JP7340684B2 - 二次元光学スペクトルにおけるピーク決定 - Google Patents
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Description
-光学スペクトルを検出器アレイ上に画像化することによって、スペクトル値の二次元アレイを生成することと、
-スペクトル値のアレイの第1の二次元サブアレイを、サブアレイがスペクトルの第1のピークを含むように選択することであって、第1のピークが予想される位置を有する、選択することと、
-第1のサブアレイ内で、スペクトル値を補間して、第1の補間されたサブアレイを生成することと、
-第1の補間されたサブアレイを使用することによって、第1のピークの実際の位置を決定することと、
-第1のピークの実際の位置および予想される位置を使用することによって、オフセットを決定することと、
-オフセットを使用することによって、スペクトルの第2のピークの予想される位置を調整することと、
-スペクトル値のアレイの第2の二次元サブアレイを、第2のサブアレイが第2のピークを含むように選択することであって、第2のピークが、調整された予想される位置を有する、選択することと、
-第2のサブアレイ内で、補間されたスペクトル値を使用して、第2のピークのピーク強度値を生成することと、を含む。
-第2のサブアレイ内で、第2の方向のみのスペクトル値を補間して、第2の補間されたサブアレイを生成することと、
-第2の補間されたサブアレイ内で、第1の方向の元のスペクトル値ごとに、補間されたスペクトル値の合計を決定して、一連の合計値を生成することと、
-一連の合計値を補間して、補間された一連の合計値を生成することと、
-補間された一連の合計値の合計値を決定して、第2のピークのピーク強度値を生成することと、を含む。
-検出器アレイを使用することによって、二次元光学スペクトルを検出することと、
-サブアレイがスペクトルのピークの予想される位置を含む、検出器アレイの二次元サブアレイを、定義することと、
-サブアレイ内でスペクトルを補間して、補間された部分的な二次元スペクトルを生成することと、
-補間された部分的なスペクトルを使用することによって、ピークの実際の位置を決定することと、
-ピークの実際の位置および予想される位置を使用することによって、オフセットを決定することと、を含む。
-スペクトルのさらなるピークの予想される位置を含む、さらなる二次元サブアレイを定義することと、
-オフセットを使用することによって、少なくとも1つのさらなるサブアレイの位置を調整することと、をさらに含み得る。
Claims (23)
- 光学スペクトルにおけるピーク強度を決定する方法であって、
-光学スペクトルを検出器アレイ上に画像化することによって、スペクトル値の二次元アレイを生成することと、
-前記スペクトル値のアレイの第1の二次元サブアレイを、前記サブアレイが予想される位置を有する前記スペクトルの第1のピークを含むように、選択することと、
-前記第1のサブアレイ内で、前記スペクトル値を補間して、第1の補間されたサブアレイを生成することと、
-前記第1の補間されたサブアレイを使用することによって、前記第1のピークの実際の位置を決定することと、
-前記第1のピークの前記実際の位置および前記予想される位置を使用することによって、オフセットを決定することと、
-前記オフセットを使用することによって、前記スペクトルの第2のピークの予想される位置を調整することと、
-前記スペクトル値のアレイの第2の二次元サブアレイを、前記第2のサブアレイが調整された予想される位置を有する前記第2のピークを含むように、選択することと、
-前記第2のサブアレイ内で、補間されたスペクトル値を使用して、前記第2のピークのピーク強度値を生成することと、を含む、方法。 - 前記検出器アレイが二次元検出器アレイである、請求項1に記載の方法。
- 第1の補間されたサブアレイを生成することが、前記スペクトル値を第1の方向および第2の方向に補間することを含み、前記第1の方向および前記第2の方向は直交することが好ましい、請求項1又は2に記載の方法。
- 前記第1のピークの実際の位置を決定することが、
-前記第1の補間されたサブアレイの最大値を決定することと、
-前記最大値の位置を決定することと、を含む、請求項3に記載の方法。 - 第1の補間されたサブアレイを生成することが、前記スペクトル値を第1の方向および第2の方向に補間することを含み、
前記第2のサブアレイ内で、補間されたスペクトル値を使用して、前記第2のピークのピーク強度値を生成することが、
-前記第2のサブアレイ内で、前記第2の方向のみに前記スペクトル値を補間して、第2の補間されたサブアレイを生成することと、
-前記第2の補間されたサブアレイ内で、前記第1の方向の元のスペクトル値ごとに、補間されたスペクトル値の合計を決定して、一連の合計値を生成することと、
-前記一連の合計値を補間して、補間された一連の合計値を生成することと、
-前記補間された一連の合計値の合計を決定して、前記第2のピークのピーク強度値を生成することと、を含む、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の方法。 - 前記第2のピークの実際の位置を決定することをさらに含む、請求項5に記載の方法。
- 前記第2のピークの実際の位置を決定することが、
-前記第2の補間されたサブアレイの最大値を決定することと、
-前記最大値の位置を決定することと、を含む、請求項6に記載の方法。 - -前記第2のサブアレイ内で、前記第1の方向にも前記スペクトル値を補間して、拡大された第2の補間されたサブアレイを生成することをさらに含み、
最大値を決定することが、前記拡大された第2の補間されたサブアレイの最大値を決定することを含む、請求項7に記載の方法。 - 第1の補間されたサブアレイを生成することが、前記スペクトル値を第1の方向および第2の方向に補間することを含み、
前記第1の方向における前記補間が、3次スプライン補間またはガウス補間を含む、請求項1乃至8のいずれか一項に記載の方法。 - 第1の補間されたサブアレイを生成することが、前記スペクトル値を第1の方向および第2の方向に補間することを含み、
前記第2の方向における前記補間が、アキマスプライン補間を含む、請求項1乃至9のいずれか一項に記載の方法。 - 第1の補間されたサブアレイを生成することが、前記スペクトル値を第1の方向および第2の方向に補間することを含み、
最大値を決定することが、前記第2の方向のサブアレイのスペクトル値ごとに、
-前記第1の方向における最大の補間値を決定することを含む、請求項1乃至10のいずれか一項に記載の方法。 - 最大値を決定することが、前記第1の方向のサブアレイのスペクトル値ごとに、
-前記第2の方向における補間されたサブアレイの2つの変曲点を決定することを含む、請求項11に記載の方法。 - 前記スペクトル値のアレイの二次元サブアレイを、前記サブアレイが予想される位置を有する前記スペクトルのピークを含むように選択することが、
-サブアレイが前記ピークの前記予想される位置と実質的に一致する中心を有するように、前記サブアレイを選択することを含む、請求項1乃至12のいずれか一項に記載の方法。 - 前記ピークが予想される広がりを有し、
-前記サブアレイが前記ピークの前記予想される広がりの最大部分にわたる範囲を含むように、前記サブアレイを選択することをさらに含み、
前記最大部分が、少なくとも50%であることが好ましく、少なくとも70%であることがより好ましい、請求項13に記載の方法。 - 前記光学スペクトルが、エシェルスペクトルを含む、請求項1乃至14のいずれか一項に記載の方法。
- 第1の補間されたサブアレイを生成することが、前記スペクトル値を第1の方向および第2の方向に補間することを含み、
前記第1の方向が、前記エシェルスペクトルの次数の方向に実質的に対応する、請求項15に記載の方法。 - 前記第1のピークの前記予想される位置および/または前記第2のピークの前記予想される位置がメモリユニットから取り出される、請求項1乃至16のいずれか一項に記載の方法。
- 前記光学スペクトルが、プラズマを使用して生成され、前記第1のピークおよび/または前記第2のピークが、前記プラズマ中に存在する物質に対応する、請求項1乃至17のいずれか一項に記載の方法。
- 光学分光法においてオフセットを決定する方法であって、
-検出器アレイを使用することによって、二次元光学スペクトルを検出することと、
-前記検出器アレイにおける、前記スペクトルのピークの予想される位置を含む二次元サブアレイを定義することと、
-前記サブアレイ内で前記スペクトルを補間して、補間された部分的な二次元スペクトルを生成することと、
-前記補間された部分的なスペクトルを使用することによって、前記ピークの実際の位置を決定することと、
-前記ピークの前記実際の位置および前記予想される位置を使用することによって、オフセットを決定することと、を含む、方法。 - -前記スペクトルのさらなるピークの前記予想される位置を含む、さらなる二次元サブアレイを定義することと、
-前記オフセットを使用することによって、前記少なくとも1つのさらなるサブアレイの前記位置を調整することと、をさらに含む、請求項19に記載の方法。 - プロセッサに、請求項1乃至20のいずれか一項に記載の方法を実行させるための命令を含む、ソフトウェアプログラム製品。
- 光学分光法のためのシステムであって、前記システムが、検出器アレイと、関連するメモリを含むプロセッサと、を含み、前記プロセッサが、請求項1乃至20のいずれか一項に記載の方法を実行するように構成されている、システム。
- 光を発生させるためのプラズマ源と、光学スペクトルを生成するためのエシェル回折格子とをさらに備える、請求項22に記載のシステム。
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