JP7314055B2 - Compound, latent base generator, photosensitive resin composition containing said compound, and cured product - Google Patents

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Description

本発明は、感光性樹脂組成物に用いられる重合開始剤として有用な新規化合物、該化合物を含有する潜在性塩基発生剤、感光性樹脂に該化合物を含有させてなる感光性樹脂組成物、及び該感光性樹脂組成物の硬化物に関する。 The present invention relates to a novel compound useful as a polymerization initiator used in a photosensitive resin composition, a latent base generator containing the compound, a photosensitive resin composition containing the compound in a photosensitive resin, and a cured product of the photosensitive resin composition.

一般に、感光性樹脂組成物は、感光性樹脂に光重合開始剤を加えたものであり、エネルギー線(光)照射により重合硬化、又は現像させることが出来るため、光硬化性インキ、感光性印刷版、各種フォトレジスト、光硬化性接着剤等に用いられている。 In general, a photosensitive resin composition is obtained by adding a photopolymerization initiator to a photosensitive resin, and can be polymerized, cured, or developed by irradiation with energy rays (light).

光重合開始剤は、エネルギー線(光)照射により発生する活性種の違いで、光ラジカル発生剤、光酸発生剤、光塩基発生剤に分けられる。光ラジカル発生剤は、硬化速度が速く、硬化後に活性種が残存しない等の長所がある一方、酸素による硬化阻害が起こるため薄膜の硬化においては酸素を遮断する層等を設けなければならないという短所がある。光酸発生剤は、酸素による阻害を受けないという長所がある一方、活性種の酸が残存することで金属基板を腐食させたり、硬化後の樹脂を変性させたりする等の短所がある。光塩基発生剤は、前記の酸素による硬化阻害及び残存活性種による腐食といった問題を生じにくいため注目されているが、概して光酸発生剤と比較すると低感度(低硬化性)という問題があった。光塩基発生剤は、例えば特許文献1~4等により開示されている。 Photopolymerization initiators are classified into photoradical generators, photoacid generators, and photobase generators depending on the difference in active species generated by irradiation with energy rays (light). Photoradical generators have advantages such as a fast curing speed and no active species remaining after curing, but they have the disadvantage that oxygen inhibits curing, so a layer that blocks oxygen must be provided when curing a thin film. Photoacid generators have the advantage of not being inhibited by oxygen, but have the disadvantages of corroding metal substrates and denaturing resins after curing due to the residual acid of the active species. Photobase generators are attracting attention because they are unlikely to cause problems such as curing inhibition due to oxygen and corrosion due to residual active species, but generally have a problem of low sensitivity (low curability) compared to photoacid generators. Photobase generators are disclosed in Patent Documents 1 to 4, for example.

US6551761US6551761 US8957212US8957212 WO2010/064632WO2010/064632 US9594302US9594302

従って、本発明の目的は、長波長の紫外線(特に、365nm)に十分な吸収を示し、満足できる感度(塩基発生能)を有する新規な化合物、該化合物を含有する潜在性塩基発生剤、該化合物を重合開始剤として含有してなる感光性樹脂組成物及びその硬化物を提供することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a novel compound exhibiting sufficient absorption in long-wavelength ultraviolet rays (in particular, 365 nm) and having satisfactory sensitivity (base generating ability), a latent base generator containing the compound, a photosensitive resin composition containing the compound as a polymerization initiator, and a cured product thereof.

本発明者は、鋭意検討を行い、特定の構造を有する化合物が重合開始剤として、高い感度(塩基発生能)を有することを知見した。 The present inventor conducted extensive studies and found that a compound having a specific structure has high sensitivity (base generating ability) as a polymerization initiator.

本発明は、下記[1]~[9]を提供することにより、上記目的を達成したものである。 The present invention achieves the above objects by providing the following [1] to [9].

[1]下記一般式(I)で表される化合物。

Figure 0007314055000001
(式中、Rは、水素原子、シアノ基、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基又は無置換若しくは置換基を有している炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基を表し、
、R、R、R及びRは、それぞれ独立に、水素原子、シアノ基、ニトロ基、-OR、-COOR、-CO-R、-SR、ハロゲン原子、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基又は無置換若しくは置換基を有している炭素原子数2~20の複素環を含有する基を表し、
は、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基又は複素環を含有し且つ無置換若しくは置換基を有している炭素原子数2~20の基を表し、
は、水素原子、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基又は複素環を含有し且つ無置換若しくは置換基を有している炭素原子数2~20の基を表し、
は、-NR1112、下記(a)又は下記(b)で表される基であり、
11及びR12は、それぞれ独立に、水素原子、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基又は無置換若しくは置換基を有している炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基であるか、
11及びR12が互いに連結して、無置換若しくは置換基を有し且つ水素原子、窒素原子及び炭素原子からなる炭素原子数1~20の環、又は無置換若しくは置換基を有し且つ水素原子、酸素原子、窒素原子及び炭素原子からなる炭素原子数1~20の環を形成しており、
nは、0又は1を表す。)
Figure 0007314055000002
(式中、R13、R14、R15、R16、R17、R18、R19、R20、R21及びR22は、それぞれ独立に、水素原子、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基又は無置換若しくは置換基を有している炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基であるか、
13とR14、R15とR16、R17とR18、R19とR20及びR21とR22のうちの少なくとも一組が互いに連結して、無置換若しくは置換基を有し且つ水素原子、窒素原子及び炭素原子からなる炭素原子数1~20の環、又は無置換若しくは置換基を有し且つ水素原子、酸素原子、窒素原子及び炭素原子からなる炭素原子数1~20の環を形成しており、
*は結合手を表す。)[1] A compound represented by the following general formula (I).
Figure 0007314055000001
(wherein R 1 represents a hydrogen atom, a cyano group, an unsubstituted or substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, or an unsubstituted or substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms,
R 2 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 are each independently a hydrogen atom, a cyano group, a nitro group, -OR 8 , -COOR 8 , -CO-R 8 , -SR 8 , a halogen atom, an unsubstituted or substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, an unsubstituted or substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms, or an unsubstituted or substituted group. represents a group containing a heterocyclic ring having 2 to 20 carbon atoms,
R 3 represents an unsubstituted or substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, an unsubstituted or substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms, or a group containing a heterocyclic ring and having 2 to 20 carbon atoms and being unsubstituted or substituted;
R 8 represents a hydrogen atom, an unsubstituted or substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, an unsubstituted or substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms, or a group containing a heterocyclic ring and having 2 to 20 carbon atoms and being unsubstituted or substituted;
X 1 is —NR 11 R 12 , a group represented by (a) or (b) below,
R 11 and R 12 are each independently a hydrogen atom, an unsubstituted or substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, or an unsubstituted or substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms,
R 11 and R 12 are linked together to form an unsubstituted or substituted ring having 1 to 20 carbon atoms and consisting of a hydrogen atom, a nitrogen atom and a carbon atom, or an unsubstituted or substituted ring having 1 to 20 carbon atoms and consisting of a hydrogen atom, an oxygen atom, a nitrogen atom and a carbon atom;
n represents 0 or 1; )
Figure 0007314055000002
(wherein R 13 , R 14 , R 15 , R 16 , R 17 , R 18 , R 19 , R 20 , R 21 and R 22 are each independently a hydrogen atom, an unsubstituted or substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, or an unsubstituted or substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms,
at least one set of R 13 and R 14 , R 15 and R 16 , R 17 and R 18 , R 19 and R 20 , and R 21 and R 22 is linked to each other to form an unsubstituted or substituted ring having 1 to 20 carbon atoms and consisting of hydrogen, nitrogen and carbon atoms, or an unsubstituted or substituted ring having 1 to 20 carbon atoms and consisting of hydrogen, oxygen, nitrogen and carbon atoms; and
* represents a bond. )

[2]上記一般式(I)中のR、R、R、R、R及びRのうち、少なくとも一つがニトロ基、ベンゾイル基又はo-メチルベンゾイル基を置換基として有している基である[1]に記載の化合物。[2] The compound according to [1], wherein at least one of R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 in the general formula (I) is a group having a nitro group, a benzoyl group or an o-methylbenzoyl group as a substituent.

[3]上記一般式(I)中のR、R、R、R、R及びRのうち、少なくとも一つが、下記一般式(II)で表される基である[1]又は[2]に記載の化合物。

Figure 0007314055000003
(式中、R25、R26、R27、R28及びR29は、それぞれ独立に、水素原子、シアノ基、ニトロ基、-OR30、-COOR30、-CO-R30、-SR30、ハロゲン原子、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基又は複素環を含有し且つ無置換若しくは置換基を有している炭素原子数2~20の基又は下記一般式(III)で表される基を表し、
30は、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基又は複素環を含有し且つ無置換若しくは置換基を有している炭素原子数2~20の基を表し、
25、R26、R27、R28及びR29のうち、少なくとも一つが、ニトロ基、-CO-R30又は下記一般式(III)で表される基を表し、
*は結合手を表す。)
Figure 0007314055000004
(式中、R31は、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基又は無置換若しくは置換基を有している炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基を表し、
は、-NR3233、下記(a’)又は下記(b’)で表される基であり、
32及びR33は、それぞれ独立に、水素原子、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基又は無置換若しくは置換基を有している炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基であるか、
32及びR33が互いに連結して、無置換若しくは置換基を有し且つ水素原子、窒素原子及び炭素原子からなる炭素原子数1~20の環、又は無置換若しくは置換基を有し且つ水素原子、酸素原子、窒素原子及び炭素原子からなる炭素原子数1~20の環を形成しており、
mは0又は1を表し、*は、結合手を表す。)
Figure 0007314055000005
(式中、R34、R35、R36、R37、R38、R39、R40、R41、R42及びR43は、それぞれ独立に、水素原子、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基又は無置換若しくは置換基を有している炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基であるか、
34とR35、R36とR37、R38とR39、R40とR41及びR42とR43のうちの少なくとも一組が互いに連結して、無置換若しくは置換基を有し且つ水素原子、窒素原子及び炭素原子からなる炭素原子数1~20の環、又は無置換若しくは置換基を有し且つ水素原子、酸素原子、窒素原子及び炭素原子からなる炭素原子数1~20の環を形成しており、
*は結合手を表す。)[3] The compound according to [1] or [2], wherein at least one of R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 in general formula (I) is a group represented by general formula (II) below.
Figure 0007314055000003
(wherein R 25 , R 26 , R 27 , R 28 and R 29 are each independently a hydrogen atom, a cyano group, a nitro group, -OR 30 , -COOR 30 , -CO-R 30 , -SR 30 , a halogen atom, an unsubstituted or substituted C 1-20 aliphatic hydrocarbon group, an unsubstituted or substituted C 6-20 an aromatic hydrocarbon group or a group containing a heterocyclic ring and having 2 to 20 carbon atoms which is unsubstituted or substituted, or a group represented by the following general formula (III);
R 30 represents an unsubstituted or substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, an unsubstituted or substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms, or a group containing a heterocyclic ring and having 2 to 20 carbon atoms and being unsubstituted or substituted;
at least one of R 25 , R 26 , R 27 , R 28 and R 29 represents a nitro group, —CO—R 30 or a group represented by the following general formula (III);
* represents a bond. )
Figure 0007314055000004
(wherein R 31 represents an unsubstituted or substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms or an unsubstituted or substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms,
X 2 is —NR 32 R 33 , a group represented by (a′) or (b′) below,
R 32 and R 33 are each independently a hydrogen atom, an unsubstituted or substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, or an unsubstituted or substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms,
R 32 and R 33 are linked together to form an unsubstituted or substituted ring having 1 to 20 carbon atoms and consisting of a hydrogen atom, a nitrogen atom and a carbon atom, or an unsubstituted or substituted ring having 1 to 20 carbon atoms and consisting of a hydrogen atom, an oxygen atom, a nitrogen atom and a carbon atom;
m represents 0 or 1, * represents a bond. )
Figure 0007314055000005
(wherein R 34 , R 35 , R 36 , R 37 , R 38 , R 39 , R 40 , R 41 , R 42 and R 43 are each independently a hydrogen atom, an unsubstituted or substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, or an unsubstituted or substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms,
at least one of R 34 and R 35 , R 36 and R 37 , R 38 and R 39 , R 40 and R 41 , and R 42 and R 43 are linked to each other to form an unsubstituted or substituted ring having 1 to 20 carbon atoms and consisting of hydrogen, nitrogen and carbon atoms, or an unsubstituted or substituted ring having 1 to 20 carbon atoms and consisting of hydrogen, oxygen, nitrogen and carbon atoms; and
* represents a bond. )

[4][1]~[3]の何れか1項に記載の化合物を含む潜在性塩基発生剤。 [4] A latent base generator containing the compound according to any one of [1] to [3].

[5][1]~[3]の何れか1項に記載の化合物を含む重合開始剤。 [5] A polymerization initiator containing the compound according to any one of [1] to [3].

[6][5]に記載の重合開始剤(A)及び感光性樹脂(B)を含有する感光性樹脂組成物。 [6] A photosensitive resin composition containing the polymerization initiator (A) according to [5] and a photosensitive resin (B).

[7]上記感光性樹脂(B)がエポキシ樹脂又はフェノール樹脂である[6]に記載の感光性樹脂組成物。 [7] The photosensitive resin composition according to [6], wherein the photosensitive resin (B) is an epoxy resin or a phenol resin.

[8][6]又は[7]に記載の感光性樹脂組成物から得られる硬化物。 [8] A cured product obtained from the photosensitive resin composition of [6] or [7].

[9][6]又は[7]に記載の感光性樹脂組成物にエネルギー線を照射する工程を有する硬化物の製造方法。 [9] A method for producing a cured product, comprising the step of irradiating the photosensitive resin composition according to [6] or [7] with an energy ray.

以下、本発明の好ましい実施形態について詳細に説明する。
本発明の新規化合物は、上記一般式(I)で表されるカルバモイルオキシム化合物である。該カルバモイルオキシム化合物には、オキシムの二重結合による幾何異性体が存在するが、上記一般式(I)はこれらを区別したものではない。
即ち、本明細書において、上記一般式(I)で表される化合物、並びに後述する該化合物の好ましい形態である化合物及び例示化合物は、幾何異性体の混合物又はどちらか一方を表し、示した構造の異性体に限定するものではない。
尚、一般式(I)中のR~R、R11~R22で表される基中のメチレン基が、炭素原子を含む基により置換されている場合、それらの炭素原子数を含めた数が規定の炭素原子数となる。
Preferred embodiments of the present invention are described in detail below.
The novel compound of the present invention is a carbamoyl oxime compound represented by the above general formula (I). The carbamoyl oxime compound has geometric isomers due to the double bond of the oxime, but the above general formula (I) does not distinguish between them.
That is, in the present specification, the compounds represented by the above general formula (I), and the compounds and exemplary compounds that are preferred forms of the compounds described later represent a mixture or either one of geometric isomers, and are not limited to the isomers of the structures shown.
When the methylene groups in the groups represented by R 1 to R 8 and R 11 to R 22 in general formula (I) are substituted with groups containing carbon atoms, the number including those carbon atoms is the specified number of carbon atoms.

上記一般式(I)中のR~R、R11~R22で表される無置換の炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基としては、例えば、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、s-ブチル、t-ブチル、アミル、イソアミル、t-アミル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、イソオクチル、2-エチルヘキシル、t-オクチル、ノニル、イソノニル、デシル、イソデシル、ウンデシル、ドデシル、テトラデシル、ヘキサデシル、オクタデシル、イコシル、シクロペンチル、シクロヘキシル、シクロヘキシルメチル等が挙げられる。また、R~R、R11~R22は、これらの脂肪族炭化水素基中のメチレン基が、-O-、-COO-、-OCO-、-CO-、-CS-、-S-、-SO-、-SO-、-NR-、-NR-CO-、-CO-NR-、-NR-COO-、-OCO-NR-又は-SiRR’-で置換された基であってもよい。但し、これら置換する2価の基は隣り合わないものとする。
R及びR’は、無置換の脂肪族炭化水素基であり、無置換の脂肪族炭化水素基としては、上記のR~R、R11~R22で表される無置換の炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基として例示したものと同様の基が挙げられる。
上記一般式(I)中のR ~R 、R 11 ~R 22で表される無置換の炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基としては、例えば、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、s-ブチル、t-ブチル、アミル、イソアミル、t-アミル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、イソオクチル、2-エチルヘキシル、t-オクチル、ノニル、イソノニル、デシル、イソデシル、ウンデシル、ドデシル、テトラデシル、ヘキサデシル、オクタデシル、イコシル、シクロペンチル、シクロヘキシル、シクロヘキシルメチル等が挙げられる。 R 1 to R 8 and R 11 to R 22 may be groups in which the methylene groups in these aliphatic hydrocarbon groups are substituted with -O-, -COO-, -OCO-, -CO-, -CS-, -S-, -SO-, -SO 2 -, -NR-, -NR-CO-, -CO-NR-, -NR-COO-, -OCO-NR- or -SiRR'-. However, these substituted divalent groups shall not be adjacent to each other.
R and R' are unsubstituted aliphatic hydrocarbon groups, and examples of the unsubstituted aliphatic hydrocarbon groups include the same groups as those exemplified as the unsubstituted aliphatic hydrocarbon groups having 1 to 20 carbon atoms represented by R 1 to R 8 and R 11 to R 22 above.

上記一般式(I)中のR~R、R11~R22で表される無置換の炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基としては、フェニル、ナフチル、フェナントリル、ピレニル及びビフェニル、並びに脂肪族炭化水素基により置換されたフェニル、ナフチル、フェナントリル、ピレニル及びビフェニル等が挙げられる。また、R~R、R11~R22は、これらの芳香族炭化水素基中のアルキレン部分又は芳香族環と脂肪族炭化水素基との結合部のメチレン基が、-O-、-COO-、-OCO-、-CO-、-CS-、-S-、-SO-、-SO-、-NR-、-NR-CO-、-CO-NR-、-NR-COO-、-OCO-NR-又は-SiRR’-で置換された基であってもよい。但し、これら置換する2価の基は隣り合わないものとする。
上記脂肪族炭化水素基としては、上記のR~R、R11~R22で表される無置換の炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基として例示したものと同様の基が挙げられる。
R及びR’は、無置換の脂肪族炭化水素基であり、無置換の脂肪族炭化水素基としては、上記のR~R、R11~R22で表される無置換の炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基として例示したものと同様の基が挙げられる。
Examples of the unsubstituted aromatic hydrocarbon groups having 6 to 20 carbon atoms represented by R 1 to R 8 and R 11 to R 22 in the general formula (I) include phenyl, naphthyl, phenanthryl, pyrenyl and biphenyl, and phenyl, naphthyl, phenanthryl, pyrenyl and biphenyl substituted with an aliphatic hydrocarbon group. In R 1 to R 8 and R 11 to R 22 , the alkylene portion in these aromatic hydrocarbon groups or the methylene group at the bonding portion between the aromatic ring and the aliphatic hydrocarbon group is -O-, -COO-, -OCO-, -CO-, -CS-, -S-, -SO-, -SO 2 -, -NR-, -NR-CO-, -CO-NR-, -NR-COO-, -OCO-NR- Alternatively, it may be a group substituted with -SiRR'-. However, these substituted divalent groups shall not be adjacent to each other.
Examples of the aliphatic hydrocarbon group include groups similar to those exemplified as the unsubstituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms represented by R 1 to R 8 and R 11 to R 22 .
R and R' are unsubstituted aliphatic hydrocarbon groups, and examples of the unsubstituted aliphatic hydrocarbon groups include the same groups as those exemplified as the unsubstituted aliphatic hydrocarbon groups having 1 to 20 carbon atoms represented by R 1 to R 8 and R 11 to R 22 above.

~R、R11~R22で表される置換基を有している炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基及びR~R、R11~R22で表される置換基を有している炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基としては、上記で説明した無置換体の水素原子が、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子、シアノ基、ニトロ基、水酸基、チオール基、-COOH又は-SOHで置換されているものが挙げられる。As the substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms represented by R 1 to R 8 and R 11 to R 22 and the aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms having a substituent represented by R 1 to R 8 and R 11 to R 22 , the unsubstituted hydrogen atom described above may be a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, an iodine atom, a cyano group, a nitro group, a hydroxyl group or a thiol group. groups, —COOH or —SO 2 H.

11及びR12、R13とR14、R15とR16、R17とR18、R19とR20及びR21とR22、並びにR32とR33、R34とR35、R36とR37、R38とR39、R40とR41及びR42とR43のうちの少なくとも一組が互いに連結して形成する、炭素原子数1~20の水素原子、窒素原子及び炭素原子からなる環としては、結合している窒素原子を含めた基として、ピロール基、ピロリジン基、イミダゾール基、イミダゾリジン基、イミダゾリン基、ピラゾール基、ピラゾリジン基、ピペリジン基、ピペラジン基等が挙げられ、これらの環の水素原子は、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子、シアノ基、ニトロ基、水酸基、チオール基、-COOH、-SOH又は脂肪族炭化水素基により置換されていてもよい。
上記脂肪族炭化水素基としては、上記のR~R、R11~R22で表される無置換の炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基として例示したものと同様の基が挙げられる。
11及びR 12 、R 13とR 14 、R 15とR 16 、R 17とR 18 、R 19とR 20及びR 21とR 22 、並びにR 32とR 33 、R 34とR 35 、R 36とR 37 、R 38とR 39 、R 40とR 41及びR 42とR 43のうちの少なくとも一組が互いに連結して形成する、炭素原子数1~20の水素原子、窒素原子及び炭素原子からなる環としては、結合している窒素原子を含めた基として、ピロール基、ピロリジン基、イミダゾール基、イミダゾリジン基、イミダゾリン基、ピラゾール基、ピラゾリジン基、ピペリジン基、ピペラジン基等が挙げられ、これらの環の水素原子は、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子、シアノ基、ニトロ基、水酸基、チオール基、-COOH、-SO H又は脂肪族炭化水素基により置換されていてもよい。
Examples of the aliphatic hydrocarbon group include groups similar to those exemplified as the unsubstituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms represented by R 1 to R 8 and R 11 to R 22 .

11及びR12、R13とR14、R15とR16、R17とR18、R19とR20及びR21とR22、並びにR32とR33、R34とR35、R36とR37、R38とR39、R40とR41及びR42とR43のうちの少なくとも一組が互いに連結して形成する、炭素原子数1~20の水素原子、酸素原子、窒素原子及び炭素原子からなる環としては、結合している窒素原子を含めた基として、モルホリン基、オキサゾール基、オキサゾリン基、オキサジアゾール基等が挙げられ、これらの環の水素原子は、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子、シアノ基、ニトロ基、水酸基、チオール基、-COOH、-SOH又は脂肪族炭化水素基により置換されていてもよい。
上記脂肪族炭化水素基としては、上記のR~R、R11~R22で表される無置換の炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基として例示したものと同様の基が挙げられる。
11及びR 12 、R 13とR 14 、R 15とR 16 、R 17とR 18 、R 19とR 20及びR 21とR 22 、並びにR 32とR 33 、R 34とR 35 、R 36とR 37 、R 38とR 39 、R 40とR 41及びR 42とR 43のうちの少なくとも一組が互いに連結して形成する、炭素原子数1~20の水素原子、酸素原子、窒素原子及び炭素原子からなる環としては、結合している窒素原子を含めた基として、モルホリン基、オキサゾール基、オキサゾリン基、オキサジアゾール基等が挙げられ、これらの環の水素原子は、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子、シアノ基、ニトロ基、水酸基、チオール基、-COOH、-SO H又は脂肪族炭化水素基により置換されていてもよい。
Examples of the aliphatic hydrocarbon group include groups similar to those exemplified as the unsubstituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms represented by R 1 to R 8 and R 11 to R 22 .

上記一般式(I)中の、R~Rで表される無置換の炭素原子数2~20の複素環を含有する基としては、テトラヒドロフラン基、ジオキソラニル基、テトラヒドロピラニル基、モルホリルフラン基、チオフェン基、メチルチオフェン基、ヘキシルチオフェン基、ベンゾチオフェン基、ピロール基、ピロリジン基、イミダゾール基、イミダゾリジン基、イミダゾリン基、ピラゾール基、ピラゾリジン基、ピペリジン基及びピペラジン基、並びに脂肪族炭化水素基で置換されたテトラヒドロフラン基、ジオキソラニル基、テトラヒドロピラニル基、モルホリルフラン基、チオフェン基、メチルチオフェン基、ヘキシルチオフェン基、ベンゾチオフェン基、ピロール基、ピロリジン基、イミダゾール基、イミダゾリジン基、ピラゾール基、ピラゾリジン基、ピペリジン基及びピペラジン基等が挙げられる。また、R~Rは、これらの複素環を含有する基中のアルキレン部分及び複素環とアルキル基との結合部のメチレン基が、-O-、-COO-、-OCO-、-CO-、-CS-、-S-、-SO-、-SO-、-NR-、-NR-CO-、-CO-NR-、-NR-COO-、-OCO-NR-又は-SiRR’-で置換された基であってもよい。但し、これら置換する2価の基は隣り合わないものとする。
なお、本明細書において、「炭素原子数2~20の複素環を含有する基」における「2~20」は、「複素環」ではなく「複素環を含有する基」の炭素原子数を規定する。
上記脂肪族炭化水素基としては、上記のR~R、R11~R22で表される無置換の炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基として例示したものが挙げられる。
R及びR’は、無置換の脂肪族炭化水素基であり、無置換の脂肪族炭化水素基としては、上記のR~R、R11~R22で表される無置換の炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基として例示したものと同様の基が挙げられる。
上記一般式(I)中の、R ~R で表される無置換の炭素原子数2~20の複素環を含有する基としては、テトラヒドロフラン基、ジオキソラニル基、テトラヒドロピラニル基、モルホリルフラン基、チオフェン基、メチルチオフェン基、ヘキシルチオフェン基、ベンゾチオフェン基、ピロール基、ピロリジン基、イミダゾール基、イミダゾリジン基、イミダゾリン基、ピラゾール基、ピラゾリジン基、ピペリジン基及びピペラジン基、並びに脂肪族炭化水素基で置換されたテトラヒドロフラン基、ジオキソラニル基、テトラヒドロピラニル基、モルホリルフラン基、チオフェン基、メチルチオフェン基、ヘキシルチオフェン基、ベンゾチオフェン基、ピロール基、ピロリジン基、イミダゾール基、イミダゾリジン基、ピラゾール基、ピラゾリジン基、ピペリジン基及びピペラジン基等が挙げられる。 R 2 to R 8 may be groups in which the alkylene moiety in these heterocyclic-containing groups and the methylene group at the junction between the heterocyclic ring and the alkyl group are substituted with -O-, -COO-, -OCO-, -CO-, -CS-, -S-, -SO-, -SO 2 -, -NR-, -NR-CO-, -CO-NR-, -NR-COO-, -OCO-NR- or -SiRR'-. Good. However, these substituted divalent groups shall not be adjacent to each other.
In the present specification, "2 to 20" in the "heterocyclic ring-containing group having 2 to 20 carbon atoms" defines the number of carbon atoms in the "heterocyclic ring-containing group" rather than the "heterocyclic ring".
Examples of the aliphatic hydrocarbon group include those exemplified as the unsubstituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms represented by R 1 to R 8 and R 11 to R 22 above.
R and R' are unsubstituted aliphatic hydrocarbon groups, and examples of the unsubstituted aliphatic hydrocarbon groups include the same groups as those exemplified as the unsubstituted aliphatic hydrocarbon groups having 1 to 20 carbon atoms represented by R 1 to R 8 and R 11 to R 22 above.

~Rで表される置換基を有している炭素原子数2~20の複素環を含有する基としては、上記で説明した無置換の複素環を含有する基の水素原子が、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子、シアノ基、ニトロ基、水酸基、チオール基、-COOH又は-SOHで置換されているものが挙げられる。尚、置換される基が炭素原子を含む場合、及び置換基を有する場合には、それらの炭素原子数を含めた数が規定の炭素原子数となる。Examples of the group containing a heterocyclic ring having 2 to 20 carbon atoms and having a substituent represented by R 2 to R 8 include those in which the hydrogen atom of the unsubstituted heterocyclic ring-containing group described above is substituted with a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, an iodine atom, a cyano group, a nitro group, a hydroxyl group, a thiol group, —COOH, or —SO 2 H. In addition, when the group to be substituted contains a carbon atom, and when it has a substituent, the number including the number of carbon atoms becomes the specified number of carbon atoms.

上記一般式(I)で表される新規化合物としては、感光性樹脂組成物に用いた場合、UV感度、硬化性に優れる点から、Xが、-NR1112で表される基であり、R11又はR12がフェニル基である化合物、R11及びR12が炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基である化合物、R11及びR12が互いに連結して水素原子、窒素原子及び炭素原子からなる炭素原子数1~20の環を形成している化合物、又はR11及びR12が互いに連結して水素原子、酸素原子、窒素原子及び炭素原子からなる炭素原子数1~20の環を形成している化合物が好ましい。
また、UV感度に優れ、吸収波長の長波長化及び樹脂への溶解性に優れる点から、R、R、R、R、R及びRの少なくとも一つが、ニトロ基、シアノ基、水酸基、カルボキシル基又はチオール基であるか、或いはこれらの基を置換基として有している基である化合物が好ましく、ニトロ基又はニトロ基を置換基として有している基である化合物がより好ましく、特に、Rが、ニトロ基を置換基として有している基である化合物が好ましい。ニトロ基を置換基として有している基としては、ニトロフェニル基が好ましい。
さらに、重合開始剤として用いた場合、感度に優れる点から、R、R、R、R、R及びRの少なくとも一つが、ベンゾイル基、o-メチルベンゾイル基又はトリフルオロメチル基であるか、これらの基を置換基として有している基である化合物も好ましく、特に、Rが、ベンゾイル基を置換基として有している基である化合物が好ましい。ベンゾイル基を置換基として有している基としては、ベンゾイルフェニル基が好ましい。
上記一般式(I)中のR、R、R、R、R及びRのうち、少なくとも一つがニトロ基、ベンゾイル基又はo-メチルベンゾイル基を置換基として有している基である化合物は、吸収波長域が長波長化(365nm)し、重合開始剤として用いた場合、感度に優れることから好ましい。
上記一般式(I)で表される新規化合物としては、感光性樹脂組成物に用いた場合、UV感度、硬化性に優れる点から、X が、-NR 1112で表される基であり、R 11又はR 12がフェニル基である化合物、R 11及びR 12が炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基である化合物、R 11及びR 12が互いに連結して水素原子、窒素原子及び炭素原子からなる炭素原子数1~20の環を形成している化合物、又はR 11及びR 12が互いに連結して水素原子、酸素原子、窒素原子及び炭素原子からなる炭素原子数1~20の環を形成している化合物が好ましい。
Further, from the viewpoint of excellent UV sensitivity, longer absorption wavelength, and excellent solubility in resins, compounds in which at least one of R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 is a nitro group, a cyano group, a hydroxyl group, a carboxyl group or a thiol group, or a group having these groups as a substituent are preferred, and compounds having a nitro group or a group having a nitro group as a substituent are more preferred, and particularly R 3 is a nitro group. A compound having as a substituent is preferred. A nitrophenyl group is preferred as the group having a nitro group as a substituent.
Further, from the viewpoint of excellent sensitivity when used as a polymerization initiator, compounds in which at least one of R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 is a benzoyl group, an o-methylbenzoyl group or a trifluoromethyl group, or groups having these groups as substituents are also preferred, and compounds in which R 3 is a group having a benzoyl group as a substituent are particularly preferred. A benzoylphenyl group is preferable as the group having a benzoyl group as a substituent.
A compound in which at least one of R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 in the general formula (I) is a group having a nitro group, a benzoyl group or an o-methylbenzoyl group as a substituent is preferable because the absorption wavelength range is lengthened (365 nm) and the sensitivity is excellent when used as a polymerization initiator.

本発明においては、以下の化合物が、感光性樹脂組成物に用いた場合のUV感度及び硬化性に優れ、また重合開始剤として用いた場合の感度に優れることから好ましい。
上記一般式(I)において、Rが炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基であり、R、R、R、R及びRが水素原子であり、Xが、-NR1112で表される基であり且つR11及びR12が炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基であるか、又はR11及びR12が互いに連結して水素原子、窒素原子及び炭素原子からなる炭素原子数1~20の環、若しくは水素原子、酸素原子、窒素原子及び炭素原子からなる炭素原子数1~20の環を形成しており、Rが、ニトロ基又はベンゾイル基を置換基として有している基である化合物。
In the present invention, the following compounds are preferable because they are excellent in UV sensitivity and curability when used in the photosensitive resin composition, and excellent in sensitivity when used as a polymerization initiator.
上記一般式(I)において、R が炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基であり、R 、R 、R 、R 及びR が水素原子であり、X が、-NR 1112で表される基であり且つR 11及びR 12が炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基であるか、又はR 11及びR 12が互いに連結して水素原子、窒素原子及び炭素原子からなる炭素原子数1~20の環、若しくは水素原子、酸素原子、窒素原子及び炭素原子からなる炭素原子数1~20の環を形成しており、R が、ニトロ基又はベンゾイル基を置換基として有している基である化合物。

上記一般式(I)中のR、R、R、R、R及びRのうち、少なくとも一つが、上記一般式(II)で表される基である化合物は、吸収波長域が長波長化(365nm)し、重合開始剤として用いた場合、感度に優れることから好ましい。
一般式(II)中、R25~R43で表される炭素原子数1~20の無置換若しくは置換されている脂肪族炭化水素基及び炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基としては、上記のR~R、R11~R22で表される無置換若しくは置換されている炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基及び無置換若しくは置換されている炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基として例示したものとそれぞれ同様の基が挙げられる。
一般式(II)中、R25~R30で表される炭素原子数2~20の無置換若しくは置換されている複素環を含有する基としては、上記のR~Rで表される炭素原子数2~20の無置換若しくは置換されている複素環を含有する基と同様の基が挙げられる。
A compound in which at least one of R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 in the general formula (I) is a group represented by the general formula (II) has a longer absorption wavelength range (365 nm), and is excellent in sensitivity when used as a polymerization initiator.
In general formula (II), the unsubstituted or substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms and the aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms represented by R 25 to R 43 are the same as those exemplified as the unsubstituted or substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms and the unsubstituted or substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms represented by R 1 to R 8 and R 11 to R 22 . The same group is mentioned respectively.
In general formula (II), the group containing an unsubstituted or substituted heterocyclic ring having 2 to 20 carbon atoms represented by R 25 to R 30 includes the same groups as the groups containing an unsubstituted or substituted heterocyclic ring having 2 to 20 carbon atoms represented by R 2 to R 8 above.

上記一般式(I)中のR、R、R、R、R及びRのうち、一つが上記一般式(II)で表される基であり、その他が水素原子、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1~6の脂肪族炭化水素基又は無置換若しくは置換基を有している炭素原子数6~12の芳香族炭化水素基である化合物は、感度に優れ、製造しやすい点で好ましい。A compound in which one of R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 in the above general formula (I) is a group represented by the above general formula (II) and the others are a hydrogen atom, an unsubstituted or substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, or an unsubstituted or substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 12 carbon atoms, is preferred in terms of excellent sensitivity and ease of production.

上記一般式(I)中のRが無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1~12の脂肪族炭化水素基又は無置換若しくは置換基を有している炭素原子数6~12の芳香族炭化水素基である化合物は、製造しやすさの点で好ましい。A compound in which R 1 in the general formula (I) is an unsubstituted or substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms or an unsubstituted or substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 12 carbon atoms is preferable in terms of ease of production.

上記一般式(I)中のnが0である化合物は、重合開始剤として用いた場合、感度に優れることから好ましい。 A compound in which n in the general formula (I) is 0 is preferable because of its excellent sensitivity when used as a polymerization initiator.

上記一般式(I)中のnが1である化合物は、重合開始剤として用いた場合、透明性に優れる硬化物が得られることから好ましい。 A compound in which n is 1 in the above general formula (I) is preferable because, when used as a polymerization initiator, a cured product having excellent transparency can be obtained.

上記一般式(I)で表される新規化合物のうち、nが0である化合物の具体例としては、以下の化合物No.1~No.74が挙げられる。但し、本発明は以下の化合物により何ら制限を受けるものではない。 Among the novel compounds represented by the above general formula (I), specific examples of compounds in which n is 0 include the following compound Nos. 1 to No. 74 can be mentioned. However, the present invention is not limited by the following compounds.

Figure 0007314055000006
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Figure 0007314055000007
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Figure 0007314055000008
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Figure 0007314055000009
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Figure 0007314055000010
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Figure 0007314055000014
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上記一般式(I)で表される新規化合物のうち、nが1である化合物の具体例としては、以下の化合物No.75~No.152が挙げられる。但し、本発明は以下の化合物により何ら制限を受けるものではない。 Among the novel compounds represented by the above general formula (I), specific examples of compounds in which n is 1 include the following compound Nos. 75 to No. 152 are mentioned. However, the present invention is not limited by the following compounds.

Figure 0007314055000015
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Figure 0007314055000016
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Figure 0007314055000017
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Figure 0007314055000020
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Figure 0007314055000023

上記一般式(I)で表される本発明のカルバモイルオキシム化合物は、特に限定されないが、n=0の場合、下記反応式1に従って、以下の方法により製造することができる。
即ち、公知であり、市販されているインドール化合物1とハロゲン化アリールもしくは、ハロゲン化アルキル化合物を反応させることにより、インドール化合物2を得る。このインドール化合物2と酸クロリドと反応させることによりケトン化合物を得、ケトン化合物と塩酸ヒドロキシルアミンを反応させることにより、オキシム化合物を得る。続いて、オキシム化合物に、トリエチルアミン存在下でクロロギ酸4-ニトロフェニル及び1級もしくは2級アミンを反応させることにより、上記一般式(I)で表される本発明のカルバモイルオキシム化合物を得る。
なお、下記反応式1では、Xが-NR1112の場合を示しているが、使用するアミンを変更することで、Xが上記(a)又は(b)で表される基である化合物も製造できる。
オキシム化合物及びカルバモイルオキシム化合物は、特許4223071号公報に記載の方法でも製造できる。
The carbamoyl oxime compound of the present invention represented by the general formula (I) is not particularly limited, but when n=0, it can be produced by the following method according to Reaction Scheme 1 below.
That is, an indole compound 2 is obtained by reacting a known and commercially available indole compound 1 with an aryl halide or an alkyl halide compound. A ketone compound is obtained by reacting this indole compound 2 with an acid chloride, and an oxime compound is obtained by reacting the ketone compound with hydroxylamine hydrochloride. Subsequently, the oxime compound is reacted with 4-nitrophenyl chloroformate and a primary or secondary amine in the presence of triethylamine to obtain the carbamoyl oxime compound of the present invention represented by the general formula (I).
Although the reaction formula 1 below shows the case where X 1 is —NR 11 R 12 , compounds in which X 1 is a group represented by (a) or (b) above can also be produced by changing the amine to be used.
Oxime compounds and carbamoyl oxime compounds can also be produced by the method described in Japanese Patent No. 4,223,071.

反応式1

Figure 0007314055000024
(式中、R~R12は、上記一般式(I)と同じである。)Reaction formula 1
Figure 0007314055000024
(In the formula, R 1 to R 12 are the same as in general formula (I) above.)

また、上記一般式(I)においてn=1である化合物は、特に限定されないが、下記反応式2に従って、以下の方法により製造することができる。
即ち、上記インドール化合物2と酸クロリドと反応させることによりケトン化合物2を得、ケトン化合物と亜硝酸イソブチルを反応させることにより、オキシム化合物2を得る。続いて、オキシム化合物2に、トリエチルアミン存在下でクロロギ酸-4-ニトロフェニル及び1級もしくは2級アミンを反応させることにより、上記一般式(I)で表される本発明のカルバモイルオキシム化合物2を得る。
なお、下記反応式2では、Xが-NR1112の場合を示しているが、使用するアミンを変更することで、Xが上記(a)又は(b)で表される基である化合物も製造できる。
オキシム化合物及びカルバモイルオキシム化合物は、特許4223071号報に記載の方法でも製造できる。
In addition, the compound in which n=1 in the above general formula (I) is not particularly limited, but can be produced according to Reaction Scheme 2 below by the following method.
That is, the ketone compound 2 is obtained by reacting the indole compound 2 with an acid chloride, and the oxime compound 2 is obtained by reacting the ketone compound with isobutyl nitrite. Subsequently, the oxime compound 2 is reacted with 4-nitrophenyl chloroformate and a primary or secondary amine in the presence of triethylamine to obtain the carbamoyl oxime compound 2 of the present invention represented by the general formula (I).
Although the reaction formula 2 below shows the case where X 1 is —NR 11 R 12 , compounds in which X 1 is a group represented by (a) or (b) above can also be produced by changing the amine used.
Oxime compounds and carbamoyl oxime compounds can also be produced by the method described in Japanese Patent No. 4,223,071.

反応式2

Figure 0007314055000025
(式中、R~R12は、上記一般式(I)と同じである。)Reaction formula 2
Figure 0007314055000025
(In the formula, R 1 to R 12 are the same as in general formula (I) above.)

本発明の新規化合物は、感光性樹脂の硬化性に優れる点、エネルギー線に対する感度が高い点から、以下で説明する光塩基発生剤である重合開始剤として好適に用いることができるほか、化学増幅型レジスト等に用いることができる。 The novel compound of the present invention can be suitably used as a polymerization initiator that is a photobase generator described below because of its excellent curability of photosensitive resins and its high sensitivity to energy rays, and can also be used for chemically amplified resists.

次に、本発明の重合開始剤、潜在性塩基発生剤及び本発明の感光性樹脂組成物について説明する。尚、特に説明しない点については、本発明の新規化合物における説明が適宜適用される。 Next, the polymerization initiator, latent base generator and photosensitive resin composition of the present invention will be described. Note that the description of the novel compound of the present invention applies appropriately to points that are not particularly described.

<潜在性塩基発生剤>
本発明の潜在性塩基発生剤は、上記一般式(I)で表される化合物を少なくとも1種含んでいるものである。重合開始剤中における上記一般式(I)で表される化合物の含有量は、好ましくは1~100質量%、より好ましくは50~100質量%である。
潜在性塩基発生剤とは、光又は熱によって塩基を発生するものであって、重合開始剤、塩基触媒、pH調整剤として使用することができる。本発明においては、操作性に優れることから、光を照射することによって塩基を発生する潜在性光塩基発生剤がより好ましい。
<Latent base generator>
The latent base generator of the present invention contains at least one compound represented by the general formula (I). The content of the compound represented by the general formula (I) in the polymerization initiator is preferably 1 to 100% by mass, more preferably 50 to 100% by mass.
A latent base generator is one that generates a base by light or heat, and can be used as a polymerization initiator, a base catalyst, and a pH adjuster. In the present invention, a latent photobase generator that generates a base upon irradiation with light is more preferable because of its excellent operability.

<重合開始剤(A)>
本発明の重合開始剤及び本発明の感光性樹脂組成物において、重合開始剤(A)は上記一般式(I)で表される化合物を少なくとも1種含んでいるものである。重合開始剤中における上記一般式(I)で表される化合物の含有量は、好ましくは1~100質量%、より好ましくは50~100質量%である。
本発明の感光性樹脂組成物において、重合開始剤(A)の含有量は、感光性樹脂(B)100質量部に対して、好ましくは1~20質量部、より好ましくは1~10質量部である。重合開始剤(A)の含有量が、1質量部以上であることで、感度不足による硬化不良を防止しやすいため好ましく、20質量部以下とすることで、光照射時又は加熱時の揮発物を抑制できるため好ましい。
<Polymerization initiator (A)>
In the polymerization initiator of the present invention and the photosensitive resin composition of the present invention, the polymerization initiator (A) contains at least one compound represented by the general formula (I). The content of the compound represented by the general formula (I) in the polymerization initiator is preferably 1 to 100% by mass, more preferably 50 to 100% by mass.
In the photosensitive resin composition of the present invention, the content of the polymerization initiator (A) is preferably 1 to 20 parts by mass, more preferably 1 to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the photosensitive resin (B). When the content of the polymerization initiator (A) is 1 part by mass or more, it is preferable because it is easy to prevent poor curing due to insufficient sensitivity.

<感光性樹脂(B)>
本発明で用いられる感光性樹脂(B)は、アニオン重合性官能基、又は塩基を触媒とし硬化温度が低温化する樹脂を示し、紫外線等のエネルギー線を照射することにより重合して硬化する感光性樹脂又は硬化温度が低温化する硬化樹脂である。上記アニオン重合性官能基とは、紫外線等の活性エネルギー線によって光塩基発生剤から発生する塩基により重合しうる官能基を意味し、例えば、エポキシ基、エピスルフィド基、環状モノマー(δ-バレロラクトン、ε-カプロラクタム)、イソシアネートとアルコールによるウレタン結合形成の触媒、(メタ)アクリル基のマイケル付加触媒、シリコーン樹脂の架橋反応の触媒等が挙げられる。感光性樹脂(B)としては、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリアミド樹脂、ポリウレタン樹脂、ナイロン樹脂、ポリエステル樹脂、シリコーン樹脂等が挙げられる。これらの樹脂は単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。中でも、速やかに反応が進行することや接着性が良好であるという点から、エポキシ樹脂とフェノール樹脂の組み合わせが好適である。
<Photosensitive resin (B)>
The photosensitive resin (B) used in the present invention is a resin whose curing temperature is lowered using an anionically polymerizable functional group or a base as a catalyst, and is a photosensitive resin that is polymerized and cured by irradiation with energy rays such as ultraviolet rays or a curable resin whose curing temperature is lowered. The anionic polymerizable functional group means a functional group that can be polymerized by a base generated from a photobase generator by an active energy ray such as ultraviolet rays, and examples thereof include an epoxy group, an episulfide group, a cyclic monomer (δ-valerolactone, ε-caprolactam), a catalyst for forming a urethane bond with an isocyanate and an alcohol, a Michael addition catalyst for a (meth)acrylic group, a catalyst for a crosslinking reaction of a silicone resin, and the like. Examples of the photosensitive resin (B) include epoxy resins, phenol resins, polyamide resins, polyurethane resins, nylon resins, polyester resins, and silicone resins. These resins may be used alone or in combination of two or more. Among them, a combination of an epoxy resin and a phenol resin is preferable because the reaction progresses quickly and the adhesiveness is good.

上記エポキシ樹脂としては、例えば、ハイドロキノン、レゾルシン、ピロカテコール、フロログルクシノール等の単核多価フェノール化合物のポリグリシジルエーテル化合物;ジヒドロキシナフタレン、ビフェノール、メチレンビスフェノール(ビスフェノールF)、メチレンビス(オルトクレゾール)、エチリデンビスフェノール、イソプロピリデンビスフェノール(ビスフェノールA)、4,4’-ジヒドロキシベンゾフェノン、イソプロピリデンビス(オルトクレゾール)、テトラブロモビスフェノールA、1,3-ビス(4-ヒドロキシクミルベンゼン)、1,4-ビス(4-ヒドロキシクミルベンゼン)、1,1,3-トリス(4-ヒドロキシフェニル)ブタン、1,1,2,2-テトラ(4-ヒドロキシフェニル)エタン、チオビスフェノール、スルホビスフェノール、オキシビスフェノール、フェノールノボラック、オルソクレゾールノボラック、エチルフェノールノボラック、ブチルフェノールノボラック、オクチルフェノールノボラック、レゾルシンノボラック、テルペンフェノール等の多核多価フェノール化合物のポリグリシジルエーテル化合物;エチレングリコール、プロピレングリコール、ブチレングリコール、ヘキサンジオール、ポリグリコール、チオジグリコール、グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ソルビトール、ビスフェノールA-エチレンオキシド付加物等の多価アルコール類のポリグリシジルエーテル;マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、コハク酸、グルタル酸、スベリン酸、アジピン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ダイマー酸、トリマー酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリット酸、トリメシン酸、ピロメリット酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、エンドメチレンテトラヒドロフタル酸等の脂肪族、芳香族又は脂環族多塩基酸のグリシジルエステル類、及びグリシジルメタクリレートの単独重合体又は共重合体;N,N-ジグリシジルアニリン、ビス(4-(N-メチル-N-グリシジルアミノ)フェニル)メタン、ジグリシジルオルトトルイジン等のグリシジルアミノ基を有するエポキシ化合物;ビニルシクロヘキセンジエポキシド、ジシクロペンタンジエンジエポキサイド、3,4-エポキシシクロヘキシルメチル-3,4-エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、3,4-エポキシ-6-メチルシクロヘキシルメチル-6-メチルシクロヘキサンカルボキシレート、ビス(3,4-エポキシ-6-メチルシクロヘキシルメチル)アジペート等の環状オレフィン化合物のエポキシ化物;エポキシ化ポリブタジエン、エポキシ化アクリロニトリル-ブタジエン共重合物、エポキシ化スチレン-ブタジエン共重合物等のエポキシ化共役ジエン重合体、トリグリシジルイソシアヌレート等の複素環化合物が挙げられる。また、これらのエポキシ樹脂は末端イソシアネートのプレポリマーによって内部架橋されたもの或いは多価の活性水素化合物(多価フェノール、ポリアミン、カルボニル基含有化合物、ポリリン酸エステル等)で高分子量化したものでもよい。
上記エポキシ樹脂の中では、硬化性に優れる点から、グリシジル基を有するものが好ましく、2官能以上のグリシジル基を有するものがより好ましい。
Examples of the epoxy resin include polyglycidyl ether compounds of mononuclear polyhydric phenol compounds such as hydroquinone, resorcinol, pyrocatechol, and phloroglucinol; Polyglycidyl ethers of polynuclear polyhydric phenol compounds such as bis(4-hydroxycumylbenzene), 1,4-bis(4-hydroxycumylbenzene), 1,1,3-tris(4-hydroxyphenyl)butane, 1,1,2,2-tetra(4-hydroxyphenyl)ethane, thiobisphenol, sulfobisphenol, oxybisphenol, phenol novolak, orthocresol novolak, ethylphenol novolak, butylphenol novolak, octylphenol novolak, resorcinol novolak, and terpene phenol Compound; polyglycidyl ether of polyhydric alcohols such as ethylene glycol, propylene glycol, butylene glycol, hexanediol, polyglycol, thiodiglycol, glycerin, trimethylolpropane, pentaerythritol, sorbitol, bisphenol A-ethylene oxide adduct; Glycidyl esters of aliphatic, aromatic or alicyclic polybasic acids such as terephthalic acid, trimellitic acid, trimesic acid, pyromellitic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid and endomethylenetetrahydrophthalic acid, and homopolymers or copolymers of glycidyl methacrylate; epoxides of cyclic olefin compounds such as vinylcyclohexene diepoxide, dicyclopentanediene diepoxide, 3,4-epoxycyclohexylmethyl-3,4-epoxycyclohexanecarboxylate, 3,4-epoxy-6-methylcyclohexylmethyl-6-methylcyclohexanecarboxylate, bis(3,4-epoxy-6-methylcyclohexylmethyl)adipate; epoxidized polybutadiene, epoxidized acrylonitrile-butadiene copolymer, epoxy Examples include epoxidized conjugated diene polymers such as styrene-butadiene copolymers, and heterocyclic compounds such as triglycidyl isocyanurate. In addition, these epoxy resins may be internally crosslinked with prepolymers having terminal isocyanates or may be polymerized with polyvalent active hydrogen compounds (polyhydric phenols, polyamines, carbonyl group-containing compounds, polyphosphate esters, etc.).
Among the above epoxy resins, those having a glycidyl group are preferable, and those having a bifunctional or more glycidyl group are more preferable from the viewpoint of excellent curability.

上記フェノール樹脂としては、1分子中に2個以上のヒドロキシ基を有するフェノール樹脂が好ましく、一般に公知のものを用いることができる。フェノール樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型フェノール樹脂、ビスフェノールE型フェノール樹脂、ビスフェノールF型フェノール樹脂、ビスフェノールS型フェノール樹脂、フェノールノボラック樹脂、ビスフェノールAノボラック型フェノール樹脂、グリシジルエステル型フェノール樹脂、アラルキルノボラック型フェノール樹脂、ビフェニルアラルキル型フェノール樹脂、クレゾールノボラック型フェノール樹脂、多官能フェノール樹脂、ナフトール樹脂、ナフトールノボラック樹脂、多官能ナフトール樹脂、アントラセン型フェノール樹脂、ナフタレン骨格変性ノボラック型フェノール樹脂、フェノールアラルキル型フェノール樹脂、ナフトールアラルキル型フェノール樹脂、ジシクロペンタジエン型フェノール樹脂、ビフェニル型フェノール樹脂、脂環式フェノール樹脂、ポリオール型フェノール樹脂、リン含有フェノール樹脂、重合性不飽和炭化水素基含有フェノール樹脂及び、水酸基含有シリコーン樹脂類が挙げられるが、特に制限されるものではない。これらのフェノール樹脂は、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。 As the phenol resin, a phenol resin having two or more hydroxy groups in one molecule is preferable, and generally known phenol resins can be used. Examples of phenolic resins include bisphenol A type phenolic resin, bisphenol E type phenolic resin, bisphenol F type phenolic resin, bisphenol S type phenolic resin, phenolic novolac resin, bisphenol A novolac type phenolic resin, glycidyl ester type phenolic resin, aralkyl novolac type phenolic resin, biphenylaralkyl type phenolic resin, cresol novolac type phenolic resin, polyfunctional phenolic resin, naphthol resin, naphthol novolak resin, polyfunctional naphthol resin, anthracene type phenolic resin, and naphthalene skeleton-modified novolak. type phenol resins, phenol aralkyl-type phenol resins, naphthol aralkyl-type phenol resins, dicyclopentadiene-type phenol resins, biphenyl-type phenol resins, alicyclic phenol resins, polyol-type phenol resins, phosphorus-containing phenol resins, polymerizable unsaturated hydrocarbon group-containing phenol resins, and hydroxyl group-containing silicone resins, but are not particularly limited. These phenol resins can be used singly or in combination of two or more.

上記ポリアミド樹脂としては、酸二無水物としてはエチレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4-ベンゼンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4-シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2,3,3-ビフェニルテトラカルボン酸無水物、1,4,5,8-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、ジアミンとしては、(o-,m-若しくはp-)フェニレンジアミン、(3,3'-若しくは4,4’-)ジアミノジフェニルエーテル、ジアミノベンゾフェノンノン、(3,3’-若しくは4,4’-)ジアミノジフェニルメタン等を原料とする樹脂が挙げられる。 As the polyamide resin, the acid dianhydride is ethylenetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-benzenetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, 2,2',3,3'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,2,3,3-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, and the diamine is (o-, m- or p-). Examples thereof include resins made from phenylenediamine, (3,3'- or 4,4'-)diaminodiphenyl ether, diaminobenzophenone, (3,3'- or 4,4'-)diaminodiphenylmethane, and the like.

上記ポリウレタン樹脂としては、ジイソシアネートとして、トリレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート等の多官能イソシアネートと、ポリエーテルポリオール、ポリエステルポリオール、ポリカーボネートポリオール等のポリオール(多官能アルコール)とを原料とする樹脂等が挙げられる。
また、上記ナイロン樹脂としては、ε-カプロラクタム、ラウリルラクタム等の環状モノマーを原料とした樹脂等が挙げられる。
また、上記ポリエステル樹脂としては、δ-バレロラクトン、β―プロピオラクトン等の環状モノマーを原料とした樹脂等が挙げられる。
また、上記シリコーン樹脂としてはメチルシリコーンレジン、メチル/フェニルシリコーンレジン、有機樹脂変性シリコーンレジン等が挙げられる。
Examples of the polyurethane resin include polyfunctional isocyanates such as tolylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, diphenylmethane diisocyanate, and isophorone diisocyanate, and polyols such as polyether polyols, polyester polyols, and polycarbonate polyols (polyfunctional alcohols) as raw materials.
Examples of the nylon resin include resins made from cyclic monomers such as ε-caprolactam and lauryllactam.
Examples of the polyester resin include resins made from cyclic monomers such as δ-valerolactone and β-propiolactone.
Examples of the silicone resin include methyl silicone resin, methyl/phenyl silicone resin, and organic resin-modified silicone resin.

<添加剤>
本発明の感光性樹脂組成物には、任意成分として、無機化合物、色材、潜在性エポキシ硬化剤、連鎖移動剤、増感剤、溶剤等の添加剤を用いることができる。
<Additive>
Additives such as inorganic compounds, colorants, latent epoxy curing agents, chain transfer agents, sensitizers and solvents can be used as optional components in the photosensitive resin composition of the present invention.

上記無機化合物としては、例えば、酸化ニッケル、酸化鉄、酸化イリジウム、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、酸化カリウム、シリカ、アルミナ等の金属酸化物;層状粘土鉱物、ミロリブルー、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、コバルト系、マンガン系、ガラス粉末(特にガラスフリット)、マイカ、タルク、カオリン、フェロシアン化物、各種金属硫酸塩、硫化物、セレン化物、アルミニウムシリケート、カルシウムシリケート、水酸化アルミニウム、白金、金、銀、銅等が挙げられる。これらの無機化合物は、例えば、充填剤、反射防止剤、導電材、安定剤、難燃剤、機械的強度向上剤、特殊波長吸収剤、発インク剤等として用いられる。 Examples of the inorganic compounds include metal oxides such as nickel oxide, iron oxide, iridium oxide, titanium oxide, zinc oxide, magnesium oxide, calcium oxide, potassium oxide, silica, and alumina; Copper etc. are mentioned. These inorganic compounds are used as, for example, fillers, antireflection agents, conductive materials, stabilizers, flame retardants, mechanical strength improvers, special wavelength absorbers, ink generating agents, and the like.

上記色材としては、顔料、染料、天然色素等が挙げられる。これらの色材は、単独で又は2種以上を混合して用いることができる。 Examples of the coloring material include pigments, dyes, and natural pigments. These coloring materials can be used alone or in combination of two or more.

上記顔料としては、例えば、ニトロソ化合物;ニトロ化合物;アゾ化合物;ジアゾ化合物;キサンテン化合物;キノリン化合物;アントラキノン化合物;クマリン化合物;フタロシアニン化合物;イソインドリノン化合物;イソインドリン化合物;キナクリドン化合物;アンタンスロン化合物;ペリノン化合物;ペリレン化合物;ジケトピロロピロール化合物;チオインジゴ化合物;ジオキサジン化合物;トリフェニルメタン化合物;キノフタロン化合物;ナフタレンテトラカルボン酸;アゾ染料、シアニン染料の金属錯体化合物;レーキ顔料;ファーネス法、チャンネル法又はサーマル法によって得られるカーボンブラック、或いはアセチレンブラック、ケッチェンブラック又はランプブラック等のカーボンブラック;上記カーボンブラックをエポキシ樹脂で調整又は被覆したもの、上記カーボンブラックを予め樹脂溶液中で分散処理し、20~200mg/gの樹脂を吸着させたもの、上記カーボンブラックを酸性又はアルカリ性表面処理したもの、平均粒径が8nm以上でDBP吸油量が90ml/100g以下のカーボンブラック、950℃における揮発分中のCO及びCO2から算出した全酸素量が、表面積100m2当たり9mg以上であるカーボンブラック;黒鉛、黒鉛化カーボンブラック、活性炭、炭素繊維、カーボンナノチューブ、カーボンマイクロコイル、カーボンナノホーン、カーボンエアロゲル、フラーレン;アニリンブラック、ピグメントブラック7、チタンブラック;酸化クロム緑、ミロリブルー、コバルト緑、コバルト青、マンガン系、フェロシアン化物、リン酸塩群青、紺青、ウルトラマリン、セルリアンブルー、ピリジアン、エメラルドグリーン、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら(赤色酸化鉄(III))、カドミウム赤、合成鉄黒、アンバー等の有機又は無機顔料を用いることができる。これらの顔料は単独で、或いは複数を混合して用いることができる。 Examples of the above pigments include nitroso compounds; nitro compounds; azo compounds; diazo compounds; xanthene compounds; quinoline compounds; anthraquinone compounds; coumarin compounds; Metal complex compound of dye; lake pigment; carbon black obtained by furnace method, channel method or thermal method, or carbon black such as acetylene black, ketjen black or lamp black; carbon black prepared or coated with epoxy resin; Black, carbon black in which the total oxygen content calculated from CO and CO2 in the volatile matter at 950°C is 9 mg or more per 100 m2 of surface area; graphite, graphitized carbon black, activated carbon, carbon fiber, carbon nanotube, carbon microcoil, carbon nanohorn, carbon aerogel, fullerene; aniline black, pigment black 7, titanium black; , pyridian, emerald green, lead sulfate, yellow lead, zinc yellow, red iron oxide (red iron oxide (III)), cadmium red, synthetic iron black, amber, and other organic or inorganic pigments can be used. These pigments can be used alone or in combination.

上記顔料としては、市販の顔料を用いることもでき、例えば、ピグメントレッド1、2、3、9、10、14、17、22、23、31、38、41、48、49、88、90、97、112、119、122、123、144、149、166、168、169、170、171、177、179、180、184、185、192、200、202、209、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、254;ピグメントオレンジ13、31、34、36、38、43、46、48、49、51、52、55、59、60、61、62、64、65、71;ピグメントイエロー1、3、12、13、14、16、17、20、24、55、60、73、81、83、86、93、95、97、98、100、109、110、113、114、117、120、125、126、127、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、166、168、175、180、185;ピグメントグリ-ン7、10、36;ピグメントブルー15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:5、15:6、22、24、56、60、61、62、64;ピグメントバイオレット1、19、23、27、29、30、32、37、40、50等が挙げられる。 Commercially available pigments can also be used as the above pigments. , 184, 185, 192, 200, 202, 209, 215, 216, 217, 220, 223, 224, 226, 227, 228, 240, 254; Pigment Yellow 1, 3, 12, 13, 14, 16, 17, 20, 24, 55, 60, 73, 81, 83, 86, 93, 95, 97, 98, 100, 109, 110, 113, 114, 117, 120, 125, 126, 127, 129, 137, 138, 139, 1 Pigment Green 7, 10, 36; Pigment Blue 15, 15:1, 15:2, 15:3, 15:4, 15:5, 15:6, 22, 24, 56, 60, 61, 62, 64; Pigment Bio Rhett 1, 19, 23, 27, 29, 30, 32, 37, 40, 50 and the like.

上記染料としては、アゾ染料、アントラキノン染料、インジゴイド染料、トリアリールメタン染料、キサンテン染料、アリザリン染料、アクリジン染料スチルベン染料、チアゾール染料、ナフトール染料、キノリン染料、ニトロ染料、インダミン染料、オキサジン染料、フタロシアニン染料、シアニン染料等の染料等が挙げられ、これらは複数を混合して用いてもよい。 Examples of the dyes include azo dyes, anthraquinone dyes, indigoid dyes, triarylmethane dyes, xanthene dyes, alizarin dyes, acridine dyes stilbene dyes, thiazole dyes, naphthol dyes, quinoline dyes, nitro dyes, indamine dyes, oxazine dyes, phthalocyanine dyes, cyanine dyes, and the like.

上記潜在性エポキシ硬化剤としては、例えば、ジシアンジアミド、変性ポリアミン、ヒドラジド類、4,4'-ジアミノジフェニルスルホン、三フッ化ホウ素アミン錯塩、イミダゾール類、グアナミン類、イミダゾール類、ウレア類及びメラミン等が挙げられる。 Examples of the latent epoxy curing agent include dicyandiamide, modified polyamines, hydrazides, 4,4'-diaminodiphenylsulfone, boron trifluoride amine complex salts, imidazoles, guanamines, imidazoles, ureas and melamine.

上記連鎖移動剤又は増感剤としては、一般的に硫黄原子含有化合物が用いられる。例えばチオグリコール酸、チオリンゴ酸、チオサリチル酸、2-メルカプトプロピオン酸、3-メルカプトプロピオン酸、3-メルカプト酪酸、N-(2-メルカプトプロピオニル)グリシン、2-メルカプトニコチン酸、3-[N-(2-メルカプトエチル)カルバモイル]プロピオン酸、3-[N-(2-メルカプトエチル)アミノ]プロピオン酸、N-(3-メルカプトプロピオニル)アラニン、2-メルカプトエタンスルホン酸、3-メルカプトプロパンスルホン酸、4-メルカプトブタンスルホン酸、ドデシル(4-メチルチオ)フェニルエーテル、2-メルカプトエタノール、3-メルカプト-1,2-プロパンジオール、1-メルカプト-2-プロパノール、3-メルカプト-2-ブタノール、メルカプトフェノール、2-メルカプトエチルアミン、2-メルカプトイミダゾール、2-メルカプトベンゾイミダゾール、2-メルカプト-3-ピリジノール、2-メルカプトベンゾチアゾール、メルカプト酢酸、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトプロピオネート)等のメルカプト化合物、該メルカプト化合物を酸化して得られるジスルフィド化合物、ヨード酢酸、ヨードプロピオン酸、2-ヨードエタノール、2-ヨードエタンスルホン酸、3-ヨードプロパンスルホン酸等のヨード化アルキル化合物、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトイソブチレート)、ブタンジオールビス(3-メルカプトイソブチレート)、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、1,4-ジメチルメルカプトベンゼン、ブタンジオールビスチオプロピオネート、ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ブタンジオールビスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、トリスヒドロキシエチルトリスチオプロピオネート、ジエチルチオキサントン、ジイソプロピルチオキサントン、下記化合物No.C1、トリメルカプトプロピオン酸トリス(2-ヒドロキシエチル)イソシアヌレート等の脂肪族多官能チオール化合物、昭和電工社製カレンズMT BD1、PE1、NR1等が挙げられる。 A sulfur atom-containing compound is generally used as the chain transfer agent or sensitizer. For example, thioglycolic acid, thiomalic acid, thiosalicylic acid, 2-mercaptopropionic acid, 3-mercaptopropionic acid, 3-mercaptobutyric acid, N-(2-mercaptopropionyl)glycine, 2-mercaptonicotinic acid, 3-[N-(2-mercaptoethyl)carbamoyl]propionic acid, 3-[N-(2-mercaptoethyl)amino]propionic acid, N-(3-mercaptopropio Nyl)alanine, 2-mercaptoethanesulfonic acid, 3-mercaptopropanesulfonic acid, 4-mercaptobutanesulfonic acid, dodecyl(4-methylthio)phenyl ether, 2-mercaptoethanol, 3-mercapto-1,2-propanediol, 1-mercapto-2-propanol, 3-mercapto-2-butanol, mercaptophenol, 2-mercaptoethylamine, 2-mercaptoimidazole, 2-mercaptobenzimidazole mercapto compounds such as sol, 2-mercapto-3-pyridinol, 2-mercaptobenzothiazole, mercaptoacetic acid, trimethylolpropane tris (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate), disulfide compounds obtained by oxidation of the mercapto compounds, iodoacetic acid, iodopropionic acid, 2-iodoethanol, 2-iodoethanesulfonic acid, 3-iodopropanesulfonic acid Iodinated alkyl compounds such as acids, trimethylolpropane tris(3-mercaptoisobutyrate), butanediol bis(3-mercaptoisobutyrate), hexanedithiol, decanedithiol, 1,4-dimethylmercaptobenzene, butanediol bisthiopropionate, butanediol bisthioglycolate, ethylene glycol bisthioglycolate, trimethylolpropane tristhioglycolate, butanediol bisthiopropionate, trimethyl propane tristhiopropionate, trimethylolpropane tristhioglycolate, pentaerythritol tetrakisthiopropionate, pentaerythritol tetrakisthioglycolate, trishydroxyethyl tristhiopropionate, diethylthioxanthone, diisopropylthioxanthone, compound no. Aliphatic polyfunctional thiol compounds such as C1 and trimercaptopropionate tris(2-hydroxyethyl)isocyanurate, Showa Denko Karenz MT BD1, PE1, NR1 and the like.

Figure 0007314055000026
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上記溶剤としては、通常、前記の各成分(重合開始剤(A)及び感光性樹脂(B)等)を溶解又は分散しえる溶剤、例えば、メチルエチルケトン、メチルアミルケトン、ジエチルケトン、アセトン、メチルイソプロピルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、2-ヘプタノン等のケトン類;エチルエーテル、ジオキサン、テトラヒドロフラン、1,2-ジメトキシエタン、1,2-ジエトキシエタン、ジプロピレングリコールジメチルエーテル等のエーテル系溶剤;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸-n-プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸n-ブチル、酢酸シクロヘキシル、乳酸エチル、コハク酸ジメチル、テキサノール等のエステル系溶剤;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル等のセロソルブ系溶剤;メタノール、エタノール、イソ-又はn-プロパノール、イソ-又はn-ブタノール、アミルアルコール等のアルコール系溶剤;エチレングリコールモノメチルアセテート、エチレングリコールモノエチルアセテート、プロピレングリコール-1-モノメチルエーテル-2-アセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3-メトキシブチルアセテート、エトキシエチルプロピオネート等のエーテルエステル系溶剤;ベンゼン、トルエン、キシレン等のBTX系溶剤;ヘキサン、ヘプタン、オクタン、シクロヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶剤;テレピン油、D-リモネン、ピネン等のテルペン系炭化水素油;ミネラルスピリット、スワゾール#310(コスモ松山石油(株))、ソルベッソ#100(エクソン化学(株))等のパラフィン系溶剤;四塩化炭素、クロロホルム、トリクロロエチレン、塩化メチレン、1,2-ジクロロエタン等のハロゲン化脂肪族炭化水素系溶剤;クロロベンゼン等のハロゲン化芳香族炭化水素系溶剤;カルビトール系溶剤;アニリン;トリエチルアミン;ピリジン;酢酸;アセトニトリル;二硫化炭素;N,N-ジメチルホルムアミド;N,N-ジメチルアセトアミド;N-メチルピロリドン;ジメチルスルホキシド;水等を用いることができ、これらの溶剤は1種で又は2種以上の混合溶剤として使用することができる。
これらの中でも、アルカリ現像性、パターニング性、製膜性、溶解性の点から、ケトン類又はエーテルエステル系溶剤、特に、プロピレングリコール-1-モノメチルエーテル-2-アセテート又はシクロヘキサノンが好ましく用いられる。
本発明の感光性樹脂組成物において、溶剤の含有量は、特に制限されず、各成分が均一に分散又は溶解され、また本発明の感光性樹脂組成物が各用途に適した液状ないしペースト状を呈する量であればよいが、通常、本発明の感光性樹脂組成物中の固形分(溶剤以外の全成分)の量が10~90質量%となる範囲で溶剤を含有させることが好ましい。
Examples of the solvent include solvents capable of dissolving or dispersing the components (polymerization initiator (A), photosensitive resin (B), etc.), such as ketones such as methyl ethyl ketone, methyl amyl ketone, diethyl ketone, acetone, methyl isopropyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, and 2-heptanone; Ester solvents such as methyl acetate, ethyl acetate, n-propyl acetate, isopropyl acetate, n-butyl acetate, cyclohexyl acetate, ethyl lactate, dimethyl succinate, and texanol; cellosolve solvents such as ethylene glycol monomethyl ether and ethylene glycol monoethyl ether; alcohol solvents such as methanol, ethanol, iso- or n-propanol, iso- or n-butanol and amyl alcohol; Ether ester solvents such as methyl ether-2-acetate, dipropylene glycol monomethyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate and ethoxyethyl propionate; BTX solvents such as benzene, toluene and xylene; Aliphatic hydrocarbon solvents such as hexane, heptane, octane and cyclohexane; Terpene hydrocarbon oils such as turpentine oil, D-limonene and pinene; )), paraffin solvents such as Solvesso #100 (Exxon Chemical Co., Ltd.); halogenated aliphatic hydrocarbon solvents such as carbon tetrachloride, chloroform, trichlorethylene, methylene chloride and 1,2-dichloroethane; halogenated aromatic hydrocarbon solvents such as chlorobenzene; carbitol solvents; dimethyl sulfoxide; water and the like can be used, and these solvents can be used alone or as a mixed solvent of two or more.
Among these, ketones or ether ester solvents, particularly propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate or cyclohexanone, are preferably used from the standpoints of alkali developability, patterning properties, film forming properties, and solubility.
In the photosensitive resin composition of the present invention, the content of the solvent is not particularly limited, and each component is uniformly dispersed or dissolved, and the photosensitive resin composition of the present invention may be in an amount that exhibits a liquid or paste state suitable for each application. Usually, it is preferable to contain the solvent in a range where the solid content (all components other than the solvent) in the photosensitive resin composition of the present invention is 10 to 90% by mass.

また、本発明の感光性樹脂組成物は、有機重合体を用いることによって、硬化物の特性を改善することもできる。該有機重合体としては、例えば、ポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、メチルメタクリレート-エチルアクリレート共重合体、ポリ(メタ)アクリル酸、スチレン-(メタ)アクリル酸共重合体、(メタ)アクリル酸-メチルメタクリレート共重合体、エチレン-塩化ビニル共重合体、エチレン-ビニル共重合体、ポリ塩化ビニル樹脂、ABS樹脂、ナイロン6、ナイロン66、ナイロン12、ウレタン樹脂、ポリカーボネートポリビニルブチラール、セルロースエステル、ポリアクリルアミド、飽和ポリエステル、フェノール樹脂、フェノキシ樹脂等が挙げられる。
上記有機重合体を使用する場合、その使用量は、感光性樹脂(B)100質量部に対して、好ましくは10~500質量部である。
Moreover, the photosensitive resin composition of the present invention can improve the properties of the cured product by using an organic polymer. Examples of the organic polymer include polystyrene, polymethyl methacrylate, methyl methacrylate-ethyl acrylate copolymer, poly(meth)acrylic acid, styrene-(meth)acrylic acid copolymer, (meth)acrylic acid-methyl methacrylate copolymer, ethylene-vinyl chloride copolymer, ethylene-vinyl copolymer, polyvinyl chloride resin, ABS resin, nylon 6, nylon 66, nylon 12, urethane resin, polycarbonate polyvinyl butyral, cellulose ester, polyacrylamide, saturated polyester, phenolic resin, pheno epoxy resin and the like.
When the above organic polymer is used, the amount used is preferably 10 to 500 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the photosensitive resin (B).

本発明の感光性樹脂組成物には、更に、界面活性剤、シランカップリング剤、メラミン化合物等を併用することができる。 Surfactants, silane coupling agents, melamine compounds and the like can be used in combination with the photosensitive resin composition of the present invention.

上記界面活性剤としては、パーフルオロアルキルリン酸エステル、パーフルオロアルキルカルボン酸塩等のフッ素系界面活性剤;高級脂肪酸アルカリ塩、アルキルスルホン酸塩、アルキル硫酸塩等のアニオン系界面活性剤;高級アミンハロゲン酸塩、第四級アンモニウム塩等のカチオン系界面活性剤;ポリエチレングリコールアルキルエーテル、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、ソルビタン脂肪酸エステル、脂肪酸モノグリセリド等の非イオン界面活性剤;両性界面活性剤;シリコーン系界面活性剤等の界面活性剤を用いることができ、これらは組み合わせて用いてもよい。 Examples of the surfactant include fluorine-based surfactants such as perfluoroalkyl phosphates and perfluoroalkyl carboxylates; anionic surfactants such as higher fatty acid alkali salts, alkylsulfonates and alkyl sulfates; cationic surfactants such as higher amine halides and quaternary ammonium salts; nonionic surfactants such as polyethylene glycol alkyl ethers, polyethylene glycol fatty acid esters, sorbitan fatty acid esters and fatty acid monoglycerides; .

上記シランカップリング剤としては、例えば信越化学社製シランカップリング剤を用いることができ、その中でも、KBE-9007、KBM-502、KBE-403等の、イソシアネート基、メタクリロイル基又はエポキシ基を有するシランカップリング剤が好適に用いられる。 As the silane coupling agent, for example, silane coupling agents manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. can be used. Among them, silane coupling agents having an isocyanate group, a methacryloyl group, or an epoxy group such as KBE-9007, KBM-502, and KBE-403 are preferably used.

上記メラミン化合物としては、(ポリ)メチロールメラミン、(ポリ)メチロールグリコールウリル、(ポリ)メチロールベンゾグアナミン、(ポリ)メチロールウレア等の窒素化合物中の活性メチロール基(CH2OH基)の全部又は一部(少なくとも2つ)がアルキルエーテル化された化合物等を挙げることができる。
ここで、アルキルエーテルを構成するアルキル基としては、メチル基、エチル基又はブチル基が挙げられ、互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。また、アルキルエーテル化されていないメチロール基は、一分子内で自己縮合していてもよく、二分子間で縮合して、その結果オリゴマー成分が形成されていてもよい。
具体的には、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサブトキシメチルメラミン、テトラメトキシメチルグリコールウリル、テトラブトキシメチルグリコールウリル等を用いることができる。
これらの中でも、溶剤への溶解性、感光性樹脂組成物から結晶析出しにくいという点から、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサブトキシメチルメラミン等のアルキルエール化されたメラミンが好ましい。
Examples of the melamine compound include compounds in which all or part (at least two) of active methylol groups (CH 2 OH groups) in nitrogen compounds such as (poly)methylolmelamine, (poly)methylolglycoluril, (poly)methylolbenzoguanamine, and (poly)methylolurea are alkyl-etherified.
Here, the alkyl group constituting the alkyl ether includes a methyl group, an ethyl group and a butyl group, which may be the same or different. In addition, methylol groups that are not alkyl-etherified may be self-condensed within one molecule, or may be condensed between two molecules to form an oligomer component.
Specifically, hexamethoxymethylmelamine, hexabutoxymethylmelamine, tetramethoxymethylglycoluril, tetrabutoxymethylglycoluril and the like can be used.
Among these, alkyl-etherified melamine such as hexamethoxymethylmelamine and hexabutoxymethylmelamine are preferable in terms of solubility in solvents and resistance to crystal precipitation from the photosensitive resin composition.

本発明の感光性樹脂組成物において、(A)重合開始剤及び感光性樹脂(B)以外の任意成分(但し、無機化合物、色材、及び溶剤は除く)の使用量は、その使用目的に応じて適宜選択され特に制限されないが、好ましくは、感光性樹脂(B)100質量部に対して合計で50質量部以下とする。 In the photosensitive resin composition of the present invention, the amount of optional components other than (A) the polymerization initiator and the photosensitive resin (B) (excluding inorganic compounds, coloring materials, and solvents) is appropriately selected depending on the purpose of use and is not particularly limited, but is preferably 50 parts by weight or less in total with respect to 100 parts by weight of the photosensitive resin (B).

本発明の感光性樹脂組成物は、エネルギー線を照射して硬化物とすることができる。該硬化物は、用途に応じた適宜な形状として形成される。例えば膜状の硬化物を形成する場合には、本発明の感光性樹脂組成物は、スピンコーター、ロールコーター、バーコーター、ダイコーター、カーテンコーター、各種の印刷、浸漬等の公知の手段で、ソーダガラス、石英ガラス、半導体基板、金属、紙、プラスチック等の支持基体上に適用することができる。また、一旦フィルム等の支持基体上に施した後、他の支持基体上に転写することもでき、その適用方法に制限はない。 The photosensitive resin composition of the present invention can be cured by irradiation with energy rays. The cured product is formed into an appropriate shape according to the application. For example, when forming a film-like cured product, the photosensitive resin composition of the present invention can be applied onto a supporting substrate such as soda glass, quartz glass, semiconductor substrate, metal, paper, plastic, etc. by known means such as spin coater, roll coater, bar coater, die coater, curtain coater, various types of printing, and immersion. In addition, once applied onto a supporting substrate such as a film, it can be transferred onto another supporting substrate, and there are no restrictions on the method of application.

本発明の感光性樹脂組成物を硬化させる際に用いられるエネルギー線の光源としては、超高圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ、中圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、水銀蒸気アーク灯、キセノンアーク灯、カーボンアーク灯、メタルハライドランプ、蛍光灯、タングステンランプ、エキシマーランプ、殺菌灯、発光ダイオード、CRT光源等から得られる2000オングストローム~7000オングストロームの波長を有する電磁波エネルギーや電子線、X線、放射線等の高エネルギー線を利用することができるが、好ましくは、波長300~450nmの光を発光する超高圧水銀ランプ、水銀蒸気アーク灯、カーボンアーク灯、キセノンアーク灯等が用いられる。 As the light source of the energy rays used for curing the photosensitive resin composition of the present invention, there are high-energy rays such as electromagnetic waves having a wavelength of 2000 angstroms to 7000 angstroms obtained from ultra-high pressure mercury lamps, high pressure mercury lamps, medium pressure mercury lamps, low pressure mercury lamps, mercury vapor arc lamps, xenon arc lamps, carbon arc lamps, metal halide lamps, fluorescent lamps, tungsten lamps, excimer lamps, germicidal lamps, light emitting diodes, CRT light sources, and high energy rays such as electron beams, X-rays and radiation. can be used, but an ultra-high pressure mercury lamp, mercury vapor arc lamp, carbon arc lamp, xenon arc lamp or the like that emits light with a wavelength of 300 to 450 nm is preferably used.

更に、露光光源にレーザー光を用いることにより、マスクを用いずに、コンピューター等のデジタル情報から直接画像を形成するレーザー直接描画法が、生産性のみならず、解像性や位置精度等の向上も図れることから有用であり、そのレーザー光としては、340~430nmの波長の光が好適に使用されるが、エキシマーレーザー、窒素レーザー、アルゴンイオンレーザー、ヘリウムカドミウムレーザー、ヘリウムネオンレーザー、クリプトンイオンレーザー、各種半導体レーザー及びYAGレーザー等の可視から赤外領域の光を発するものも用いることができる。これらのレーザー光を使用する場合には、好ましくは、可視から赤外の当該領域を吸収する増感色素が加えられる。 Furthermore, by using a laser beam as an exposure light source, a laser direct writing method in which an image is formed directly from digital information such as a computer without using a mask is useful because it can improve not only productivity but also resolution, positional accuracy, etc. As the laser beam, light with a wavelength of 340 to 430 nm is preferably used, but excimer laser, nitrogen laser, argon ion laser, helium cadmium laser, helium neon laser, krypton ion laser, various semiconductor lasers and YAG lasers. It is also possible to use one that emits light in the visible to infrared region, such as. When using these laser beams, a sensitizing dye that absorbs in the visible to infrared region is preferably added.

また、本発明の感光性樹脂組成物の硬化には、上記エネルギー線の照射後、加熱することが通常必要であり、40~150℃程度の加熱が硬化率の点で好ましい。 In order to cure the photosensitive resin composition of the present invention, it is usually necessary to heat after irradiation with the energy beam, and heating at about 40 to 150° C. is preferable in terms of curing rate.

本発明の感光性樹脂組成物は、光硬化性塗料又はワニス;光硬化性接着剤;金属用コーティング剤;プリント基板;カラーテレビ、PCモニタ、携帯情報端末、デジタルカメラ等のカラー表示の液晶表示素子におけるカラーフィルタ;CCDイメージセンサのカラーフィルタ;プラズマ表示パネル用の電極材料;粉末コーティング;印刷インク;印刷版;接着剤;歯科用組成物;ゲルコート;電子工学用のフォトレジスト;電気メッキレジスト;エッチングレジスト;ドライフィルム;はんだレジスト;種々の表示用途用のカラーフィルタを製造するための或いはプラズマ表示パネル、電気発光表示装置、及びLCDの製造工程においてそれらの構造を形成するためのレジスト;電気及び電子部品を封入するための組成物;ソルダーレジスト;磁気記録材料;微小機械部品;導波路;光スイッチ;めっき用マスク;エッチングマスク;カラー試験系;ガラス繊維ケーブルコーティング;スクリーン印刷用ステンシル;ステレオリトグラフィによって三次元物体を製造するための材料;ホログラフィ記録用材料;画像記録材料;微細電子回路;脱色材料;画像記録材料のための脱色材料;マイクロカプセルを使用する画像記録材料用の脱色材料;印刷配線板用フォトレジスト材料;UV及び可視レーザー直接画像系用のフォトレジスト材料;プリント回路基板の逐次積層における誘電体層形成に使用するフォトレジスト材料又は保護膜等の各種の用途に使用することができ、その用途に特に制限はない。 The photosensitive resin composition of the present invention is a photocurable paint or varnish; a photocurable adhesive; a coating agent for metals; a printed circuit board; or for forming their structures in the manufacturing process of plasma display panels, electroluminescent displays, and LCDs; compositions for encapsulating electrical and electronic components; solder resists; decolorizing materials for image recording materials using microcapsules; photoresist materials for printed wiring boards; photoresist materials for UV and visible laser direct imaging systems;

本発明の感光性樹脂組成物は、液晶表示パネル用スペーサーを形成する目的及び垂直配向型液晶表示素子用突起を形成する目的で使用することもできる。特に垂直配向型液晶表示素子用の突起とスペーサーを同時に形成するための感光性樹脂組成物として有用である。 The photosensitive resin composition of the present invention can also be used for the purpose of forming spacers for liquid crystal display panels and for the purpose of forming projections for vertically aligned liquid crystal display elements. In particular, it is useful as a photosensitive resin composition for simultaneously forming projections and spacers for vertically aligned liquid crystal display devices.

上記の液晶表示パネル用スペーサーは、(1)本発明の感光性樹脂組成物の塗膜を基板上に形成する工程、(2)該塗膜に所定のパターン形状を有するマスクを介してエネルギー線(光)を照射する工程、(3)露光後のベーク工程、(4)露光後の被膜を現像する工程、(5)現像後の該被膜を加熱する工程により好ましく形成される。 The spacer for a liquid crystal display panel is preferably formed by (1) a step of forming a coating film of the photosensitive resin composition of the present invention on a substrate, (2) a step of irradiating the coating film with energy rays (light) through a mask having a predetermined pattern shape, (3) a baking step after exposure, (4) a step of developing the coating after exposure, and (5) a step of heating the coating after development.

色材を添加した本発明の感光性樹脂組成物は、カラーフィルタにおけるRGB等の各画素を構成するレジストや、各画素の隔壁を形成するブラックマトリクス用レジストとして好適に用いられる。更に、撥インク剤を添加するブラックマトリクス用レジストの場合、プロファイル角が50°以上であるインクジェット方式カラーフィルタ用隔壁に好ましく用いられる。該撥インク剤としては、フッ素系界面活性剤及びフッ素系界面活性剤を含有する組成物が好適に用いられる。 The photosensitive resin composition of the present invention to which a coloring material is added is suitably used as a resist forming each pixel such as RGB in a color filter, or as a black matrix resist forming partition walls of each pixel. Furthermore, in the case of a black matrix resist to which an ink-repellent agent is added, it is preferably used for partition walls for ink-jet type color filters having a profile angle of 50° or more. As the ink repellent agent, a fluorosurfactant and a composition containing the fluorosurfactant are preferably used.

上記インクジェット方式カラーフィルタ用隔壁に用いた場合、本発明の感光性樹脂組成物から形成された隔壁が被転写体上を区画し、区画された被転写体上の凹部にインクジェット法により液滴を付与して画像領域を形成する方法により光学素子が製造される。この際、上記液滴が着色剤を含有し、上記画像領域が着色されていることが好ましく、その場合には、上記の製造方法により作製された光学素子は、基板上に複数の着色領域からなる画素群と該画素群の各着色領域を離隔する隔壁を少なくとも有するものとなる。 When used as partition walls for an ink-jet type color filter, the partition walls formed from the photosensitive resin composition of the present invention partition the surface of the transfer material, and droplets are applied to the partitioned recesses on the transfer material by an ink-jet method to form an image area. At this time, it is preferable that the droplet contains a coloring agent and the image area is colored. In this case, the optical element manufactured by the above manufacturing method has at least a pixel group consisting of a plurality of colored areas on the substrate and partition walls separating the colored areas of the pixel group.

本発明の感光性樹脂組成物は、保護膜又は絶縁膜用組成物としても用いることができる。この場合、紫外線吸収剤、アルキル化変性メラミン及び/又はアクリル変性メラミン、分子中にアルコール性水酸基を含有する1又は2官能の(メタ)アクリレートモノマー及び/又はシリカゾルを含有することができる。 The photosensitive resin composition of the present invention can also be used as a composition for protective films or insulating films. In this case, an ultraviolet absorber, an alkylated modified melamine and/or an acrylic modified melamine, a mono- or bifunctional (meth)acrylate monomer containing an alcoholic hydroxyl group in the molecule, and/or silica sol can be contained.

上記絶縁膜は、剥離可能な支持基材上に絶縁樹脂層が設けられた積層体における該絶縁樹脂層に用いられ、該積層体は、アルカリ水溶液による現像が可能なものであり、絶縁樹脂層の膜厚が10~100μmであることが好ましい。 The insulating film is used for the insulating resin layer in a laminate in which an insulating resin layer is provided on a peelable supporting base material, the laminate can be developed with an alkaline aqueous solution, and the thickness of the insulating resin layer is preferably 10 to 100 μm.

本発明の感光性樹脂組成物は、無機化合物を含有させることで、感光性ペースト組成物として用いることができる。該感光性ペースト組成物は、プラズマディスプレイパネルの隔壁パターン、誘電体パターン、電極パターン及びブラックマトリックスパターン等の焼成物パターンを形成するために用いることができる。 The photosensitive resin composition of the present invention can be used as a photosensitive paste composition by containing an inorganic compound. The photosensitive paste composition can be used to form fired patterns such as barrier rib patterns, dielectric patterns, electrode patterns and black matrix patterns of plasma display panels.

以下、実施例及び比較例を挙げて本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例等に限定されるものではない。 EXAMPLES The present invention will be described in more detail below with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to these Examples and the like.

〔製造例1〕オキシム体1の合成
<ステップ1>
200mLの四つ口フラスコにインドールを1.0eq.、4-フルオロニトロベンゼン1.2eq.、炭酸カリウム3.0eq.及びN,N-ジメチルホルムアミド(理論収量の500重量%)を入れ、20mL/minの窒素流通下130℃で3時間加熱撹拌した。室温まで冷却後、イオン交換水50gを加えて1時間撹拌した。析出物をろ取した後、50℃で恒量まで減圧乾燥し、N-ニトロフェニルインドールを収率85%で得た。
<ステップ2>
200mLの四つ口フラスコにステップ1で得られたN-ニトロフェニルインドール1.0eq.、塩化アルミニウム2.5eq.及びジクロロエタン(理論収量の500重量%)を入れ、氷浴上5℃で撹拌を行った。そこにミリストイルクロリド1.3eq.を滴下して加えた。室温まで昇温後、3時間撹拌し、イオン交換水50g加えて有機層を分離した。有機層を無水硫酸ナトリウムで乾燥後、溶媒を留去し、エタノールを加えて晶析を行った。ろ過して得られた結晶を50℃で恒量まで減圧乾燥し、ケトン化合物1を収率65%で得た。
<ステップ3>
100mLの四つ口フラスコにステップ2で得られたケトン化合物を1.0eq.、塩酸ヒドロキシルアミン2.0eq.及びピリジン(理論収量の200重量%)を入れ、20mL/minの窒素流通下95℃で2.5時間加熱撹拌した。室温まで冷却後、イオン交換水50gを加えて有機層を分離した。有機層を無水硫酸ナトリウムで乾燥後、溶媒を留去し、50℃で恒量まで減圧乾燥して、オキシム体1を収率88%で得た。
[Production Example 1] Synthesis of Oxime Form 1 <Step 1>
1.0 eq. of indole was added to a 200 mL four-necked flask. , 4-fluoronitrobenzene 1.2 eq. , potassium carbonate 3.0 eq. and N,N-dimethylformamide (500% by weight of the theoretical yield) were added, and the mixture was heated and stirred at 130° C. for 3 hours under nitrogen flow at 20 mL/min. After cooling to room temperature, 50 g of ion-exchanged water was added and stirred for 1 hour. After the precipitate was collected by filtration, it was dried under reduced pressure at 50° C. to a constant weight to obtain N-nitrophenylindole with a yield of 85%.
<Step 2>
1.0 eq. , aluminum chloride 2.5 eq. and dichloroethane (500% by weight of the theoretical yield) were added and stirred at 5° C. on an ice bath. Myristoyl chloride 1.3 eq. was added dropwise. After raising the temperature to room temperature, the mixture was stirred for 3 hours, and 50 g of ion-exchanged water was added to separate the organic layer. After the organic layer was dried over anhydrous sodium sulfate, the solvent was distilled off and ethanol was added for crystallization. The crystals obtained by filtration were dried under reduced pressure at 50° C. to a constant weight to obtain ketone compound 1 with a yield of 65%.
<Step 3>
1.0 eq. , hydroxylamine hydrochloride 2.0 eq. and pyridine (200% by weight of the theoretical yield) were added, and the mixture was heated and stirred at 95° C. for 2.5 hours under nitrogen flow at 20 mL/min. After cooling to room temperature, 50 g of ion-exchanged water was added to separate the organic layer. After the organic layer was dried over anhydrous sodium sulfate, the solvent was distilled off and the residue was dried under reduced pressure at 50° C. to a constant weight to obtain the oxime compound 1 with a yield of 88%.

〔製造例2〕オキシム体2の合成
製造例1中<ステップ1>の4-フルオロニトロベンゼンを4-フルオロベンゾフェノンに、<ステップ2>のミリストイルクロリドをn-オクタノイルクロリドに変えた以外は、同様の操作を行い、オキシム体2を全収率11%で得た。
[Production Example 2] Synthesis of Oxime 2 Oxime 2 was obtained with an overall yield of 11% in the same manner as in Production Example 1 except that 4-fluorobenzophenone was used in place of 4-fluoronitrobenzene in <Step 1> and n-octanoyl chloride was used in place of myristoyl chloride in Step 2.

〔実施例1〕化合物No.1の合成
100ml四つ口フラスコに窒素フローし、オキシム体1を1.0eq.と、ジクロロメタン(理論収量の500重量%)と、トリエチルアミン2.0eq.を加え、氷浴上5℃で撹拌を行った。そこにクロロギ酸4-ニトロフェニル1.1eq.をジクロロメタンに溶かしたものを滴下して加えた。滴下終了後、室温で30分撹拌した。再び氷浴上5℃まで冷却後、ピペリジン1.1eq.を滴下して加えた。室温で3時間撹拌し、減圧下で溶媒を留去した。そこに酢酸エチルと5質量%NaOH水溶液を加えて有機層を分離した。有機層をイオン交換水で3回水洗後、濃縮した。残渣にメタノールを加えて晶析を行い、化合物No.1を黄色粉状化合物として、収率70%で得た。得られた固体のTG-DTA(融点/℃)、H-NMRを分析した。結果を〔表1〕及び〔表2〕に示す。
[Example 1] Compound no. Synthesis of 1 1.0 eq. , dichloromethane (500% by weight of theoretical yield) and 2.0 eq. was added and stirred at 5°C on an ice bath. 1.1 eq. of 4-nitrophenyl chloroformate was added thereto. was added dropwise in dichloromethane. After completion of dropping, the mixture was stirred at room temperature for 30 minutes. After cooling to 5° C. again on an ice bath, 1.1 eq. was added dropwise. The mixture was stirred at room temperature for 3 hours, and the solvent was distilled off under reduced pressure. Ethyl acetate and 5% by mass NaOH aqueous solution were added thereto to separate the organic layer. The organic layer was washed with ion-exchanged water three times and then concentrated. Crystallization was carried out by adding methanol to the residue, and compound No. 2 was obtained. 1 was obtained as a yellow powdery compound in a yield of 70%. The obtained solid was analyzed by TG-DTA (melting point/° C.) and 1 H-NMR. The results are shown in [Table 1] and [Table 2].

〔実施例2〕化合物No.2の合成
実施例1に記載のオキシム体1をオキシム体2に変えた以外は、実施例1と同様の操作を行い、化合物No.2を収率54%で得た。得られた固体のTG-DTA(融点/℃)、H-NMRを分析した。結果を〔表1〕及び〔表2〕に示す。
[Example 2] Compound no. Synthesis of Compound No. 2 The procedure of Example 1 was repeated except that oxime body 1 described in Example 1 was changed to oxime body 2. 2 was obtained in 54% yield. The obtained solid was analyzed by TG-DTA (melting point/° C.) and 1 H-NMR. The results are shown in [Table 1] and [Table 2].

〔製造例3〕オキシム体3の合成
製造例1中<ステップ1>の4-フルオロニトロベンゼンを4-フルオロベンゾフェノンに、<ステップ2>のミリストイルクロリドをn-オクタノイルクロリドに変えた以外は、同様の操作を行い、ケトン化合物2を得た。
<ステップ3>
100mL四つ口フラスコに上記ケトン化合物2を1.0eq.、DMF(理論収量の300重量%)、塩酸1.2eq.の順で加え、氷浴上5℃で撹拌を行った。そこに亜硝酸イソブチル1.2eq.を滴下して加えた。室温まで昇温後、6時間撹拌した。その後イオン交換水50g及び酢酸エチルを加えて有機層を分離した。有機層を水で3回水洗し、エバポレータで減圧濃縮してオキシム体3を得た。得られたオキシム体3は精製せずに次の反応に用いた。
[Production Example 3] Synthesis of oxime derivative 3 A ketone compound 2 was obtained in the same manner as in Production Example 1 except that 4-fluoronitrobenzene in <Step 1> was changed to 4-fluorobenzophenone and myristoyl chloride in <Step 2> was changed to n-octanoyl chloride.
<Step 3>
1.0 eq. , DMF (300% by weight of theoretical yield), hydrochloric acid 1.2 eq. and stirred at 5°C on an ice bath. 1.2 eq. isobutyl nitrite was added thereto. was added dropwise. After heating to room temperature, the mixture was stirred for 6 hours. After that, 50 g of ion-exchanged water and ethyl acetate were added to separate the organic layer. The organic layer was washed with water three times and concentrated under reduced pressure using an evaporator to obtain the oxime compound 3. The obtained oxime derivative 3 was used for the next reaction without purification.

〔実施例3〕化合物No.75の合成
100ml四つ口フラスコに窒素フローし、オキシム体3を1.0eq.と、ジクロロメタン(理論収量の500重量%)と、トリエチルアミン2.0eq.を加え、氷浴上5℃で撹拌を行った。そこにクロロギ酸4-ニトロフェニル1.1eq.をジクロロメタンに溶かしたものを滴下して加えた。滴下終了後、室温で30分撹拌した。再び氷浴上5℃まで冷却後ピペリジン1.1eq.を滴下して加えた。室温で5時間撹拌し、減圧下で溶媒を留去した。そこに酢酸エチルと5質量%NaOH水溶液を加え、有機層を分離した。有機層をイオン交換水で3回水洗後、濃縮を行った。残渣にメタノールを加えて晶析を行い、化合物No.75を黄色粉状化合物として、収率30%で得た。得られた固体のTG-DTA(融点/℃)、H-NMRを分析した。結果を〔表1〕及び〔表2〕に示す。
[Example 3] Compound no. Synthesis of 75 A 100 ml four-necked flask was flushed with nitrogen, and 1.0 eq. , dichloromethane (500% by weight of theoretical yield) and 2.0 eq. was added and stirred at 5°C on an ice bath. 1.1 eq. of 4-nitrophenyl chloroformate was added thereto. was added dropwise in dichloromethane. After completion of dropping, the mixture was stirred at room temperature for 30 minutes. After cooling to 5° C. again on an ice bath, piperidine 1.1 eq. was added dropwise. After stirring at room temperature for 5 hours, the solvent was distilled off under reduced pressure. Ethyl acetate and 5 mass % NaOH aqueous solution were added thereto, and the organic layer was separated. The organic layer was washed with ion-exchanged water three times and then concentrated. Crystallization was carried out by adding methanol to the residue, and compound No. 2 was obtained. 75 was obtained as a yellow powdery compound in a yield of 30%. The obtained solid was analyzed by TG-DTA (melting point/° C.) and 1 H-NMR. The results are shown in [Table 1] and [Table 2].

〔実施例4〕化合物No.76の合成
実施例3に記載のピぺリジンをモルホリンに変えた以外は実施例3と同様の操作を行い、化合物No.76を収率51%で得た。得られた固体のTG-DTA(融点/℃)、H-NMRを分析した。結果を〔表1〕及び〔表2〕に示す。
[Example 4] Compound no. Synthesis of Compound No. 76 The procedure of Example 3 was repeated except that piperidine described in Example 3 was changed to morpholine. 76 was obtained in 51% yield. The obtained solid was analyzed by TG-DTA (melting point/° C.) and 1 H-NMR. The results are shown in [Table 1] and [Table 2].

〔実施例5〕化合物No.77の合成
実施例3に記載のピぺリジン1.1eq.をピペラジン0.50eq.に変えた以外は実施例3と同様の操作を行い、化合物No.77を収率43%で得た。得られた固体のTG-DTA(融点/℃)、H-NMRを分析した。結果を〔表1〕及び〔表2〕に示す。
[Example 5] Compound no. Synthesis of 77 Piperidine 1.1 eq. the piperazine 0.50 eq. The same operation as in Example 3 was performed except that the compound No. 77 was obtained in 43% yield. The obtained solid was analyzed by TG-DTA (melting point/° C.) and 1 H-NMR. The results are shown in [Table 1] and [Table 2].

〔実施例6〕化合物No.152の合成
実施例3に記載のピぺリジンをジブチルアミンに変えた以外は実施例3と同様の操作を行い、化合物No.152を収率38%で得た。得られた固体のTG-DTA(融点/℃)、H-NMRを分析した。結果を〔表1〕及び〔表2〕に示す。
[Example 6] Compound no. Synthesis of Compound No. 152 The procedure of Example 3 was repeated except that dibutylamine was used instead of piperidine. 152 was obtained in 38% yield. The obtained solid was analyzed by TG-DTA (melting point/° C.) and 1 H-NMR. The results are shown in [Table 1] and [Table 2].

〔比較例1〕下記比較化合物No.1を用いた。 [Comparative Example 1] The following comparative compound No. 1 was used.

Figure 0007314055000027
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Figure 0007314055000028
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〔評価例1~5及び比較評価例1〕光分解能の評価
化合物No.1、No.75、No.76、No.77、No.152及び下記比較化合物No.1をアセトニトリル溶液1.0×10-4molに調整して蓋付き石英セルに入れた。このサンプルに超高圧水銀ランプを光源とする紫外光を100mJ/cm、500mJ/cm、1000mJ/cm(365nmにおける積算光量)の条件で照射し、分解性を調べた。分解性の評価には、HPLCを用いて未照射時のピークを0として分解した量を%で表した。結果を〔表3〕に示す。

HPLC:日立ハイテクノロジー社製、UV検出器 Chrom master5430
展開溶媒:アセトニトリル/水/酢酸アンモニウム
=90/10/0.2(体積比率)
流速:1ml/min
カラム:Inertsil ODS-2
カラム温度:40℃
検出:254nm
[Evaluation Examples 1 to 5 and Comparative Evaluation Example 1] Evaluation of optical resolution Compound No. 1, No. 75, No. 76, No. 77, No. 152 and the following comparative compound Nos. 1 was adjusted to 1.0×10 −4 mol of acetonitrile solution and placed in a quartz cell with a lid. The sample was irradiated with ultraviolet light from an ultra-high pressure mercury lamp under the conditions of 100 mJ/cm 2 , 500 mJ/cm 2 and 1000 mJ/cm 2 (accumulated light quantity at 365 nm) to examine the decomposability. For the evaluation of degradability, the amount of decomposition was expressed in % by setting the peak at the time of non-irradiation to 0 using HPLC. The results are shown in [Table 3].

HPLC: Hitachi High Technology, UV detector Chrom master5430
Developing solvent: acetonitrile/water/ammonium acetate
= 90/10/0.2 (volume ratio)
Flow rate: 1ml/min
Column: Inertsil ODS-2
Column temperature: 40°C
Detection: 254nm

Figure 0007314055000029
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Figure 0007314055000030
Figure 0007314055000030

上記〔表3〕の結果より、本発明の新規化合物は、UV光に対し高い分解性を有しており、よって、分解によって発生する塩基量が多く、感光性樹脂組成物において高感度の硬化性を示すものである。 From the results in [Table 3] above, the novel compound of the present invention has high decomposability with respect to UV light, and therefore, the amount of base generated by decomposition is large, and high-sensitivity curability is exhibited in the photosensitive resin composition.

〔実施例7~12及び比較例1〕感光性組成物の調製
〔表4〕に記載の配合を行い、感光性組成物No.1~No.6及び比較感光性組成物No.1を得た。尚、表中の配合の数値は質量部を表す。
また、表中の各成分の符号は、下記の成分を表す。
A-1 化合物No.1
A-2 化合物No.2
A-3 化合物No.75
A-4 化合物No.76
A-5 化合物No.77
A-6 化合物No.152
A’-1 比較化合物No.1
B-1 EPPN-201
(フェノールノボラック型エポキシ樹脂、エポキシ当量193g/eq.、
日本化薬社製)
B-2 TRR-5010G
(クレゾールノボラック型フェノール樹脂、水酸基当量120g/eq.、
Mw=8,000、旭有機材工業社製)
C-1 FZ-2122
(ポリエーテル変性ポリシロキサン、東レダウコーニング社製)
D-1 シクロペンタノン(溶剤)
[Examples 7 to 12 and Comparative Example 1] Preparation of photosensitive composition [Table 4] was blended, and photosensitive composition No. 1 was prepared. 1 to No. 6 and comparative photosensitive composition no. got 1. In addition, the numerical value of the composition in a table|surface represents a mass part.
In addition, the code of each component in the table represents the following component.
A-1 Compound No. 1
A-2 Compound No. 2
A-3 Compound No. 75
A-4 Compound No. 76
A-5 Compound No. 77
A-6 Compound No. 152
A'-1 Comparative compound No. 1
B-1 EPPN-201
(Phenol novolak type epoxy resin, epoxy equivalent 193 g / eq.,
manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
B-2 TRR-5010G
(cresol novolac type phenol resin, hydroxyl equivalent 120 g/eq.,
Mw = 8,000, manufactured by Asahi Organic Chemicals Industry Co., Ltd.)
C-1 FZ-2122
(Polyether-modified polysiloxane, manufactured by Dow Corning Toray Co., Ltd.)
D-1 Cyclopentanone (solvent)

Figure 0007314055000031
Figure 0007314055000031

〔評価例6~17、並びに比較評価例2及び3〕感光性組成物及び硬化物の評価
感光性組成物No.1~No.6及び比較感光性組成物No.1並びにそれらの硬化物について、線幅感度、硬化物の残膜率の評価を、下記の手順で行った。結果を〔表5〕に併記する。
[Evaluation Examples 6 to 17 and Comparative Evaluation Examples 2 and 3] Evaluation of photosensitive composition and cured product 1 to No. 6 and comparative photosensitive composition no. 1 and their cured products were evaluated for line width sensitivity and residual film rate of cured products by the following procedure. The results are also shown in [Table 5].

[評価サンプルの作成方法及び評価方法]
感光性組成物No.1~No.6及び比較感光性組成物No.1(塗布量約2.0cc)をそれぞれ、ガラス基材にスピンコーター(500rpm×2秒→1800rpm×15秒→slope×5秒)で塗膜し、ホットプレート上でプリベイクをした(90℃×120秒)。
その後、トプコン露光機を用いて紫外光を分割露光した(60,120mJ/cm、gap:20μm、照度:20.0mW/cm)。
露光後、ホットプレート上でポストベイクを行い(120℃×5分)、PGMEAで現像し(温度:23℃、200rpm×10秒)、IPA(イソプロピルアルコール)洗浄した(200rpm×10秒→乾燥:500rpm×5秒)。
得られたサンプルについて、各露光量におけるマスク開口20μmのパターンの線幅・残膜率を測定した。
[Method for preparing evaluation sample and evaluation method]
Photosensitive composition no. 1 to No. 6 and comparative photosensitive composition no. 1 (coating amount of about 2.0 cc) was applied to a glass substrate with a spin coater (500 rpm×2 seconds→1800 rpm×15 seconds→slope×5 seconds) and prebaked on a hot plate (90° C.×120 seconds).
After that, it was subjected to divisional exposure to ultraviolet light using a Topcon exposure machine (60, 120 mJ/cm 2 , gap: 20 μm, illuminance: 20.0 mW/cm 2 ).
After exposure, it was post-baked on a hot plate (120°C x 5 minutes), developed with PGMEA (temperature: 23°C, 200 rpm x 10 seconds), and washed with IPA (isopropyl alcohol) (200 rpm x 10 seconds → drying: 500 rpm x 5 seconds).
With respect to the obtained samples, the line width and residual film ratio of a pattern with a mask opening of 20 μm at each exposure dose were measured.

Figure 0007314055000032
Figure 0007314055000032

上記〔表5〕の結果より、本発明の感光性組成物は、比較感光性組成物と比較して、大きな線幅(高感度)、高い残膜率(硬化性が高い)を示したことから、本発明の化合物は、重合開始剤として優れていることは明白である。 From the results of [Table 5] above, the photosensitive composition of the present invention showed a large line width (high sensitivity) and a high residual film rate (high curability) as compared with the comparative photosensitive composition. Therefore, it is clear that the compound of the present invention is excellent as a polymerization initiator.

〔実施例13~15、並びに比較例2及び3〕感光性組成物の調製
〔表6〕に記載の配合を行い、感光性組成物No.7~No.9、並びに比較感光性組成物No.2及びNo.3を得た。尚、表中の配合の数値は質量(g)を表す。
また、表中の各成分の符号は、下記の成分を表す。
A’-2 比較化合物No.2
B-3 KR-300
(メチル/フェニルシリコーンレジン、50%キシレン溶液、信越化学工業社製)
B-4 テトラエトキシシラン
[Examples 13 to 15 and Comparative Examples 2 and 3] Preparation of photosensitive composition [Table 6] was blended, and photosensitive composition No. 1 was prepared. 7 to No. 9, and Comparative Photosensitive Composition No. 2 and No. got 3. In addition, the numerical value of the composition in a table|surface represents a mass (g).
In addition, the code of each component in the table represents the following component.
A'-2 Comparative compound No. 2
B-3 KR-300
(Methyl/phenyl silicone resin, 50% xylene solution, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)
B-4 Tetraethoxysilane

Figure 0007314055000033
Figure 0007314055000033

Figure 0007314055000034
Figure 0007314055000034

〔評価例18~20、並びに比較評価例4及び5〕感光性組成物及び硬化物の評価
感光性組成物No.7~No.9、比較感光性組成物No.2及びNo.3並びにそれらの硬化物について、タック性、透明性の評価を、下記の手順で行った。結果を〔表7〕に併記する。
[Evaluation Examples 18 to 20 and Comparative Evaluation Examples 4 and 5] Evaluation of photosensitive composition and cured product 7 to No. 9, Comparative photosensitive composition No. 2 and No. 3 and cured products thereof were evaluated for tackiness and transparency according to the following procedure. The results are also shown in [Table 7].

[評価サンプルの作成方法及び評価方法]
感光性組成物No.7~No.9及び比較感光性組成物No.2及びNo.3(塗布量約4.0cc)をそれぞれ、ガラス基材にスピンコーター(500rpm×2秒→1800rpm×15秒→slope×5秒)で塗膜し、ホットプレート上でプリベイクをした(90℃×120秒)。
その後、トプコン露光機を用いて紫外光を露光した(1000mJ/cm、gap:20μm、照度:20.0mW/cm)。
露光後、ホットプレート上でポストベイクを行った(120℃×5分)。
得られたサンプルについて、表面を綿棒でこすりタックが残るか確認した。タックが残らないものを〇、タックが残ったものを×とした。評価が〇の化合物は、硬化性が高いことから重合開始剤として好ましい。
また、得られたサンプルについて、分光光度計を用いて紫外・可視吸収スペクトルを測定し400nmの透過率を比較した。透過率が80%以上の化合物は、透明性が高いことから重合開始剤として好ましく、透過率が80%未満の化合物は、透明性が低いことから透明性が要求される用途の重合開始剤として好ましくない。
分光光度計:日立ハイテク社製 分光光度計U-3900
[Method for preparing evaluation sample and evaluation method]
Photosensitive composition no. 7 to No. 9 and comparative photosensitive composition no. 2 and No. 3 (coating amount of about 4.0 cc) was applied to a glass substrate with a spin coater (500 rpm×2 seconds→1800 rpm×15 seconds→slope×5 seconds) and prebaked on a hot plate (90° C.×120 seconds).
Then, it was exposed to ultraviolet light using a Topcon exposure machine (1000 mJ/cm 2 , gap: 20 μm, illuminance: 20.0 mW/cm 2 ).
After exposure, post-baking was performed on a hot plate (120° C.×5 minutes).
The surface of the obtained sample was rubbed with a cotton swab to check whether tack remained. The case where no tack remained was indicated by ◯, and the case where tack remained was indicated by x. A compound with an evaluation of ◯ is preferable as a polymerization initiator because of its high curability.
In addition, the ultraviolet/visible absorption spectra of the obtained samples were measured using a spectrophotometer, and the transmittance at 400 nm was compared. A compound with a transmittance of 80% or more is preferable as a polymerization initiator because of its high transparency, and a compound with a transmittance of less than 80% is not preferable as a polymerization initiator for applications requiring transparency because of its low transparency.
Spectrophotometer: Hitachi High-Tech Spectrophotometer U-3900

Figure 0007314055000035
Figure 0007314055000035

上記〔表7〕の結果より、本発明の化合物は、シリコーンレジンを用いた組成物において硬化性及び透明性に優れる重合開始剤であることは明らかである。 From the results in [Table 7] above, it is clear that the compounds of the present invention are polymerization initiators that are excellent in curability and transparency in compositions using silicone resins.

〔実施例16及び17、並びに比較例4〕感光性組成物の調製
〔表8〕に記載の配合を行い、感光性組成物No.10及びNo.11、並びに比較感光性組成物No.4を得た。尚、表中の配合の数値は質量(g)を表す。
また、表中の各成分の符号は、下記の成分を表す。
A’-3 比較化合物No.3
B-5 PEMP
(4官能チオールモノマー、SC有機化学社製)
[Examples 16 and 17 and Comparative Example 4] Preparation of Photosensitive Compositions [Table 8] was blended, and photosensitive composition No. 1 was prepared. 10 and no. 11, and comparative photosensitive composition no. Got 4. In addition, the numerical value of the composition in a table|surface represents a mass (g).
In addition, the code of each component in the table represents the following component.
A'-3 Comparative compound No. 3
B-5 PEMP
(Tetrafunctional thiol monomer, manufactured by SC Organic Chemical Co., Ltd.)

Figure 0007314055000036
Figure 0007314055000036

Figure 0007314055000037
Figure 0007314055000037

〔評価例21及び22、並びに比較評価例6〕感光性組成物及び硬化物の評価
感光性組成物No.10及びNo.11、並びに比較感光性組成物No.4、及びそれらの硬化物について、感度の評価を、下記の手順で行った。結果を〔表9〕に記載する。
[Evaluation Examples 21 and 22, and Comparative Evaluation Example 6] Evaluation of photosensitive composition and cured product 10 and no. 11, and comparative photosensitive composition no. 4 and their cured products were evaluated for sensitivity according to the following procedure. The results are listed in [Table 9].

[評価サンプルの作成方法及び評価方法]
感光性組成物No.10及びNo.11、並びに比較感光性組成物No.4(塗布量約4.0cc)をそれぞれ、ガラス基材にスピンコーター(500rpm×2秒→1800rpm×15秒→slope×5秒)で塗膜し、ホットプレート上でプリベイクをした(90℃×120秒)。
その後、ステップタブレットを塗膜上に置き、LED露光機を用いて紫外光(365nm、385nm、395nm)を露光した(3000mJ/cm、照度:20.0mW/cm)。
露光後、ホットプレート上でポストベイクを行い(100℃×20分)、PGMEAで現像し(30秒)、IPA(イソプロピルアルコール)で洗浄した(10秒)。
得られたサンプルについて、現像で膜が残った段数を記録した。段数が5以上の感光性樹脂組成物は、感度に優れることから好ましく、段数が10段以上の物は特に好ましい。
[Method for preparing evaluation sample and evaluation method]
Photosensitive composition no. 10 and no. 11, and comparative photosensitive composition no. 4 (coating amount of about 4.0 cc) was applied to a glass substrate with a spin coater (500 rpm×2 seconds→1800 rpm×15 seconds→slope×5 seconds) and pre-baked on a hot plate (90° C.×120 seconds).
After that, a step tablet was placed on the coating film and exposed to ultraviolet light (365 nm, 385 nm, 395 nm) using an LED exposure machine (3000 mJ/cm 2 , illuminance: 20.0 mW/cm 2 ).
After exposure, it was post-baked on a hot plate (100° C.×20 minutes), developed with PGMEA (30 seconds), and washed with IPA (isopropyl alcohol) (10 seconds).
With respect to the obtained samples, the number of stages in which the film remained after development was recorded. A photosensitive resin composition having 5 or more stages is preferable because of its excellent sensitivity, and a composition having 10 or more stages is particularly preferable.

Figure 0007314055000038
Figure 0007314055000038

上記〔表9〕の結果より、本発明の化合物は、エポキシ樹脂及び硬化剤にチオールを用いた組成物において硬化性に優れる重合開始剤であることは明らかである。 From the results in [Table 9] above, it is clear that the compound of the present invention is a polymerization initiator with excellent curability in a composition using an epoxy resin and a thiol as a curing agent.

〔実施例18及び19、並びに比較例5〕感光性組成物の調製
〔表10〕に記載の配合を行い、感光性組成物No.12及びNo.13、並びに比較感光性組成物No.5を得た。尚、表中の配合の数値は質量(g)を表す。
また、表中の各成分の符号は、下記の成分を表す。
B-6 ポリアミック酸
(N,N-ジメチルアセトアミド中で3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物とビス(4-アミノフェニル)エーテルを反応させて得られたもの。重量平均分子量は約10000。)
D-2 NMP(溶剤)
[Examples 18 and 19 and Comparative Example 5] Preparation of Photosensitive Compositions [Table 10] was blended, and photosensitive composition No. 1 was prepared. 12 and no. 13, and comparative photosensitive composition no. Got 5. In addition, the numerical value of the composition in a table|surface represents a mass (g).
In addition, the code of each component in the table represents the following component.
B-6 Polyamic acid (obtained by reacting 3,3′,4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride and bis(4-aminophenyl) ether in N,N-dimethylacetamide. Weight average molecular weight is about 10,000.)
D-2 NMP (solvent)

Figure 0007314055000039
Figure 0007314055000039

〔評価例23~26、並びに比較評価例7及び8〕感光性組成物及び硬化物の評価
感光性組成物No.12及びNo.13、並びに比較感光性組成物No.5、及びそれらの硬化物について、線幅感度、硬化物の残膜率の評価を、下記の手順で行った。結果を〔表11〕に併記する。
[Evaluation Examples 23 to 26 and Comparative Evaluation Examples 7 and 8] Evaluation of photosensitive composition and cured product 12 and no. 13, and comparative photosensitive composition no. 5 and their cured products were evaluated for line width sensitivity and residual film rate of the cured product according to the following procedure. The results are also shown in [Table 11].

[評価サンプルの作成方法及び評価方法]
感光性組成物No.12及びNo.13、並びに比較感光性組成物No.5(塗布量約4.0cc)をそれぞれ、ガラス基材にスピンコーター(500rpm×2秒→1800rpm×15秒→slope×5秒)で塗膜し、ホットプレート上でプリベイクをした(100℃×10分)。
その後、トプコン露光機を用いて紫外光を分割露光した(1000,3000mJ/cm、gap:20μm、照度:20.0mW/cm)。
露光後、ホットプレート上でポストベイクを行い(100℃30分)、IPAで現像(温度:23℃、200rpm×10秒→乾燥:500rpm×5秒)した後、更に300℃で1時間加熱した。
得られたサンプルについて、各露光量におけるマスク開口20μmのパターンの線幅・残膜率を測定した。
[Method for preparing evaluation sample and evaluation method]
Photosensitive composition no. 12 and no. 13, and comparative photosensitive composition no. 5 (coating amount of about 4.0 cc) was applied to a glass substrate with a spin coater (500 rpm×2 seconds→1800 rpm×15 seconds→slope×5 seconds) and prebaked on a hot plate (100° C.×10 minutes).
After that, a Topcon exposure machine was used to perform divisional exposure to ultraviolet light (1000, 3000 mJ/cm 2 , gap: 20 μm, illuminance: 20.0 mW/cm 2 ).
After exposure, the film was post-baked on a hot plate (100° C. for 30 minutes), developed with IPA (temperature: 23° C., 200 rpm×10 seconds→drying: 500 rpm×5 seconds), and then heated at 300° C. for 1 hour.
With respect to the obtained samples, the line width and residual film ratio of a pattern with a mask opening of 20 μm at each exposure dose were measured.

Figure 0007314055000040
Figure 0007314055000040

上記〔表12〕の結果より、本発明の化合物は、ポリアミック酸を用いた樹脂組成物において硬化性に優れる重合開始剤であることは明らかである。 From the results of [Table 12] above, it is clear that the compound of the present invention is a polymerization initiator having excellent curability in a resin composition using a polyamic acid.

また、本発明の化合物は、熱塩基発生剤として用いることもできる。
〔参考例1〕
上記感光性組成物No.11を用いて上記と同様の方法で塗膜を作製した。その塗膜を、オーブンを用いて150℃で60分間加熱した。得られた膜をIPAで現像したところ、残膜率が40.5%であり、硬化したことが確認できた。
The compounds of the present invention can also be used as thermal base generators.
[Reference Example 1]
The above photosensitive composition No. No. 11 was used to prepare a coating film in the same manner as above. The coating was heated using an oven at 150° C. for 60 minutes. When the resulting film was developed with IPA, it was confirmed that the residual film rate was 40.5% and that the film was cured.

〔参考例2〕
A-1(化合物No.1)を添加しない組成物を用いた以外は、参考例1と同様にして加熱及び現像を行ったところ、膜は残らなかった。
[Reference example 2]
Heating and development were carried out in the same manner as in Reference Example 1, except that a composition without A-1 (compound No. 1) was used. As a result, no film remained.

これらの結果より、本発明の化合物は、熱塩基発生剤としても用いることができることは明らかである。 From these results, it is clear that the compound of the present invention can also be used as a thermal base generator.

本発明の新規化合物は、重合開始剤として用いた場合、従来の光塩基発生剤よりも効率的に塩基を発生させることができるため、低露光量においても感光性樹脂を硬化させることができる。 When used as a polymerization initiator, the novel compound of the present invention can generate a base more efficiently than conventional photobase generators, and can cure a photosensitive resin even at a low exposure dose.

Claims (10)

下記一般式(I)で表される化合物。
Figure 0007314055000041
(式中、R、シアノ基、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基又は無置換若しくは置換基を有している炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基を表し、
、R、R、R及びRは、それぞれ独立に、水素原子、シアノ基、ニトロ基、-OR、-COOR、-CO-R、-SR、ハロゲン原子、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基又は複素環を含有し且つ無置換若しくは置換基を有している炭素原子数2~20の基を表し、
は、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基又は複素環を含有し且つ無置換若しくは置換基を有している炭素原子数2~20の基を表し、
は、水素原子、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基又は複素環を含有し且つ無置換若しくは置換基を有している炭素原子数2~20の基を表し、
は、-NR1112、下記(a)又は下記(b)で表される基であり、
11及びR12は、それぞれ独立に、水素原子、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基又は無置換若しくは置換基を有している炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基であるか、
11及びR12が互いに連結して、無置換若しくは置換基を有し且つ水素原子、窒素原子及び炭素原子からなる炭素原子数1~20の環、又は無置換若しくは置換基を有し且つ水素原子、酸素原子、窒素原子及び炭素原子からなる炭素原子数1~20の環を形成しており、
nは、0又は1を表す。)
Figure 0007314055000042
(式中、R13、R14、R15、R16、R17、R18、R19、R20、R21及びR22は、それぞれ独立に、水素原子、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基又は無置換若しくは置換基を有している炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基であるか、
13とR14、R15とR16、R17とR18、R19とR20及びR21とR22のうちの少なくとも一組が互いに連結して、無置換若しくは置換基を有し且つ水素原子、窒素原子及び炭素原子からなる炭素原子数1~20の環、又は無置換若しくは置換基を有し且つ水素原子、酸素原子、窒素原子及び炭素原子からなる炭素原子数1~20の環を形成しており、
*は結合手を表す。)
A compound represented by the following general formula (I).
Figure 0007314055000041
(wherein R 1 represents a cyano group, an unsubstituted or substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, or an unsubstituted or substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms,
R 2 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 each independently contain a hydrogen atom, a cyano group, a nitro group, -OR 8 , -COOR 8 , -CO-R 8 , -SR 8 , a halogen atom, an unsubstituted or substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, an unsubstituted or substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms, or a heterocyclic ring; represents an unsubstituted or substituted group having 2 to 20 carbon atoms,
R 3 represents an unsubstituted or substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, an unsubstituted or substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms, or a group containing a heterocyclic ring and having 2 to 20 carbon atoms and being unsubstituted or substituted;
R 8 represents a hydrogen atom, an unsubstituted or substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, an unsubstituted or substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms, or a group containing a heterocyclic ring and having 2 to 20 carbon atoms and being unsubstituted or substituted;
X 1 is —NR 11 R 12 , a group represented by (a) or (b) below,
R 11 and R 12 are each independently a hydrogen atom, an unsubstituted or substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, or an unsubstituted or substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms,
R 11 and R 12 are linked together to form an unsubstituted or substituted ring having 1 to 20 carbon atoms and consisting of a hydrogen atom, a nitrogen atom and a carbon atom, or an unsubstituted or substituted ring having 1 to 20 carbon atoms and consisting of a hydrogen atom, an oxygen atom, a nitrogen atom and a carbon atom;
n represents 0 or 1; )
Figure 0007314055000042
(wherein R 13 , R 14 , R 15 , R 16 , R 17 , R 18 , R 19 , R 20 , R 21 and R 22 are each independently a hydrogen atom, an unsubstituted or substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, or an unsubstituted or substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms,
at least one set of R 13 and R 14 , R 15 and R 16 , R 17 and R 18 , R 19 and R 20 , and R 21 and R 22 is linked to each other to form an unsubstituted or substituted ring having 1 to 20 carbon atoms and consisting of hydrogen, nitrogen and carbon atoms, or an unsubstituted or substituted ring having 1 to 20 carbon atoms and consisting of hydrogen, oxygen, nitrogen and carbon atoms; and
* represents a bond. )
下記一般式(I)で表される化合物。
Figure 0007314055000043
(式中、R は、シアノ基、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基又は無置換若しくは置換基を有している炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基を表し、
、R 、R 、R 及びR は、それぞれ独立に、水素原子、シアノ基、ニトロ基、-OR 、-COOR 、-CO-R 、-SR 、ハロゲン原子、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基又は複素環を含有し且つ無置換若しくは置換基を有している炭素原子数2~20の基を表し、
は、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基又は複素環を含有し且つ無置換若しくは置換基を有している炭素原子数2~20の基を表し、
は、水素原子、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基又は複素環を含有し且つ無置換若しくは置換基を有している炭素原子数2~20の基を表し、
は、-NR 11 12 、下記(a)又は下記(b)で表される基であり、
11 及びR 12 は、それぞれ独立に、水素原子、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基又は無置換若しくは置換基を有している炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基であるか、
11 及びR 12 が互いに連結して、無置換若しくは置換基を有し且つ水素原子、窒素原子及び炭素原子からなる炭素原子数1~20の環、又は無置換若しくは置換基を有し且つ水素原子、酸素原子、窒素原子及び炭素原子からなる炭素原子数1~20の環を形成しており、
nは、0又は1を表す。
ただし、以下の条件(i)及び(ii)のうち、少なくとも1つを満たす。
(i)R は、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数6~20の脂肪族炭化水素基を表す。
(ii)nが1であり、かつR は、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基を表す。)
Figure 0007314055000044
(式中、R 13 、R 14 、R 15 、R 16 、R 17 、R 18 、R 19 、R 20 、R 21 及びR 22 は、それぞれ独立に、水素原子、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基又は無置換若しくは置換基を有している炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基であるか、
13 とR 14 、R 15 とR 16 、R 17 とR 18 、R 19 とR 20 及びR 21 とR 22 のうちの少なくとも一組が互いに連結して、無置換若しくは置換基を有し且つ水素原子、窒素原子及び炭素原子からなる炭素原子数1~20の環、又は無置換若しくは置換基を有し且つ水素原子、酸素原子、窒素原子及び炭素原子からなる炭素原子数1~20の環を形成しており、
*は結合手を表す。
A compound represented by the following general formula (I).
Figure 0007314055000043
(wherein R 1 represents a cyano group, an unsubstituted or substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, or an unsubstituted or substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms,
R 2 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 each independently contain a hydrogen atom, a cyano group, a nitro group, -OR 8 , -COOR 8 , -CO-R 8 , -SR 8 , a halogen atom, an unsubstituted or substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, an unsubstituted or substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms, or a heterocyclic ring; represents an unsubstituted or substituted group having 2 to 20 carbon atoms ,
R 3 represents an unsubstituted or substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, an unsubstituted or substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms, or a group containing a heterocyclic ring and having 2 to 20 carbon atoms and being unsubstituted or substituted;
R 8 represents a hydrogen atom, an unsubstituted or substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, an unsubstituted or substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms, or a group containing a heterocyclic ring and having 2 to 20 carbon atoms and being unsubstituted or substituted;
X 1 is —NR 11 R 12 , a group represented by (a) or (b) below,
R 11 and R 12 are each independently a hydrogen atom, an unsubstituted or substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, or an unsubstituted or substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms,
R 11 and R 12 are linked together to form an unsubstituted or substituted ring having 1 to 20 carbon atoms and consisting of a hydrogen atom, a nitrogen atom and a carbon atom, or an unsubstituted or substituted ring having 1 to 20 carbon atoms and consisting of a hydrogen atom, an oxygen atom, a nitrogen atom and a carbon atom;
n represents 0 or 1;
However, at least one of the following conditions (i) and (ii) is satisfied.
(i) R 1 represents an unsubstituted or substituted aliphatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms;
(ii) n is 1, and R 1 represents an unsubstituted or substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms; )
Figure 0007314055000044
(wherein R 13 , R 14 , R 15 , R 16 , R 17 , R 18 , R 19 , R 20 , R 21 and R 22 are each independently a hydrogen atom, an unsubstituted or substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, or an unsubstituted or substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms,
at least one set of R 13 and R 14 , R 15 and R 16 , R 17 and R 18 , R 19 and R 20 , and R 21 and R 22 is linked to each other to form an unsubstituted or substituted ring having 1 to 20 carbon atoms and consisting of hydrogen, nitrogen and carbon atoms, or an unsubstituted or substituted ring having 1 to 20 carbon atoms and consisting of hydrogen, oxygen, nitrogen and carbon atoms; and
* represents a bond. )
上記一般式(I)中のR、R、R、R、R及びRのうち、少なくとも一つがニトロ基、ベンゾイル基又はo-メチルベンゾイル基を置換基として有している基である請求項1又は2に記載の化合物。 3. The compound according to claim 1 , wherein at least one of R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 in the general formula (I) is a group having a nitro group, a benzoyl group or an o-methylbenzoyl group as a substituent. 上記一般式(I)中のR、R、R、R、R及びRのうち、少なくとも一つが、下記一般式(II)で表される基である請求項1~3の何れか1項に記載の化合物。
Figure 0007314055000045
(式中、R25、R26、R27、R28及びR29は、それぞれ独立に、水素原子、シアノ基、ニトロ基、-OR30、-COOR30、-CO-R30、-SR30、ハロゲン原子、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基又は複素環を含有し且つ無置換若しくは置換基を有している炭素原子数2~20の基又は下記一般式(III)で表される基を表し、
30は、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基又は複素環を含有し且つ無置換若しくは置換基を有している炭素原子数2~20の基を表し、
25、R26、R27、R28及びR29のうち、少なくとも一つが、ニトロ基、-CO-R30又は下記一般式(III)で表される基を表し、
*は結合手を表す。)
Figure 0007314055000046
(式中、R31は、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基又は無置換若しくは置換基を有している炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基を表し、
は、-NR3233、下記(a’)又は下記(b’)で表される基であり、
32及びR33は、それぞれ独立に、水素原子、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基又は無置換若しくは置換基を有している炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基であるか、
32及びR33が互いに連結して、無置換若しくは置換基を有し且つ水素原子、窒素原子及び炭素原子からなる炭素原子数1~20の環、又は無置換若しくは置換基を有し且つ水素原子、酸素原子、窒素原子及び炭素原子からなる炭素原子数1~20の環を形成しており、
mは0又は1を表し、*は、結合手を表す。)
Figure 0007314055000047
(式中、R34、R35、R36、R37、R38、R39、R40、R41、R42及びR43は、それぞれ独立に、水素原子、無置換若しくは置換基を有している炭素原子数1~20の脂肪族炭化水素基又は無置換若しくは置換基を有している炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基であるか、
34とR35、R36とR37、R38とR39、R40とR41及びR42とR43のうちの少なくとも一組が互いに連結して、無置換若しくは置換基を有し且つ水素原子、窒素原子及び炭素原子からなる炭素原子数1~20の環、又は無置換若しくは置換基を有し且つ水素原子、酸素原子、窒素原子及び炭素原子からなる炭素原子数1~20の環を形成しており、
*は結合手を表す。)
The compound according to any one of claims 1 to 3, wherein at least one of R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 in general formula (I) is a group represented by general formula (II) below.
Figure 0007314055000045
(wherein R 25 , R 26 , R 27 , R 28 and R 29 are each independently a hydrogen atom, a cyano group, a nitro group, -OR 30 , -COOR 30 , -CO-R 30 , -SR 30 , a halogen atom, an unsubstituted or substituted C 1-20 aliphatic hydrocarbon group, an unsubstituted or substituted C 6-20 an aromatic hydrocarbon group or a group containing a heterocyclic ring and having 2 to 20 carbon atoms which is unsubstituted or substituted, or a group represented by the following general formula (III);
R 30 represents an unsubstituted or substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, an unsubstituted or substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms, or a group containing a heterocyclic ring and having 2 to 20 carbon atoms and being unsubstituted or substituted;
at least one of R 25 , R 26 , R 27 , R 28 and R 29 represents a nitro group, —CO—R 30 or a group represented by the following general formula (III);
* represents a bond. )
Figure 0007314055000046
(wherein R 31 represents an unsubstituted or substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms or an unsubstituted or substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms,
X 2 is —NR 32 R 33 , a group represented by (a′) or (b′) below,
R 32 and R 33 are each independently a hydrogen atom, an unsubstituted or substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, or an unsubstituted or substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms,
R 32 and R 33 are linked together to form an unsubstituted or substituted ring having 1 to 20 carbon atoms and consisting of a hydrogen atom, a nitrogen atom and a carbon atom, or an unsubstituted or substituted ring having 1 to 20 carbon atoms and consisting of a hydrogen atom, an oxygen atom, a nitrogen atom and a carbon atom;
m represents 0 or 1, * represents a bond. )
Figure 0007314055000047
(wherein R 34 , R 35 , R 36 , R 37 , R 38 , R 39 , R 40 , R 41 , R 42 and R 43 are each independently a hydrogen atom, an unsubstituted or substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, or an unsubstituted or substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms,
at least one of R 34 and R 35 , R 36 and R 37 , R 38 and R 39 , R 40 and R 41 , and R 42 and R 43 are linked to each other to form an unsubstituted or substituted ring having 1 to 20 carbon atoms and consisting of hydrogen, nitrogen and carbon atoms, or an unsubstituted or substituted ring having 1 to 20 carbon atoms and consisting of hydrogen, oxygen, nitrogen and carbon atoms; and
* represents a bond. )
請求項1~の何れか1項に記載の化合物を含む潜在性塩基発生剤。 A latent base generator comprising the compound according to any one of claims 1 to 4 . 請求項1~の何れか1項に記載の化合物を含む重合開始剤。 A polymerization initiator containing the compound according to any one of claims 1 to 4 . 請求項に記載の重合開始剤(A)及び感光性樹脂(B)を含有する感光性樹脂組成物。 A photosensitive resin composition comprising the polymerization initiator (A) according to claim 6 and a photosensitive resin (B). 上記感光性樹脂(B)がエポキシ樹脂又はフェノール樹脂である請求項に記載の感光性樹脂組成物。 8. The photosensitive resin composition according to claim 7 , wherein the photosensitive resin (B) is an epoxy resin or a phenol resin. 請求項7又は8に記載の感光性樹脂組成物の硬化物。 A cured product of the photosensitive resin composition according to claim 7 or 8 . 請求項7又は8に記載の感光性樹脂組成物にエネルギー線を照射する工程を有する硬化物の製造方法。 A method for producing a cured product, comprising the step of irradiating the photosensitive resin composition according to claim 7 or 8 with an energy ray.
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