JP7343112B2 - 熱処理装置 - Google Patents
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Description
熱処理装置10の構成について、図1と図2を参照して説明する。直方体の熱処理室12は断熱構造を有し、前面にウエブWの搬入口14が左右方向に開口し、後面にウエブWの搬出口16が左右方向に開口している。
次に、ヒータ群40について図1と図2を参照して説明する。ヒータ群40は、ウエブWの左右方向において、ウエブWの左部分に配置される左ヒータ42と、ウエブWの右部分に配置される右ヒータ44と、ウエブWの中央部分に配置される中央ヒータ46とから構成されている。左ヒータ42、右ヒータ44及び中央ヒータ46は、電気ヒータであり、それぞれの発熱量を調整でき、3本とも円柱状であって同じ長さを有している。
熱処理装置10の電気的構成について図3のブロック図を参照して説明する。熱処理装置10には、コンピュータよりなる制御部50を有している。制御部50には、上ファン24、上ヒータ26、下ファン34、下ヒータ36が接続されている。また、ヒータ群40の全ての左ヒータ42、全ての右ヒータ44が接続され、全ての中央ヒータ46が接続され、また、温度センサ48が接続されている。
熱処理装置10の制御方法について説明する。
本実施形態によれば、ウエブWの左右方向の温度分布が均一でない場合には、温度の低い部分の左ヒータ42、右ヒータ44、又は中央ヒータ46の温度を上げ、左右方向に均一な温度分布とすることができ、加熱むらを防止できる。
上記実施形態では、ウエブWの幅方向(左右方向)において、左ヒータ42、右ヒータ44、中央ヒータ46の3本に分けたが、これに代えて5本のヒータを左右対称に前後方向にずらし、それぞれ重なる部分を付けて配置してもよい。例えば、左ヒータ42を2本、右ヒータ44を2本、中央ヒータ46を1本で構成する。
上記実施形態では、ウエブWを支持する複数のロール38を設けたが、このロール38がない構成であってもよい。
上記実施形態では、上ノズル20と下ノズル30を設けたが、下ノズル30を設けない構造であってもよく、また、上ノズル20と下ノズル30の両方を設けず、単に複数のヒータ群40だけで加熱してもよい。
上記実施形態では、左ヒータ42、右ヒータ44、中央ヒータ46は、電気ヒータであったが、これに代えて蒸気ヒータ、又は、オイルなどの熱媒体を流す熱媒ヒータであってもよい。温度調整をする場合には蒸気ヒータの場合には蒸気の量を、熱媒ヒータの場合は熱媒の量を調整する。
上記では本発明の一実施形態を説明したが、この実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の主旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると共に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
Claims (9)
- 熱処理室と、
前記熱処理室内を前後方向に走行するウエブの搬送路に沿って所定間隔毎に配され、前記ウエブを加熱する複数のヒータ群と、
を有し、
それぞれの前記ヒータ群は、
前記ウエブの左右両側部に対応する部分に一直線上に配された左右一対の側部ヒータと、
左右一対の前記側部ヒータとは前後方向にずれた位置において平行に配され、かつ、前記ウエブの中央部に対応する部分に配された中央ヒータと、
を有し、
前記中央ヒータの発熱量と、左右一対の前記側部ヒータの発熱量とが異なる、
熱処理装置。 - 熱処理室と、
前記熱処理室内を前後方向に走行するウエブの搬送路に沿って所定間隔毎に配され、前記ウエブを加熱する複数のヒータ群と、
を有し、
それぞれの前記ヒータ群は、
前記ウエブの左右両側部に対応する部分に一直線上に配された左右一対の側部ヒータと、
左右一対の前記側部ヒータとは前後方向にずれた位置において平行に配され、かつ、前記ウエブの中央部に対応する部分に配された中央ヒータと、
前記熱処理室内に前記ウエブの左右方向の温度を検出する温度センサと、
前記温度センサが検出した前記ウエブの左右方向の温度に対応して、前記中央ヒータの発熱量と左右一対の前記側部ヒータの発熱量とを制御して、前記ウエブの左右方向の温度が同じになるようにフィードバック制御する制御部と、
を有する熱処理装置。 - 熱処理室と、
前記熱処理室内を前後方向に走行するウエブの搬送路に沿って所定間隔毎に配され、前記ウエブを加熱する複数のヒータ群と、
を有し、
それぞれの前記ヒータ群は、
前記ウエブの左右両側部に対応する部分に一直線上に配された左右一対の側部ヒータと、
左右一対の前記側部ヒータとは前後方向にずれた位置において平行に配され、かつ、前記ウエブの中央部に対応する部分に配された中央ヒータと、
を有し、
前記中央ヒータの位置が、左右一対の前記側部ヒータの位置より前記ウエブに近い、
熱処理装置。 - 左右一対の前記側部ヒータのそれぞれの内端部と前記中央ヒータの両端部が、搬送方向から見て重なっている、
請求項1乃至3のいずれか一項に記載の熱処理装置。 - 1本の左側の前記側部ヒータ、1本の前記中央ヒータ、1本の右側の前記側部ヒータが左右方向に設けられている、
請求項1乃至3のいずれか一項に記載の熱処理装置。 - 2本の左側の前記側部ヒータ、1本の前記中央ヒータ、2本の右側の前記側部ヒータが左右方向に設けられている、
請求項1乃至3のいずれか一項に記載の熱処理装置。 - 左右一対の前記側部ヒータと前記中央ヒータが、電気ヒータ、蒸気ヒータ、又は、熱媒ヒータである、
請求項1乃至3のいずれか一項に記載の熱処理装置。 - 前記熱処理室内において、左右一対の前記側部ヒータと前記中央ヒータに加えて前記搬送路の上に、前後方向に沿って所定間隔毎に熱風を吹き出す上ノズルが設けられ、
前記上ノズルは、前記ウエブの幅方向に沿って延び、前記上ノズルの下面に前記熱風を吹き出す上吹き出し口が設けられ、
それぞれの左右一対の前記側部ヒータと前記中央ヒータは、前記搬送路の上で、かつ、隣接する前記上ノズルの間に配されている、
請求項1乃至3のいずれか一項に記載の熱処理装置。 - 前記搬送路の下にも前後方向に沿って所定間隔毎に熱風を吹き出す下ノズルが設けられ、
前記下ノズルは、前記ウエブの幅方向に沿って延び、前記下ノズルの上面に前記熱風を吹き出す下吹き出し口が設けられ、
隣接する前記下ノズルの間に前記ウエブを回転支持するロールが設けられている、
請求項8に記載の熱処理装置。
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JP2015172450A (ja) | 2014-03-12 | 2015-10-01 | 株式会社Screenホールディングス | 乾燥装置および処理膜形成システム |
JP2016016526A (ja) | 2014-07-04 | 2016-02-01 | 株式会社日本製鋼所 | フィルム延伸装置、及びフィルム延伸方法 |
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- 2019-08-20 JP JP2019150655A patent/JP7343112B2/ja active Active
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2023
- 2023-08-22 JP JP2023134546A patent/JP2023162290A/ja active Pending
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