他方側X2に移動するような錯覚を感じさせることができる。
(Operation)
In the actuator 1 of the present embodiment, when power is supplied to the coil 5 from the outside (upper device) via the power supply substrate 10, the actuator 5 is movable by the magnetic drive circuit 1 a including the coil 5, the first permanent magnet 71, and the second permanent magnet 72. The body 6 reciprocates in the second direction X. Therefore, a user who has the actuator 1 in his / her hand can obtain information by vibration from the actuator 1. At this time, the frequency of the signal waveform applied to the coil 5 is changed according to information to be transmitted. Further, the polarity of the signal waveform applied to the coil 5 is inverted, and at this time, a gradual difference is provided with respect to the change in voltage between the negative period and the positive period of the drive signal. As a result, a difference is generated between the acceleration when the movable body 6 moves to the one side X1 in the second direction X and the acceleration when the movable body 6 moves to the other side X2 in the second direction X. Therefore, the user can feel the illusion that the actuator 1 moves to the one side X1 or the other side X2 in the second direction X.

(アクチュエータ1の製造方法)
図9は、図1に示すアクチュエータ1の製造工程のうち、コイルホルダ4にコイル5を固定する工程を示す説明図である。図10は、図5に示すコイルホルダ4にコイル5を固定する工程を示す平面図である。図11は、図5に示すコイルホルダ4に給電基板10を固定する工程を示す説明図である。
(Manufacturing method of actuator 1)
FIG. 9 is an explanatory view showing a process of fixing the coil 5 to the coil holder 4 in the manufacturing process of the actuator 1 shown in FIG. FIG. 10 is a plan view showing a process of fixing the coil 5 to the coil holder 4 shown in FIG. FIG. 11 is an explanatory diagram showing a process of fixing the power supply substrate 10 to the coil holder 4 shown in FIG.

アクチュエータ1を製造する際、まず、図9および図10に示すように、コイルホルダ4のコイル配置穴410および板部41に第1方向Zの一方側Z1から重なるように第1プレート47を配置する。その際、凸部472を側板部414、415、418、419の第1保持部414a、415a、418a、419aに差し込み、係合させる。その結果、第1プレート47は、コイル配置穴410を第1方向Zの一方側Z1から塞いだ状態でコイルホルダ4に保持される。次に、図9および図10に示すように、コイル5をコイル配置穴410に配置する。   When manufacturing the actuator 1, first, as shown in FIGS. 9 and 10, the first plate 47 is arranged so as to overlap the coil arrangement hole 410 and the plate portion 41 of the coil holder 4 from the one side Z <b> 1 in the first direction Z. To do. At that time, the convex portion 472 is inserted into and engaged with the first holding portions 414a, 415a, 418a, 419a of the side plate portions 414, 415, 418, 419. As a result, the first plate 47 is held by the coil holder 4 with the coil arrangement hole 410 closed from the one side Z1 in the first direction Z. Next, as shown in FIGS. 9 and 10, the coil 5 is placed in the coil placement hole 410.

この状態で、図7に示すように、コイル5に給電基板10を固定する。本形態では、図11(a)に示すように、第1方向Zの他方側Z2からコイルホルダ4のスリット414t、415tに給電基板10の端部10a、10bを嵌める。その際、給電基板10がコイルホルダ4の当接部411rに第1方向Zの他方側Z2から当接するまでの途中位置で給電基板10の挿入を止める。従って、給電基板10は、当接部411rから浮いた状態にある。   In this state, the power supply substrate 10 is fixed to the coil 5 as shown in FIG. In this embodiment, as shown in FIG. 11A, the end portions 10a and 10b of the power supply substrate 10 are fitted into the slits 414t and 415t of the coil holder 4 from the other side Z2 in the first direction Z. At that time, the insertion of the power supply substrate 10 is stopped at a midway position until the power supply substrate 10 contacts the contact portion 411r of the coil holder 4 from the other side Z2 in the first direction Z. Accordingly, the power supply substrate 10 is in a state of floating from the contact portion 411r.

この状態で、コイル線56、57を第1方向Zの一方側Z1から他方側Z2に引き回して給電基板10のランド16a、16bにハンダにより接続する。その際、コイル線56、57を凹部11a、11bに通し、コイル線56、57を位置決めする。コイル線56、57を給電基板10に接続した後、コイル線56、57の先端側の余剰部分を切断し、除去する。   In this state, the coil wires 56 and 57 are routed from one side Z1 in the first direction Z to the other side Z2 and connected to the lands 16a and 16b of the power supply substrate 10 by soldering. At that time, the coil wires 56 and 57 are passed through the recesses 11a and 11b, and the coil wires 56 and 57 are positioned. After the coil wires 56 and 57 are connected to the power supply substrate 10, excess portions on the tip side of the coil wires 56 and 57 are cut and removed.

しかる後に、給電基板10を当接部411rに第1方向Zの他方側Z2から当接する深さまでスリット414t、415t内に押し込む。その結果、コイル線56、57には、コイル5から給電基板10のランド16a、16b(接続位置)までの間に適度な弛みが付される。本形態では、給電基板10を当接部411rに第1方向Zの他方側Z2から当接する深さまでスリット414t、415t内に押し込んだ後、給電基板10をコイルホルダ4に接着剤90によって固定する。   Thereafter, the power supply substrate 10 is pushed into the slits 414t and 415t to a depth where the power supply substrate 10 contacts the contact portion 411r from the other side Z2 in the first direction Z. As a result, the coil wires 56 and 57 are moderately slackened between the coil 5 and the lands 16a and 16b (connection positions) of the power supply board 10. In this embodiment, the power supply substrate 10 is pushed into the slits 414t and 415t to the depth where the power supply substrate 10 contacts the contact portion 411r from the other side Z2 in the first direction Z, and then the power supply substrate 10 is fixed to the coil holder 4 with the adhesive 90. .

ここで、スリット414t、415tは、深さ方向の途中から幅が狭くなっているため、スリット414t、415tにおいて幅が狭くなっている位置まで給電基板10を差し込むと、給電基板10がスリット414t、415tに仮固定される。従って、仮固定された給電基板10にコイル線56、57を接続した後、給電基板10をさらに深くスリット414t、415t内に押し込めば、コイル線56、57に弛みを付すことができる。また、コイル線56、57を接続する際の給電基板10の位置を適正化するだけで、コイル線56、57に付す弛みを適正化することができる。   Here, since the width of the slits 414t and 415t is narrowed from the middle in the depth direction, when the power supply substrate 10 is inserted to a position where the width is narrow in the slits 414t and 415t, the power supply substrate 10 is inserted into the slits 414t and 415t. Temporarily fixed to 415t. Therefore, if the coil wires 56 and 57 are connected to the temporarily fixed power supply substrate 10 and then the power supply substrate 10 is pushed deeper into the slits 414t and 415t, the coil wires 56 and 57 can be slackened. Moreover, the slack attached | subjected to the coil wires 56 and 57 can be optimized only by optimizing the position of the electric power feeding board | substrate 10 at the time of connecting the coil wires 56 and 57. FIG.

次に、図9および図10に示すように、コイル5の空芯部50に接着剤に充填した後、コイルホルダ4のコイル配置穴410および板部41に第1方向Zの他方側Z2から重な
るように第2プレート48を配置する。その際、凸部482を側板部414、415、418、419の第2保持部414b、415b、418b、419bに差し込み、係合させる。その結果、第2プレート48は、コイル5に第1方向Zの他方側Z2から重なる状態でコイルホルダ4に保持される。また、接着剤90は、コイル5に対して第1方向Zの一方側Z1では、コイル5と第1プレート47との間を伝って、第1プレート47とコイルホルダ4の板部41との隙間に流入する。その際、過剰な接着剤90は、板部41の端部411、412の第1方向Zの一方側Z1の面に形成された凹部412a等に流れ込む。一方、接着剤90は、コイル5に対して第1方向Zの他方側Z2では、コイル5と第2プレート48との間を伝って、第2プレート48とコイルホルダ4の板部41との隙間に流入する。その際、過剰な接着剤90は、板部41の端部411、412の第1方向Zの他方側Z2の面に形成された凹部411b、412b等に流れ込む。
Next, as shown in FIG. 9 and FIG. 10, after filling the air core portion 50 of the coil 5 with the adhesive, the coil placement hole 410 and the plate portion 41 of the coil holder 4 are moved from the other side Z2 in the first direction Z. The 2nd plate 48 is arrange | positioned so that it may overlap. At that time, the convex portion 482 is inserted into and engaged with the second holding portions 414b, 415b, 418b, 419b of the side plate portions 414, 415, 418, 419. As a result, the second plate 48 is held by the coil holder 4 so as to overlap the coil 5 from the other side Z2 in the first direction Z. In addition, the adhesive 90 travels between the coil 5 and the first plate 47 on one side Z1 in the first direction Z with respect to the coil 5, and is between the first plate 47 and the plate portion 41 of the coil holder 4. It flows into the gap. At that time, the excessive adhesive 90 flows into the concave portion 412a formed on the surface of the one side Z1 in the first direction Z of the end portions 411, 412 of the plate portion 41. On the other hand, the adhesive 90 travels between the coil 5 and the second plate 48 on the other side Z <b> 2 in the first direction Z with respect to the coil 5, and between the second plate 48 and the plate portion 41 of the coil holder 4. It flows into the gap. At that time, the excessive adhesive 90 flows into the concave portions 411b and 412b formed on the surface of the other side Z2 of the end portions 411 and 412 of the plate portion 41 in the first direction Z.

従って、接着剤90を硬化させると、コイル5は、接着剤90が硬化した接着剤層9によって、第1プレート47およびコイルホルダ4の板部41に固定される。また、第1プレート47は、接着剤層9によってコイルホルダ4の板部41に固定される。また、コイル5は、接着剤層9によって第1プレート47に固定され、第2プレート48は、接着剤層9によってコイルホルダ4の板部41に固定される。   Therefore, when the adhesive 90 is cured, the coil 5 is fixed to the first plate 47 and the plate portion 41 of the coil holder 4 by the adhesive layer 9 in which the adhesive 90 is cured. Further, the first plate 47 is fixed to the plate portion 41 of the coil holder 4 by the adhesive layer 9. The coil 5 is fixed to the first plate 47 by the adhesive layer 9, and the second plate 48 is fixed to the plate portion 41 of the coil holder 4 by the adhesive layer 9.

次に、第1プレート47の第1方向Zの一方側Z1の面において第3方向Yで離間する2箇所に接続体91を接着する一方、第2プレート48の第1方向Zの他方側Z2の面において第3方向Yで離間する2箇所に接続体92を接着する。
次に、第1プレート47に対して第1方向Zの一方側Z1に、第1永久磁石71が固定された第1ヨーク81を配置する一方、第2プレート48に対して第1方向Zの他方側Z2に、第2永久磁石72が固定された第2ヨーク82を配置し、第1ヨーク81の連結部812の先端部を第2ヨーク82の張り出し部822に溶接等の方法で連結する。その際、接続体91を第1ヨーク81に接着し、接続体92を第2ヨーク82に接着する。
Next, the connection body 91 is bonded to two locations separated in the third direction Y on the surface of the first plate 47 on the one side Z1 in the first direction Z, while the other side Z2 of the second plate 48 in the first direction Z. The connecting body 92 is bonded to two locations spaced apart in the third direction Y on the surface.
Next, on the one side Z1 in the first direction Z with respect to the first plate 47, the first yoke 81 to which the first permanent magnet 71 is fixed is disposed, while in the first direction Z with respect to the second plate 48. The second yoke 82 to which the second permanent magnet 72 is fixed is disposed on the other side Z2, and the tip of the connecting portion 812 of the first yoke 81 is connected to the overhanging portion 822 of the second yoke 82 by a method such as welding. . At that time, the connection body 91 is bonded to the first yoke 81, and the connection body 92 is bonded to the second yoke 82.

次に、コイルホルダ4および可動体6を第1方向Zの一方側Z1から覆うように第1ケース部材31を重ねた後、コイルホルダ4および可動体6を第1方向Zの他方側Z2から覆うように第2ケース部材32を重ね、第2ケース部材32の側板部321に形成された係合穴321dをコイルホルダ4の係合凸部414d、418d等に係合させる。しかる後には、第1ケース部材31と第2ケース部材32とを溶接等によって結合させ、ケース3を構成する。   Next, after stacking the first case member 31 so as to cover the coil holder 4 and the movable body 6 from the one side Z1 in the first direction Z, the coil holder 4 and the movable body 6 are moved from the other side Z2 in the first direction Z. The second case member 32 is overlapped so as to cover, and the engagement holes 321d formed in the side plate portion 321 of the second case member 32 are engaged with the engagement convex portions 414d, 418d, and the like of the coil holder 4. After that, the first case member 31 and the second case member 32 are joined by welding or the like to form the case 3.

(他の実施の形態)
上記実施の形態では、コイル5に対する第1方向Zの両側に永久磁石(第1永久磁石71および第2永久磁石72)を設けたが、コイル5に対する第1方向Zの一方のみに永久磁石を設けたアクチュエータに本発明を適用してもよい。
(Other embodiments)
In the above embodiment, the permanent magnets (the first permanent magnet 71 and the second permanent magnet 72) are provided on both sides of the coil 5 in the first direction Z. However, the permanent magnet is provided only in one of the first directions Z with respect to the coil 5. The present invention may be applied to the provided actuator.

上記実施の形態では、コイルホルダ4およびコイル5を支持体2に設け、永久磁石(第1永久磁石71および第2永久磁石72)およびヨーク(第1ヨーク81および第2ヨーク82)を可動体6に設けた。但し、第1プレート47および第2プレート48を用いた構成や、給電基板10に弛みを設けるための構成については、コイルホルダ4およびコイル5を可動体6に設け、永久磁石(第1永久磁石71および第2永久磁石72)およびヨーク(第1ヨーク81および第2ヨーク82)を支持体2に設けたアクチュエータに適用してもよい。   In the above embodiment, the coil holder 4 and the coil 5 are provided on the support 2, and the permanent magnets (first permanent magnet 71 and second permanent magnet 72) and yoke (first yoke 81 and second yoke 82) are movable bodies. 6 provided. However, for the configuration using the first plate 47 and the second plate 48 and the configuration for providing slack in the power supply substrate 10, the coil holder 4 and the coil 5 are provided in the movable body 6, and permanent magnets (first permanent magnets) are provided. 71 and the second permanent magnet 72) and the yoke (the first yoke 81 and the second yoke 82) may be applied to an actuator provided on the support 2.

上記実施の形態では、接続体91、92としてゲル状部材(粘弾性部材)を用いたが、ゴムやバネ等を用いてもよい。ここで、粘弾性とは、粘性と弾性の両方を合わせた性質のことであり、ゲル状部材、プラスチック、ゴム等の高分子物質に顕著に見られる性質であ
る。従って、粘弾性を備えた接続体91、92として、天然ゴム、ジエン系ゴム(例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム)、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等)、非ジエン系ゴム(例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等)、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いてもよい。
In the above embodiment, gel-like members (viscoelastic members) are used as the connecting members 91 and 92, but rubbers, springs, or the like may be used. Here, viscoelasticity is a property that combines both viscosity and elasticity, and is a property that is remarkably seen in polymer materials such as gel-like members, plastics, and rubbers. Therefore, as the connecting bodies 91 and 92 having viscoelasticity, natural rubber, diene rubber (for example, styrene / butadiene rubber, isoprene rubber, butadiene rubber), chloroprene rubber, acrylonitrile / butadiene rubber, etc.), non-diene rubber ( For example, butyl rubber, ethylene / propylene rubber, ethylene / propylene / diene rubber, urethane rubber, silicone rubber, fluorine rubber, etc.), various rubber materials such as thermoplastic elastomers, and modified materials thereof may be used.

1…アクチュエータ、1a…磁気駆動回路、2…支持体、3…ケース、4…コイルホルダ、5…コイル、6…可動体、9…接着剤層、10…給電基板、10a、10b…端部、11…第1板部、12、13…第2板部、16a、16b、17a、17b…ランド、31…第1ケース部材、32…第2ケース部材、41…板部、47…第1プレート、48…第2プレート、50…空芯部、51…長辺部、52…短辺部、56、57…コイル線、71…第1永久磁石、72…第2永久磁石、81…第1ヨーク、82…第2ヨーク、90…接着剤、91、92…接続体、311、321、413、414、415、417、418、419…側板部、410…コイル配置穴、411c…ガイド溝、411r…当接部、414a、415a、418a、419a…第1保持部、414b、415b、418b、419b…第2保持部、414t、415t…スリット、811、821…平板部、812…連結部、822…張り出し部、X…第2方向、Y…第3方向、Z…第1方向   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Actuator, 1a ... Magnetic drive circuit, 2 ... Support body, 3 ... Case, 4 ... Coil holder, 5 ... Coil, 6 ... Movable body, 9 ... Adhesive layer, 10 ... Feed board, 10a, 10b ... End part , 11 ... 1st plate part, 12, 13 ... 2nd plate part, 16a, 16b, 17a, 17b ... Land, 31 ... 1st case member, 32 ... 2nd case member, 41 ... Plate part, 47 ... 1st Plate ... 48 ... Second plate, 50 ... Air core, 51 ... Long side, 52 ... Short side, 56, 57 ... Coil wire, 71 ... First permanent magnet, 72 ... Second permanent magnet, 81 ... First 1 yoke, 82 ... second yoke, 90 ... adhesive, 91, 92 ... connector, 311, 321, 413, 414, 415, 417, 418, 419 ... side plate portion, 410 ... coil arrangement hole, 411c ... guide groove 411r ... contact part, 414a, 415a, 418a 419a ... first holding portion, 414b, 415b, 418b, 419b ... second holding portion, 414t, 415t ... slit, 811, 821 ... flat plate portion, 812 ... connecting portion, 822 ... overhanging portion, X ... second direction, Y ... 3rd direction, Z ... 1st direction

Claims (8)

可動体と、
支持体と、
弾性および粘弾性の少なくとも一方を備え、前記可動体と前記支持体とが対向する位置で前記可動体および前記支持体の双方に接するように配置された接続体と、
前記可動体および前記支持体のうちの一方側部材に設けられた空芯のコイル、および前記コイルに対して第1方向の一方側で対向するように前記可動体および前記支持体のうちの他方側部材に設けられた第1永久磁石を備え、前記可動体を前記支持体に対して前記第1方向に対して交差する第2方向に振動させる磁気駆動回路と、
を有し、
前記一方側部材は、前記コイルが内側に配置されるコイル配置穴が前記第1方向で貫通する板部を備えたコイルホルダと、前記コイル配置穴および前記板部に前記第1方向の一方側から重なる第1プレートと、少なくとも前記コイルの空芯部に充填され、前記コイルを前記第1プレートおよび前記板部に固定する接着剤層と、を有し、
前記コイルは、前記第1プレートを介して前記第1永久磁石と対向していることを特徴とするアクチュエータ。
A movable body,
A support;
A connection body provided with at least one of elasticity and viscoelasticity, and disposed so as to contact both the movable body and the support body at a position where the movable body and the support body face each other;
An air core coil provided on one side member of the movable body and the support body, and the other of the movable body and the support body so as to face the coil on one side in the first direction. A magnetic drive circuit comprising a first permanent magnet provided on a side member, and causing the movable body to vibrate in a second direction intersecting the first direction with respect to the support;
Have
The one side member includes a coil holder provided with a plate portion through which a coil arrangement hole in which the coil is arranged inside penetrates in the first direction, and one side of the coil arrangement hole and the plate portion in the first direction. A first plate that overlaps, and an adhesive layer that is filled in at least the air core portion of the coil and fixes the coil to the first plate and the plate portion,
The actuator, wherein the coil is opposed to the first permanent magnet through the first plate.
前記一方側部材は、前記コイル配置穴および前記板部に前記第1方向の他方側から重なるように配置された第2プレートを有し、
前記コイルは、前記接着剤層によって前記第2プレートおよび前記板部に固定され、
前記他方側部材は、前記コイルに前記第2プレートを介して前記第1方向の他方側で対向する第2永久磁石を有していることを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ。
The one side member has a second plate arranged to overlap the coil arrangement hole and the plate portion from the other side in the first direction,
The coil is fixed to the second plate and the plate portion by the adhesive layer,
2. The actuator according to claim 1, wherein the other side member includes a second permanent magnet that faces the coil on the other side in the first direction through the second plate.
前記第1プレートおよび前記第2プレートは、非磁性材料からなることを特徴とする請求項2に記載のアクチュエータ。   The actuator according to claim 2, wherein the first plate and the second plate are made of a nonmagnetic material. 前記第1プレートおよび前記第2プレートは、金属板からなることを特徴とする請求項3に記載のアクチュエータ。   The actuator according to claim 3, wherein the first plate and the second plate are made of a metal plate. 前記第1プレートおよび前記第2プレートは、ステンレンス板からなることを特徴とする請求項4に記載のアクチュエータ。   The actuator according to claim 4, wherein the first plate and the second plate are made of a stainless plate. 前記コイルホルダは、前記第1プレートと係合して前記第1プレートを保持する第1保持部と、前記第2プレートと係合して前記第2プレートを保持する第2保持部と、を有していることを特徴とする請求項2から5までの何れか一項に記載のアクチュエータ。   The coil holder includes a first holding unit that engages with the first plate and holds the first plate, and a second holding unit that engages with the second plate and holds the second plate. The actuator according to any one of claims 2 to 5, wherein the actuator is provided. 前記接続体は、粘弾性部材であって、前記第1プレートと前記可動体とが前記第1方向で対向する個所、および前記第2プレートと前記可動体とが前記第2方向で対向する個所の各々に設けられていることを特徴とする請求項2から6までの何れか一項に記載のアクチュエータ。   The connection body is a viscoelastic member, where the first plate and the movable body face each other in the first direction, and where the second plate and the movable body face each other in the second direction. The actuator according to claim 2, wherein the actuator is provided on each of the actuators. 前記一方側部材は前記支持体であり、
前記他方側部材は前記可動体であることを特徴とする請求項1から7の何れか一項に記載のアクチュエータ。
The one side member is the support;
The actuator according to claim 1, wherein the other side member is the movable body.
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