JP7357703B2 - 調量弁 - Google Patents

Description

本発明は、例えば接着剤、はんだペースト又は充填媒体又は研磨媒体のような媒体を調量するための調量弁に関する。

このような弁は、いわゆる噴射弁として公知であり、媒体が被加工物から定義された間隔を空けて（通常数ミリメートル）発射され、それによって調量された媒体の液滴が被加工物上の意図された箇所に降下するようにするために使用される。この場合ロボットが調量システムを必ず水平に動かす必要があるため、格段に多量の調量が同じ時間内に実施され得る。加えて、それによって被加工物又は被加工物上の部材の損傷も防止される。

本発明の課題は、より長い耐用寿命とより優れた調量精度を備え、媒体を噴射によって調量可能な調量弁を作り出すことである。

本発明の課題は、請求項１に記載の特徴により解決される。

本発明によれば、弁ニードルはその閉位置において媒体導入部と媒体収集チャンバとの間の接続を完全に閉鎖し、及び弁ニードルはその開位置で媒体導入部と媒体収集チャンバとの間のこの接続を完全に開放する。このことにより、弁ニードルと媒体収集チャンバはパンチとダイのように形成され、すなわち、その間で媒体が潰され得る、閉じられた密封面は存在しない。このようにして、弁の詰まりが防止されるため、調量弁の長い耐用寿命が達成される。同時に、媒体が狭い隙間から供給されなくてすむため、媒体が正確に調量できるようになる。

本発明の有利な実施形態は、明細書、図面及び従属請求項にも記述されている。

第一の有利な実施形態では、弁ニードルの最終位置はストッパで規定され得、このストッパは媒体収集チャンバの外部にあり且つノズル開口部の外部にある。このようなストッパにより、弁ニードルからノズル開口部を通って放出される液滴は急速に途切れる。他方で、この場合、液滴の途切れた範囲で媒体の潰れが阻止される。すなわち、液滴は急速に、特に平たい面として形成された弁ニードル下面から離れ得る。

本発明のさらに有利な実施形態では、媒体導入部と媒体収集チャンバとの間の移行部に鋭角のシーリングエッジが形成され得、そのことによって調量するべき液滴が正確に分断される。同じ理由により、沈み込む弁ニードルの縁及び／又は媒体収集チャンバの縁若しくはエッジが斜角面を有していない場合、有利であり得る。シーリングエッジが平坦な面にある場合、特に優れた結果が得られる。

本発明のさらに有利な実施形態では、弁ニードルの下側正面が平坦であってよく及び弁ニードルの縦軸に直角に延びていてよい。このようにして、弁ニードルはその前方の端部が傾斜面のないパンチの形状を備え、そのことはさらに媒体の調量に有利に働く。

本発明のさらに有利な実施形態では、媒体収集チャンバは円筒形セクションを有してよく、その部分は円錐形セクションに直接つながっている。このようにして、媒体が媒体収集チャンバの円筒形セクションから円錐形セクションを経由してノズル開口部に押しやられるために、調量及び噴射に必要な圧力が弁ニードルの沈み込み時に形成される。

本発明のさらに有利な実施形態では、ベースボディが備えられていてよく、このベースボディは媒体チャネル、媒体収集チャンバ、ノズル開口部、ストッパ及び少なくとも１つの弁ニードル用ガイドから形成されている。

特に優れた機能性及び長い耐用年数に関して、弁ニードルが媒体収集チャンバ内に遊びが極めて少ない嵌合で挿入可能な円筒形末端セクションを有している場合有利であり得る。

本発明のさらに有利な実施形態では、媒体導入部と媒体収集チャンバとの間の境界面が１つの平坦な平面にあってよい。加えてこの媒体収集チャンバは、１つのボアから形成されてよく、及び媒体導入部は媒体収集チャンバとの境界範囲が平坦な平面として形成されていてよく、その結果、２つのボアが交差している場合と比べて、２つの平面に曲がって伸びる境界面がない。

本発明のさらに有利な実施形態では、弁ニードルの駆動は通常圧電素子で行われ、追加ウェイトが固定されているタペットを備えていてよい。そのような追加ウェイトによって、簡単な方法で様々な媒体に適合される。すなわち、調量時に生じる圧力パルスが弁ニードル及びその可動部分（例えば、レバー、タペットなど）の運動エネルギーによって定義される。この運動エネルギーは、駆動によって到達可能な速度及びタペットの質量に左右される。この質量を各媒体に適合可能にするため、及び特に標準仕様の調量弁より重くできるようにするため、タペットは特に交換可能且つそれによって調量対象の各媒体に適合可能な追加のウェイトを備えていてよい。

このような追加ウェイトは、弁ニードルを備えた任意の方式の調量弁に適している。

本発明の別の観点によれば、弁ニードル用のスプリングが備えられており、このスプリングは円板状のボディから形成され、このボディ内には円板の中央に配置された中心開口部並びに渦状腕形状のスリットが設けられており、これらのスリットは中心開口部から外へ向かって及びボディを通り抜けて伸びている。したがってこのスプリングは円板から形成されており、２つの隣接する渦状腕の間に曲がったスプリングアームが形成され、これらのスプリングアームは一体的に円板と接続されている。この場合、円板状のボディの中心開口部の周囲に力がかかると、スプリングアーム全体の弾性で均等に力を受けるので、正確に調整可能な復元力が作用する。

ボディ及び／又は、中心開口部が平面図において丸く、及び特に輪形である場合、スプリングの製造は特に容易になる。

最後に、少なくとも４つの、特に少なくとも６つの及び好ましくは少なくとも８つの、及び特に丁度８つのスリットが備えられている場合、有利であり得る。なぜならこのことにより、特に優れて且つ良好に調節可能なスプリング作用が得られ得るからである。

本発明のさらに有利な実施形態では、弁ニードルは第一のセクションを媒体収集チャンバの範囲に有していてよく、及び弁ニードルの第一のセクションの断面よりも大きい断面を備えた第二のセクションを有していてよく、その際弁ニードルはその最終位置で第二のセクションが当たっている。本実施形態では、一方で弁ニードルに断面が拡張された範囲が作り出され、この範囲はガイドとしても機能し得る。他方で、拡張された範囲と直径の小さい範囲との間の移行部は、弁ニードルのストッパ面に使用され得る。

本発明のさらに有利な実施形態では、弁ニードルは、媒体収集チャンバの上方で軸方向に互いに間隔を空けた２つの環状空間を通って案内され得、その際媒体収集チャンバに隣接した第一の環状空間は流体供給部と、第一の環状空間に隣接した第二の環状空間は流体排出部と接続されている。このような構造により、硬化性接着剤を使用すると固着する傾向にあるエラストマー製シール要素なしで、弁ニードルのシーリングが作り出される。第一の環状空間は、媒体と反応しない流体を供給するために使用され得、その結果媒体チャネルから第一の環状空間内に入る媒体の痕跡は、供給された液体で希釈されるか、及び／又は供給された液体中で移送され、その際媒体と結合することはない。第一の環状空間に隣接する第二の環状空間は、真空源と接続されてよく、その結果第一の環状空間から第二の環状空間に入った、輸送液と媒体との混合物が、詰まりや固着が生じることなく、第二の環状空間から吸引され得る。

構成的にコンパクトな構造は、両方の環状空間が媒体収集チャンバとストッパとの間に配置されていることで実現可能である。

特に安定した弁ニードルのガイドは、ストッパの上方に弁ニードルのためのガイドが備えられ、そのガイド内に弁ニードルが収容されていることによって得られ得る。

本発明の別の観点は、上述の種類の調量弁を備えた調量装置に関し、第一の環状空間は第一の輸送液リザーバと接続しており、及び第二の環状空間は流体吸引部と接続している。この場合、流体吸引部は液体分離装置を備えてよく、その結果、第二の環状空間から吸引された、輸送液と媒体との混合物が、吸気から分離され得る。

本発明の別の観点は、調量弁内に案内され、調量弁に送り込まれる媒体を調量する弁ニードルのシール方法に関する。発明による方法では、弁ニードルの周囲の第一の部分に沿って輸送液が給送され、第一の部分に間隔を空けて隣接している弁ニードルの周囲の第二の部分で、液体が第二の環状空間から排出される。発明による方法では、エラストマー要素又はそれに類した要素なしで、弁ニードルにシール作用をもたらす流体シールが作られ、その結果そのガイド内で固着が生じない。

この場合、媒体が大気圧より高い第一の圧力により給送され、輸送液が第一の圧力より低い第二の圧力で給送され、吸引される液体が輸送液と媒体を含んでいると、有利であり得る。この方法では、輸送液が弁ニードルから媒体収集チャンバに圧送されないことが確保される。なぜなら媒体チャネルの媒体収集チャンバ範囲の圧力が、輸送液が給送される、隣接する環状空間の圧力よりも常に高いからである。その上にある環状空間は吸引をするために、輸送液が送り込まれる環状空間の圧力よりも常に圧力が低いので、どんな液体若しくはどんな液体混合物でも、第二の環状空間から吸引される。

本発明のさらに有利な実施形態では、輸送液として媒体の溶媒、剥離剤又は希釈剤が使用されてよい。例えば媒体としてエポキシ系接着剤が調量される場合、輸送液として例えばアセトン、イソプロパノール、鉱油又はシリコンオイルが考えられ、その際シリコンオイルは輸送液とエポキシ系接着剤との固着を防止するのに特に優れている。調量対象媒体としてシリコン系接着剤を使用する場合、輸送液として例えばシリコンオイル、水又は他のオイルが適している。セラミック粒子を含むオイルを調量する場合、輸送液として特にガソリンが適している。

本発明のさらに有利な実施形態では、ニードルが環状空間の間の範囲に密な嵌合で挿入される場合、有利であり得る。その場合は、わずかな量の媒体若しくは媒体と輸送液の混合物が、それぞれ隣接した環状空間から流れ出る。

以下では本発明が純粋な例として、有利な実施形態に基づいて、及び添えられた図面を使用して説明される。

調量弁の部分断面図である。 図１の調量弁を備えた調量装置の模式図である。

図１に断面図で示された調量弁は、筐体（図示していない）内に配置された圧電素子を有しており、この圧電素子は基本的に公知の方法で、積み重ねて配置され及びそれぞれ電極を備えた、多数の圧電素材層から構成されている。圧電素子はさらに、図１に双方向矢印で示されたようなチルト駆動運動のために形成されている。より正確に言うと、圧電素子はいわゆるダブルスタック原理に従って機能し、欧州特許第０９４７００２（Ｂ１）号明細書に開示されているように、２つの圧電的にアクティブな範囲のほかに１つの圧電的にパッシブな範囲を含んでいる。

示された実施例では、調量弁は入口１４を通って送り込まれる媒体を調量して放出するよう働く。この場合、調量弁は弁ニードル１６を有し、この弁ニードルは媒体を噴射によってノズル開口部１８から排出する。

開スプリング２０の力に反して弁ニードル１６を動かすため、タペット（図示せず）が備えられ、このタペットの下端は弁ニードル１６に当接し、及びタペットの上端には、圧電素子によってチルト振動され得るレバーの前方自由端が接続されている。圧電素子を適切に制御することにより、レバーが傾斜し、それによってタペットが、ひいては弁ニードル１６も、図１に双方向矢印で示されたように、直線リフト運動を行う。弁ニードル１６は、スプリング２０によってその開位置に保持され、及びスプリング２０の圧力に抗してタペット２２により閉位置に動かされる。注意すべきは、図１及び図２には弁ニードル１６がその（下側の）ストップ位置で図示されているが、スプリング２０はその動かされていない位置にあり、すなわち弁ニードルがその下側の終端位置まで動いておらず、開位置にあることである。

弁ニードルの反対側のレバー面にはレバー用ストッパが備えられていてよく、その結果レバーの自由端が、レバーの旋回によってこのストッパに当たる。ストッパはピンで形成されてよく、このピンは弁ハウジング内にねじ込まれており、及びロック装置を使ってロックされ得る。このようにして、ハウジング６０内でのストッパの位置も確認でき、その結果、ストッパ側の当接点を調整することによって調節可能である。

さらに、タペットには例えば接着、ボルト止め、プレス又は類似の方法で追加ウェイトが配置されていてよく、追加ウェイトは特にタペットの前端範囲に配置されており、弁ニードル１６に押しつけられる。この追加ウェイトは、質量を各媒体に適合できるよう及び特に標準仕様の調量弁と比べて質量を大きくできるようにするため、特に交換可能であってよい。

圧電素子の制御を改善するため、調量弁は距離センサと接続されている制御部を有しており、この距離センサはレバー自由端の移動距離、ひいては駆動部のストロークを検出する。さらに、制御部は制御電圧と圧電素子の供給電流を測定し、それによって力の測定が可能である。最後に、移動距離測定の温度依存性を補整するために制御部は温度センサも備えており、若しくは一定の調量状況を達成するために制御部によって制御されたヒータエレメントを調整する。

図１は、記述された調量弁のハウジング６０の拡大図である。調量弁は媒体チャネルを有し、この媒体チャネルは供給部１４からボア６６及び環状空間として形成された媒体導入部６７を経てノズル開口部１８まで通じており、媒体チャネルはノズル開口部１８の前に媒体収集チャンバ６８を有している。圧電素子が作動すると、弁ニードル１６が下方へ押され、その前端がその最終位置（図１及び２）まで、媒体収集チャンバ６８内に入り込み、媒体収集チャンバ内にある媒体Ｍをノズル開口部１８から排出する。

弁座を使用すること及び媒体をつぶしたり押したりすることを回避するため、弁ニードル１６の前端は円筒形であり、及びパンチのように形成されている。さらに、媒体導入部６７と媒体収集チャンバ６８との間の移行部は、鋭角の分断エッジ７０を形成し、斜角面は有しておらず、及び平坦な平面にある。弁ニードル１６の下側正面も平坦であり、弁ニードル１６の縦軸方向に直角である。最後に、媒体収集チャンバ６８は媒体導入部６７の方を向いた円筒形セクション７２を有しており、この円筒形セクションは円錐形セクション７４に接続しており、この円錐形セクションはその細くなる方の端部がノズル開口部１８へと移行する。

図１でさらに明らかなように、弁ニードル１６はその前端が媒体導入部６７を貫通し、それによってその閉位置でその前端が完全に媒体に取り囲まれる。しかし、弁ニードル１６はその開位置で媒体導入部６７と媒体収集チャンバ６８との接続を完全に開放する。

弁ニードル１６がその閉位置で媒体収集チャンバ１８の範囲に当たらないようにするため、弁ニードル１６はその閉位置で、その前端が弁ニードル１６の終端位置で媒体収集チャンバ６８の円錐形セクション７４と接触しない範囲でのみ動かされる。

さらに図１で明らかなように、弁ニードル１６はベースボディ７６内に沈み込んでおり、このベースボディはボア６６、媒体導入部６７、媒体収集チャンバ６８及びノズル開口部１８から形成されている。ベースボディ７６内には媒体チャネル６７の上方に軸方向に互いに間隔を空けた２つの環状空間９０及び９２が形成されており、これら環状空間はそれぞれ１つの弁ニードル１６部分を取り囲んでいる。媒体導入部６７と上方の環状空間９２との間で、弁ニードル１６は同じ円筒形の断面を備えている。この場合、媒体収集チャンバ６８に隣接する下方の環状空間９０は流体供給部９４と、及び下方の環状空間９０に隣接する上方の環状空間９２は流体排出部９６と接続されている。流体供給部９４も流体排出部９６も図１には図示していないが、図２では破線で示されている。

ベースボディ７６上縁の範囲では、弁ニードルの断面は、直径がより小さいセクション８４（図１）から直径がより大きいセクション８２へと拡大し、その結果より大きなセクション８２を備えた弁ニードル１６はベースボディ７６の上面でその終端位置に当たる。したがってベースボディ７６の上面は、弁ニードル１６のストッパ７７を形成し、このストッパは媒体収集チャンバ６８の外部及びノズル開口部１８の外部にある。したがって弁ニードル１６は、それぞれ図１及び図２に示されているように、その下方の終端位置にある場合に、拡大セクション８２がベースボディ８４のストッパ７７に当たる。ストッパ７７と媒体収集チャンバ６８との間に、両方の環状空間９０及び９２が配置されている。直径がより小さい弁ニードル１６のセクション８４は、この場合媒体収集チャンバ６８と下方環状空間９０との間で、下方環状空間９０と上方環状空間９２との間で、及び上方環状空間９２とストッパ７７との間で、それぞれ１つのガイド８６、８７、８８によって案内され、その際３つすべてのガイドが同じ直径のボアから形成されている。弁ニードルは、このボアの範囲に遊びが非常に狭い状態で案内される。ストッパ７７の上方でも、弁ニードル１６は別のガイド８９に収容され、このガイドはハウジング６０にはめ込まれ、ベースボディ７６から間隔をあけたインサート９１から形成されている。

流体供給部１４を通って給送される媒体Ｍに対する弁ニードル１６のシーリングを、エラストマー製シール要素又はそれに類したものを使用せずに実現するため、流体供給部９４は輸送液リザーバ１０２と接続されている。反対に、第二の環状空間９２は流体排出部９６を介して流体吸引部１０４と接続されており、かけられた負圧（ＶＡＣ）によって空気と液体が第二の環状空間９２から吸引される。吸引された液体を分離するために、流体吸引部１０４内に液体分離装置１０５が備えられている。調量対象の媒体Ｍ自体は、約約０．５及び６ｂａｒの圧力Ｐ１が加えられている媒体リザーバ１００に収容される。

上述の調量装置若しくは上述の調量弁には、作動中に媒体リザーバ１００から供給部１４を通って送られる媒体Ｍによって大気圧より高い圧力Ｐ１がかけられる。これにより、媒体Ｍはボア６６及び媒体導入部６７を通って弁ニードル１６の下方の周範囲に給送される。同時に輸送液リザーバ１０２からの輸送液Ｔは、例えば大気圧以下で、流体供給部９４を通って下方の環状空間９０に案内され、及び上方の環状空間９２は流体吸引部１０４を通って真空又は負圧がかけられる。それに続いて弁が複数回作動されると、弁ニードル１６がその下方の、図１及び図２に示されたストップ位置で、いくらか上へ動き、その結果媒体Ｍは環状空間として形成された媒体導入部６７から媒体収集チャンバ６８へ入り、弁ニードル１６のさらなるリフト運動によって下方へ、ノズル開口部１８を通って噴出される。多数回ストロークが行われると、作動中は弁ニードル１６とベースボディ７６との間の密な嵌合にもかかわらず、ごく少量の媒体が媒体導入部６７から下方の環状空間９０へ移動する可能性がある。しかしこの下方の環状空間は媒体とは結合しない輸送液Ｔで満たされており、その結果、媒体Ｍと輸送液Ｔとの混合物は、下方の環状空間９０の範囲で固着したり硬化したりしない。さらなる経過において、媒体Ｍと輸送液Ｔとの液体混合物は、上方の環状空間９２に到達し得るが、ここから流体排出部９６及び流体吸引部１０４を通って吸引され、その結果、液体又は媒体がストッパ７７に到達することはない。

注意すべきは、弁ニードル１６の上方のセクション８２はその直径が約１ｍｍ、弁ニードルの下方のセクション８４はその直径が約０．５ｍｍであり、及びノズル開口部１８は直径が約１００μｍであってよい。異なった長さの調量ニードルを使用することにより、有利な方法で調量するべき量が調整され得る。例えばストッパ面７７と弁ニードル前部の平坦な端面との間の間隔が拡大される調量ニードルが使用されると、調量量が減少し及びその逆も生じる。このようにして、「液滴」を調量するだけでなく、特定の使用目的では有利であり得る、より大きな容積も可能である。

調量及び噴射に必要な圧力は、弁ニードル１６前部の端面の沈み込み時に、媒体収集チャンバ６８の円筒形セクション７２内に形成される。このために必要な、ニードルの非常に高速な運動は、圧電駆動部によって可能になる。本発明による弁は弁座を有していないため、弁ニードルとそれを駆動するタペットの運動エネルギーは、弁座にではなく媒体に伝達され、それによって良好な液滴形成が達成される。媒体は２つの面の間で圧縮又は潰されたりせず、せいぜい鋭角のシーリングエッジによって分離されるだけなので、弁は長い耐用年数で稼働される。

Claims (12)

1. 媒体を調量するための調量弁であって、媒体導入部（６７）からノズル開口部（１８）へ通じる媒体チャネルを含み、該媒体チャネルは前記ノズル開口部の前に媒体収集チャンバ（６８）を有しており、及び中心軸を有する弁ニードル（１６）を含み、該弁ニードルを使って前記媒体収集チャンバ内にある媒体（Ｍ）が前記ノズル開口部（１８）を通って排出され得、その際前記弁ニードルは、その開位置で前記媒体導入部（６７）と前記媒体収集チャンバ（６８）との間の接続を完全に開放し、及び前記媒体を前記媒体収集チャンバ（６８）内に排出するために最終位置まで沈み込み、及びその際前記媒体導入部（６７）と前記媒体収集チャンバ（６８）との間の接続を完全に閉じ、
   前記弁ニードル（１６）が、前記媒体収集チャンバ（６８）の上方で軸方向に互いに間隔を空けた２つの環状空間（９０、９２）を通っており、その際前記媒体収集チャンバ（６８）に隣接した第一の環状空間（９０）が流体供給部（９４）と接続し、及び前記第一の環状空間（９０）に隣接する第二の環状空間（９２）が流体排出部（９６）と接続し、
   前記第一の環状空間（９０）が輸送液リザーバ（１０２）と接続し、及び前記第二の環状空間（９２）が流体吸引部（１０４）と接続している、調量弁。
2. 前記弁ニードル（１６）の前記最終位置がストッパ（７７）によって規定され、該ストッパが前記媒体収集チャンバ（６８）の外部に及び前記ノズル開口部（１８）の外部にあることを特徴とする、請求項１に記載の調量弁。
3. 前記弁ニードル（１６）が、前記媒体収集チャンバ（６８）の範囲に設けられた第一のセクション（８４）、及び前記弁ニードル（１６）の前記第一のセクション（８４）の断面より大きい断面を備えた第二のセクション（８２）を有しており、
   前記弁ニードル（１６）が前記最終位置で前記第二のセクション（８２）において前記ストッパ（７７）に当たっていることを特徴とする、請求項２に記載の調量弁。
4. 前記両方の環状空間（９０、９２）が、前記媒体収集チャンバ（６８）と前記ストッパ（７７）との間に配置されていることを特徴とする、請求項２に記載の調量弁。
5. ベースボディ（７６）を備え、前記ベースボディ（７６）は、前記媒体導入部（６７）と、前記ノズル開口部（１８）と、前記ストッパ（７７）と、前記弁ニードル（１６）のための少なくとも１つのガイド（８６、８８）と、を有することを特徴とする、請求項２～４のいずれか一項に記載の調量弁。
6. 前記弁ニードル（１６）を前記媒体（Ｍ）に対してシールするために、エラストマー製シール要素を備えていないことを特徴とする、請求項１～５のいずれか一項に記載の調量弁。
7. 前記弁ニードル（１６）が前記ストッパ（７７）の上方でガイド（８９）内に収容されることを特徴とする、請求項２～５のいずれか一項に記載の調量弁。
8. 請求項４に記載の調量弁を備えた調量装置であって、前記第一の環状空間（９０）が輸送液リザーバ（１０２）と接続し、及び前記第二の環状空間（９２）が流体吸引部（１０４）と接続し、
   前記流体吸引部（１０４）が液体分離装置（１０５）を備えていることを特徴とする、調量装置。
9. 請求項１～７のいずれか一項に記載の、調量弁内に案内されている弁ニードルをシールする方法であって、該弁ニードルによって前記調量弁に送られた媒体が調量される方法において、前記弁ニードル（１６）の周囲の第一の部分に沿って輸送液（Ｔ）が給送され、及び前記第一の部分に隣接し且つ間隔を空けた前記弁ニードル（１６）の周囲の第二の部分から液体（Ｔ、Ｍ）が吸引されることを特徴とする、方法。
10. 前記媒体（Ｍ）が大気圧より高い第一の圧力（Ｐ１）によって給送され、前記輸送液（Ｔ）が前記第一の圧力（Ｐ１）より低い第二の圧力によって給送され、及び吸引された液体（Ｔ、Ｍ）が輸送液（Ｔ）及び媒体（Ｍ）を含んでいることを特徴とする、請求項９に記載の方法。
11. 前記媒体のために、溶媒、剥離剤又は希釈剤である輸送液（Ｔ）が使用されることを特徴とする、請求項９又は１０に記載の方法。
12. 前記弁ニードル（１６）が軸方向に互いに間隔を空けた３つの環状空間（６７、９０、９２）に通され、その際第一の環状空間（９０）内に前記輸送液（Ｔ）が給送され、前記第一の環状空間（９０）に隣接する第二の環状空間（９２）から前記液体（Ｔ、Ｍ）が吸引され、及び前記媒体（Ｍ）が、前記第一の環状空間（９０）に隣接する第三の環状空間（６７）内に給送され、その際前記弁ニードル（１６）が前記環状空間の間に通されることを特徴とする、請求項９、１０又は１１に記載の方法。

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