JP7325051B2 - ゲッタ材、ゲッタ材の製造方法、及びゲッタ材含有組成物の製造方法 - Google Patents

Description

本開示は、ゲッタ材、ゲッタ材の製造方法、及びゲッタ材含有組成物の製造方法に関する。より詳細には、本開示は、比較的低い温度でゲッタリング能力を実現することができるゲッタ材、ゲッタ材の製造方法、及びゲッタ材含有組成物の製造方法に関する。

従来、所定空間内でゼオライト等のゲッタ材にガス成分を吸着させることで、空間内のガス成分の量を減らすことが行われている。

このようなゲッタ材に関し、例えば、特許文献１には、ゼオライトと、無機バインダーとを含むゲッター組成物に熱処理をし、この熱処理により、無機バインダーを溶融させてゼオライトの表面に接着させると共に、ゼオライト中の揮発分を除去することで、ゼオライトのゲッタリング能力を向上させることが開示されている。

特表２００７－５１１１０２号公報

しかし、特許文献１のようなゲッタ材では、ゼオライトの表面が溶融した無機バインダーに接着している。すなわち、ゼオライトの表面の一部が無機バインダーにより覆われている。このため、空間内で十分なゲッタリング能力を実現させるには、空間内でのゲッタ材の使用量を増やすことが求められる。これにより、ゲッタ材のコストが増加しやすくなる。また、無機バインダーを溶融させることでゼオライト中の揮発分を除去させても、無機バインダーの溶融温度により、ゲッタ材周辺の部品が破損してしまう傾向がある。

本開示の目的は、ゲッタ材の使用量を軽減でき、ゲッタ材周辺の部品を破損させにくくする比較的低い温度でゲッタリング能力を実現できるゲッタ材、ゲッタ材の製造方法、及びゲッタ材含有組成物の製造方法を提供することである。

本開示に係る一態様は、ゲッタ材の製造方法であって、未処理のゲッタ材に保持されている保持成分を加熱下で気化及び脱離させて、前記未処理のゲッタ材の本体を固形の残部として生成することと、前記保持成分の脱離後、前記本体との結合エネルギーが、温度換算で、所定温度以下になる吸着成分を前記本体に吸着させることで、ゲッタ材を作製することと、を含む。前記ゲッタ材は、前記吸着成分を温度換算で前記結合エネルギー以上の温度で気化及び脱離させることにより、前記吸着成分とは別のガス成分を少なくとも吸着可能である。

本開示に係る一態様は、ゲッタ材含有組成物の製造方法であって、前記ゲッタ材の製造方法で作製された前記ゲッタ材を溶媒と混合することを含む。

本開示に係る一態様は、ゲッタ材であって、吸着成分と、前記吸着成分が吸着されている本体とを含む。前記吸着成分は、温度換算で所定温度以下の結合エネルギーで前記本体に吸着されている。前記本体は、未処理のゲッタ材に保持されている保持成分が加熱下で気化及び脱離された後、前記吸着成分が吸着されている。前記ゲッタ材は、前記吸着成分を温度換算で前記結合エネルギー以上の温度で気化及び脱離させることにより、前記吸着成分とは別のガス成分を少なくとも吸着可能である。

本開示によれば、ゲッタ材の使用量を軽減でき、ゲッタ材周辺の部品を破損させにくくする比較的低い温度でゲッタリング能力を実現できる。

図１Ａは、一実施形態に係るガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。図１Ｂは、同上の実施形態においてゲッタ材の製造に用いる装置の一例を概略で示す概念図である。 図２Ａは、同上の実施形態に係るゲッタ材の一例を概略で示す概念図である。図２Ｂは、同上のゲッタ材において、吸着成分が吸着されている態様を具体的に示す概念図である。図２Ｃは、同上のゲッタ材の他例を概略で示す概念図である。図２Ｄは、同上のゲッタ材において、吸着成分が吸着されている態様を具体的に示す概念図である。 図３Ａは、同上の実施形態に係る仮組立て品の一例を概略で示す概略平面図である。図３Ｂは、同上の仮組立て品の断面を概略で示す概略断面図である。 図４は、同上の実施形態に係るガラスパネルユニットの一例を概略で示す概略平面図である。 図５は、同上の実施形態に係るガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。 図６は、同上の実施形態に係るガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。 図７は、同上の実施形態に係るガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。 図８は、同上の実施形態に係るガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。 図９Ａ～図９Ｄは、比較例であって、未処理のゲッタ材を昇温させた時に、吸着されていた各成分の脱離量の挙動を示す曲線図である。 図１０は、一実施形態に係るゲッタ材含有組成物の製造方法の一例を概略で示すフローチャート図である。

以下、本開示を実施するための形態を説明する。

＜ガラスパネルユニットの製造方法＞
一実施形態に係るガラスパネルユニットの製造方法（以下、単に製造方法（Ｍ１）という場合がある）を、図１Ａ～図８を参照して説明する。

製造方法（Ｍ１）は、ゲッタ材本体生成工程と、ゲッタ材作製工程と、組立工程と、枠体形成工程と、排気工程とを含む。

ゲッタ材本体生成工程は、図１Ａのように、未処理のゲッタ材（初期ゲッタ材）１ａに保持されている保持成分５を加熱下で気化及び脱離させて、ゲッタ材本体２を固形残部として生成する工程である。このため、初期ゲッタ材１ａは、ゲッタ材本体２を得るための初期段階で利用される中間生成物である。

保持成分５は、第１保持成分５ａと、第２保持成分５ｂとを含む。第１保持成分５ａは、保持成分５を脱離させる際に初期ゲッタ材１ａから容易に気化されやすい成分である。第２保持成分５ｂは、保持成分を脱離させる際に第１保持成分５ａよりも初期ゲッタ材１ａから気化されにくい成分である。

第２保持成分５ｂが初期ゲッタ材１ａに保持されている態様は、初期ゲッタ材１ａを作製する際に第２保持成分５ｂの存在下で焼結処理が行われていることに起因すると考えられる。さらに、初期ゲッタ材１ａを第２保持成分５ｂの存在下で長期間保存すると、初期ゲッタ材１ａが第２保持成分５ｂだけでなく第１保持成分５ａを保持していても、第２保持成分５ｂは第１保持成分５ａよりもゲッタ材本体２との親和性が高いため、第１保持成分５ａは経時的に第２保持成分５ｂと置換されると考えられる。

このように、初期ゲッタ材１ａは第２保持成分５ｂを吸着して保持しているため、初期ゲッタ材１ａから気化されやすい第１保持成分５ａを脱離させただけでは、初期ゲッタ材１ａのゲッタリング能力は、本実施形態では望ましくない。

第１保持成分５ａは、物理吸着により、初期ゲッタ材１ａに吸着されて保持されていると考えられる。この場合、第１保持成分５ａ中の双極子のうち一方の単極子と、初期ゲッタ材１ａの電荷との相互作用により、第１保持成分５ａは初期ゲッタ材１ａに保持されている。また、第２保持成分５ｂは、共有結合及びイオン結合等の化学吸着により、初期ゲッタ材１ａに吸着されて保持されていると考えられる。

保持成分５を脱離させるにあたって、第２保持成分５ｂを気化及び脱離させることができる条件で初期ゲッタ材１ａを加熱する。すなわち、第２保持成分５ｂの脱離条件の下で、第１保持成分５ａ及び第２保持成分５ｂを離脱させる。初期ゲッタ材１ａを加熱する温度は、後述する排気工程の排気温度Ｔｅよりも高い。初期ゲッタ材１ａは、例えば３５０℃超７００℃以下の温度で加熱される。そして、保持成分５の脱離後、保持成分５を排気させることで、ゲッタ材本体２を生成することができる。第１保持成分５ａは、例えば、初期ゲッタ材１ａを３００℃以下で加熱することで、初期ゲッタ材１ａから気化して脱離する。この場合、第１保持成分５ａは、初期ゲッタ材１ａを３００℃より高い温度で加熱しても、初期ゲッタ材１ａから気化して脱離する。第２保持成分５ｂは、例えば、初期ゲッタ材１ａを３００℃以下で加熱するだけでは脱離せず、３５０℃より高い温度で加熱することで、初期ゲッタ材１ａから気化して脱離する。

第１保持成分５ａとして、例えば、水、窒素、及び二酸化炭素が挙げられる。第２保持成分５ｂとして、例えば、酸素が挙げられる。

本実施形態において、ゲッタ材本体生成工程は、図１Ｂのようなチャンバ６内で行われることが好ましい。これにより、保持成分５の脱離を容易にすることができ、脱離後の保持成分５をチャンバ６外へ排気することで、ゲッタ材本体２を容易に生成できる。

チャンバ６は、その位置側に配置されたヒータ６ａを備える。チャンバ６の両端は、それぞれ排気ポンプ７と供給部８とに接続されている。そして、ヒータ６ａ、排気ポンプ７、及び供給部８は、コントローラ９に接続されている。

コントローラ９がヒータ６ａに接続されていることで、ヒータ６ａは、その動作がコントローラ９で制御されながら、チャンバ６内を加熱したり、発熱を停止したりする。コントローラ９が排気ポンプ７に接続されていることで、排気ポンプ７は、その動作がコントローラ９で制御されながら、チャンバ６内を減圧させる。コントローラ９が供給部８に接続されていることで、供給部８は、その動作がコントローラ９で制御されながら、吸着成分３をチャンバ６内に供給する。

ゲッタ材本体生成工程がチャンバ６内で行われることで、排気ポンプ７により、脱離後の保持成分５をチャンバ６外へ排気することができる。これにより、ゲッタ材本体２は、チャンバ６内で固形残部として生成される。ゲッタ材本体生成工程の際、初期ゲッタ材１ａを加熱することで保持成分５を脱離させながら、保持成分５をチャンバ６外へ排気してもよい。この場合、チャンバ６内は、減圧空間に限らず、不活性ガスの雰囲気であってもよい。不活性ガスは、例えば、ネオン、キセノン、及びアルゴンからなる群から選択される少なくとも１種を含むことができる。保持成分５を脱離させる際のチャンバ６内は、好ましくは減圧空間であり、特に好ましくは真空空間である。

ゲッタ材本体生成工程の際、チャンバ６内の圧力は、例えば、１０^－５Ｐａ以上０．１Ｐａ以下であってもよい。また、保持成分５をチャンバ６外へ排気する際、供給部８の動作は停止していてもよい。

ゲッタ材本体生成工程ではチャンバ６内が第２保持成分５ｂを脱離させる温度で加熱されているため、ゲッタ材本体生成工程の温度で吸着成分３はゲッタ材本体２に吸着されにくい。このため、ゲッタ材作製工程は、ゲッタ材本体生成工程の後に行われる。しかし、ゲッタ材本体生成工程の際、供給部８を作動させて、吸着成分３をチャンバ６内に供給してもよい。この場合、排気ポンプ７で保持成分５をチャンバ６外に排気させながら、供給部８で吸着成分３をチャンバ６内に供給できるため、ゲッタ材１の作製に要する工程期間を短縮できる。

ゲッタ材作製工程は、吸着成分３をゲッタ材本体２に吸着させることで、ゲッタ材１を作製する工程である。吸着成分３は、後述する排気工程の排気温度Ｔｅで、容易に気化されやすい成分である。ゲッタ材本体生成工程がチャンバ６内で行われる場合、ゲッタ材作製工程もチャンバ６内で行われる。このため、吸着成分３は供給部８によりチャンバ６内に供給される。これにより、吸着成分３はゲッタ材本体２に吸着される。

ゲッタ材１は、図２Ａのように、吸着成分３と、本体（ゲッタ材本体）２とを含む。

ゲッタ材本体２は、上記の通り、初期ゲッタ材１ａに保持された保持成分５を気化及び脱離させた固形残部である（図１Ａ参照）。

ゲッタ材本体２は、図２Ａ～図２Ｂのように吸着成分３を吸着している。ここで、図２Ａ～図２Ｂの各々は、ゲッタ材本体２が吸着成分３を吸着している態様を誇張している。具体的には、ゲッタ材本体２は、分子レベルの吸着成分３を吸着している。この場合、図２Ａ及び図２Ｃのように、ゲッタ材本体２は、その表面に吸着成分３を吸着していてもよい。また、図２Ｂ及び図２Ｄのように、ゲッタ材本体２は、その中にある細孔２ａで吸着成分３を吸着していてもよい。ゲッタ材本体２は、その表面及び細孔２ａで吸着成分３を吸着していてもよい。

ゲッタ材本体２が細孔２ａを備える場合、ゲッタ材本体２は多孔質である。すなわち、ゲッタ材本体２は複数の細孔２ａを備える。このようなゲッタ材本体２は、ゼオライト構造２ｚを有する。図２Ｂ及び図２Ｄの例では、吸着成分３が吸着されている態様を分かりやすく説明するためにゼオライト構造２ｚを１つ示しているが、ゲッタ材本体２は複数のゼオライト構造２ｚを含有する。この場合、隣接するゼオライト構造２ｚが３次元的に結合している。これにより、ゲッタ材本体２は、複数の細孔２ａを含有する多孔質となる。

ゼオライト構造２ｚは、下記一般式（１）の組成を有する。
Ｍｅ_２／ＸＯ・Ａｌ_２Ｏ_３・ｍＳｉＯ_２・ｎＨ_２Ｏ， …（１）
ここで、Ｍｅは細孔２ａ中に存在するｘ価のカチオンである。ｍはシリカ／アルミナ比であり、２以上の整数である。ｎは０以上の整数である。式（１）の組成中、各Ａｌで１価の負電荷が生じている。このため、Ｍｅが２価以上のカチオンである場合、細孔２ａ内で正電荷が生じる。また、Ｍｅが１価のカチオンである場合、細孔２ａ内は電気的に中性となる。

ゼオライト構造２ｚでは、Ｍｅは１価のカチオンであってもよい。Ｍｅは２価以上のカチオンであってもよい。Ｍｅは１価のカチオンと、２価以上のカチオンを組み合わせていてもよい。１価のカチオンとして、例えば、Ｌｉ^＋、Ｎａ^＋、及びＫ^＋等のアルカリ金属イオン；プロトン；並びにアンモニウムイオン（ＮＨ^４＋）が挙げられる。２価以上のカチオンとして、Ｃａ^２＋、Ｍｇ^２＋、及びＢａ^２＋等のアルカリ土類金属イオン；並びにＣｕ^２＋、Ａｕ^２＋、Ｆｅ^２＋、Ｚｎ^２＋及びＮｉ^２＋等の遷移金属イオンが挙げられる。

一般式（１）中の水（Ｈ_２Ｏ）は、結晶水としてゼオライト構造２ｚに含まれている。このような水は、例えば細孔２ａ内に含まれている。また、ゼオライト構造２ｚ中の水を加熱等で脱水すると、脱水後のゼオライト構造２ｚは、吸湿性を向上させることができる。ゼオライト構造２ｚ中の水を完全に脱水させた場合、一般式（１）中のｎは０になる。

ゲッタ材本体２は、ゼオライト、又は銅イオン交換ゼオライトであってもよい。この場合、ゼオライトは、一般式（１）中のＭｅが１価のカチオンである成分である。また、銅イオン交換ゼオライトは、一般式（１）中のＭｅが銅イオンである成分である。ここで、銅イオン交換ゼオライトは、細孔２ａ内に銅イオンを保持させた成分である。このため「銅イオン交換ゼオライト」は、細孔２ａ内に銅イオンを保持させる前のゼオライトの具体的な種類まで限定しない。なおゲッタ材本体２は、窒素を吸着可能な材料を用いることが好ましい。

図２Ｂ及び図２Ｄの例では、Ａ型ゼオライト構造を示しているが、ゲッタ材本体２の構造はＡ型ゼオライト構造だけに限定されない。ゲッタ材本体２は、Ｘ型ゼオライト構造、及びＹ型ゼオライト構造、及びＺＳＭ－５構造等の任意のゼオライト構造を含有できる。

吸着成分３は、温度換算で所定温度（Ｔｅ）以下の結合エネルギー（ＢＴ１）でゲッタ材本体２に吸着されている。すなわち、吸着成分３は、ゲッタ材本体２との結合エネルギー（ＢＴ１）が温度換算で所定温度（Ｔｅ）以下であり、ゲッタ材１を所定温度（Ｔｅ）で加熱することにより脱離する成分である。これにより、ゲッタ材１で所定のゲッタリング能力を得るための加熱温度を低減できる。この所定温度（Ｔｅ）は、後述の排気温度Ｔｅである。

吸着成分３は、温度換算で結合エネルギー（ＢＴ１）以上の温度でゲッタ材１を加熱することで、ゲッタ材本体２から容易に気化されやすい成分である。吸着成分３は、第２保持成分５ｂ以外の、ゲッタ材本体２と化学反応しない成分で、かつゲッタ材本体２に吸着される成分であれば、吸着成分３は任意の成分であってもよい。吸着成分３としては、例えば、窒素、水素、二酸化炭素、水、ネオン、キセノン、炭化水素、及び炭化水素誘導体が挙げられる。炭化水素誘導体として、例えば、メタノール、エタノール、及びフェノールが挙げられる。これらのうち、１種又は２種以上の成分が用いられてもよい。

また、吸着成分３と、ゲッタ材本体２との結合エネルギー（ＢＴ１）は、共有結合及びイオン結合等の化学吸着による結合エネルギーでない。吸着成分３は、例えば、物理吸着でゲッタ材本体２に吸着されていると考えられる。

また、ゲッタ材本体２は、上記の通り、多数の細孔２ａを有する多孔質の部位である。このため、吸着成分３は、ゲッタ材本体２中の細孔２ａを満たすようにしてゲッタ材本体２に吸着されていてもよい。または、吸着成分３は、細孔２ａ中の電荷により吸着成分３が凝集するようにしてゲッタ材本体２に吸着されていてもよい。細孔２ａ中の電荷により吸着成分３が凝集する場合、吸着成分３中の双極子のうち一方の単極子と、細孔２ａ中の電荷との相互作用により、吸着成分３はゲッタ材本体２に吸着されている。

吸着成分３は、ゲッタ材本体２に化学吸着されていなければよく、吸着成分３とゲッタ材本体２との結合エネルギー（ＢＴ１）は特に限定されない。結合エネルギー（ＢＴ１）は、例えば、温度換算で３００℃以下である。結合エネルギー（ＢＴ１）は、例えば、２００℃以下である。結合エネルギー（ＢＴ１）は、例えば、１００℃以上である。

本実施形態に係るゲッタ材１は、吸着成分３を温度換算で結合エネルギー（ＢＴ１）以上の温度でゲッタ材本体２から気化及び脱離させることにより、吸着成分３とは別のガス成分（Ｇ）を少なくとも吸着可能である。これにより、ゲッタ材１の使用量を軽減でき、ゲッタ材１の周辺部品を破損させにくくする比較的低い温度で吸着成分３を脱離できるため、ゲッタ材１の高いゲッタリング能力を実現できる。

ガス成分（Ｇ）は、例えば、後述の真空空間５０にある気体である。ガス成分（Ｇ）は吸着成分３の脱離後のゲッタ材本体２に吸着される気体であればよく、ガス成分（Ｇ）の具体的な化合物名は特に限定されない。ガス成分（Ｇ）として、例えば、窒素、酸素、二酸化炭素、水蒸気、メタン、エタン、ネオン、及びキセノンなどが挙げられる。

また、ゲッタ材１は、図２Ｃ及び図２Ｄのように、第２吸着成分４を更に含んでもよい。このようにゲッタ材１が第２吸着成分４を含む場合、吸着成分３は第１吸着成分である。この第１吸着成分３の供給のため窒素を主成分とする空気を供給する場合、第２吸着成分４としては、空気中の酸素が相当する。

第２吸着成分４は、温度換算で所定温度Ｔｅよりも高い温度の結合エネルギー（ＢＴ２）でゲッタ材本体２に吸着されている。すなわち、第２吸着成分４は、ゲッタ材本体２との結合エネルギー（ＢＴ２）が温度換算で所定温度Ｔｅよりも高い温度であり、ゲッタ材本体２を所定温度Ｔｅで加熱しても離脱せず、所定温度Ｔｅより高い温度で加熱したときに離脱する成分である。第２吸着成分４は、ゲッタ材１を加熱しても、第１吸着成分３よりもゲッタ材本体２から気化及び脱離しにくい成分である。また、第２吸着成分４は、ゲッタ材１の微量成分である。

第２吸着成分４は、図２Ｃのようにゲッタ材本体２の表面で吸着されていてもよい。また、第２吸着成分４は、図２Ｄのように、ゲッタ材本体２の中にある細孔２ａで吸着されていてもよい。第２吸着成分４は、ゲッタ材本体２の表面及び細孔２ａで吸着されていてもよい。

ゲッタ材１が第１吸着成分３と、第２吸着成分４とを含む場合、ゲッタ材１は、第１吸着成分３を、第２吸着成分４よりも多い含有量で含む。この場合、ゲッタ材本体２に吸着されている成分のうち、第１吸着成分３の量が支配的であるため、第２吸着成分４は微量成分としてゲッタ材本体２に吸着されている。このようにゲッタ材１が第２吸着成分４を含む場合、ゲッタ材１を第１吸着成分３と同様の成分で満たされた容器内に保存することで、ゲッタ材本体２の第１吸着成分３を第２吸着成分４と置換させにくくできる。

第２吸着成分４は、共有結合及びイオン結合等の化学吸着により、ゲッタ材本体２に吸着されていると考えられる。第２吸着成分４とゲッタ材本体２との結合エネルギー（ＢＴ２）は特に限定されない。結合エネルギー（ＢＴ２）は、例えば、温度換算で３００℃より高い温度である。結合エネルギー（ＢＴ２）は、例えば、４００℃以上である。結合エネルギー（ＢＴ２）は、例えば、４５０℃以上である。結合エネルギー（ＢＴ２）は、例えば、７００℃以下である。

ゲッタ材本体２に第２吸着成分４が吸着されている場合、第１吸着成分３に第２吸着成分４を混入させた混合物を供給部８でチャンバ６内に供給させてもよい。この場合、第１吸着成分３の割合が第２吸着成分４に対して多いことが望ましい。また、ゲッタ材本体生成工程の際に、離脱されずゲッタ材本体２に微量成分として残留した第２保持成分５ｂが第２吸着成分４であってもよい。第２吸着成分４として、例えば、酸素が挙げられる。

本実施形態に係るゲッタ材１は、微量成分として第２吸着成分４を含んでいても、ゲッタ材１の使用量を軽減でき、ゲッタ材１の周辺部品を破損させにくくする比較的低い温度で第１吸着成分３を脱離できるため、ゲッタ材１の高いゲッタリング能力を実現できる。

本実施形態に係る結合エネルギーは、例えば、昇温速度５℃／ｍｉｎでの昇温脱離分析における脱離ピーク温度を採用することができる。

製造方法（Ｍ１）は、ゲッタ材本体冷却工程を更に含む。ゲッタ材本体冷却工程は、ゲッタ材本体生成工程と、ゲッタ材作製工程との間で行われる。ゲッタ材本体冷却工程は、保持成分５の脱離後、ゲッタ材本体２を冷却する工程である。

ゲッタ材本体冷却工程では、ヒータ６ａの発熱を停止させる。ヒータ６ａの停止後、供給部８から吸着成分３を供給すると共に、チャンバ６内の吸着成分３を排気ポンプ７でチャンバ６外に排気する。これにより、チャンバ６内を冷却できる。ゲッタ材本体冷却工程では吸着成分３が供給されているため、ゲッタ材本体冷却工程の途中でゲッタ材作製工程が行われてもよい。

本実施形態では、吸着成分３が、室温及び大気圧下で液体の成分からなる場合、チャンバ６は供給部８に接続されていなくてもよい。この場合、ゲッタ材本体生成工程の後、チャンバ６内を冷却し、冷却後のゲッタ材本体２を上記の液体に浸してもよい。これにより、ゲッタ材本体２に吸着成分３を吸着させることができる。吸着成分３の吸着後、吸着成分３がゲッタ材本体２から完全には脱離しないようにしてゲッタ材１を乾燥させてもよい。

製造方法（Ｍ１）では、ゲッタ材１の作製後、このゲッタ材１を用いて、組立工程と、枠体形成工程と、排気工程とが行われる。

ゲッタ材１は、吸着成分３を温度換算で結合エネルギー（ＢＴ１）以上の温度でゲッタ材本体２から気化及び脱離させることにより、吸着成分３とは別のガス成分（Ｇ）を少なくとも吸着可能である。これにより、ゲッタ材１の使用量を軽減でき、ゲッタ材１の周辺部品を破損させにくくする比較的低い温度で吸着成分３を脱離できるため、ゲッタ材１の高いゲッタリング能力を実現できる。このため、所定のゲッタリング能力を得るための加熱温度を低減でき、後述の第１溶融温度Ｔｍ１及び第２溶融温度Ｔｍ２を低減できる。言い換えると、ゲッタ材１は、後述の第１溶融温度Ｔｍ１及び第２溶融温度Ｔｍ２が低い条件でも好適に利用できる。

組立工程は、図３Ａ及び図３Ｂのような仮組み立て品１００を作製する工程である。仮組み立て品１００は、図４のようなガラスパネルユニット１０の中間体であって、枠体形成工程の前に作製される。

また、本実施形態の説明を簡潔にするため、仮組み立て品１００、及びガラスパネルユニット１０の厚み方向をＤ１方向とする。Ｄ１方向と直交する方向をＤ２方向とし、Ｄ２方向と直交する方向をＤ３方向とする。また、Ｄ１方向は第１方向であってもよく、Ｄ２方向は第２方向であってもよく、そしてＤ３方向は第３方向であってもよい。

仮組立て品１００は、図３Ａのように、第１ガラス板２００と、第２ガラス板３００と、枠体４１０と、内部空間５００と、仕切り４２０と、通気路６００と、排気口７００と、ガス吸着体６０と、複数のスペーサ７０と、を備える。

第１ガラス板２００は、その本体であるガラス板２１０と、コーティング２２０と、を備える。なお、第１ガラス板２００はコーティング２２０を備えなくてもよい。

ガラス板２１０は、矩形状の平板であり、第１面２１１、及び第２面２１２を有する。第１面２１１は、仮組み立て品１００、及びガラスパネルユニット１０の内側にあり、第２面２１２は、仮組み立て品１００、及びガラスパネルユニット１０の露出面である。第１面２１１、及び第２面２１２の各々は、平面である。ガラス板２１０は、製造方法（Ｍ３）に利用できればよく、任意のガラス板を採用できる。ガラス板２１０として、例えば、ソーダライムガラス、高歪点ガラス、化学強化ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、ネオセラム、及び物理強化ガラスが挙げられる。

コーティング２２０は、第１面２１１に形成される皮膜である。コーティング２２０は、赤外線反射膜であってもよい。本実施形態では、コーティング２２０は、赤外線反射膜に限定されず、所望の物理特性を有する皮膜であってもよい。

第２ガラス板３００は、その本体であるガラス板３１０を備える。ガラス板３１０は、矩形状の平板であり、第１面３１１、及び第２面３１２を有する。第１面３１１は、仮組み立て品１００、及びガラスパネルユニット１０の内側にあり、第２面３１２は、仮組み立て品１００、及びガラスパネルユニット１０の露出面である。第１面３１１、及び第２面３１２の各々は、平面である。

ガラス板３１０の平面形状は、ガラス板２１０と同じである。すなわち、第２ガラス板３００の平面形状は、第１ガラス板２００と同じである。また、ガラス板３１０の厚みは、ガラス板２１０と同じである。ガラス板３１０は、製造方法（Ｍ３）に利用できればよく、任意のガラス板を採用できる。ガラス板３１０として、例えば、ソーダライムガラス、高歪点ガラス、化学強化ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、ネオセラム、及び物理強化ガラスが挙げられる。ガラス板３１０は、例えば、ガラス板２１０と同じである。

第２ガラス板３００は、ガラス板３１０のみから構成されてもよい。第２ガラス板３００は、第１ガラス板２００と対向するようにして配置されている。この場合、第１面３１１は、第１面２１１と対向している。また、第２ガラス板３００は、例えば、第１ガラス板２００と平行である。

枠体４１０は、第１ガラス板２００と第２ガラス板３００との間にあり、第１ガラス板２００と第２ガラス板３００とに接触している。これにより、仮組み立て品１００は、枠体４１０と、第１ガラス板２００と、第２ガラス板３００とに囲まれた内部空間５００を備える。

枠体４１０は、熱接着剤（Ａ１）が第１ガラス板２００の外周縁と、第２ガラス板３００の外周縁とに沿った両周縁部に配置された枠状の熱溶融シール材である。熱接着剤（Ａ１）は、第１軟化点を有する第１熱接着剤である。第１熱接着剤は、ガラスフリットを含有する。第１熱接着剤は、例えば、ガラスフリットのみからなる。ガラスフリットは、例えば、低融点ガラスフリットである。低融点ガラスフリットとしては、例えば、ビスマス系ガラスフリット、鉛系ガラスフリット、及びバナジウム系ガラスフリットである。これらのうち、１種又は２種以上のガラスフリットを第１熱接着剤は含有できる。

仕切り４２０は、内部空間５００内に配置される。仕切り４２０は、内部空間５００を、排気工程により真空空間５０となる第１空間５１０と、排気口７００と通じる第２空間５２０とに仕切る。

仕切り４２０は、壁部４２１と、遮断部４２２とを備える。遮断部４２２は、第１遮断部４２２１と、第２遮断部４２２２とを備える。壁部４２１は、Ｄ２方向に沿って形成されている。この場合、壁部４２１と、枠体４１０とで囲まれた平面領域内に排気口７００がある。また、Ｄ２方向は、例えば、第２ガラス板３００の幅方向である。また、Ｄ２方向において、壁部４２１の両端は、枠体４１０と接触していない。壁部４２１の両端のうち、一端から第２空間５２０に向かって延びるようにして第１遮断部４２２１が形成され、他端から第２空間５２０に向かって延びるようにして第２遮断部４２２２が形成されている。壁部４２１の一端は第１端であってもよく、他端は第２端であってもよい。

仕切り４２０は、熱接着剤（Ａ２）からなる。熱接着剤（Ａ２）は、第２軟化点を有する第２熱接着剤である。第２熱接着剤は、ガラスフリットを含有する。第２熱接着剤は、例えば、ガラスフリットのみからなる。ガラスフリットは、例えば、低融点ガラスフリットである。低融点ガラスフリットとしては、例えば、ビスマス系ガラスフリット、鉛系ガラスフリット、及びバナジウム系ガラスフリットが挙げられる。これらのうち、１種又は２種以上のガラスフリットを第２熱接着剤は含有できる。また、第２熱接着剤は例えば、第１熱接着剤と同じである。この場合、第２軟化点は第１軟化点と同じである。

通気路６００は、内部空間５００内で第１空間５１０と第２空間５２０とをつなぐ。通気路６００は、第１通気路６１０と、第２通気路６２０と、を備える。第１通気路６１０は、第１遮断部４２２１と、第１遮断部４２２１に対向する枠体４１０の部分との間に形成された空間である。第２通気路６２０は、第２遮断部４２２２と、第２遮断部４２２２に対向する枠体４１０の部分との間に形成された空間である。

排気口７００は、第２空間５２０と外部空間とをつなぐ孔である。排気口７００は、第２空間５２０と、通気路６００を介して第１空間５１０とを排気するために形成されている。排気口７００は、第２空間５２０と外部空間とをつなぐように第２ガラス板３００に形成されている。排気口７００は、例えば、第２ガラス板３００の角部分に位置している。

ガス吸着体６０は、第１空間５１０内に配置される。具体的には、ガス吸着体６０は、Ｄ２方向に沿って形成された長尺状である。ガス吸着体６０は、Ｄ３方向において、壁部４２１に対して排気口７００とは反対側にある。つまり、ガス吸着体６０は、第１空間５１０（真空空間５０）の端に配置される。このようにすれば、ガス吸着体６０を目立たなくすることができる。また、ガス吸着体６０は、仕切り４２０、及び通気路６００から離れた位置にある。そのため、第１空間５１０の排気時に、ガス吸着体６０が排気を妨げる可能性を低くできる。

ガス吸着体６０は、排気後の真空空間５０に存在する残留ガスを吸収するために用いられる。残留ガスは、仮組み立て品１００が加熱された際に、枠体４１０、仕切り４２０、及びスペーサ７０から放出されるガスを含む。残留ガスは、ガス吸着体６０中のゲッタ材１に吸着される。

ガス吸着体６０は、ゲッタ材１、又はゲッタ材含有組成物１ｂを含有する。ゲッタ材１は、温度換算で結合エネルギー（ＢＴ１）以上の温度で、吸着成分３を放出する性質を有している。

ガス吸着体６０は、粉体のゲッタ材１を含有する。ガス吸着体６０は、例えば、ゲッタ材含有組成物１ｂを第２ガラス板３００に塗布することにより形成される。この場合、ガス吸着体６０を小さくできる。したがって、真空空間５０が狭くてもガス吸着体６０を配置できる。また、ゲッタ材含有組成物１ｂが揮発性の溶媒を含有する場合、塗布後、揮発性溶媒を除去させてガス吸着体６０を形成する。このため、ガス吸着体６０は、ゲッタ材含有組成物１ｂのうち、揮発性溶媒以外の成分を含有する。すなわち、ガス吸着体６０は、ゲッタ材含有組成物１ｂの乾燥物であってもよい。

複数のスペーサ７０は、第１ガラス板２００と第２ガラス板３００との間隔を所定間隔に維持するために用いられる。つまり、複数のスペーサ７０は、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０との距離を所望の値に維持するために使用される。

複数のスペーサ７０は、第１空間５１０内に配置されている。具体的には、複数のスペーサ７０は、仮想的な矩形状の格子の交差点に配置されている。隣接するスペーサ７０の間隔は、例えば２ｃｍである。スペーサ７０は、第１ガラス板２００と第２ガラス板３００との間隔を維持できればよく、スペーサ７０の大きさ、スペーサ７０の数、スペーサ７０の間隔、及びスペーサ７０の配置位置は、適宜選択することができる。

スペーサ７０は、上記所定間隔とほぼ等しい高さを有する円柱状である。スペーサ７０は、例えば、直径が０．５ｍｍ、高さが１００μｍである。また、各スペーサ７０は、角柱状、及び球状等の所望の形状であってもよい。

スペーサ７０は、透明であってもよく、不透明であってもよい。特にスペーサ７０が十分に小さい場合、スペーサ７０は不透明であってもよい。スペーサ７０の材料は、後述する第１溶融工程、排気工程、第２溶融工程において、スペーサ７０が変形しないように選択される。スペーサ７０の材料は、例えば、第１熱接着剤の第１軟化点および第２熱接着剤の第２軟化点よりも高い軟化点（軟化温度）を有するように選択される。

スペーサ７０を形成するにあたって、例えば、複数のスペーサ７０を予め形成しておき、チップマウンタなどを利用して、複数のスペーサ７０を、第２ガラス板３００の所定位置に配置することができる。また、複数のスペーサ７０は、フォトリソグラフィ技術、及びエッチング技術を利用して形成されていてもよい。この場合、複数のスペーサ７０は、例えば、光硬化性樹脂を硬化させて形成される。あるいは、複数のスペーサ７０は、周知の薄膜形成技術を利用して形成されていてもよい。

製造方法（Ｍ３）では、組立工程後、枠体形成工程が行われる。

枠体形成工程は、加熱により枠体４１０を溶融させることで第１ガラス板２００と第２ガラス板３００とを気密に接合する枠体４１１を形成する工程である。枠体４１１は、枠体４１０の溶融硬化物である。具体的には、枠体４１１は、枠体４１０中のガラスフリットを溶融硬化させた部位である。

枠体形成工程は、第１溶融工程である。第１溶融工程では、第１軟化点以上の温度（第１溶融温度）Ｔｍ１で枠体４１０中のガラスフリットを一旦溶融させることで、第１ガラス板２００と第２ガラス板３００とを気密に接合する。具体的には、仮組み立て品１００は、溶融炉内に配置され、第１溶融温度Ｔｍ１で第１溶融時間ｔｍ１の間加熱される（図６参照）。第１溶融温度Ｔｍ１は、温度換算した結合エネルギー（ＢＴ１）の温度よりも高い。これにより、吸着成分３をガス吸着体６０から放出させることができる。また、ゲッタ材１がその微量成分として第２吸着成分４を含有している場合、第１溶融温度Ｔｍ１は、温度換算した結合エネルギー（ＢＴ２）の温度よりも低いため、第２吸着成分４はガス吸着体６０から脱離しない。

第１溶融温度Ｔｍ１、及び第１溶融時間ｔｍ１は、枠体４１０中のガラスフリットを溶融させるが、仕切り４２０によって通気路６００が塞がれることがないように、設定される。つまり、第１溶融温度Ｔｍ１の下限は、第１軟化点であるが、第１溶融温度Ｔｍ１の上限は、仕切り４２０によって通気路６００が塞がれることがないように設定される。また、第１溶融工程において第２吸着成分４をゲッタ材１から脱離させようとすると、温度を高める必要があり通気路６００は塞がりやすい。このため、本実施形態では、ゲッタ材１がその微量成分として第２吸着成分４を含有していても温度を抑え、第２吸着成分４をガス吸着体６０から放出させることは行わない。

第１溶融工程で枠体４１０中のガラスフリットを溶融させるにあたって、例えば、第１軟化点、及び第２軟化点が２７０℃である場合、第１溶融温度Ｔｍ１は、２８０℃に設定される。また、第１溶融時間ｔｍ１は、例えば、１０分である。

第１溶融工程中、枠体４１０の溶融化物を冷却して硬化させることで、枠体４１１が形成される。第１溶融工程では、枠体４１０からガスが放出されるが、このガスは排気工程により排気される。

排気工程は、排気口７００を介して排気することで内部空間５００を減圧させながら、枠体４１０中のガラスガラスフリットの溶融温度よりも低く、かつ所定温度（排気温度）Ｔｅでガス吸着体６０を加熱する工程である。排気工程中、ガス吸着体６０を加熱することで、第１溶融工程、及び排気工程で枠体４１０、仕切り４２０、及びスペーサ７０から放出されたガスをガス吸着体６０に吸着させにくくさせることができる。さらに、排気口７００を介して排気することで、内部空間５００を減圧させながら、枠体４１０、仕切り４２０、及びスペーサ７０から放出されたガスを排気することができる。排気工程中、排気温度Ｔｅで、通気路６００、第２空間５２０、及び排気口７００を介して第１空間５１０を排気することで、第１空間５１０は真空空間５０となる。排気温度Ｔｅは、温度換算した結合エネルギー（ＢＴ１）の温度以上の温度である。そのため、ゲッタ材１に含有される吸着成分３は、ゲッタ材本体２から離脱して排気され、ゲッタ材１のゲッタリング能力を高めることができる。また、ゲッタ材１がその微量成分として第２吸着成分４を含有している場合であっても、排気温度Ｔｅは、温度換算した結合エネルギー（ＢＴ２）の温度よりも低くする。排気温度Ｔｅは、枠体４１０および仕切り４２０が溶融して潰れ広がっても通気路６００が塞がれない温度であって、ゲッタ材１から吸着成分３が脱離できる温度であればよい。排気温度Ｔｅは、例えば、２５０℃である。

排気工程は、例えば、真空ポンプを用いて行われる。真空ポンプは、図５のように、排気管８１０と、シールヘッド８２０と、により排気口７００に接続される。排気管８１０は、排気口７００と連通するようにして第２ガラス板３００に接合される。そして、排気管８１０にシールヘッド８２０が取り付けられ、これによって、真空ポンプの吸気口が排気口７００に接続される。

排気工程中、枠体４１１、及び仕切り４２０は変形しない。また、第１溶融工程においては、内部空間５００を排気せずに仮組み立て品１００を加熱しているが、排気工程でもガス吸着体６０を加熱することにより、吸着成分３を排気させることができる。この場合、ガス吸着体６０からの吸着成分３は、ガスとなって、第１空間５１０、通気路６００、第２空間５２０、及び排気口７００を通じて排気される。

排気工程の排気時間ｔｅは、所定の真空度の真空空間５０が得られるように設定される。排気時間ｔｅは、内部空間５００を真空空間５０にする時間であればよく、排気時間ｔｅは特に限定されない。排気時間ｔｅは、例えば、１２０分に設定される。

排気工程後、吸着成分３の一部が真空空間５０内に残留した場合、この吸着成分３は残留ガスとしてゲッタ材１に吸着される。

製造方法（Ｍ３）は、第２溶融工程を更に含む。

第２溶融工程は、仕切り４２０を変形させて、通気路６００を塞ぐ隔壁４２を形成することで、真空空間５０を囲むシール４０を形成する工程である。第２溶融工程では、第２軟化点以上の第２溶融温度Ｔｍ２で仕切り４２０中のガラスフリットを一旦溶融させる。これにより、仕切り４２０を変形させて隔壁４２を形成する。具体的には、第１ガラス板２００、及び第２ガラス板３００は、溶融炉内で、第２溶融温度Ｔｍ２で第２溶融時間ｔｍ２の間、加熱される（図６参照）。

第２溶融温度Ｔｍ２、及び第２溶融時間ｔｍ２は、仕切り４２０中のガラスフリットを溶融させ、通気路６００を塞ぐ隔壁４２が形成されるように設定される。また、ゲッタ材１がその微量成分として第２吸着成分４を含有している場合、第２溶融温度Ｔｍ２は、温度換算した結合エネルギー（ＢＴ２）の温度よりも高くてもよい。第２溶融温度Ｔｍ２が結合エネルギー（ＢＴ２）の温度よりも高い場合、真空空間５０内に第２吸着成分４が放出される。しかし、第２吸着成分４は、ゲッタ材１の微量成分であるため、第２溶融工程後、ゲッタ材１に再吸着される。また、通気路６００が塞がった後に、枠体４１０や仕切り４２０からガスが放出されても、このガスはゲッタ材１に吸着される。これにより、真空空間５０における真空度の悪化を抑制することができる。つまり、ガラスパネルユニット１０の断熱性を低下させにくくできる。

第２溶融温度Ｔｍ２の下限は、第２軟化点（２７０℃）である。第２溶融工程では、第１溶融工程とは異なり、仕切り４２０を変形させることを目的としているから、第２溶融温度Ｔｍ２は、第１溶融温度（２８０℃）Ｔｍ１より高くしている。第２溶融温度Ｔｍ２は、例えば、３００℃に設定される。また、第２溶融時間ｔｍ２は、例えば、３０分である。なお、第２溶融温度Ｔｍ２を第１溶融温度Ｔｍ１と同じ温度で行い、枠体４１０および仕切り４２０を潰す圧力を調整して、通気路６００を塞ぐようにしてもよい。

図７のような隔壁４２が形成されると、隔壁４２と、枠体４１１とからなるシール４０に囲まれた真空空間５０が形成される。真空空間５０は、第１空間５１０に対応する部分に形成されているため、隔壁４２で、真空空間５０と第２空間５２０とを区分する。すなわち、隔壁４２は、真空空間５０と、第２空間５２０に対応する部分とを区分する境界を構成する。第２溶融工程が終了するまでは、枠体４１１、隔壁４２、及びスペーサ７０が加熱されているから、枠体４１１、隔壁４２、及びスペーサ７０からガスが放出されることがある。しかしながら、枠体４１１、隔壁４２、及びスペーサ７０から放出されたガスは、真空空間５０内のガス吸着体６０に吸着される。そのため、真空空間５０における真空度の悪化を抑制することができる。つまり、ガラスパネルユニット１０の断熱性を低下させにくくできる。

また、第２溶融工程では、排気工程を継続して、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とを介して第１空間５１０を排気する。つまり、第２溶融工程では、第２溶融温度Ｔｍ２で、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とを介して第１空間５１０を排気しながら、仕切り４２０を変形させて通気路６００を塞ぐ隔壁４２を形成する。これによって、第２溶融工程中に、真空空間５０における真空度の悪化をさらに抑制できる。しかも、通気路６００を塞いでも排気工程が継続されるため、通気路６００を塞ぐ直前まで第１空間５１０が排気され、隔壁４２の形成後、吸着成分３も真空空間５０中に残留しにくくなる。

真空空間５０は、その真空度が所定値以下である。真空空間５０の真空度は、ガラスパネルユニット１０の断熱性を低下させにくくできればよく、真空度は特に限定されない。真空空間５０の真空度は、例えば、たとえば、０．１Ｐａである。

シール４０は、真空空間５０を囲むとともに、第１ガラス板２００と第２ガラス板３００とを気密に接合する。シール４０は、枠状である。シール４０は、第１部分４１と、第２部分４２と、を有する。第１部分４１は、枠体４１１のうち、真空空間５０と接する部分である。つまり、第１部分４１は、枠体４１０のうち、真空空間５０に面している部分である。第１部分４１は、シール４０の四辺のうちの三辺を構成し、略Ｕ字状である。第２部分４２は、仕切り４２０を変形することで得られる隔壁である。第２部分４２は、Ｉ字状であり、シール４０の四辺のうちの残りの一辺を構成する。

第２溶融工程中、第２溶融温度Ｔｍ２で加熱後、冷却してガラスパネルユニット１１０を作製する。第２溶融工程の冷却は、溶融したガラスフリットを十分に硬化させることができればよく、任意の条件を採用できる。第２溶融工程の冷却は、例えば、自然放冷であってもよく、或いは、所定の冷却速度での冷却であってもよい。

製造方法（Ｍ３）は、切断工程を更に含む。

切断工程は、第２溶融工程後のガラスパネルユニット１１０を、図８のように切断する工程である。切断工程により、真空空間５０を有する部分と、第２空間５２０を有する部分（不要な部分）１１とが分断される。このようにして分断された部分のうち、真空空間５０を有する部分は、ガラスパネルユニット１０となる。

製造方法（Ｍ３）によれば、ガス吸着体６０がゲッタ材１を含有することで、ゲッタ材１の使用量を軽減でき、ゲッタ材１周辺の部品（例えば、第１ガラス板２００、及び第２ガラス板３００）を破損させにくくする比較的低い温度でゲッタリング能力を実現できる。そのため、真空空間５０における真空度の悪化を抑制することができ、ガラスパネルユニット１０の断熱性を低下させにくくすることができる。

なお、上記の実施形態は、ゲッタ材１をガラスパネルユニット１１０に用いた例を示したが、ＭＥＭＳ機器やディスプレイ等の電子機器にも使用することができる。

＜ゲッタ材含有組成物の製造方法＞
次に、ゲッタ材含有組成物の製造方法（以下、単に製造方法（Ｍ２）という場合がある）を、図１０を参照して説明する。

製造方法（Ｍ２）は、図１０のように、ゲッタ材１を含有する組成物１ｂを製造する方法である。このため、本実施形態は、ゲッタ材１の説明を参照できる。

製造方法（Ｍ２）は、溶媒混合工程を含む。溶媒混合工程は、ゲッタ材１と溶媒１ｃとを混合する工程である。溶媒混合工程により、製造方法（Ｍ２）は、ゲッタ材１と溶媒１ｃとを含有するゲッタ材含有組成物１ｂを製造できる。

また、ゲッタ材１と溶媒１ｃと混合することで、ゲッタ材本体２は、第２保持成分５ｂを吸着しにくくなるため、ゲッタ材本体２のゲッタリング能力を長期間維持することができる。これにより、ゲッタ材１の安定性を向上させることができる。

溶媒混合工程は、ゲッタ材１と溶媒１ｃと混合できれば、任意の混合方法を採用できる。溶媒混合工程の混合方法として、例えば、三本ロール、ボールミル、サンドミル、及びパドル混合が挙げられる。

溶媒１ｃは、ゲッタ材１の安定性を向上できれば、任意の溶媒であってもよい。溶媒１ｃとして、例えば、水、エタノール、及びターピネオールなどが挙げられる。これらのうち、１種又は２種以上の成分が用いられてもよい。

また、本実施形態では、ゲッタ材１の安定性に影響しなければ、溶媒混合工程の際、増粘化剤、及び充填材等の添加剤１ｄを更に添加してもよい。添加剤１ｄを添加する場合、ゲッタ材１と溶媒１ｃと添加剤１ｄとを同時に混合できる。また、添加剤１ｄを添加しなくてもよい。

ゲッタ材含有組成物１ｂは、製造方法（Ｍ１）において、ガス吸着体６０の作製に利用できる。

下記の実施例により、本開示をより具体的に説明する。ただし、本開示は、実施例の内容に制限されない。

＜実施例１＞
チャンバ内に０．２ｇの銅イオン交換ゼオライト（未加熱）を配置させた。ゼオライトの配置後、チャンバ内を排気させて真空空間にさせながら、銅イオン交換ゼオライトを４５０℃で１時間加熱した。これにより、銅イオン交換ゼオライトに保持されていた保持成分を脱離させた。加熱後、チャンバ内を室温まで冷却させた。冷却後、銅イオン交換ゼオライトに対して吸着成分となる窒素ガスをチャンバ内に流し込んで、チャンバ内の気圧を大気圧にした。これによりゲッタ材を作製した。

次に、ガラスパネルユニットの製造工程において、ゲッタ材が大気中で保管されることを模して一度ゲッタ材をチャンバから取り出した後、大気中で２４時間放置させ、チャンバ内に戻した。その後、チャンバ内を真空引きした上でゲッタ材を３００℃で１時間、再加熱して、ゲッタ材から窒素を脱離させた。

冷却後、チャンバ内の容積に対して５Ｐａに相当する空気を流し込み、圧力が安定した後にチャンバ内の圧力を測定し、この測定値から空気中のアルゴンの分圧（０．０５Ｐａ）を差し引いた値を算出した。この算出値を、チャンバ内に残留した成分量とした。その結果を下記の表１に示す。この結果から、ゲッタ材を大気中で２４時間放置しても、その後に真空中にて低い温度で熱処理するのみで、良好なガス吸着特性が得られることが分かる。

＜実施例２＞
チャンバ内に吸着成分となる窒素ガスを流し込んでゲッタ材を作製した後、ゲッタ材をチャンバから取り出し、大気中で３００℃で１５分間加熱した後にチャンバに戻した以外、実施例１と同様の手順が行われた。その結果を下記の表１に示す。この結果から、ゲッタ材を３００℃大気中で熱処理しても、その後に真空中にて低い温度で熱処理するのみで、良好なガス吸着特性が得られることが分かる。

＜実施例３＞
チャンバ内に０．２ｇの銅イオン交換ゼオライト（未加熱）を配置させた。ゼオライトの配置後、チャンバ内を排気させて真空空間にさせながら、銅イオン交換ゼオライトを４５０℃で１時間加熱した。これにより、銅イオン交換ゼオライトに保持されていた保持成分を脱離させた。加熱後、チャンバ内を室温まで冷却させた。冷却後、銅イオン交換ゼオライト（ゲッタ材本体）に吸着成分となる窒素ガスを流し込み、ゲッタ材を作製し、チャンバから取り出した。

その後、ゲッタ材と水とを混合することで、ゲッタ材に水分も吸着させ、水を溶媒とするゲッタ材の溶液（ゲッタ材含有組成物）を作製した。次に、このゲッタ材含有組成物を大気中で乾燥させた。乾燥後、乾燥残分であるゲッタ材をチャンバ内に配置させて、チャンバ内を真空引きし、ゲッタ材を３００℃で１時間、再加熱して、ゲッタ材から水と窒素を脱離させた。

冷却後、チャンバ内の容積に対して５Ｐａに相当する空気を流し込み、圧力が安定した後にチャンバ内の圧力を測定し、この測定値から空気中のアルゴンの分圧（０．０５Ｐａ）を差し引いた値を算出した。この算出値をチャンバに残留した成分量とした。その結果を下記の表１に示す。この結果から、ゲッタ材を一度溶液にしても、その後に乾燥させ、再度真空中にて低い温度で再加熱するのみで、良好なガス吸着特性が得られることが分かる。

＜比較例１＞
チャンバ内に大気中で放置されていた０．２ｇの銅イオン交換ゼオライト（未加熱）を配置させた。ゼオライトの配置後、真空中で銅イオン交換ゼオライトを３００℃で１時間加熱して、銅イオン交換ゼオライトに保持されている保持成分を脱離させた。冷却後、チャンバ内の容積に対して５Ｐａに相当する空気を流し込み、圧力が安定した後にチャンバ内の圧力を測定し、この測定値から空気中のアルゴンの分圧（０．０５Ｐａ）を差し引いた値を算出した。この算出値をチャンバに残留した成分量とした。

＜銅イオン交換ゼオライトの評価＞
未加熱の銅イオン交換ゼオライトを昇温させながら、各保持成分を脱離させた。このとき、昇温脱離ガス質量分析により、銅イオン交換ゼオライトの温度と、離脱した各保持成分の強度（Ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ）との関係を検出した。その結果を、図９Ａ～図９Ｄに示す。図９Ａ～図９Ｄでは、それぞれ、脱離された保持成分のうち、酸素、水、窒素、及び二酸化炭素の結果を示す。この結果より、水、窒素、及び二酸化炭素は、１００℃近傍に脱離のピークが見られるが、酸素は、４００℃近傍に脱離のピークが見られ、酸素は高温処理しないと脱離しにくいことがわかる。

＜＜製造例１～２、参考製造例１～２＞＞
下記に示す各部材を用いてガラスパネルユニットの、製造例１～２及び参考製造例１～２を行った。
・第１ガラス板（ガラス板のサイズ；幅×長さ×厚さ＝３００ｍｍ×３００ｍｍ×３ｍｍ、Ｌｏｗ－Ｅガラス放射率＝０．０４）、
・第２ガラス板（ガラス板のサイズ；幅×長さ×厚さ＝３００ｍｍ×３００ｍｍ×３ｍｍ）、
・スペーサ（サイズ；直径×高さ＝０．５ｍｍ×０．１ｍｍ、樹脂製）、
・溶媒；水、
・熱溶融シール材Ａ；バナジウム系ガラスフリット、
・熱溶融シール材Ｂ；ビスマス系ガラスフリット。

［製造例１］
チャンバ内に銅イオン交換ゼオライト（未加熱）を配置させた。ゼオライトの配置後、チャンバ内を排気させて真空空間にさせながら、銅イオン交換ゼオライトを５００℃で４時間加熱した。これにより、銅イオン交換ゼオライトに保持されていた保持成分を脱離させた。加熱後、チャンバ内を室温まで冷却させた。冷却後、銅イオン交換ゼオライトに対して吸着成分となる窒素ガスをチャンバ内に流し込んで、チャンバ内の気圧を大気圧にした。これによりゲッタ材を作製した。

次に、ゲッタ材を水と混合してゲッタ材含有組成物を作製した。

その後、排気口を有する第２ガラス板の一面に、熱溶融シール材Ａからなる枠体と、熱溶融シール材Ａからなる仕切りと、通気路と、ガス吸着体と、複数のスペーサとを設けてから、第２ガラス板と対向するようにして第１ガラス板を配置させた。これにより、第１ガラス板と第２ガラス板との間に内部空間が形成された仮組み立て品が得られた。ガス吸着体を設ける際、ゲッタ材の使用量が０．１ｇとなるようにしてゲッタ材含有組成物を第２ガラス板に塗布した。また、スペーサを設ける際、隣り合うスペーサ同士の間隔が２０ｍｍとなるようにして複数のスペーサをディスペンサにより第２ガラス板に配置した。

続いて、真空ポンプと排気口とを排気管及びシールヘッドにより接続してから、仮組み立て品を溶融炉内に配置した。この配置後、仮組み立て品を２８０℃（第１溶融温度）で１５分間加熱することで、枠体のガラスフリットを一旦溶融させた。この溶融時に通気路は塞がれていなかった。

枠体の溶融後、溶融炉内の温度を排気温度である２５０℃まで降温させた。そして、真空ポンプを作動させることにより、内部空間を２５０℃で１２０分間排気させた。

その後、真空ポンプを作動させたまま、溶融炉内の温度を第２溶融温度である２９０℃まで昇温させ、この温度で１５分間仮組み立て品を加熱した。この加熱により仕切りを変形させて通気路を塞ぐ隔壁を形成した。

隔壁の形成後、溶融炉内の温度を室温まで降温させた。この降温後、真空ポンプを停止してシールヘッドを脱着させた。シールヘッドの脱着後、切断により不要な部分を取り除くことで、ガラスパネルユニットを作製した。

［製造例２］
ガス吸着体を設ける際にゲッタ材の使用量が０．５ｇとなるようにしてゲッタ材含有組成物を第２ガラス板に塗布した以外は、製造例１と同様にしてガラスパネルユニットを作製した。

［参考製造例１］
まず、未加熱の銅イオン交換ゼオライトを溶媒と混合してゲッタ材含有組成物を作製した。

その後、排気口を有する第２ガラス板の一面に、熱溶融シール材Ｂからなる枠体と、熱溶融シール材Ｂからなる仕切りと、通気路と、ガス吸着体と、複数のスペーサとを設けてから、第２ガラス板と対向するようにして第１ガラス板を配置させた。これにより、第１ガラス板と第２ガラス板との間に内部空間が形成された仮組み立て品が得られた。ガス吸着体を設ける際、ゲッタ材の使用量が０．１ｇとなるようにしてゲッタ材含有組成物を第２ガラス板に塗布した。また、スペーサを設ける際、隣り合うスペーサ同士の間隔が２０ｍｍとなるようにして複数のスペーサをディスペンサにより第２ガラス板に配置した。

続いて、真空ポンプと排気口とを排気管及びシールヘッドにより接続してから、仮組み立て品を溶融炉内に配置した。この配置後、仮組み立て品を４５０℃（第１溶融温度）で１０分間加熱することで、枠体のガラスフリットを一旦溶融させた。この溶融時に通気路は塞がれていなかった。

枠体の溶融後、溶融炉内の温度を排気温度である４００℃まで降温させた。そして、真空ポンプを作動させることにより、内部空間を４００℃で１２０分間排気させた。

その後、真空ポンプを作動させたまま、溶融炉内の温度を第２溶融温度である４６０℃まで昇温させ、この温度で３０分間仮組み立て品を加熱した。この加熱により仕切りを変形させて通気路を塞ぐ隔壁を形成した。

隔壁の形成後、溶融炉内の温度を室温まで降温させた。この降温後、真空ポンプを停止してシールヘッドを脱着させた。シールヘッドの脱着後、切断により不要な部分を取り除くことで、ガラスパネルユニットを作製した。

［参考製造例２］
枠体と、仕切りを設ける際に熱溶融シール材Ａを用い、第１溶融温度を２８０℃にし、排気温度を２５０℃にし、第２溶融温度を２９０℃にした以外は、参考製造例１と同様にしてガラスパネルユニットを作製した。

（評価）
［熱コンダクタンス］
各製造例及び参考製造例のガラスパネルユニットの熱コンダクタンスを下記の手順で評価した。測定装置の高温部と低温部とがガラスパネルユニットにより仕切られた状態にし、第１ガラス板の外面に第１温度計を配置し、第２ガラス板の外面に第２温度計と、センサとを配置した。この配置後、ガラスパネルユニットを介して加温部から冷却部に伝えられた熱の流束をセンサで検出し、第１温度計で第１ガラス板の表面温度を測定し、第２温度計で第２ガラス板の表面温度を測定した。

そして、熱流束と、第１ガラス板の表面温度と、第２ガラス板の表面温度と、を下記式（１）に導入することで、ガラスパネルユニットの熱コンダクタンスを算出した。

Ｑ＝Ｃ（Ｔ１－Ｔ２） ・・・（１）
式（１）中、Ｑは熱流束（Ｗ／ｍ^２）を示し、Ｔ１は第１ガラス板の表面温度（Ｋ）を示し、Ｔ２は第２ガラス板の表面温度（Ｋ）を示し、Ｃは熱コンダクタンス（Ｗ／ｍ^２Ｋ）を示す。

製造例１の熱コンダクタンスは５．０Ｗ／ｍ^２Ｋであり、製造例２の熱コンダクタンスは０．８Ｗ／ｍ^２Ｋであり、参考製造例１の熱コンダクタンスは０．８Ｗ／ｍ^２Ｋであり、参考製造例２の熱コンダクタンスは３１Ｗ／ｍ^２Ｋであった。

上記の結果から、製造例１、２では第１及び第２溶融温度が比較的低い温度であるものの、熱コンダクタンスが低下しやすい傾向が得られた。また、参考製造例１でも熱コンダクタンスが低下しやすい傾向が得られたが、これは第１及び第２溶融温度が４５０℃以上であるため、排気工程でこの温度により未加熱の銅イオン交換ゼオライトが保持していた保持成分が気化して排気されたためと考えられる。参考製造例１の結果から、未加熱のゲッタ材を用いると、仮組み立て品の加熱温度は保持成分が気化する温度まで高くなり、この加熱温度により仮組み立て品内の部品が破損してしまうことが予想される。また、参考製造例２では熱コンダクタンスが低下しにくい傾向が得られた。参考製造例２の結果から、熱コンダクタンスを低下させるには、未加熱のゲッタ材の使用量が多くなりやすい。

（まとめ）
上記説明の通り、第１態様は、ガラスパネルユニット（１０）の製造方法であって、未処理のゲッタ材（１ａ）を所定温度（Ｔｅ）よりも高い温度で加熱して、ゲッタ材（１）を作製する工程と、仮組み立て品（１００）を作製する工程とを含む。仮組み立て品（１００）は、第１ガラス板（２００）と、第２ガラス板（３００）と、枠状の熱溶融シール材（４１０）と、内部空間（５００）と、ガス吸着体（６０）と、排気口（７００）とを備える。第２ガラス板（３００）は、第１ガラス板（２００）に対向するように配置されている。枠状の熱溶融シール材（４１０）は、第１ガラス板（２００）と第２ガラス板（３００）との間に配置されて第１ガラス板（２００）と第２ガラス板（３００）とに接触している。ガス吸着体（６０）は、ゲッタ材（１）を含有し、内部空間（５００）内に配置されている。排気口（７００）は、内部空間（５００）と外部空間とをつなぐ。第１態様の製造方法は、加熱により枠状の熱溶融シール材（４１０）を溶融させることで第１ガラス板（２００）と第２ガラス板（３００）とに気密に接合する枠体（４１１）を形成する工程を更に含む。第１態様の製造方法は、排気口（７００）を介して排気することで内部空間（５００）を減圧させながら、所定温度（Ｔｅ）でガス吸着体（６０）を加熱する工程をまた更に含む。

第１態様によれば、ガス吸着体（６０）がゲッタ材（１）を含有することで、ゲッタ材（１）の使用量を軽減でき、ゲッタ材（１）周辺の部品を破損させにくくする比較的低い温度でゲッタリング能力を実現できる。

第２態様は、第１態様のガラスパネルユニット（１０）の製造方法であって、仮組み立て品（１００）は、仕切り（４２０）と、通気路（６００）とを更に備える。仕切り（４２０）は、内部空間（５００）を、第１空間（５１０）と、排気口（７００）がある第２空間（５２０）とに仕切る。通気路（６００）は、第１空間（５１０）と第２空間（５２０）とをつなぐ。第２態様の製造方法は、所定温度（Ｔｅ）よりも高い温度で仕切り（４２０）を変形させて通気路（６００）を塞ぐ隔壁（４２）を形成することにより、隔壁（４２）で第１空間（５１０）と第２空間（５２０）とを区分する工程を更に含む。この工程では、ガス吸着体（６０）の加熱後、排気口（７００）を介して排気することで内部空間（５００）を減圧させる。

第２態様によれば、所定温度（Ｔｅ）よりも高い温度で仕切り（４２０）を変形させても、第１空間（５１０）に対応する部分の真空空間（５０）において、真空度の悪化を抑制することができる。すなわち、真空空間（５０）中のゲッタ材（１）の使用量を軽減でき、ゲッタ材（１）周辺の部品を破損させにくくする比較的低い温度でゲッタリング能力を実現できる。

第３態様は、第１又は第２態様のガラスパネルユニット（１０）の製造方法であって、未処理のゲッタ材（１ａ）を、ネオン、キセノン、及びアルゴンからなる群から選択される少なくとも１種を含む不活性ガスの雰囲気下または減圧下で加熱する。

第３態様によれば、ゲッタ材（１）の使用量を軽減でき、ゲッタ材（１）周辺の部品を破損させにくくする比較的低い温度でゲッタリング能力を実現できる。

第４態様は、ゲッタ材（１）の製造方法であって、未処理のゲッタ材（１ａ）に保持されている保持成分（５）を加熱下で気化及び脱離させて、未処理のゲッタ材（１ａ）の本体（２）を固形の残部として生成することを含む。前記製造方法は、保持成分（５）の脱離後、本体（２）との結合エネルギーが、温度換算で、所定温度以下になる吸着成分（３）を本体（２）に吸着させることで、ゲッタ材（１）を作製することとを更に含む。ゲッタ材（１）は、吸着成分（３）を温度換算で前記結合エネルギー以上の温度で気化及び脱離させることにより、吸着成分（３）とは別のガス成分を少なくとも吸着可能である。

第４態様によれば、ゲッタ材（１）の使用量を軽減でき、ゲッタ材（１）周辺の部品を破損させにくくする比較的低い温度でゲッタリング能力を実現するゲッタ材（１）を得ることができる。

第５態様は、第４態様の変形例であるゲッタ材（１）の製造方法であって、未処理のゲッタ材（１ａ）に保持されている保持成分（５）を不活性ガスの雰囲気下または減圧下で加熱し気化及び脱離させて、未処理のゲッタ材（１ａ）の本体（２）を固形の残部として生成することを含む。前記製造方法は、保持成分（５）の脱離後、本体（２）との結合エネルギーが、温度換算で、所定温度以下になる吸着成分（３）を本体（２）に吸着させることで、ゲッタ材（１）を作製することとを更に含む。ゲッタ材（１）は、吸着成分（３）を温度換算で前記結合エネルギー以上の温度で気化及び脱離させることにより、吸着成分（３）とは別のガス成分を少なくとも吸着可能である。

第５態様によれば、ゲッタ材（１）の使用量を軽減でき、ゲッタ材（１）周辺の部品を破損させにくくする比較的低い温度でゲッタリング能力を実現するゲッタ材（１）を得ることができる。

第６態様は、第４態様または第５様態のゲッタ材（１）の製造方法であって、吸着成分（３）は、窒素、水素、二酸化炭素、水、ネオン、キセノン、炭化水素、及び炭化水素誘導体からなる群から選択される少なくとも１種の成分を含む。

第６態様によれば、ゲッタ材（１）の使用量を軽減でき、ゲッタ材（１）周辺の部品を破損させにくくする比較的低い温度でゲッタリング能力を実現するゲッタ材（１）を得ることができる。

第７態様は、第４～第６形態のいずれか１つのゲッタ材（１）の製造方法であって、本体（２）は、ゼオライト、又は銅イオン交換ゼオライトである。

第７態様によれば、ゲッタ材（１）の使用量を軽減でき、ゲッタ材（１）周辺の部品を破損させにくくする比較的低い温度でゲッタリング能力を実現するゲッタ材（１）を得ることができる。

第８態様は、ゲッタ材含有組成物（１ｂ）の製造方法であって、ゲッタ材を溶媒と混合することを含む。ゲッタ材は、第４～第７態様のいずれか１つのゲッタ材の製造方法で作製されたゲッタ材（１）である。

第８態様によれば、ゲッタ材（１）の使用量を軽減でき、ゲッタ材（１）周辺の部品を破損させにくくする比較的低い温度でゲッタリング能力を実現するゲッタ材含有組成物（１ｂ）を得ることができる。

第９態様は、ゲッタ材（１）であって、吸着成分（３）と、本体（２）とを含む。本体（２）では吸着成分（３）が吸着されている。吸着成分（３）は、温度換算で所定温度以下の結合エネルギーで本体（２）に吸着されている。本体（２）は、未処理のゲッタ材（１ａ）に保持されている保持成分（５）が加熱下で気化及び脱離された後、吸着成分（３）が吸着されている。ゲッタ材（１）は、吸着成分（３）を温度換算で前記結合エネルギー以上の温度で気化及び脱離させることにより、吸着成分（３）とは別のガス成分を少なくとも吸着可能である。

第９態様によれば、ゲッタ材（１）の使用量を軽減でき、ゲッタ材（１）周辺の部品を破損させにくくする比較的低い温度でゲッタリング能力を実現できる。

第１０態様は、第９態様のゲッタ材（１）であって、第２吸着成分（４）を更に含む。吸着成分（３）は、第１吸着成分である。第２吸着成分（４）は、温度換算で所定温度よりも高い温度の結合エネルギーで本体（２）に吸着されている。ゲッタ材（１）は、第１吸着成分（３）を、第２吸着成分（４）よりも多い含有量で含む。

第１０態様によれば、第２吸着成分（４）は微量成分として本体（２）に吸着されているため、ゲッタ材（１）の使用量を軽減でき、ゲッタ材（１）周辺の部品を破損させにくくする比較的低い温度でゲッタリング能力を実現できる。

第１１態様は、第９又は第１０態様のゲッタ材（１）であって、本体（２）は、未処理のゲッタ材（１ａ）に保持された保持成分（５）を気化及び脱離させた固形の残部である。

第１１態様によれば、ゲッタ材（１）の使用量を軽減でき、ゲッタ材（１）周辺の部品を破損させにくくする比較的低い温度でゲッタリング能力を実現できる。

第１２態様は、第９～第１１態様のいずれか１つのゲッタ材（１）であって、吸着成分（３）は、窒素、水素、二酸化炭素、水、ネオン、キセノン、炭化水素、及び炭化水素誘導体からなる群から選択される少なくとも１種の成分を含む。

第１２態様によれば、ゲッタ材（１）の使用量を軽減でき、ゲッタ材（１）周辺の部品を破損させにくくする比較的低い温度でゲッタリング能力を実現できる。

第１３態様は、第９～第１２態様のいずれか１つのゲッタ材（１）であって、本体（２）は、ゼオライト、又は銅イオン交換ゼオライトである。

第１３態様によれば、ゲッタ材（１）の使用量を軽減でき、ゲッタ材（１）周辺の部品を破損させにくくする比較的低い温度でゲッタリング能力を実現できる。

第１４態様は、ゲッタ材含有組成物（１ｂ）の製造方法であって、ゲッタ材を溶媒と混合することを含む。ゲッタ材は、第９～第１３態様のいずれか１つのゲッタ材の製造方法で作製されたゲッタ材（１）である。

第１４態様によれば、ゲッタ材（１）の使用量を軽減でき、ゲッタ材（１）周辺の部品を破損させにくくする比較的低い温度でゲッタリング能力を実現するゲッタ材含有組成物（１ｂ）を得ることができる。

１ ゲッタ材
１ａ 未処理のゲッタ材
２ 本体（ゲッタ材本体）
３ 吸着成分
１０ ガラスパネルユニット
１００ 仮組み立て品
２００ 第１ガラス板
３００ 第２ガラス板
４１０ 枠状の熱溶融シール材
４１１ 枠体
５００ 内部空間
６０ ガス吸着体
７００ 排気口
Ｔｅ 所定温度

Claims (7)

1. 未処理のゲッタ材に保持されている酸素を含む保持成分を、４００℃を超える加熱下で気化及び脱離させて、前記未処理のゲッタ材の本体を固形の残部として生成することと、
   前記保持成分の脱離後、前記本体との結合エネルギーが、温度換算で、所定温度以下になり、かつ窒素、水素、二酸化炭素、水、ネオン、キセノン、炭化水素、及び炭化水素誘導体からなる群から選択される少なくとも１種の成分を主成分として含む吸着成分を前記本体に吸着させることで、ゲッタ材を作製することと、
   を含み、
   前記ゲッタ材は、前記吸着成分を温度換算で前記結合エネルギー以上の温度で気化及び脱離させることにより、前記吸着成分とは別のガス成分を少なくとも吸着可能であり、
   前記吸着成分とは別の前記ガス成分を吸着するために用いられる、
   ゲッタ材の製造方法。
2. 前記本体は、ゼオライト、又は銅イオン交換ゼオライトである、
   請求項１に記載のゲッタ材の製造方法。
3. 請求項１又は２に記載のゲッタ材の製造方法で作製されたゲッタ材を溶媒と混合することを含む、
   ゲッタ材含有組成物の製造方法。
4. ゲッタ材であって、
   吸着成分と、
   前記吸着成分が吸着されている本体と、
   を含み、
   前記吸着成分は、窒素、水素、二酸化炭素、水、ネオン、キセノン、炭化水素、及び炭化水素誘導体からなる群から選択される少なくとも１種の成分を主成分として含み、かつ温度換算で所定温度以下の結合エネルギーで前記本体に吸着されており、
   前記本体は、未処理のゲッタ材に保持されている酸素を含む保持成分が、４００℃を超える加熱下で気化及び脱離された後、前記吸着成分が吸着されており、
   前記ゲッタ材は、前記吸着成分を温度換算で前記結合エネルギー以上の温度で気化及び脱離させることにより、前記吸着成分とは別のガス成分を少なくとも吸着可能であり、
   前記吸着成分とは別の前記ガス成分を吸着するために用いられる、
   ゲッタ材。
5. 前記吸着成分は、第１吸着成分であり、
   温度換算で前記所定温度よりも高い温度の結合エネルギーで前記本体に吸着されている第２吸着成分を更に含み、
   前記ゲッタ材は、前記第１吸着成分を、前記第２吸着成分よりも多い含有量で含む、
   請求項４に記載のゲッタ材。
6. 前記本体は、未処理のゲッタ材に保持された前記保持成分を気化及び脱離させた固形の残部である、
   請求項４又は５に記載のゲッタ材。
7. 前記本体は、ゼオライト、又は銅イオン交換ゼオライトである、
   請求項４～６のいずれか１項に記載のゲッタ材。

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