JP7343417B2 - Metal parts, watch movements with metal parts, watches with watch movements, and methods for manufacturing metal parts - Google Patents

Metal parts, watch movements with metal parts, watches with watch movements, and methods for manufacturing metal parts Download PDF

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Description

本発明は、金属部品、金属部品を有する時計用ムーブメント、時計用ムーブメントを有する時計、及び金属部品の製造方法に関する。 The present invention relates to metal parts, a timepiece movement having metal parts, a timepiece having a timepiece movement, and a method for manufacturing metal parts.

UV-LIGA(紫外線を用いたフォトリソグラフィ、電解めっき等による微細加工)や、転写法によるニッケル電鋳部品をはじめとする金属製時計部品の製造がなされている。また、軽量化や非磁性化や精度を求めて、シリコンやニッケル-リン電鋳といった脆性材料による時計部品も広く作られている。また、機械的構造に基づいて、多段構造を有する電鋳部品が検討されている(例えば、特許文献1参照)。 Metal watch parts, including nickel electroformed parts, are manufactured using UV-LIGA (microfabrication using photolithography using ultraviolet rays, electrolytic plating, etc.) and transfer methods. In addition, watch parts are widely made from brittle materials such as silicon and nickel-phosphorus electroforming to reduce weight, make them non-magnetic, and increase precision. Further, based on the mechanical structure, electroformed parts having a multi-stage structure are being considered (see, for example, Patent Document 1).

特開2007-46147号公報Japanese Patent Application Publication No. 2007-46147

しかしながら、これらの方法により製造される部品の多くは、歯車等の薄物であることから、比較的少数の歯が形成されたカナと呼ばれる軸が取り付けられることが多い。この場合、開口を有するこれらの部品に軸等を圧入する、又は、接着する等の方法が採られる。 However, since many of the parts manufactured by these methods are thin objects such as gears, they are often attached with a shaft called a pinion on which a relatively small number of teeth are formed. In this case, a method such as press-fitting a shaft or the like into these parts having openings or gluing them is adopted.

通常のニッケル電鋳の場合、軸に対して硬度が低いため、その塑性変形を利用した圧入嵌合が一般的であるが、圧入により、出口側が盛り上がる場合が有る(図12、図13参照)。また、酷い場合には、部品の変形、破損をもたらすとともに、変形により寸法精度の低下を招くことになる。 In the case of normal nickel electroforming, the hardness is low relative to the shaft, so press-fitting using its plastic deformation is common, but the exit side may bulge due to press-fitting (see Figures 12 and 13). . Furthermore, in severe cases, the parts may be deformed and damaged, and the deformation may lead to a decrease in dimensional accuracy.

また、シリコンやニッケル-リン合金等の脆性材料の場合、軸に対しては隙間を持った嵌合条件の下、接着による固定が主に用いられる。これら脆性材料の部品では、軸等が圧入された場合、部品が破損するため、歯車と軸との嵌合部は、加工公差を考慮した比較的大きな隙間を必要とする。このような場合、接着剤を塗布する際、接続部の量の加減が適正でない場合には、図14及び図15に示すように、接着剤のはみ出しや、部品の傾き等が生じることがあった。 Furthermore, in the case of brittle materials such as silicon or nickel-phosphorus alloys, fixing by adhesive is mainly used under fitting conditions with a gap to the shaft. If a shaft or the like is press-fitted into a part made of these brittle materials, the part will be damaged, so the fitting portion between the gear and the shaft requires a relatively large gap in consideration of processing tolerances. In such a case, if the amount of adhesive applied to the connection part is not appropriate, the adhesive may protrude or the parts may become tilted, as shown in Figures 14 and 15. Ta.

また、アンクルに爪石を固定する場合にも、無理な圧入嵌合をすると、当接する端縁が盛り上がったりする可能性があり、酷い場合には、部品の変形、破損をもたらす場合がある。 Furthermore, when fixing a nail stone to an ankle, if the nail stone is forced into a forced fit, the abutting edges may bulge, and in severe cases, the parts may be deformed or damaged.

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、寸法精度を上げることができるとともに、他部品を嵌合する際の変形部の外側へのはみ出しを抑え、部品としての変形を小さくすることができ、嵌合力の向上を図ることが可能な金属部品、金属部品を有する時計用ムーブメント、時計用ムーブメントを有する時計、及び金属部品の製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and it is possible to improve the dimensional accuracy, suppress the protrusion of the deformed part to the outside when fitting other parts, and reduce the deformation of the part. An object of the present invention is to provide a metal component, a watch movement having the metal component, a timepiece having the watch movement, and a method for manufacturing the metal component, which can improve the fitting force.

第1の態様に係る金属部品は、電鋳又は無電解めっきにより所定の厚みに形成された金属部品であって、他部品が挿入されることで嵌合可能な嵌合部と、前記嵌合部に設けられ、前記厚み方向の一端側から他端側に向けて前記嵌合部が幅方向に離間するように傾斜する段状の傾斜部を備え、前記傾斜部の傾斜面の角度は、前記厚み方向に対し、2度以上10度以下であり、前記傾斜部は、前記嵌合部における幅方向内側において前記他部品と嵌合する。 The metal part according to the first aspect is a metal part formed to a predetermined thickness by electroforming or electroless plating, and includes a fitting part that can be fitted by inserting another part, and a fitting part that can be fitted by inserting another part. A step-like sloped part is provided in the part and slopes so that the fitting part is spaced apart in the width direction from one end side in the thickness direction to the other end side, and the angle of the sloped surface of the sloped part is: The angle is 2 degrees or more and 10 degrees or less with respect to the thickness direction, and the inclined portion fits with the other component on the inner side in the width direction of the fitting portion.

第1の態様では、嵌合部に厚み方向の一端側から他端側に向けて傾斜する段状の傾斜部が設けられている。この傾斜部は、嵌合部における幅方向内側で他部品と嵌合する。この傾斜部の一端側は他部品との距離が小さい側(孔であれば小径側)となり、傾斜部の他端側が他部品との距離が大きい側(孔であれば大径側)となる。 In the first aspect, the fitting portion is provided with a step-like slope portion that slopes from one end side to the other end side in the thickness direction. This inclined portion fits into another component on the widthwise inner side of the fitting portion. One end of this slope is the side with a smaller distance to other parts (in the case of a hole, the smaller diameter side), and the other end of the slope is the side with a larger distance to other parts (in the case of a hole, the larger diameter side). .

第1の態様によれば、嵌合部のはめあい公差は、小径側(他部品との距離が小さい側)で決定されることになるので、大径側(他部品との距離が大きい側)で決定する場合よりも、公差を小さなものに設定することができ、結果として、寸法精度を上げることができる。 According to the first aspect, the fit tolerance of the fitting part is determined on the small diameter side (the side where the distance from other parts is small), so the fit tolerance on the large diameter side (the side where the distance from other parts is large) The tolerance can be set smaller than that determined by , and as a result, dimensional accuracy can be improved.

また、寸法精度を上げることができることで、結果として、他部品を嵌合する際の変形部の外側へのはみ出しを抑え、部品としての変形を小さくすることができ、嵌合力の向上を図ることができる。さらに、嵌合部に、厚み方向の一端側から他端側に向けて傾斜する傾斜部を備えていることで、金属部品の傾斜部と、嵌合する他部品の表面との間に空間を設けることができる。これにより、他部品を嵌合する際に接着剤を用いる場合には、接着剤を傾斜部と他部品の表面との間の空間に納めることができ、接着効果を高めることができるとともに、外側への接着剤の流出を防ぐことができる。
なお、傾斜部の各段における傾斜面の角度が厚み方向に対して2度未満であると、厚み方向の一端側と他端側とで、嵌合部の離間距離の差が僅かとなり、一端側と他端側とで寸法精度の向上が期待できず、嵌合力の向上が望めない。一方、各傾斜面の角度が、厚み方向に対して10度を超えると、傾斜部が鋭角に尖った状態となり、強度を維持することができず、簡単に割れたり、破損したりして嵌合力を維持することができない。これに対し、第5の態様によれば、各傾斜面の角度が、厚み方向に対し、2度以上10度以下とすることにより、寸法精度の向上及び割れや破損の抑制を両立させることが可能であって、他部品を嵌合させる嵌合力を向上させることができる。
In addition, by increasing dimensional accuracy, it is possible to suppress the protrusion of the deformed part to the outside when fitting other parts, reduce the deformation of the part, and improve the fitting force. Can be done. Furthermore, by providing the fitting part with an inclined part that slopes from one end in the thickness direction to the other end, a space is created between the inclined part of the metal part and the surface of the other part to be fitted. can be provided. As a result, when using adhesive when fitting other parts, the adhesive can be contained in the space between the sloped part and the surface of the other part, increasing the adhesive effect, and also This prevents the adhesive from leaking into the product.
In addition, if the angle of the inclined surface in each stage of the inclined part is less than 2 degrees with respect to the thickness direction, the difference in the separation distance of the fitting part between one end and the other end in the thickness direction will be small, and one end No improvement in dimensional accuracy can be expected between one end and the other end, and no improvement in fitting force can be expected. On the other hand, if the angle of each inclined surface exceeds 10 degrees with respect to the thickness direction, the inclined portion will become sharply pointed, and its strength will not be maintained and it will easily crack or break. Unable to maintain resultant force. On the other hand, according to the fifth aspect, by setting the angle of each slope to 2 degrees or more and 10 degrees or less with respect to the thickness direction, it is possible to both improve dimensional accuracy and suppress cracks and damage. This is possible, and the fitting force for fitting other parts can be improved.

第2の態様に係る金属部品は、第1の態様において、前記傾斜部は、前記厚み方向の中程から前記他端側にかけて傾斜する第1傾斜部と、前記一端側から前記中程にかけて傾斜する第2傾斜部とを備え、少なくとも前記第1傾斜部の前記一端側が前記他部品と嵌合する。 In the metal component according to the second aspect, in the first aspect, the inclined part includes a first inclined part inclined from the middle in the thickness direction to the other end side, and a first inclined part inclined from the one end side to the middle. and a second inclined part, at least the one end side of the first inclined part fitting into the other component.

第2の態様は、嵌合部において第1傾斜部及び第2傾斜部の2段の傾斜部を設けることを特徴とする。ここで、傾斜部のおける傾斜面の位置精度は、金属部品の厚さが小さくなるほど、精度を向上させることができるため、同一の厚さであれば、一つの傾斜面よりも、当該厚さを二分した段状の傾斜面の方が、精度を向上させることができる。 The second aspect is characterized in that two stages of sloped parts, a first sloped part and a second sloped part, are provided in the fitting part. Here, the positional accuracy of the sloped surface in the sloped part can be improved as the thickness of the metal component becomes smaller. A step-like inclined surface that divides the area into two can improve accuracy.

すなわち、二つの傾斜部を有することで、はめあい公差としての寸法許容差を小さくすることができ、一つの傾斜部の場合よりも、寸法精度を向上させることができる。このように寸法精度を向上させることができることで、さらに、他部品を嵌合する際の変形部分の外側へのはみ出しを抑え、部品としての変形を小さくすることができ、さらに嵌合力の向上を図ることができる。 That is, by having two inclined parts, the dimensional tolerance as a fitting tolerance can be reduced, and the dimensional accuracy can be improved more than in the case of one inclined part. By improving dimensional accuracy in this way, it is also possible to prevent the deformed part from protruding outward when fitting other parts, reduce the deformation of the part, and further improve the fitting force. can be achieved.

第3の態様に係る金属部品は、第2の態様において、前記他部品は、前記第1傾斜部及び前記第2傾斜部のそれぞれと嵌合する。 In the metal component according to the third aspect, in the second aspect, the other component fits into each of the first inclined part and the second inclined part.

第3の態様によれば、第1傾斜部と第2傾斜部との両方の端縁で他部品との嵌合が可能となり、1つの傾斜部の端縁で他部品と嵌合するような場合と比較して、嵌合力の向上を図ることができる。 According to the third aspect, it is possible to fit other parts at the edges of both the first sloped part and the second sloped part, and it is possible to fit the other parts at the edge of one sloped part. It is possible to improve the fitting force compared to the case.

第4の態様に係る金属部品は、第2の態様又は第3の態様において、前記他部品の挿入方向下流側には、前記他部品と接着させるための接着剤の余りを溜める接着剤溜まり部を備える。 In the metal component according to the fourth aspect, in the second aspect or the third aspect, the downstream side of the insertion direction of the other component has an adhesive reservoir portion for collecting a surplus of adhesive for bonding with the other component. Equipped with

第4の態様では、嵌合部において、第1傾斜部と第2傾斜部との2つの傾斜部を有していることで、他部品との接着に際して次の効果を奏する。すなわち、他部品を嵌合部に挿入する際に接着剤の量が多い場合は、他部品の挿入方向下流側において傾斜部と他部品の表面との間の空間が接着剤貯まり部として機能する。すなわち、第4の態様によれば、他部品の接着効果を高めることができると共に、外側への接着剤の流出を防ぐことができる。 In the fourth aspect, since the fitting portion has two sloped portions, the first sloped portion and the second sloped portion, the following effects are achieved when adhering to other components. In other words, if there is a large amount of adhesive when inserting another component into the mating part, the space between the inclined part and the surface of the other component on the downstream side in the insertion direction of the other component functions as an adhesive reservoir. . That is, according to the fourth aspect, it is possible to enhance the adhesion effect of other parts and to prevent the adhesive from flowing out.

第5の態様に係る時計用ムーブメントは、第1の態様から第4の態様までのいずれか1つの態様の金属部品を有する。 A timepiece movement according to a fifth aspect has a metal component according to any one of the first to fourth aspects .

第5の態様によれば、金属部品と他部品との嵌合力を向上させることができ、低コストで衝撃に強い時計用ムーブメントを提供することができる。 According to the fifth aspect , it is possible to improve the fitting force between the metal parts and other parts, and it is possible to provide a timepiece movement that is resistant to impact at low cost.

第6の態様に係る時計は、第5の態様の時計用ムーブメントを有する。 A timepiece according to a sixth aspect has the timepiece movement according to the fifth aspect .

第6の態様によれば、金属部品と他部品との嵌合力を向上させることができ、低コストで衝撃に強い時計を提供することができる。 According to the sixth aspect , it is possible to improve the fitting force between the metal component and other components, and it is possible to provide a watch that is resistant to impact at low cost.

第7の態様は、第1の態様から第4の態様までのいずれか1つの態様の金属部品の製造方法であって、基板上に第1のフォトレジスト層を第1の厚みに塗布する第1の塗布工程と、第1のフォトマスクを通して前記第1のフォトレジスト層を部分的に露光する第1の露光工程と、前記第1のフォトレジスト層の上に第2のフォトレジスト層を第2の厚みに塗布する第2の塗布工程と、第2のフォトマスクを通して前記第2のフォトレジスト層を部分的に露光する第2の露光工程と、露光した前記第1のフォトレジスト層及び第2のフォトレジスト層を現像して前記基板を露出させると共に、前記金属部品の外形形状を有する開口部を備えた成形型を形成する現像工程と、前記成形型を電鋳液に浸漬し通電して電鋳処理を行うことで、又は前記成形型を無電解めっき液に浸漬し無電解めっき処理を行うことで、前記開口部の内部に金属を析出させて前記成形型に沿って所望の厚みの金属体を成型する成型工程と、前記金属体の厚みが前記所定の厚みとなるように厚み調整を行う厚み調整工程と、前記フォトレジスト層及び前記基板を除去して金属部品を得る除去工程と、を備える。 A seventh aspect is a method for manufacturing a metal component according to any one of the first to fourth aspects , which comprises applying a first photoresist layer to a first thickness on a substrate. a first coating step, a first exposure step of partially exposing the first photoresist layer through a first photomask, and a second photoresist layer formed on the first photoresist layer. a second coating step in which the second photoresist layer is partially exposed through a second photomask; a developing step of developing the photoresist layer No. 2 to expose the substrate and forming a mold having an opening having the external shape of the metal component; and immersing the mold in an electroforming solution and energizing it. The metal is deposited inside the opening to form a desired thickness along the mold, or by immersing the mold in an electroless plating solution and performing electroless plating. a molding step of molding a metal body; a thickness adjustment step of adjusting the thickness of the metal body to the predetermined thickness; and a removal step of removing the photoresist layer and the substrate to obtain a metal component. and.

第7の態様によれば、第1の露光工程と、第2の露光工程とを備えていることで、段差を有する2段構造を設けた金属部品を製造することができる。 According to the seventh aspect , by including the first exposure step and the second exposure step, it is possible to manufacture a metal component having a two-step structure having steps.

本発明によれば、寸法精度を上げることができるとともに、他部品を嵌合する際の変形部の外側へのはみ出しを抑え、部品としての変形を小さくすることができ、嵌合力の向上を図ることができる。 According to the present invention, it is possible to improve dimensional accuracy, suppress the outward protrusion of the deformed part when fitting other parts, reduce the deformation of the part, and improve the fitting force. be able to.

(A)~(F)は、本発明の第1の実施形態であって、成形型の製造方法を示す図である。(A) to (F) are diagrams illustrating a method of manufacturing a mold according to a first embodiment of the present invention. (A)及び(B)は、本発明の第1の実施形態であって、金属部品の製造方法を示す説明図である。(A) and (B) are explanatory diagrams showing a method of manufacturing a metal component according to a first embodiment of the present invention. (A)~(C)は、本発明の第1の実施形態であって、金属部品にカナ付き軸を打ち込む工程を示す説明図である。(A) to (C) are explanatory diagrams showing a process of driving a pinion shaft into a metal component, according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第2の実施形態であって、成形型を示す説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing a mold according to a second embodiment of the present invention. (A)~(C)は、本発明の第2の実施形態であって、金属部品に接着剤を用いてカナ付き軸を打ち込む工程を示す説明図である。(A) to (C) are explanatory diagrams illustrating a second embodiment of the present invention, showing a process of driving a pinned shaft into a metal component using an adhesive. 本発明の第2の実施形態であって、金属部品に接着剤を用いてカナ付き軸を打ち込んだ工程を示す説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram showing a process of driving a pinned shaft into a metal component using an adhesive in a second embodiment of the present invention. (A)及び(B)は、本発明の第4の実施形態であって、アンクルに爪石を嵌合する前の状態を示す説明図である。(A) and (B) are explanatory diagrams showing the fourth embodiment of the present invention and a state before the nail stone is fitted to the ankle. (A)~(C)は、本発明の第4の実施形態であって、アンクルに爪石を嵌合している状態を示す説明図である。(A) to (C) are explanatory diagrams showing a fourth embodiment of the present invention, in which a nail stone is fitted to the ankle. (A)~(C)は、本発明の第5の実施形態であって、接着剤を用いてアンクルに爪石を嵌合している状態を示す説明図である。(A) to (C) are explanatory diagrams illustrating a fifth embodiment of the present invention, in which a nail stone is fitted to the ankle using an adhesive. (A)及び(B)は、本発明の理解を深めるための補足説明を示す説明図である。(A) and (B) are explanatory diagrams showing supplementary explanation for deepening understanding of the present invention. (A)~(C)は、本発明の理解を深めるための補足説明を示す説明図である。(A) to (C) are explanatory diagrams showing supplementary explanations for deepening understanding of the present invention. (A)及び(B)は、従来の金属部品にカナを打ち込む工程を示す説明図である。(A) and (B) are explanatory diagrams showing a conventional process of driving a pinion into a metal part. (A)及び(B)は、従来の金属部品にカナを打ち込む工程を示す説明図である。(A) and (B) are explanatory diagrams showing a conventional process of driving a pinion into a metal part. (A)及び(B)は、従来の金属部品に接着剤を用いたカナを打ち込む工程を示す説明図である。(A) and (B) are explanatory diagrams showing a conventional process of driving a pinion into a metal part using an adhesive. (A)及び(B)は、従来の金属部品に接着剤を用いたカナを打ち込む工程を示す説明図である。(A) and (B) are explanatory diagrams showing a conventional process of driving a pinion into a metal part using an adhesive.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、本明細書において、「~」を用いて表される数値範囲がある場合、数値範囲は「~」の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。 Embodiments of the present invention will be described below based on the drawings. In addition, in this specification, when there is a numerical range expressed using "~", the numerical range means a range that includes the numerical values written before and after "~" as a lower limit value and an upper limit value.

(第1の実施形態)
図1(A)~(F)を用いて、第1の実施形態に係る成形型64の製造方法、図2(A)(B)を用いて、第1の実施形態に係る金属部品10の製造方法について説明する。本実施形態では成形型64として電鋳型を製造し、成形型64を用いた電鋳により金属部品10を製造している。
(First embodiment)
The method for manufacturing the mold 64 according to the first embodiment using FIGS. 1(A) to (F), and the manufacturing method for the metal component 10 according to the first embodiment using FIGS. The manufacturing method will be explained. In this embodiment, an electroforming mold is manufactured as the mold 64, and the metal component 10 is manufactured by electroforming using the mold 64.

本実施形態に係る金属部品10は、例えば、歯車、アンクル、ガンギ車等の時計用ムーブメントの部品に該当する。本実施形態の金属部品10は、第1の塗布工程、第1の露光工程、第2の塗布工程、第2の露光工程、現像工程、成型工程、厚み調整工程、除去・分離工程を経て製造される。以下、これらの各工程について詳細に説明する。 The metal component 10 according to the present embodiment corresponds to, for example, a component of a timepiece movement such as a gear, a pallet wheel, or an escape wheel. The metal component 10 of this embodiment is manufactured through a first coating process, a first exposure process, a second coating process, a second exposure process, a development process, a molding process, a thickness adjustment process, and a removal/separation process. be done. Each of these steps will be explained in detail below.

なお、本実施形態に係る金属部品10は、軸体等の他部品が嵌合可能な貫通孔である嵌合部80(図2参照)を備えている。この嵌合部80には、後述するように、下方側から上方側に向けて傾斜し、下方側が他部品と嵌合する傾斜部(第1傾斜部81及び第2傾斜部82)を備えている(図2参照)。ここで、下方側は厚さ方向の一端側に相当し、上方側は厚さ方向の他端側に相当する。 Note that the metal component 10 according to the present embodiment includes a fitting portion 80 (see FIG. 2) that is a through hole into which another component such as a shaft body can fit. As described later, this fitting part 80 includes an inclined part (a first inclined part 81 and a second inclined part 82) which is inclined from the lower side to the upper side and whose lower side fits into other parts. (See Figure 2). Here, the lower side corresponds to one end side in the thickness direction, and the upper side corresponds to the other end side in the thickness direction.

第1の塗布工程では、図1(A)に示すように、シリコンウエハ51の一面に導電膜52を形成して基板50を得る。導電膜52は、例えば、金、銅、クロム、ニッケル、チタン等の金属を用いるが、複数の膜から構成されていてもよい。また、形成方法としても、真空蒸着法、スパッタリング法等の気相めっき法による方法や、無電解めっき法等の湿式めっき法を採用してもよい。さらに、その膜厚は、数nmから数μmの範囲であることが好ましい。 In the first coating step, as shown in FIG. 1A, a conductive film 52 is formed on one surface of a silicon wafer 51 to obtain a substrate 50. The conductive film 52 is made of, for example, a metal such as gold, copper, chromium, nickel, or titanium, but may be composed of a plurality of films. Further, as a forming method, a vapor phase plating method such as a vacuum evaporation method or a sputtering method, or a wet plating method such as an electroless plating method may be adopted. Furthermore, the film thickness is preferably in the range of several nm to several μm.

次に、基板50上にフォトレジストを塗布することにより、図1(B)に示す第1の厚さの第1のフォトレジスト層を形成する。本実施形態における第1の厚さは50μmである。塗布方法としては、液状フォトレジストを用いたスピンコート法、印刷法等があるが、フィルム状フォトレジストであるドライフィルムフォトレジストを熱圧着等により貼付する方法もこの工程に採用することができる。また、フォトレジストとしてネガタイプ、ポジタイプのいずれも適用できるが、本実施形態ではネガタイプのフォトレジストを使用した例について述べる。 Next, by applying a photoresist onto the substrate 50, a first photoresist layer having a first thickness shown in FIG. 1(B) is formed. The first thickness in this embodiment is 50 μm. Coating methods include a spin coating method using a liquid photoresist, a printing method, and the like, but a method of attaching a dry film photoresist, which is a film photoresist, by thermocompression bonding or the like can also be employed in this step. Further, although either a negative type or a positive type photoresist can be applied, in this embodiment, an example in which a negative type photoresist is used will be described.

次に、第1の露光工程を行う。第1の露光工程では、第1のフォトマスク(図示省略)を用いて露光を行うことにより、露光部61を形成する。 Next, a first exposure step is performed. In the first exposure step, the exposed portion 61 is formed by performing exposure using a first photomask (not shown).

次に、第2の塗布工程では、図1(C)に示すように、第1の塗布工程で使用したフォトレジストと同じフォトレジストを第1のフォトレジスト層53上に塗布することにより、第2の厚さの第2のフォトレジスト層54を形成する。本実施形態における第2の厚さは50μmであるが、これに限らず、第1のフォトレジスト層と異なる厚さでもよい。以上のように形成された2層のフォトレジスト層53、54は、図1(D)に示すように、フォトレジストの未露光部62と、露光部61となる。 Next, in the second coating process, as shown in FIG. A second photoresist layer 54 having a thickness of 1.2 mm is formed. Although the second thickness in this embodiment is 50 μm, the second thickness is not limited to this, and may be different from the first photoresist layer. The two photoresist layers 53 and 54 formed as described above become an unexposed portion 62 and an exposed portion 61 of the photoresist, as shown in FIG. 1(D).

ここで、露光部61の両側の側端面には、後述する金属部品10の第2傾斜部82に対応する第2テーパー部57が形成されている。第2テーパー部57は、上方に向かうにつれて露光部61に対して幅方向外側に向かうように傾斜しており、その角度は2度以上、且つ10度以下となるように設定されている。 Here, second tapered portions 57 corresponding to second inclined portions 82 of the metal component 10, which will be described later, are formed on both side end surfaces of the exposure portion 61. The second tapered portion 57 is inclined outward in the width direction with respect to the exposure portion 61 as it goes upward, and the angle thereof is set to be 2 degrees or more and 10 degrees or less.

なお、このテーパー(傾斜面)の角度は、後述するように所定の解像度を有する適正な
フォトレジスト材料の選択と、フォトレジスト及びフォトマスクの間隔の調整を行うことにより、得られているものである。
The angle of this taper (slope) is obtained by selecting an appropriate photoresist material with a predetermined resolution and adjusting the spacing between the photoresist and photomask, as described below. be.

なお、ここで、LIGA法による電鋳型の製造では、X線による露光方法と、紫外線による露光方法が行われている。 Note that in manufacturing the electroforming mold by the LIGA method, an exposure method using X-rays and an exposure method using ultraviolet rays are performed.

X線による露光では、使用される波長が、使用するフォトレジストの厚み等に対して十分短いため、高い解像度を有する電鋳型を提供できる。しかし、X線による露光では、X線源等に高額な設備を必要とする。 In X-ray exposure, the wavelength used is sufficiently short relative to the thickness of the photoresist used, so an electroforming mold with high resolution can be provided. However, exposure using X-rays requires expensive equipment such as an X-ray source.

紫外線による露光法では、通常のフォトリソグラフィに使用する設備で対応できる。しかし、使用する波長が比較的長いため、紫外線の拡散や干渉等の影響が現れるので解像度において十分でない。フォトレジストとフォトマスクとの間に間隙がある場合、この影響が著しく、特にフォトレジストが厚くなると、フォトレジストの表面に凹凸やうねりが生じやすくなる。そのため、解像度に問題を来す場合がある。また、厚い部品に対して厚さ方向に対して、テーパー(傾斜面)がつく。 The exposure method using ultraviolet rays can be handled using equipment used for normal photolithography. However, since the wavelength used is relatively long, effects such as diffusion and interference of ultraviolet rays appear, so the resolution is not sufficient. When there is a gap between the photoresist and the photomask, this effect is significant, and especially when the photoresist becomes thick, unevenness and undulations tend to occur on the surface of the photoresist. Therefore, resolution problems may occur. Further, thick parts have a taper (slanted surface) in the thickness direction.

本実施形態では、解像度が非常に高くテーパー(傾斜面)の角度が小さくなるエポキシ樹脂タイプのフォトレジストを用いずに、アクリルタイプの適正なフォトレジスト材料を用いている。そして、フォトレジストとフォトマスクとの適正間隔を調整することで、上述した厚さ方向に対して、前記テーパー(傾斜面)の角度が2度以上10度以下となるように設定している。 In this embodiment, an appropriate acrylic type photoresist material is used instead of an epoxy resin type photoresist which has a very high resolution and a small taper (inclined surface) angle. By adjusting the appropriate distance between the photoresist and the photomask, the angle of the taper (slanted surface) is set to be 2 degrees or more and 10 degrees or less with respect to the above-mentioned thickness direction.

次に第2の露光工程を行う。第2の露光工程では、第2の露光パターンが描かれた第2のフォトマスク(図示省略)を用いて露光を行うことにより、図1(E)に示すように露光部61と、現像後に金属部品の形状の開口部となる未露光部62とを得る。ここで、幅方向中央付近では、第1のフォトレジスト層53により形成される下段側の露光部61の上に、第2のフォトレジスト層54による略同一形状の上段側の露光部61が、上側に載置されているような状態で形成されている。 Next, a second exposure step is performed. In the second exposure step, by performing exposure using a second photomask (not shown) on which a second exposure pattern is drawn, the exposed area 61 and the exposed area after development are exposed as shown in FIG. 1(E). An unexposed portion 62 which becomes an opening in the shape of a metal part is obtained. Here, near the center in the width direction, an upper exposed portion 61 of approximately the same shape formed by the second photoresist layer 54 is formed on a lower exposed portion 61 formed by the first photoresist layer 53. It is formed so that it appears to be placed on the upper side.

なお、第2のフォトレジスト層54により形成される露光部61の両側端面には、上述した第2テーパー部57と同様の形状であって、後述する金属部品10の第1傾斜部81に対応する第1テーパー部56が形成されている。この第1テーパー部56も、上方に向かうにつれて露光部61に対して幅方向外側に向かうように傾斜しており、その角度も、上述した第2テーパー部57と同様に、2度以上、且つ10度以下となるように設定されている。 Note that both side end surfaces of the exposed portion 61 formed by the second photoresist layer 54 have a shape similar to the second tapered portion 57 described above, and correspond to the first inclined portion 81 of the metal component 10 described later. A first tapered portion 56 is formed. The first tapered portion 56 is also inclined outward in the width direction with respect to the exposure portion 61 as it goes upward, and its angle is also 2 degrees or more, similar to the second tapered portion 57 described above. It is set to be 10 degrees or less.

なお、このテーパー(傾斜面)の角度も、第1テーパー部56と同様に所定の解像度を有する適正なフォトレジスト材料の選択と、フォトレジスト及びフォトマスクの間隔の調整を行うことにより、得られているものである。 Note that the angle of this taper (slanted surface) can also be obtained by selecting an appropriate photoresist material having a predetermined resolution and adjusting the spacing between the photoresist and the photomask, similarly to the first taper portion 56. It is something that

次に、現像工程を行う。図1(F)に示すように、現像工程では、図示しない現像液により未露光部62を現像することにより除去する。これにより、底部に導電膜52を露出した金属部品の外径形状を有する開口部55と、これを囲む絶縁体となるフォトレジスト層63が得られ、現像工程が終了すると、電鋳型である成形型64が完成する。 Next, a developing process is performed. As shown in FIG. 1F, in the developing step, the unexposed areas 62 are developed and removed using a developer (not shown). As a result, an opening 55 having the outer diameter shape of a metal component with the conductive film 52 exposed at the bottom, and a photoresist layer 63 surrounding this as an insulator are obtained, and when the development process is completed, a molding using an electroforming mold is obtained. The mold 64 is completed.

次に、成型工程を行う。まず、成形工程では、成形型64を図示しない無光沢硫酸銅めっき液内に浸漬し、通電することにより、成形型64の開口部55の底面で露出している導電膜52の表面に自乗平均表面荒さ約300nm~5μmの厚みを有する無光沢銅めっき層を形成する。この無光沢銅めっき層は、導電性を有する部分である導電膜52上のみに形成されるもので、成形型64のフォトレジスト層63の表面に形成されることはない。 Next, a molding process is performed. First, in the molding process, the mold 64 is immersed in a matte copper sulfate plating solution (not shown) and energized, so that the root mean square of the surface of the conductive film 52 exposed at the bottom of the opening 55 of the mold 64 is A matte copper plating layer with a thickness of about 300 nm to 5 μm and a surface roughness is formed. This matte copper plating layer is formed only on the conductive film 52, which is a conductive portion, and is not formed on the surface of the photoresist layer 63 of the mold 64.

次に、上述しためっき層を形成した後、充分水洗いされた成形型64を図示しないスルファミン酸ニッケル系電鋳液内に浸漬し、導電膜52を介して通電することにより成形型64の開口部55の底部で露出している無光沢銅めっき層上にニッケル電鋳を行う。これにより、開口部55の内部にニッケルが析出されて、図2(A)に示す成形型64に沿った、金属体11が形成される。ニッケル電鋳は所望の厚さになるまで、具体的には開口部55を隙間無く充填するまでなされ、金属体11の一部は、フォトレジスト層63上に至るようにする。 Next, after forming the above-mentioned plating layer, the mold 64 that has been thoroughly washed with water is immersed in a nickel sulfamate electroforming solution (not shown), and electricity is applied through the conductive film 52 to open the opening of the mold 64. Nickel electroforming is performed on the matte copper plating layer exposed at the bottom of 55. As a result, nickel is deposited inside the opening 55, and the metal body 11 is formed along the mold 64 shown in FIG. 2(A). Nickel electroforming is performed until a desired thickness is achieved, specifically, until the opening 55 is filled without any gaps, so that a portion of the metal body 11 reaches onto the photoresist layer 63.

次に、厚み調整工程を行う。電鋳工程終了後、金属体11が形成された成形型64を電鋳液から取り出し充分洗浄する。その後、金属体11の表面のうち不要部を研削装置や研磨装置を用いることにより除去し、厚み調整及び表面平滑化を行うことにより、図2(A)に示す厚みや表面状態が整った金属体11を得る。この工程により、金属部品10として形状、厚み等の寸法が整えられたニッケルからなる金属体11と、フォトレジスト層63と、銅めっき層(図示せず)と、基板50とからなる成形基板13を得る。 Next, a thickness adjustment step is performed. After the electroforming process is completed, the mold 64 with the metal body 11 formed thereon is taken out from the electroforming solution and thoroughly cleaned. Thereafter, unnecessary parts of the surface of the metal body 11 are removed using a grinding device or polishing device, and thickness adjustment and surface smoothing are performed to obtain a metal with the thickness and surface condition shown in FIG. 2(A). Obtain body 11. Through this step, a metal body 11 made of nickel whose shape, thickness, and other dimensions have been adjusted as a metal part 10, a molded substrate 13 consisting of a photoresist layer 63, a copper plating layer (not shown), and a substrate 50. get.

最後に、除去・分離工程を行う。厚み調整工程を得た成形基板13を洗浄した後、成形基板13を図示しないレジスト剥離液に浸漬してフォトレジスト層63を除去することにより、金属体11と、銅メッキ層(図示せず)と、基板50とからなる成形基板13を得る。 Finally, a removal/separation step is performed. After cleaning the molded substrate 13 obtained in the thickness adjustment process, the molded substrate 13 is immersed in a resist stripping solution (not shown) to remove the photoresist layer 63, thereby removing the metal body 11 and the copper plating layer (not shown). A molded substrate 13 consisting of a substrate 50 and a substrate 50 is obtained.

次に、成形基板13を銅エッチング液である過硫酸アンモニウム水溶液に浸漬することにより、銅めっき層(図示せず)を端面方向からいわゆるサイドエッチングにより除去する。これにより、図2(B)に示すニッケル電鋳体からなる所定の厚さの金属部品10を製造することができる。ここで、所定の厚さは、第1のフォトレジスト層の厚さ(第1の厚さ)と第2のフォトレジスト層の厚さ(第2の厚さ)との和となる。 Next, the molded substrate 13 is immersed in an aqueous ammonium persulfate solution, which is a copper etching solution, to remove the copper plating layer (not shown) from the end surface direction by so-called side etching. Thereby, a metal component 10 of a predetermined thickness made of a nickel electroformed body shown in FIG. 2(B) can be manufactured. Here, the predetermined thickness is the sum of the thickness of the first photoresist layer (first thickness) and the thickness of the second photoresist layer (second thickness).

この金属部品10の幅方向中央に形成された嵌合部80の内面には、金属部品10の厚み方向の下方側から上方側に向けて傾斜し、下方側が他部品と嵌合する傾斜部(具体的には、第1傾斜部81及び第2傾斜部82)を備えている。 The inner surface of the fitting part 80 formed at the center in the width direction of the metal component 10 has an inclined part ( Specifically, it includes a first slope part 81 and a second slope part 82).

この傾斜部は、金属部品10の上方側から中程にかけて傾斜する第1傾斜部81と、中程から下方側にかけて傾斜する第2傾斜部82とを備えている。 This inclined part includes a first inclined part 81 which is inclined from the upper side to the middle of the metal component 10, and a second inclined part 82 which is inclined from the middle to the lower side.

ここで、第2傾斜部82の幅方向内側の位置は、第1傾斜部81の幅方向内側の位置に等しい。この場合、金属部品10の厚さ方向を第1傾斜部81と第2傾斜部82とで二分し、傾斜面の角度が同一である場合には、各傾斜部(第1傾斜部81、第2傾斜部82)の下方側の端縁は、縦方向(鉛直方向)の同一線上にあることになり、他部品を嵌合部80に挿入すると、第1傾斜部81及び第2傾斜部82の両方の下方側の端点が他部品と当接して嵌合することになり、1カ所で嵌合するよりも、より強く嵌合することができるものである。 Here, the position of the second inclined part 82 on the inner side in the width direction is equal to the inner position of the first inclined part 81 in the width direction. In this case, the thickness direction of the metal component 10 is divided into two by the first inclined part 81 and the second inclined part 82, and when the angles of the inclined surfaces are the same, each inclined part (the first inclined part 81, the second inclined part 82, The lower edges of the second inclined part 82 are on the same line in the vertical direction, and when another component is inserted into the fitting part 80, the first inclined part 81 and the second inclined part 82 Both lower end points of the two parts come into contact with other parts and are fitted together, so that the fitting can be made stronger than when fitting at one place.

本実施形態では、第1傾斜部81及び第2傾斜部82の幅方向内側の位置が略同一位置に形成されているため、幅方向中央の嵌合部80に軸体等の他部品を挿入すると、第1傾斜部81及び第2傾斜部82の両方が、他部品と当接して嵌合される。もちろん、これに限定されるものではなく、少なくともいずれか一方、具体的には、第1傾斜部81の下側が他部品と嵌合するように形成されてあればよい。 In this embodiment, since the first inclined part 81 and the second inclined part 82 are formed at substantially the same position on the inner side in the width direction, other parts such as a shaft are inserted into the fitting part 80 at the center in the width direction. Then, both the first inclined part 81 and the second inclined part 82 are fitted into contact with other parts. Of course, the present invention is not limited to this, and it is sufficient if at least one of the parts, specifically, the lower side of the first inclined part 81, is formed to fit with other parts.

図3(A)~(C)は、本発明の第1の実施形態であって、上述したように図1(A)~(F)で説明した成形型64を用いて、図2(B)で説明した金属部品10を製造し、当該金属部品10にカナ付き軸91を打ち込む工程を示すものである。 3(A) to (C) show a first embodiment of the present invention, in which the mold 64 described in FIGS. 1(A) to (F) is used as shown in FIG. ) shows the process of manufacturing the metal component 10 described in 1.) and driving the shaft 91 with a hook into the metal component 10.

図3(A)に示す金属部品10に、図3(B)に示すように、下方から他部品としてのカナ付き軸91を打ち込む場合について説明する。 A case will be described in which a pinned shaft 91 as another component is driven into the metal component 10 shown in FIG. 3(A) from below, as shown in FIG. 3(B).

本実施形態に係る嵌合部80は、第1傾斜部81と第2傾斜部82との2段構成となっている。そのため、カナ付き軸91を打ち込んだ場合、第1傾斜部81の下方側と、第2傾斜部82の下方側との2カ所により、強固に締まった状態でカナ付き軸91を保持することが可能となる。 The fitting part 80 according to the present embodiment has a two-stage structure including a first slope part 81 and a second slope part 82. Therefore, when the pinion shaft 91 is driven in, it is possible to hold the pinion shaft 91 in a firmly tightened state at two locations: the lower side of the first inclined part 81 and the lower side of the second inclined part 82. It becomes possible.

また、第1傾斜部81及び第2傾斜部82は、上方に向けて拡径するように傾斜していることで、下方からカナ付き軸91が押し込まれても、上方に向かって拡径する各傾斜部とカナ付き軸91表面との間の空間に塑性変形した領域が収まる(図3(C)参照)。これのより、金属部品10の上端から、塑性変形した第1傾斜部81の一部がはみ出たり突出してバリを形成することを抑えることができる。 Furthermore, since the first inclined part 81 and the second inclined part 82 are inclined so as to expand in diameter upward, even if the pinion shaft 91 is pushed in from below, the diameter will expand upward. The plastically deformed region fits into the space between each inclined portion and the surface of the pinioned shaft 91 (see FIG. 3(C)). This can prevent a portion of the plastically deformed first inclined portion 81 from protruding or protruding from the upper end of the metal component 10 and forming a burr.

本実施形態は、上述したような構成を有することで下記に示すような作用及び効果を奏する。 By having the above-described configuration, this embodiment has the following effects and effects.

本実施形態によれば、嵌合部80には、下方側から上方側に向けて拡径する方向に傾斜し、下方側が軸体等の他部品と嵌合する段状の傾斜部を備えている。すなわち、各傾斜部(第1傾斜部81及び第2傾斜部82)において下方側から上方側にテーパー(傾斜面)が付いていることになり、このテーパー(傾斜面)の下方側がカナ付き軸91に嵌合することになる。このテーパー(傾斜面)の下方側は、他部品であるカナ付き軸91との距離が小さい小径側であり、テーパー(傾斜面)の上方側が、カナ付き軸91との距離が大きい側(大径側)となる。 According to the present embodiment, the fitting portion 80 includes a step-like inclined portion that is inclined in a direction in which the diameter increases from the lower side toward the upper side, and whose lower side fits into other parts such as the shaft body. There is. In other words, each of the inclined parts (the first inclined part 81 and the second inclined part 82) has a taper (inclined surface) from the lower side to the upper side, and the lower side of this taper (inclined surface) is the pinion shaft. 91 will fit. The lower side of this taper (sloped surface) is the small diameter side where the distance from the other component, the shaft 91 with a pinion, is small, and the upper side of the taper (slanted surface) is the side with a larger distance from the shaft 91 with a pinion (large diameter). diameter side).

これにより、嵌合部80のはめあい公差は、小径側(他部品としてのカナ付き軸91との距離が小さい側)で決定されることになるので、大径側(他部品としてのカナ付き軸91との距離が大きい側)で決定する場合よりも、公差を小さなものに設定することができ、結果として、寸法精度を上げることができる。 As a result, the fitting tolerance of the fitting part 80 is determined on the small diameter side (the side where the distance from the pinion shaft 91 as another part is small), so 91), the tolerance can be set to a smaller value than in the case where the distance is larger, and as a result, dimensional accuracy can be improved.

また、寸法精度を上げることができることで、結果として、他部品としてのカナ付き軸91を嵌合する際の変形部の外側へのはみ出しを抑え、部品としての変形を小さくすることができ、嵌合力の向上を図ることができる。 In addition, by increasing the dimensional accuracy, it is possible to suppress the protrusion of the deformed part to the outside when fitting the pinion shaft 91 as another part, and to reduce the deformation of the part. It is possible to improve the resultant force.

また、本実施形態によれば、嵌合部80を第1傾斜部81と第2傾斜部82との2段構成とすることを特徴としている。ここで、LIGA法による電鋳型である成形型64を用いて製造される金属部品10において、嵌合部80の傾斜面の位置精度は、金属部品10の厚さが小さくなるほど、精度を向上させることができる。そのため、金属部品10の厚さが同一であれば、一つの傾斜面よりも、当該厚さを二分した段状の傾斜面の方が、精度を向上させることができる。 Furthermore, the present embodiment is characterized in that the fitting portion 80 has a two-stage configuration of a first inclined portion 81 and a second inclined portion 82. Here, in the metal part 10 manufactured using the mold 64 which is an electroforming mold by the LIGA method, the positional accuracy of the inclined surface of the fitting part 80 improves as the thickness of the metal part 10 becomes smaller. be able to. Therefore, if the thickness of the metal component 10 is the same, a step-shaped inclined surface that divides the thickness into two can improve accuracy rather than a single inclined surface.

すなわち、本実施形態では二つの傾斜部として第1傾斜部81及び第2傾斜部82を有することで、はめあい公差としての寸法許容差を小さくすることができ、一つの傾斜部の場合よりも、寸法精度を向上させることができる。 That is, in this embodiment, by having the first slope part 81 and the second slope part 82 as the two slope parts, the dimensional tolerance as a fitting tolerance can be made smaller than in the case of one slope part. Dimensional accuracy can be improved.

また、本実施形態によれば、嵌合部80を段状とし、さらに寸法精度を向上させることで、他部品としてのカナ付き軸91を嵌合する際の変形部分の外側へのはみ出しを抑え、部品としての変形を小さくすることができ、さらに嵌合力の向上を図ることができる。例えば、なお、図12は内径が設計誤差以上に縮径している嵌合部80にカナ付き軸91を挿入した場合において、変形部分が嵌合部80からはみ出した例である。また、図13は段状の傾斜面を有しない嵌合部80であって、拡径側からカナ付き軸91を挿入した場合において、変形部分が嵌合部80からはみ出した例である。 Furthermore, according to the present embodiment, the fitting portion 80 is stepped and the dimensional accuracy is further improved, thereby suppressing the protrusion of the deformed portion to the outside when fitting the pinioned shaft 91 as another component. , deformation of the component can be reduced, and the fitting force can be further improved. For example, FIG. 12 shows an example in which the deformed portion protrudes from the fitting portion 80 when the pinion shaft 91 is inserted into the fitting portion 80 whose inner diameter is reduced by more than the design error. Further, FIG. 13 shows an example of a fitting portion 80 that does not have a step-like inclined surface, in which a deformed portion protrudes from the fitting portion 80 when a pinion shaft 91 is inserted from the enlarged diameter side.

また、本実施形態によれば、第1傾斜部81と第2傾斜部82との両方の端縁でカナ付き軸91との嵌合が可能となり、1つの傾斜部の端縁で他部品と嵌合するような場合と比較して、嵌合力の向上を図ることができる。 Further, according to the present embodiment, the end edges of both the first inclined portion 81 and the second inclined portion 82 can be fitted with the pinion shaft 91, and the end edge of one inclined portion can be fitted with other parts. It is possible to improve the fitting force compared to the case where the fittings are fitted together.

また、本実施形態では、第1傾斜部81及び第2傾斜部82の各傾斜面の角度を2度以上10度以下に設定している。各傾斜面の角度が、厚み方向に対して2度未満であると、厚み方向の下方側と上方側とで、幅方向の距離の差が僅かとなり、下方側と上方側とで寸法精度の向上が期待できず、上述したような嵌合力の向上が望めない。一方、各傾斜面の角度が、厚み方向に対して10度を超えると、各傾斜部の端縁が鋭角に尖った状態となり、強度を維持することができず、簡単に割れたり、破損したりして、上述したような嵌合力を維持することができない。これに対し、本実施形態によれば、各傾斜面の角度が、厚み方向に対し、2度以上10度以下とすることにより、寸法精度の向上及び割れや破損の抑制を両立させることが可能であって、他部品を嵌合させる嵌合力を向上させることができる。 Further, in this embodiment, the angle of each slope of the first slope portion 81 and the second slope portion 82 is set to 2 degrees or more and 10 degrees or less. If the angle of each inclined surface is less than 2 degrees with respect to the thickness direction, the difference in the distance in the width direction between the lower side and the upper side in the thickness direction will be small, and the dimensional accuracy will be reduced between the lower side and the upper side. No improvement can be expected, and no improvement in the fitting force as described above can be expected. On the other hand, if the angle of each slope exceeds 10 degrees with respect to the thickness direction, the edges of each slope become sharply pointed, making it impossible to maintain strength and easily cracking or breaking. Therefore, the above-mentioned fitting force cannot be maintained. In contrast, according to the present embodiment, by setting the angle of each inclined surface to 2 degrees or more and 10 degrees or less with respect to the thickness direction, it is possible to improve dimensional accuracy and suppress cracks and damage. Therefore, the fitting force for fitting other parts can be improved.

なお、各傾斜面の角度は、嵌合部80の変形を伴う本実施形態の嵌合の場合、望ましくは2~4度に設定することにより、金属部品10の割れが抑制されつつ、嵌合力を確保することができる。 Note that in the case of the fitting of this embodiment involving deformation of the fitting portion 80, the angle of each inclined surface is desirably set to 2 to 4 degrees, thereby suppressing cracking of the metal component 10 and reducing the fitting force. can be ensured.

本実施形態の金属部品10を歯車、アンクル、ガンギ車等に適用することにより、時計用ムーブメントを製造することができる。本実施形態によれば、金属部品10と他部品との嵌合力を向上させることができ、低コストで衝撃に強い時計用ムーブメントを提供することができる。また、この時計用ムーブメントにより時計を製造することができる。この場合も低コストで衝撃に強い時計を提供することができる。 By applying the metal component 10 of this embodiment to gears, pallets, escape wheels, etc., a timepiece movement can be manufactured. According to this embodiment, it is possible to improve the fitting force between the metal component 10 and other components, and it is possible to provide a timepiece movement that is resistant to impact at low cost. Moreover, a watch can be manufactured using this watch movement. In this case as well, it is possible to provide a watch that is resistant to impact at low cost.

(第2の実施形態)
図4は、本発明の第2の実施形態を示すものであって、第1の実施形態とは、成形型64の形状が異なるものである。また、第1の実施形態では、金属部品10に対してカナ付き軸91を打ち込むことにより、両者を嵌合しているが、本実施形態では、両者を接着することにより固定させている。
(Second embodiment)
FIG. 4 shows a second embodiment of the present invention, which differs from the first embodiment in the shape of a mold 64. Furthermore, in the first embodiment, the two are fitted together by driving the pinned shaft 91 into the metal part 10, but in this embodiment, both are fixed by bonding.

具体的には、第1の実施形態では、図示しないフォトマスクの形状により、第1のフォトレジスト層53で形成される露光部61と、第2のフォトレジスト層54で形成される露光部61とが、同一形状であった。これに対し、本実施形態では、第1のフォトレジスト層53で形成される幅方向中央下方側の露光部61が、第2のフォトレジスト層54で形成される幅方向中央上方側の露光部61よりも大きく形成されている。 Specifically, in the first embodiment, the exposed portion 61 formed by the first photoresist layer 53 and the exposed portion 61 formed by the second photoresist layer 54 are formed by the shape of a photomask (not shown). and had the same shape. In contrast, in the present embodiment, the exposed portion 61 on the lower center side in the width direction formed by the first photoresist layer 53 is the exposed portion 61 on the upper side center in the width direction formed by the second photoresist layer 54. It is formed larger than 61.

図4に示す本実施形態に係る成形型64を用いて、金属部品10を製造すると、図5(A)に示すようなものとなる。本実施形態の金属部品10では、他部品としてのカナ付き軸91一端側(図5の下方側)から挿入する場合において、第2傾斜部82間の間隔を、第1傾斜部81の間隔より広く設定している。 When the metal component 10 is manufactured using the mold 64 according to this embodiment shown in FIG. 4, it will be as shown in FIG. 5(A). In the metal component 10 of this embodiment, when inserting the pinion shaft 91 as another component from one end side (lower side in FIG. It is set widely.

このように本実施形態の傾斜部としての嵌合部80を2段構成とすることで、金属部品10の下方側から他部品としてのカナ付き軸91を挿入し、接着剤92で金属部品10とカナ付き軸91とを接着させる場合に以下の作用効果を奏する。具体的に、本実施形態では、第2傾斜部82とカナ付き軸91の表面との間の空間を接着剤92の充填部71として機能させ、第1傾斜部81とカナ付き軸91の表面との間の空間を接着剤92の余りを溜める接着剤溜まり部70としての機能させることができる。 In this way, the fitting part 80 as the inclined part of this embodiment has a two-stage structure, so that the pinned shaft 91 as another part is inserted from the lower side of the metal part 10, and the metal part 10 is attached with the adhesive 92. When bonding the pinion shaft 91 and the pinned shaft 91, the following effects are achieved. Specifically, in this embodiment, the space between the second inclined part 82 and the surface of the angled shaft 91 functions as the filling part 71 for the adhesive 92, and the space between the second inclined part 82 and the surface of the angled shaft 91 is The space between can be made to function as an adhesive reservoir 70 for storing the remainder of the adhesive 92.

例えば、図5(B)に示すように、接着剤92を軸部の周囲に塗布したカナ付き軸91を下方側から嵌合部80に押し込むと、接着剤92の大部分は、第2傾斜部82とカナ付き軸91の表面との間の充填部71に収めることができる。そして、本実施形態では、充填部71の上方側に接着剤溜まり部70を有していることで、充填部71に納めることができなかった接着剤92の余りを当該接着剤溜まり部70に納めることができる。これにより、金属部品10とカナ付き軸91との接着効果をより高めることができる。 For example, as shown in FIG. 5(B), when a pinned shaft 91 with adhesive 92 applied around the shaft is pushed into the fitting part 80 from below, most of the adhesive 92 is applied to the second slope. It can be housed in the filling part 71 between the part 82 and the surface of the hooked shaft 91. In this embodiment, since the adhesive reservoir 70 is provided above the filling section 71, the remainder of the adhesive 92 that could not be stored in the filling section 71 is stored in the adhesive reservoir 70. I can pay it. Thereby, the adhesive effect between the metal component 10 and the pinned shaft 91 can be further enhanced.

図6は、本実施形態において、図5(C)に示される接着剤92の量よりも少ない接着剤92を用いた場合であって、接着剤溜まり部70の一部だけに余った接着剤92が収まっている状態を示している例である。接着剤92の塗布量が少ない場合であっても、充填部71に満たされる限りにおいては、金属部品10とカナ付き軸91との接着強度を確保することができる。 FIG. 6 shows a case where, in this embodiment, less adhesive 92 is used than the amount of adhesive 92 shown in FIG. This is an example showing a state in which 92 is contained. Even if the amount of adhesive 92 applied is small, as long as the filling portion 71 is filled, the adhesive strength between the metal component 10 and the pinion shaft 91 can be ensured.

また、図5(A)に示すように、本実施形態では第1傾斜部81及び第2傾斜部82がカナ付き軸91の引き抜き方向(図の下方側)に向かうにつれて、幅方向内側に傾斜している。そして、図5(C)に示すように、硬化した接着剤92がくさび状形状となっている。これにより、挿入物であるカナ付き軸91が金属部品10から引き抜かれようとした場合、金属部品10に対して接着剤92がくさびとして作用する。本実施形態の金属部品10によれば、カナ付き軸91を接着固定した際の引き抜き強度を向上させることができる。 In addition, as shown in FIG. 5A, in this embodiment, the first inclined portion 81 and the second inclined portion 82 are inclined inward in the width direction as the pinion shaft 91 is pulled out (downward side in the figure). are doing. Then, as shown in FIG. 5(C), the cured adhesive 92 has a wedge-like shape. As a result, when the inserted pinned shaft 91 is about to be pulled out from the metal component 10, the adhesive 92 acts as a wedge against the metal component 10. According to the metal component 10 of this embodiment, the pull-out strength when the pinned shaft 91 is adhesively fixed can be improved.

なお、第1傾斜部81及び第2傾斜部82の角度は、接着剤92を用いる本実施形態の嵌合では、2~4度に設定することが好ましいが、金属部品10の厚さが薄い場合は、角度が大きい方がくさびとしての効果が大きくなる。 Note that the angle of the first inclined part 81 and the second inclined part 82 is preferably set to 2 to 4 degrees in the fitting of this embodiment using the adhesive 92; In this case, the larger the angle, the greater the wedge effect.

また本実施形態によれば、接着剤92の量の加減が適正でない場合、例えば、接着剤92を適正よりも多く使用した場合であっても、接着剤のはみ出しや、部品の傾き等の発生を抑えることができる。例えば、図14は傾斜面を有しない嵌合部80にカナ付き軸91を挿入した場合において、塗布した接着剤92の量が多く、嵌合部80からはみ出した例である。また、図15は段状の傾斜面を有しない嵌合部80にカナ付き軸91を挿入した場合において、塗布した接着剤92の量が多く、嵌合部80からはみ出した例である。 Further, according to the present embodiment, even if the amount of adhesive 92 is not appropriate, for example, even if more adhesive 92 is used than appropriate, the adhesive may protrude or the parts may be tilted. can be suppressed. For example, FIG. 14 shows an example in which, when a pinned shaft 91 is inserted into a fitting part 80 that does not have an inclined surface, a large amount of applied adhesive 92 protrudes from the fitting part 80. Further, FIG. 15 shows an example in which when a pinion shaft 91 is inserted into a fitting part 80 that does not have a stepped inclined surface, a large amount of applied adhesive 92 protrudes from the fitting part 80.

以上、本実施形態の金属部品10は、第1傾斜部81とカナ付き軸91の表面との間に接着剤溜まり部70を設け、第2傾斜部82とカナ付き軸91の表面との間に充填部71を設けることができる。これにより、他部品としてのカナ付き軸91を嵌合する際に接着剤92を用いる場合において、接着剤92を嵌合部80とカナ付き軸91の表面との間の空間に納めることができる。また、カナ付き軸91を嵌合部80に挿入する際に接着剤92の量が多い場合は、カナ付き軸91の挿入方向下流側である上方側に設けられた接着剤貯まり部70に溢れた接着剤92を収めることができる。すなわち、本実施形態によれば、接着効果を高めることができるとともに、外側への接着剤92の流出を防ぐことができる。 As described above, in the metal component 10 of the present embodiment, the adhesive reservoir 70 is provided between the first inclined portion 81 and the surface of the pivot shaft 91, and the adhesive reservoir portion 70 is provided between the second inclined portion 82 and the surface of the pivot shaft 91. A filling portion 71 can be provided in the. As a result, when the adhesive 92 is used when fitting the hooked shaft 91 as another component, the adhesive 92 can be stored in the space between the fitting portion 80 and the surface of the hooked shaft 91. . In addition, if the amount of adhesive 92 is large when inserting the pinion shaft 91 into the fitting part 80, it overflows into the adhesive reservoir 70 provided on the upper side, which is the downstream side in the insertion direction of the pinion shaft 91. The adhesive 92 can be contained therein. That is, according to this embodiment, it is possible to enhance the adhesive effect and prevent the adhesive 92 from flowing out.

本実施形態によれば、第1の実施形態と同様に寸法精度を上げることができる。そして、接着剤92を傾斜部である嵌合部80と他部品としてのカナ付き軸91との間に納めることにより、接着効果を高めるとともに、外側への流出を防ぐことが可能な金属部品10を提供することができる。また本実施形態の金属部品10を用いて時計用ムーブメントや、当該時計用ムーブメントを有する時計を製造した場合、低コストで衝撃に強い時計を提供することができる。 According to the present embodiment, dimensional accuracy can be improved similarly to the first embodiment. By placing the adhesive 92 between the fitting part 80, which is the inclined part, and the pinned shaft 91, which is another part, the adhesive effect can be enhanced and the metal part 10 can be prevented from flowing out. can be provided. Furthermore, when a timepiece movement or a timepiece having the timepiece movement is manufactured using the metal component 10 of this embodiment, a timepiece that is resistant to impact can be provided at low cost.

(第3の実施形態)
第2の実施形態の金属部品10は、成形型64を用いた電鋳により製造されていたが、本実施形態の金属部品10は、無電解めっきにより製造するものである。
本実施形態の金属部品10についても上記の実施形態と同様に、第1の塗布工程、第1の露光工程、第2の塗布工程、第2の露光工程、現像工程、成型工程、厚み調整工程、除去・分離工程を経て製造される。第1の塗布工程、第1の露光工程、第2の塗布工程、第2の露光工程及び現像工程の詳細は、第1の実施形態で説明したとおりである。
(Third embodiment)
The metal component 10 of the second embodiment was manufactured by electroforming using the mold 64, but the metal component 10 of this embodiment is manufactured by electroless plating.
Similarly to the above embodiments, the metal component 10 of this embodiment also includes a first coating process, a first exposure process, a second coating process, a second exposure process, a development process, a molding process, and a thickness adjustment process. , manufactured through a removal and separation process. Details of the first coating process, first exposure process, second coating process, second exposure process, and development process are as described in the first embodiment.

なお、電鋳により金属部品10を製造する場合は、シリコンウエハ51に導電膜52を形成した基板50を使用したが、無電解めっきにより金属部品10を製造する場合、基板50に対して導電膜52は必須ではない。ただし、無電解めっきの開始を促進するため、導電膜52が存在することが好ましい。また、導電膜52を設けない場合は、除去・分離工程において、金属体11からシリコンウエハ51を分離可能すべく、導電膜52に代えて300nm~5μm程度の銅めっき層を形成するのが好ましい。これにより、除去・分離工程において、成形基板13を銅エッチング液である過硫酸アンモニウム水溶液に浸漬することで、銅めっき層である導電膜52を端面方向からいわゆるサイドエッチングにより除去することができ、成形基板13からシリコンウエハ51を分離することができる。 Note that when manufacturing the metal component 10 by electroforming, the substrate 50 in which the conductive film 52 is formed on the silicon wafer 51 is used, but when manufacturing the metal component 10 by electroless plating, the conductive film 52 is formed on the substrate 50. 52 is not required. However, in order to promote the start of electroless plating, it is preferable that the conductive film 52 be present. Furthermore, if the conductive film 52 is not provided, it is preferable to form a copper plating layer with a thickness of about 300 nm to 5 μm in place of the conductive film 52 so that the silicon wafer 51 can be separated from the metal body 11 in the removal/separation process. . As a result, in the removal/separation step, by immersing the molded substrate 13 in an ammonium persulfate aqueous solution, which is a copper etching solution, the conductive film 52, which is a copper plating layer, can be removed from the end surface direction by so-called side etching, and The silicon wafer 51 can be separated from the substrate 13.

また、本実施形態では、電鋳により金属部品10を製造する場合に対して、成型工程が相違する。成形工程では、充分洗浄された成形型64を図示しないニッケル-リン系無電解めっき液内に浸漬することにより、成形型64における開口部55の底部の基板50上に無電解めっき処理を行う。これにより、開口部55の内部にニッケル-リン合金が析出されて、成形型64に沿った、金属体11が形成される。ニッケル-リン合金は所望の厚さになるまで、具体的には開口部55を隙間無く充填するまで析出させ、金属体11の一部は、フォトレジスト層63上に至るようにする。 Moreover, in this embodiment, the molding process is different from the case where the metal component 10 is manufactured by electroforming. In the molding process, electroless plating is performed on the substrate 50 at the bottom of the opening 55 in the mold 64 by immersing the thoroughly cleaned mold 64 in a nickel-phosphorus electroless plating solution (not shown). As a result, the nickel-phosphorus alloy is deposited inside the opening 55, and the metal body 11 is formed along the mold 64. The nickel-phosphorus alloy is deposited until it reaches a desired thickness, specifically, until it completely fills the opening 55, so that a portion of the metal body 11 reaches onto the photoresist layer 63.

その後、厚み調整工程及び除去・分離工程を経て、図5(A)に示すニッケル-リン合金からなる金属部品10が製造される。この金属部品10を構成する金属体11は非晶質であり、磁性的には非磁性である。 Thereafter, through a thickness adjustment process and a removal/separation process, a metal component 10 made of a nickel-phosphorus alloy shown in FIG. 5(A) is manufactured. The metal body 11 constituting this metal component 10 is amorphous and non-magnetic.

無電解めっきにより形成されたニッケルーリン合金は、電解ニッケルめっきと比べて、非磁性ではあるが、脆く、図12に示した従来の構造では、割れ等が発生するため機械的嵌合が困難である。これに対して、本実施形態の金属部品10は、カナ付き軸91を挿入しても割れ等、嵌合に伴う不具合は生じなかった。
本実施形態では、他部品であるカナ付き軸91やその他の主要部品を非磁性材料で製造することにより、低コストで衝撃に強い点に加えて、耐磁性に優れた時計用ムーブメントや、当該時計用ムーブメントを提供することができる。
Although the nickel-phosphorus alloy formed by electroless plating is non-magnetic compared to electrolytic nickel plating, it is brittle, and in the conventional structure shown in Figure 12, mechanical fitting is difficult due to the occurrence of cracks. be. On the other hand, in the metal component 10 of the present embodiment, even when the pinioned shaft 91 was inserted, problems associated with fitting such as cracking did not occur.
In this embodiment, by manufacturing the other parts such as the pinion shaft 91 and other main parts with non-magnetic materials, in addition to being low cost and strong against shock, the watch movement with excellent magnetic resistance and the We can provide watch movements.

(第4の実施形態)
図7及び図8は、第4の実施形態であって、ニッケル電鋳により作られる金属部品10としてのアンクル101に接着剤を用いずに爪石102を嵌合する場合の嵌合前後の状態を示す説明図である。アンクル101に爪石102を嵌合する前の状態が図7(A)であって、図7(A)のP1-P1断面図が図8(B)に示されている。
(Fourth embodiment)
FIGS. 7 and 8 show a fourth embodiment, in which a nail stone 102 is fitted to an ankle 101 as a metal component 10 made by nickel electroforming without using an adhesive, before and after fitting. FIG. FIG. 7(A) shows the state before the nail stone 102 is fitted to the pallet pallet 101, and FIG. 8(B) is a sectional view taken along the line P1-P1 in FIG. 7(A).

このアンクル101は、機械式腕時計の駆動機構であるムーブメントに用いられるものである。アンクル101は、振り中心となるアンクル軸部103とアンクル101の振動を一定に保つための図示しないひげゼンマイ等からなる機構に繋がっている。アンクル101はアンクル軸部103を中心に振動する際に、図示しないがんぎ車を一方向に回転させるための2個の爪石102を含んでいる。 This ankle 101 is used in a movement that is a drive mechanism of a mechanical wristwatch. The pallet pallet 101 is connected to a mechanism consisting of a pallet shaft 103, which is the center of swing, and a hairspring (not shown) for keeping the vibration of the pallet 101 constant. The pallet wheel 101 includes two pawl stones 102 for rotating an escape wheel (not shown) in one direction when vibrating around the pallet shaft portion 103.

このアンクル101は、金属部品10であって、他部品としての爪石102を嵌合するための第1の実施形態と略同様な構成を有する嵌合部80を有している。 This ankle 101 is a metal component 10, and has a fitting portion 80 having substantially the same configuration as the first embodiment for fitting a nail stone 102 as another component.

そして、本実施形態の嵌合部80は、第1の実施形態と同様に第1傾斜部81及び第2傾斜部82を有している。 The fitting portion 80 of this embodiment has a first inclined portion 81 and a second inclined portion 82, as in the first embodiment.

なお、図7(A)に示すように、本実施形態では、爪石102を嵌合部80の開口側(図7の下方側)から差し込んで嵌合することができるように形成されている。爪石102は、アンクル101の嵌合部80の構造によるバネ力により保持される。 Note that, as shown in FIG. 7A, in this embodiment, the nail stone 102 is formed so that it can be inserted from the opening side of the fitting part 80 (lower side in FIG. 7) and fitted. . The nail stone 102 is held by the spring force generated by the structure of the fitting part 80 of the pallet pallet 101.

爪石102を嵌合部80に圧入・嵌合している状態が図8(A)であって、図8(A)のQ1-Q1断面図が図8(B)に示され、Q2-Q2断面図が図8(C)に示されている。 FIG. 8(A) shows a state in which the nail stone 102 is press-fitted and fitted into the fitting part 80, and FIG. 8(B) shows a cross-sectional view taken along the line Q1-Q1 in FIG. A Q2 sectional view is shown in FIG. 8(C).

本実施形態においても、第1の実施形態と略同様の構成を有し、同様の作用効果を奏することができる。 This embodiment also has substantially the same configuration as the first embodiment, and can produce similar effects.

(第5の実施形態)
本実施形態は、第4の実施形態において、接着剤92を用いて、爪石102を金属部品10としてのアンクル101の嵌合部80に嵌合させている。
(Fifth embodiment)
In this embodiment, in the fourth embodiment, the nail stone 102 is fitted into the fitting part 80 of the pallet pallet 101 as the metal component 10 using an adhesive 92.

爪石102を嵌合部80に嵌合させている状態が図9(A)であって、図9(A)のR1-R1断面図が図9(B)に示され、R2-R2断面図が図9(C)に示されている。 FIG. 9(A) shows a state in which the nail stone 102 is fitted into the fitting part 80, and FIG. 9(B) shows the R1-R1 sectional view of FIG. 9(A), and the R2-R2 sectional view A diagram is shown in FIG. 9(C).

本実施形態においても、第1の実施形態と略同様の構成を有し、同様の作用効果を奏することができる。また、本実施形態においても、接着剤92を充填する充填部71と、接着剤92の余りを溜める接着剤溜まり部70を備えている。したがって、本実施形態においても、接着剤溜まり部70を有する第2の実施形態と略同様の構成を有し、同様の作用効果を奏することができる。 This embodiment also has substantially the same configuration as the first embodiment, and can produce similar effects. Further, this embodiment also includes a filling part 71 for filling the adhesive 92 and an adhesive reservoir part 70 for storing the remainder of the adhesive 92. Therefore, this embodiment also has substantially the same configuration as the second embodiment having the adhesive reservoir 70, and can produce similar effects.

(本発明の理解を深めるための補足説明)
図10(A)及び(B)は、本発明の理解を深めるための補足説明を示す説明図である。金属部品10の製造において、嵌合部80の内径側の端面形状は、平面部に対して完全な垂直ではなく、ある角度を有しており、図10(A)に示すような加工状態の変動により、その端面の傾斜角度はバラツキを有している。
(Supplementary explanation for deepening understanding of the present invention)
FIGS. 10(A) and 10(B) are explanatory diagrams showing supplementary explanation for deepening the understanding of the present invention. In manufacturing the metal part 10, the shape of the end face on the inner diameter side of the fitting part 80 is not completely perpendicular to the plane part, but has a certain angle, and the shape of the end face on the inner diameter side is not completely perpendicular to the flat part. Due to the fluctuation, the inclination angle of the end face varies.

例えば、各実施形態に係るLIGA加工では、露光時の光の回析や強度、現像時の溶解状態等が変動要因となる。 For example, in the LIGA processing according to each embodiment, the diffraction and intensity of light during exposure, the state of dissolution during development, etc. become fluctuation factors.

これを図示すると、ばらつきは、部品の厚さtに比例することがわかる。図10(B)は、段状を有さない一の傾斜面からなる嵌合部80を備えた鋳造部品110の例である。図10(B)に示すように、鋳造部品110の嵌合部80における寸法のバラツキは、
φB1-φB2=2t×(tanθ1-tanθ2)となる。
When this is illustrated, it can be seen that the variation is proportional to the thickness t of the component. FIG. 10(B) is an example of a cast component 110 including a fitting portion 80 consisting of one inclined surface without steps. As shown in FIG. 10(B), the dimensional variations in the fitting portion 80 of the cast part 110 are
φB1−φB2=2t×(tanθ1−tanθ2).

一方、各実施形態の嵌合部80は、多段形成をするため、1段あたりの部品の厚さtが小さくなるため、部品としての合計の厚さを変更することなく、寸法ばらつきを抑制することが可能となる。 On the other hand, since the fitting part 80 of each embodiment is formed in multiple stages, the thickness t of the component per stage becomes small, so dimensional variations can be suppressed without changing the total thickness of the component. becomes possible.

具体的には、図10(A)に示すように、金属部品10の嵌合部80寸法のバラツキは、
φA1-φA2=t×(tanθ1-tanθ2)となる。
厚み1/2tの2段品を用いて計算をしてみると、寸法のバラツキが1/2となっていることが分かる。
Specifically, as shown in FIG. 10(A), the variation in dimensions of the fitting portion 80 of the metal component 10 is as follows:
φA1-φA2=t×(tanθ1-tanθ2).
When calculations are performed using a two-tiered product with a thickness of 1/2t, it can be seen that the variation in dimensions is 1/2.

さらに、各実施形態のように複数の傾斜部を有する多段構成の場合は、それぞれの段において、露光を行うため、それぞれの段のフォトマスク位置が少しでもずれると、別の誤差要因として形状のバラツキとなる。すなわち、図11(B)に示すように上下のバラツキを全く同一にすることは容易ではない。 Furthermore, in the case of a multi-stage configuration having a plurality of sloped parts as in each embodiment, exposure is performed at each stage, so if the photomask position of each stage shifts even slightly, this may cause another error in the shape. There will be variations. That is, it is not easy to make the vertical variations exactly the same as shown in FIG. 11(B).

これを抑制するためには、図11(A)に示すように、複数の段のうち、いずれか1つの段(図11(A)では上段)は、必要な形状とし、その他の段(図11(A)では下段)は、部品にした際に小さくなるような形状とすることで、部品としては常に一の傾斜部の誤差Aの範囲で抑えることができる。 In order to suppress this, as shown in FIG. 11(A), any one of the multiple steps (the upper step in FIG. 11(A)) has the required shape, and the other steps (the upper step in FIG. 11(A), the lower part) is shaped so that it becomes small when it is made into a part, so that the error of the slope part can always be kept within the range of A as a part.

図11(C)は、段状を有さない一の傾斜面からなる嵌合部80を備えた鋳造部品110の例である。図11(C)に示すように嵌合部80を多段構成としない場合、各実施形態の傾斜部と同一角度の誤差が発生しても、誤差Aよりも大きい誤差Bとなる。 FIG. 11(C) is an example of a cast component 110 including a fitting portion 80 consisting of one inclined surface without steps. If the fitting portion 80 does not have a multi-stage configuration as shown in FIG. 11C, even if an error of the same angle as the inclined portion of each embodiment occurs, the error B will be larger than the error A.

なお、第4及び第5の実施形態では、時計部品として、アンクルの例が示されているが、本発明はこれらに限定されるものではない。例えば、がんぎ車や、ひげぜんまいや、通常の歯車等の時計部品にも本発明を適用することができる。 Note that in the fourth and fifth embodiments, an example of an ankle is shown as a timepiece component, but the present invention is not limited thereto. For example, the present invention can be applied to timepiece parts such as escape wheels, balance springs, and ordinary gears.

なお、実施形態を挙げて本発明の実施形態を説明したが、これらの実施形態は一例であり、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できる。また、本発明の権利範囲がこれらの実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々なる態様で実施し得ることは言うまでもない。 Note that although the embodiments of the present invention have been described by citing embodiments, these embodiments are merely examples, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. Furthermore, it goes without saying that the scope of the present invention is not limited to these embodiments, and that it can be implemented in various forms without departing from the gist of the present invention.

10 金属部品
11 金属体
13 成形基板
50 基板
51 シリコンウエハ
52 導電膜
53 第1のフォトレジスト層
54 第2のフォトレジスト層
55 開口部
56 第1テーパー部
57 第2テーパー部
61 露光部
62 未露光部
63 フォトレジスト層
64 成形型
70 接着剤貯まり部
71 充填部
80 嵌合部
81 第1傾斜部
82 第2傾斜部
91 軸
92 接着剤
101 アンクル
102 爪石
103 アンクル軸部
10 Metal parts 11 Metal body 13 Molded substrate 50 Substrate 51 Silicon wafer 52 Conductive film 53 First photoresist layer 54 Second photoresist layer 55 Opening portion 56 First tapered portion 57 Second tapered portion 61 Exposed portion 62 Unexposed Part 63 Photoresist layer 64 Molding mold 70 Adhesive reservoir 71 Filling part 80 Fitting part 81 First inclined part 82 Second inclined part 91 Shaft 92 Adhesive 101 Ankle 102 Nail stone 103 Ankle shaft

Claims (7)

電鋳又は無電解めっきにより所定の厚みに形成された金属部品であって、
他部品が挿入されることで嵌合可能な嵌合部と、
前記嵌合部に設けられ、前記厚み方向の一端側から他端側に向けて前記嵌合部が幅方向に離間するように傾斜する段状の傾斜部を備え、
前記傾斜部の傾斜面の角度は、前記厚み方向に対し、2度以上10度以下であり、
前記傾斜部は、前記嵌合部における幅方向内側において前記他部品と嵌合する金属部品。
A metal part formed to a predetermined thickness by electroforming or electroless plating,
A fitting part that can be fitted by inserting other parts;
a step-like inclined part provided in the fitting part and inclined so that the fitting part is spaced apart in the width direction from one end side in the thickness direction to the other end side;
The angle of the inclined surface of the inclined part is 2 degrees or more and 10 degrees or less with respect to the thickness direction,
The inclined portion is a metal component that fits with the other component on the inner side in the width direction of the fitting portion.
前記傾斜部は、前記厚み方向の中程から前記他端側にかけて傾斜する第1傾斜部と、前記一端側から前記中程にかけて傾斜する第2傾斜部とを備え、
少なくとも前記第1傾斜部の前記一端側が前記他部品と嵌合する請求項1に記載の金属部品。
The inclined portion includes a first inclined portion that slopes from the middle in the thickness direction to the other end, and a second inclined portion that slopes from the one end to the middle,
The metal component according to claim 1, wherein at least the one end side of the first inclined portion fits into the other component.
前記他部品は、前記第1傾斜部及び前記第2傾斜部のそれぞれと嵌合する請求項2に記載の金属部品。 The metal component according to claim 2, wherein the other component fits into each of the first slope portion and the second slope portion. 前記他部品の挿入方向下流側には、前記他部品と接着させるための接着剤の余りを溜める接着剤溜まり部を備える請求項2又は請求項3に記載の金属部品。 4. The metal component according to claim 2, further comprising an adhesive reservoir on the downstream side in the insertion direction of the other component for storing a surplus adhesive for bonding the other component. 請求項1から請求項4までのいずれか1項に記載の金属部品を有する時計用ムーブメント。 A timepiece movement comprising the metal component according to any one of claims 1 to 4 . 請求項5に記載の時計用ムーブメントを有する時計。 A timepiece comprising the timepiece movement according to claim 5 . 基板上に第1のフォトレジスト層を第1の厚みに塗布する第1の塗布工程と、
第1のフォトマスクを通して前記第1のフォトレジスト層を部分的に露光する第1の露光工程と、
前記第1のフォトレジスト層の上に第2のフォトレジスト層を第2の厚みに塗布する第2の塗布工程と、
第2のフォトマスクを通して前記第2のフォトレジスト層を部分的に露光する第2の露光工程と、
露光した前記第1のフォトレジスト層及び第2のフォトレジスト層を現像して前記基板を露出させると共に、前記金属部品の外形形状を有する開口部を備えた成形型を形成する現像工程と、
前記成形型を電鋳液に浸漬し通電して電鋳処理を行うことで、又は前記成形型を無電解めっき液に浸漬し無電解めっき処理を行うことで、前記開口部の内部に金属を析出させて前記成形型に沿って所望の厚みの金属体を成型する成型工程と、
前記金属体の厚みが前記所定の厚みとなるように厚み調整を行う厚み調整工程と、
前記フォトレジスト層及び前記基板を除去して金属部品を得る除去工程と、を備える請求項1から請求項4までのいずれか1項に記載の金属部品の製造方法。
a first coating step of coating a first photoresist layer on the substrate to a first thickness;
a first exposure step of partially exposing the first photoresist layer through a first photomask;
a second coating step of coating a second photoresist layer to a second thickness on the first photoresist layer;
a second exposure step of partially exposing the second photoresist layer through a second photomask;
a developing step of developing the exposed first photoresist layer and second photoresist layer to expose the substrate and forming a mold having an opening having an external shape of the metal component;
Metal is deposited inside the opening by immersing the mold in an electroforming solution and applying electricity to perform an electroforming process, or by immersing the mold in an electroless plating solution and performing an electroless plating process. a molding step of depositing and molding a metal body of a desired thickness along the mold;
a thickness adjustment step of adjusting the thickness of the metal body to the predetermined thickness;
The method for manufacturing a metal component according to any one of claims 1 to 4 , comprising a removing step of removing the photoresist layer and the substrate to obtain a metal component.
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